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PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。
本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。
一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。
2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。
注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。
3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。
根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。
为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。
如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。
漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。
当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。
当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。
注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。
4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。
注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。
烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。
二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。
将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。
CENTROTHERM管式PECVD操作说明书按压START真空泵启动按钮，启动真空泵。
（图
图6.1.2
打开并检查气源。
打开压缩空气阀，N2阀，NH3阀，
6kg /cm2—7kg /cm2。
其他气体4 kg /cm2—10kg /cm2范围
开启SIH4阀（图4）
图（4）阀（图6）
图（6）开总电源。
用手扳住电柜外部的红色按钮，机器上指示灯
图（8）
VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启（图8）。
启动CMI程序。
开总电源后计算机自动启动。
输入密码后自动进入Windows桌面。
用鼠标左键双击“CMI”图标，启动CMI。
进入CMI 画面，检查设备状态：
SLS=UP ，DOOR=CLOSED ，PLC=OK ，LIFT=READY ，TUBE=READY ，TGA FREE=YES
SET/ACT POSITION=0 ，PROCFLAG=OK（整体界面图9）
选择工艺程序，生产。
插片。
用小车承载石墨舟，在插片房中插满硅片。
向机器进车。
向机器推入装完片的石墨舟小车。
计算机
在“LOTS”里输入自己名字的拼音缩写，在舟号里输入舟的号码。
选择对应的工艺文件。
设备自动进行工艺生产。
(整体界面图10)
图（10）。
PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。
本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。
一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。
2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。
注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。
3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。
根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。
为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。
如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。
漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。
当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。
当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。
注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。
4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。
注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。
烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。
二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。
将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。
PECVD石墨舟清洗使用作业规程
为了更好的提升产品的质量，减少返工片；需要对石墨舟进行定期的保养和清洗。
清洗规程如下：
1- 清洗石墨舟的操作人员，上班第一时间询问工艺人员有哪些石墨舟是需要清洗的，在“石墨舟清洗使用签收表”表上记下超
过使用次数石墨舟。
当班负责清洗石墨舟的操作人员签字确
认。
2 -工序长上班交接后，到石墨舟柜处查看已超过使用次数的石墨
舟编号。
在当班生产前，通知设备人员将超过使用次数的石墨
舟拆下电极，然后送到清洗处清洗。
3 -清洗石墨舟前，要戴好防酸手套，防化服和防酸面具。
4 -把需要清洗的石墨舟要用44L HF（氢氟酸）清洗8个小时，然
后把酸排掉加水清洗2个小时；再把洗好了的石墨舟抬到烘干
箱烘8个小时。
5 -烘好后的石墨舟要到冷却房冷却，然后通知设备人员组装电极。
6 -组装好清洗后的石墨舟，清洗石墨舟的操作人员要将其舟号和清洗日期时间及时记录在“石墨舟清洗记录表”中。
7-把组装好的石墨舟抬到石墨舟存放柜的待镀舟处，工序长必须在“石墨舟清洗使
用签收表”相应的栏中签字确认。
8 -石墨舟在未到规定的使用次数，如果同一石墨舟连续两次出现的色差片数量超过5片、或者色差片数目累计超过15片，则立即停止该石墨舟的使用，并通知工艺人员查看原因。
该石墨舟能否继续使用，由工艺人员查看原因后，工艺人员根据实际情况来决定。
9 -为了确保石墨舟的正常循环使用，每次送至清洗的石墨舟数量为2个。
10-石墨舟的使用次数由工艺人员规定，严禁其他人员修改。
石墨舟清洗机保养作业流程和安全注意事项。
石墨舟清洗机是半导体制造工艺中用于清洁PECVD（等离子增强化学气相沉积）设备所使用的石墨舟的重要设备。
保养作业流程及安全注意事项如下：石墨舟清洗机保养作业流程：1. 准备工作：清洁工作区域，确保无尘环境。
检查电源、水源和气体供应是否正常。
佩戴好防护装备，如防静电手套、防化学品护目镜、防尘口罩等。
2. 设备检查：检查石墨舟清洗机的机械部件是否有磨损或损坏。
检查电气控制系统、温控系统以及压力调节装置是否正常运行。
3. 拆卸与装载石墨舟：根据规程将待清洗的石墨舟放入清洗槽内，确保位置正确且固定稳固。
4. 清洗操作：设置清洗程序，包括清洗剂种类、温度、时间、循环次数等参数。
开始清洗过程，可能涉及酸洗、碱洗、超声波清洗及纯水漂洗等多个步骤。
5. 冲洗与干燥：清洗完毕后用大量去离子水彻底冲洗石墨舟，去除残留清洗剂。
使用烘干程序或者自然晾干方式使石墨舟达到干燥状态。
6. 维护保养：更换滤网：定期更换清洗设备内部的过滤网，保证清洗液的纯净度。
清理腔体：按照规程对设备腔体进行清理，避免积垢影响效果。
检查泵体功能：确认气动隔膜泵或其他输送泵的工作状况，并在必要时进行维护或更换。
润滑和紧固：对所有运动部件进行润滑处理，紧固松动的螺丝。
7. 记录与审核：记录每次清洗及保养过程中的重要参数及结果，便于追溯和质量控制。
审核保养情况，由操作人员和监督人员签字确认。
安全注意事项：在整个过程中严格遵守ESD（静电放电）防护措施，防止静电损害精密设备。
使用化学品时应确保良好的通风条件，避免直接接触皮肤和眼睛，若不慎接触立即用清水冲洗并就医。
在设备运行过程中严禁触碰运动部件，以防夹伤。
设备停用后应及时关闭电源和水源，防止意外开启。
清洗后的废液要妥善收集，按照环保法规要求处理，不得随意排放。
执行任何维修或保养工作前，必须先切断设备电源，并悬挂“正在维修，禁止启动”等警示标识。
156多晶赛瑞达PECVD石墨舟清洗作业指导书SPECIAL WI 专用作业指导书156多晶赛瑞达PECVD石墨舟清洗作业指导书Reason(s) for Update 更新原因：部门签名日期1.0 适用范围156多晶PECVD工位2.0 作业流程2.1生产准备ORIGINATOR编制TECH技术QC品质MFG生产APPD批准文件编号版本：PRODUCT 产品：电池片CUSTOMER 客户：All CostomerWORK STATION 工序名称：PECVDPAGE 页：1 OF 12.1.1工作时必须穿工作衣、鞋，佩戴手套、工作帽2.1.2做好工艺卫生2.1.3选择所需要清洗的石墨舟2.1.4操作前必须做好相应的防护措施：防护眼镜、防毒面具、长袖橡胶手套2.2操作流程2.2.1将需要清洗的石墨舟拆卸好，舟片插入清洗花篮内，陶瓷套管、螺丝与连接杆分开放置。
2.2.2用水将槽内清洗干净，将装有舟片的花篮按顺序平放至清洗槽内2.2.3往槽内注入一定量水后，加12瓶氢氟酸，再注水使槽内液体体积至350L左右（浓度：8%），盖上舱门2.2.4开启鼓泡1小时后关闭，浸泡 8-12小时2.2.5将花篮转移至漂洗槽，注水使用鼓泡漂洗后将水排空，反复操作三次后溢流二十分钟2.2.6用高压气枪将舟片上的水吹干2.2.7将清洗完全后的舟片换用烘干花篮放入烘箱内进行烘干，烘干时间控制在10小时，烘干温度设为80℃2.2.8将卸下的陶瓷套管、连接杆和螺丝帽用酒精浸泡，擦洗干净2.2.9待舟片烘干完成后，将舟重新组装（拧螺丝时使用扭力扳手，无需拧太紧）2.2.10执行镀舟工艺完全后，石墨舟可投入使用3.0 仪器/工具/材料3.1待清洗的石墨舟3.2石墨器件清洗机、舟片花篮、烘箱3.3氢氟酸、无水乙醇3.4扭力扳手、组装台4.0 注意事项4.1添加药液前佩戴防护工具时注意检查是否存在破损，保护自身安全4.2加液时注意将容器口贴近槽壁缓慢注入，脸尽量远离槽体，避免粗放操作使药液溅出。
浙江正国太阳能科技有限公司.电池车间作业标准书（清洗石墨舟）ZG-WI-SC-18（第A/0版）编制： 审核： 批准：发布日期：二零一零年三月五日 实施日期：二零一零年三月五日地址：中国. 浙江省桐乡经济开发区凤栖中路222号 电话：++86-573-88070855 传真：++86-573-88115855 邮政编码：314500受 控 状 态 发 放 编 号科技有限公司文件编号ZG-WI-SC-18 版本/修订状态A/0实施日期2010-3-5 第 1 页共 2页一.目的：为了加强对清洗石墨舟的管理，确保洗舟过程中能够严格按照标准作业流程来操作，以达到把舟清洗干净和确保石墨舟安全和人员安全的目的。
二.适用范围：本规定适用于本公司所有清洗石墨舟的员工。
三.职责：1.技术部经理对此规定监督负责；2.生产车间部对此规定执行负责。
四.管理内容:(清洗间标准作业指导书）相关夹具:扳手操作提示:拧松螺丝以便于清洗时更彻底。
相关夹具：高压水枪操作提示:将硅片、石墨粉末、氮化硅颗粒冲洗干净1．把螺丝拧松2．用水枪把槽子清洗干净相关夹具: 抹布、酒精操作提示: 把槽子边的石墨粉末擦干净相关夹具:水枪操作提示:把松好螺丝的石墨舟放到槽子里，注意轻拿轻放并用水枪冲洗石墨舟5分钟。
3．用酒精布擦槽子4．放入石墨舟并冲洗相相关夹具:防酸服、手套防毒面具。
操作提示:加氢氟酸12桶（4L/桶）然后继续加纯水到漫过舟上边缘2—3厘米，并且要穿戴好防护用品。
相关夹具:无操作提示:把盖子全部盖好。
5．配液6．盖好槽盖科技有限公司文件编号ZG-WI-SC-18 版本/修订状态A/0实施日期2010-3-5 第 2 页共 2页相关夹具:无操作提示:关好侧门防止氢氟酸挥发到车间里。
清洗至少12小时，每2小时鼓泡一次每次2分钟。
相关夹具:无操作提示: 清洗好了以后，把酸排另一个槽子里再放纯水鼓泡清洗至少10小时，其中每2小时换水一次。
石墨舟、推车、吸笔、承载盒、卸片盒、周转箱。
三、岗位工作流程 下料插满单面台面旋转180度流程卡上记录舟号检查吸笔推车台面倾斜25度抬舟上机 检查 内硅片继续前面动作插满另面整理周转箱检查扩散面检查推车和石墨舟正确佩戴手套、口罩PECVD操作规范2 签收上道流入的硅片。
从传递窗内，接收硅检流入的硅片，确认批次信息，如：批号、来源、数量等。
拒收不合格品；作业指导书先检查石墨舟与推车定位是否吻合、贴近，确认石墨舟是否有裂纹破损，螺母是否有松动；5 插片：）左手拿花篮，扩散面朝上（花篮突出面是扩散面为标志），右手拿吸笔；（2）车台面倾斜25度，硅片放入舟中时，硅片要插在三个工艺点与石墨舟片之间；作业指导书（3）单面插满后，把舟平放然后慢速均匀转动台面180度，继续开始的动作，直到一舟全部插满，）在流程卡上记录石墨舟号作业指导书到位，整理承载盒与周转箱；作业指导书7舟上料：首先确认硅片是否插到位，再确认石墨舟电极朝向，确认舟在浆上的位置；作业指导书8 下班之前清洁责任区域车间六、作业注意事项、有缺陷的舟车、石墨舟立刻隔离，标记清楚，并上报班组长。
、按批号顺序把周转箱放置在在途产品指定位置。
、插片前必须检查吸笔贴膜是否完好。
4、插片前必须确认扩散面，凸出面为扩散面。
5、石墨舟旋转时要避免碰到其它物件。
6、中断片不能直接用手取放。
1、插片时，若发现吸不牢片子，调整吸笔吸气气量，使之达到正常力度。
2、吸笔头发黑，及时更换吸笔套。
3、镀膜后出现大量吸笔印，及时检查吸笔，用酒精清理或更换吸笔套。
浙江东辉新能源科技有限公司生产部。
