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PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。
本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。
一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。
2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。
注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。
3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。
根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。
为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。
如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。
漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。
当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。
当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。
注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。
4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。
注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。
烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。
二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。
将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。
PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。
本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。
一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。
2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。
注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。
3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。
根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。
为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。
如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。
漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。
当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。
当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。
注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。
4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。
注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。
烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。
二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。
将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。
管式PECVD设备操作及维护文件编号广东爱康太阳能科技有限公司编辑陈郡志文件名称管式PECVD设备操作规程页码 1/8 编制/日期:2011/3/12 审核/日期: 批准/日期: 1. 目的确保PECVD良好的运转和延长PECVD的寿命。
2. 使用范围及保养。
PECVD维护3. 内容( Centrotherm PECVD)3.1 开机3.1.1 打开冷却水(先开出水阀，再开进水阀)、压缩空气、N、特气(SiH、NH)关。
将243冷却水压力计调为5,6公斤;N压力计调为2,3 bar;特气压力计调为1,2bar; 23.1.2 打开设备侧面红色旋转式电源开关;打开位于真空泵正上方的黑色旋钮电源开关，绿色指示灯亮为开关已打开;3.1.3打开设备UPS电源开关;打开电脑UPS电源开关，正常显示为“ON Line”的状态，启动触摸屏;3.1.4 打开设备UPS电源开关，V,4F7及，V,4F8;打开，V,F开关(24V in general CMS)，以及相对应的加热开关(，V1,S1、，V2,S1、，V3,S1、，V4,S1)。
打开24V电源控制开关;3.1.5 打开CESAR控制开关。
检查每根炉管的状态，正常状态为:Tube,ready，Life,ready，Door=closed，PLC=ok，SLS=up，TGA free=Yes;将炉管温度设置为450? (Manual T-Paddle All Set point,450);3.1.6 待炉管内的温度高于400?时，便可进行生产。
3.2关机3.2.1 降温，确保每个炉管的温度降至100?以下。
,20? Manual T-Paddle All Setpoint3.2.2 将炉管内的压力设置为最小。
Manual Vacuum Tube Pressure,Minimum3.2.3 打开大氮开关，向炉管内充氮气;Atmpress>1000mbar时，关闭大氮阀门。
1.目的确保管式PECVD处于良好的运行状态。
2.使用范围适用于所有Centrotherm管式PECVD。
3.生产操作3.1开机3.1.1开总电源。
用手扳住电柜外部的红色按钮，旋转9()度。
从“OFF”位置拔向“ON”位置，机器上指示灯亮VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。
注意，当机器出现故障，按下急停键后，首先松开急停键，然后将开关逆时针转到Reset的位宜，然后再顺时针转到“ON”的位置。
机器上指示灯亮VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。
3. 1.2开真空泵。
(1) 合上真空泵电源，按卜jesct按钮，start按钮亮，然后按卜• start按钮，pre run按钮亮，此时真空泵启动，当真空泵运行到止常转速时，vacuum mode灯亮，此时真空泵完全启动。
3. 1.3检查外围条件。
N2的压力〉2. 5Kg/cm 2, SiH4的压力约为1. 5 Kg/cm 2, NH3的压力约为1. 5Kg/cm-, CDA 的压力为5〜7 Kg/ cm 2 o炉门处的冷却水流量计＞4SLM,设备炉体区顶部的冷却水流量计＞4SLM,主冷却器＞8SLM,设备尾部的冷却水 流量计＞4SLM,射频电源的总冷却水流虽计＞18SLM.3. 2界面操作（1） 启动CM 【程序。
开总电源后计算机自动启动。
输入密码“6065”后自动进入Windows 桌面。
用鼠标左键双击“CM1”图标，启动CM1。
（2） 进入CMI 画而，检查设备状态：SLS=UP （舟处于上位），DOOR 二CLOSED （门处于关紧状态），PIQOK , LIFT 二READY（机械壁必 须在零位）,TUBE 二READY （炉管处于准备好状态）SET/ACT POSITION 二0 （桨处于原点位），PROCFLAG 二0K （程序标志位0K 状态）3. 2. 1选择工艺程序，生产。
（1） 插片。
用小车承载石墨舟，在插片房屮插满硅片。
（2） 向机器进车。
石墨舟清洗机保养作业流程和安全注意事项。
石墨舟清洗机是半导体制造工艺中用于清洁PECVD（等离子增强化学气相沉积）设备所使用的石墨舟的重要设备。
保养作业流程及安全注意事项如下：石墨舟清洗机保养作业流程：1. 准备工作：清洁工作区域，确保无尘环境。
检查电源、水源和气体供应是否正常。
佩戴好防护装备，如防静电手套、防化学品护目镜、防尘口罩等。
2. 设备检查：检查石墨舟清洗机的机械部件是否有磨损或损坏。
检查电气控制系统、温控系统以及压力调节装置是否正常运行。
3. 拆卸与装载石墨舟：根据规程将待清洗的石墨舟放入清洗槽内，确保位置正确且固定稳固。
4. 清洗操作：设置清洗程序，包括清洗剂种类、温度、时间、循环次数等参数。
开始清洗过程，可能涉及酸洗、碱洗、超声波清洗及纯水漂洗等多个步骤。
5. 冲洗与干燥：清洗完毕后用大量去离子水彻底冲洗石墨舟，去除残留清洗剂。
使用烘干程序或者自然晾干方式使石墨舟达到干燥状态。
6. 维护保养：更换滤网：定期更换清洗设备内部的过滤网，保证清洗液的纯净度。
清理腔体：按照规程对设备腔体进行清理，避免积垢影响效果。
检查泵体功能：确认气动隔膜泵或其他输送泵的工作状况，并在必要时进行维护或更换。
润滑和紧固：对所有运动部件进行润滑处理，紧固松动的螺丝。
7. 记录与审核：记录每次清洗及保养过程中的重要参数及结果，便于追溯和质量控制。
审核保养情况，由操作人员和监督人员签字确认。
安全注意事项：在整个过程中严格遵守ESD（静电放电）防护措施，防止静电损害精密设备。
使用化学品时应确保良好的通风条件，避免直接接触皮肤和眼睛，若不慎接触立即用清水冲洗并就医。
在设备运行过程中严禁触碰运动部件，以防夹伤。
设备停用后应及时关闭电源和水源，防止意外开启。
清洗后的废液要妥善收集，按照环保法规要求处理，不得随意排放。
执行任何维修或保养工作前，必须先切断设备电源，并悬挂“正在维修，禁止启动”等警示标识。
PECVD石墨舟清洗及使用维护新舟的接收:打开包装前须检查外包装是否完好、石墨舟是否完整;外观、舟片及陶瓷组件是否有裂纹或断裂;组件有无缺失。
发现外包装变形或损失以及上述问题的产品应及时联系供应商。
舟的清洗:1.新舟在第一次使用前建议使用去离子水+氢氟酸(体积比10%)溶液进行清洗约3-5小时;再用去离子水进行漂洗8-12小时;直到确认舟体没有酸性成分。
可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟,以确认清洗结果。
然后按照要求进行烘干。
2.使用后的石墨舟的清洗:上海弘竣的石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。
建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液,分三个轮次来清洗,每次4-5小时;并在浸泡清洗过程中进行周期性氮气鼓泡,加半小时左右的冲洗;注意:鼓泡不建议直接使用空气作为气源。
酸洗后用纯水漂洗10小时左右,并确认舟体已经彻底清洗干净。
请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点与舟片结合处、以及其他部位是否还有氮化硅的残存。
然后按照要求进行烘干。
清洗注意事项:A)由于氢氟酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性,对操作人员有一定的危险性。
因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护,并进行专人管理。
B)建议在清洗时将舟拆开只对石墨部件进行清洗,这样能将各个接触部位清洗得更彻底。
目前国内很多厂家采用整体清洗,虽然方便,但由于氢氟酸对陶瓷组件有一定的腐蚀性,整体清洗会缩短相应组件的使用寿命。
舟的烘干:1.建议使用有定时功能和循环排风的烘箱,这样烘烤的水蒸汽可直接被抽调,以避免水蒸汽因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。
2.清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间,确保舟表面没有水滴或水痕,再放进烘箱,请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘箱。
3.将烘箱温度设定在100-120摄氏度,运行和保持时间为10-12小时,可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。
PECVD石墨舟清洗及使用维护舟的预处理(饱和):进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。
1. 项目背景
PECVD背膜工序卡点烧焦一直呈现上升趋势，平均在250PCS/班，有时会达到500pcs/班，持续产生。
2.原因分析
① A点卡点烧焦卡点槽位有异物，融硅、碎片等没有清理干净，卡点寿命到期；
② B点卡点烧焦a. 卡点槽位有异物，融硅、碎片等没有清理干净，卡点寿命到期；b. 点位高度太高，硅片下落时有碎屑产生；
③ C点卡点烧焦：a. 卡点槽位有异物，融硅、碎片等没有清理干净，卡点寿命到期；b. 点位高度太高，硅片下落时有碎屑产生；c. 硅片没有完全卡入卡点，放电时瞬时电流会击穿硅片；
④共性RF电源瞬时电流过大击穿或者融化硅片。
⑤鱼骨图分析
3. 石墨舟清洗
工艺、设备一起针对卡点烧焦可能产生的化学、物理机制，针对硅片载体石墨舟清洁这块做了细致分析，最终决定从洗舟工艺四个方面进行改善。
4. 射频电源改善
捷佳伟创背膜设备配备国产汇鑫电源，北方华创镀膜设备配备进口AE 电源，经过多次实验，不断的更换电容电阻，来匹配占功比，在不影响产品膜厚和折射率的情况下，降低射频电源的电流得到改善。
5. 电极头改善
改善电极头设计，保证与石墨舟接触良好均匀。
6. 卡点烧焦趋势
卡点烧焦降低碎片率，由250PCS/班降至35PCS/班，每班减少碎片215pcs，提高网版寿命，丝网四道网版寿命由原来的59662提升至107405。
Pecvd石墨舟工艺维护方法最佳答案1，批次与批次之间不满舟如何？不满舟会有什么结果？上一批不满一舟用下一批次填满，并分别记录区分开来。
不满舟进行工艺，没有硅片的舟片上会沉积SIN膜，石墨舟物理性质下降，会产生红片，色差片等。
2，一区二区流程卡如何对接，数量如何确认？刻蚀通过传送箱流入的合格品，当场清点数量即可。
3，石墨舟工艺要求的清洗周期、刻蚀周期？预处理的方式有几种不同？预处理不合格返工片多如何处理？石墨舟运行120-150次需刻蚀，刻蚀满6次需清洗预处理方式预处理方式：NEW BOAT PRZ 新舟插上硅片预处理AFTETCH PRZ 舟刻蚀后没插硅片预处理AFTETCH PRZ 舟刻蚀后插硅片预处理预处理后返工片多，加工艺时间，若还不行，需进行拆洗。
4，刻蚀、清洗、预处理的整个流程？当石墨舟运行120-150次：满6次刻蚀-拆洗-烘干-预处理不满6次刻蚀-刻蚀-预处理5，色差片产生的几种原因？清洗、刻蚀工序减薄量不稳定石墨舟物理性质下降（SIN沉积过多）镀膜时间不同微波峰值不稳定（设备原因）6，色斑批片产生的原因？硅片表面清洗不干净扩散间偏磷酸滴漏清洗、刻蚀、风刀没吹干或堵塞7，检验标准？（色差、色斑片的判定标准）以QC为准8，每台机的石墨舟配置标准？小车的配置是怎样的？每台机石墨舟标准配置7个，为正常轮转生产，小车配置4个。
9，为什么会出现舟浆分离？石墨舟电极放反，SLS浆在炉管中较长时间未出，导致变形，检查要到位，及时观察。
10，镀膜的整个过程。
工艺开始-充氮-进舟-浆降至低位-浆在低位退出-管内抽真空并进行管内压力测试-通过高频电源用NH3预清理和检查-清洗管路-测漏-恒温-高频电源用NH3预清理-镀膜-结束镀膜-抽真空及测试压力-清洗管路-将管内剩余NH3、SH4抽走、防止与空气接触爆炸-充氮-浆在低位进入炉内-SLS移至高位-退舟-结束工艺12，备用舟的管理。
一条线总共20个舟，14个生产，6个备用，备用舟不使用时应保存在相应的石墨舟柜内。
13，PECVD每条线每个班要求的产量，在制品要求的上下限，工艺允许在制品的等待时间是多长。
另外要求刻蚀保证的在制品数量是多少。
产量13500，留丝网在制品4000PCS左右，刻蚀流入在制品1800PCS左右。
14，工艺重点参数膜厚：100nm 折射率：2.0镀膜的好坏，一般情况下是根据膜的颜色来判断的。
正常膜面为淡蓝色，当膜偏厚时颜色会发白，偏薄时颜色会发红因PECVD制程只能通过调节时间来控制膜厚，所以膜面质量的改善很大一部分需要从前站来改善。
绒面偏大时，膜的沉积速率变大，反之变小。
镀膜时间偏长，膜面发白，镀膜时间偏短，膜面发红。
丝网印刷：1，浆料的管理？产线每天只领用一天的用量，由岗位专员根据产线的库存提供领用量给物料员并开单，物料员负责领料交给岗位专员，岗位专员补齐现场本班的用量，然后将下一班的用量放在生产线存放区域，由陈普做账2，目前使用的有哪几种浆料，分别搅拌时间？目前使用的浆料有PV147银浆（第三道），CN-334 462银浆（第一道），也有PV141银浆，但不用。
铝浆R*8（第二道）（6080-15Q；6080-15L现不用）如果突然丝网做到来料加工的片子，浆料如何使用？银浆搅拌24小时以上，铝浆搅拌半小时以上，搅拌速度要求。
3，各道印刷重量标准？第一道：0.12±0.02g（共18个背电极）第二道：1.5±0.12g 第三道：0.2±0.02g 每瓶2KG，都是搅拌一瓶用一瓶，其中第一道两天使用三瓶半；第二道每个班使用20瓶左右，第三道每天使用3瓶左右。
陈普第二天发两次，上午9点一次，下午16：00一次。
4，断栅连栅的区别？断栅不超过六根或其中任何一根不超过两毫米都属于A级片和连栅的区别不大。
5，每个烘箱温度？速度，时间。
共有58只托盘，转一圈的时间都在10分钟左右，必须大于8分钟。
第一个烘箱的温度分别为：100℃120℃140℃160℃第二个烘箱的温度分别为：140℃160℃180℃200℃6，丝网印刷参数调整的允许范围？丝网间距：-1200 um~ -1500um刮刀深度：-1300 um~ -1800um压力：66-72N印刷速度：200-240Sec7，外加工不需要印刷STP时是如何实现的？封网浆的作用？如何去除封网浆。
将网版上的STP用封网浆堵实，封网浆的作用是封有漏洞的网板，即补网版，在网版干燥后使用，去除封网浆用清水擦拭即可。
8，松油醇的作用？为什么只在第三倒使用？松油醇用来擦拭网版，第三道正电极经常断线（断线分两种，一种是网版上有异物，另一种是网版被浆料堵住，有网版经常堵网，所以要使用松油醇，对浆料有很好的溶解作用），所以用来擦拭，第三道停下来超过3分钟必须进行擦拭。
松油醇主要是用来擦拭网版的，片子或断栅，以及网版的清洗都是用乙醇。
9，断线、粗点、虚印的产生原因、控制方法、检验标准？第二道台面不干净，或网版上有干浆料掉在台面上印刷烘干后引起的铝粉会造成断线，或第三道网板上有脏东西也会有断线，网板张力不够或参数调整会造成粗点，虚印。
另外，第二道易干，如果不均易产生颗粒。
控制方法：勤擦以面，多注意印刷质量，合理调整参数控制，另外，5-10分钟之间看一次印刷的效果，一次连续看5-10片。
10，压版如何判定？如何避免？出现同样的碎片，或每四片有一片有一样的隐裂可以判定为压版。
（对印刷后的片子中央及四周轻轻的敲击，看有无异常，因为细小的压版可能要到烧结后才能体现，这样压版的量是非常大的）避免：勤擦台面，多注意上料的片子是否有碎片，台面纸经常更换，保持台面平整。
（碎片千万不能掉进正在印刷的浆料中，那是最头疼的事，也是最不容易被发现的）11，网版使用寿命，领用注意事项？第三道A版使用寿命为3万，第一道B版10万，第二道C版5万，领用时注意型号不要领错。
（只针对156多晶），刮条与网版寿命同样。
12，报废后如何处理？网板报废后要有网板使用寿命单，对网版寿命不到就更换的需经过工艺签字。
更换下来的网版（未到报废要求的）如何处理？机器长时间不印刷如何进行预防漏浆操作，印刷模式需要如何更改？13，烧结炉的温度？速度，时间。
6个温区：500℃520℃550℃570℃800℃802℃，根据片子厚度，工艺会做调整，速度为4600MM/MIN。
14，为什么浆料不能混用，会产生什么严重后果？（注意铲刀、刮刀头未清洗干净不能混？）浆料混用后会严重影响片子的电性能，转换效率，所以浆料不能混用，铲刀，刮刀头每次都必须擦拭干净。
15，要求PECVD到丝网的在制品数量是多少？一般在4000-5000PCS左右，最少3000PCS，一般根据实际情况来看。
丝网的产量平均每小时为1200-1380PCS左右，总产量要求每个班13000PCS，生产一个产品的时间为2.7S。
16，丝网印刷工序违规动作：徒手不可接触任何机器设备上料盒托住底部停机后才可以取片不可徒手随意打开设备，设备在维修时才可以打开丝网下料，注意一次只可取一片17，丝网印刷参数调整原则印刷方式：1. 不刮桨料交替印刷2. 不刮桨料每片印刷两次3. 先印刷后刮桨料4. 先刮桨料后印刷网版：网版间距：网版与印刷平台之间的距离。
（以印刷平台为0参考点，平台上方为负方向，网版正常停止时间距Spec: -3000um，印刷时间距Spec:-900~-1300）网版间距调整原则：在保证质量的前提下，网版间距越小越好，太小易沾版或模糊不清。
太大易印刷不良和损坏网版。
刮条：刮条深度：刮条印刷时使网版面下降的距离。
（以网版面为0参考点，网版下方为负方向。
网版正常停止时的位置Spec: 5000um,印刷时的位置为：Spec: -900~-1300um）。
刮条深度和压力（Spec:50~70N）调整原则：在保证印刷质量的原则下，刮条下降深度与压力越小越好，刮条下降过深或压力太大，易碎片和损坏网版，刮条下降深度不够或压力太小易印刷不良或沾版。
印刷速度：150~300mm/s 刮桨料速度：450mm/s丝网印刷时遵循以下原则：刮条压力&刮条深度与桨料下漏量成反比，丝网间距&刮条速度与桨料下漏量成正比。
18，各种流程的作用及常见异常丝网印刷是通过刮条挤压丝网弹性形变后将浆料漏印在需要印刷的材料上的一种印刷方式。
1. 背电极印刷背电极作用：用于组件时焊接用。
125硅片有2根背电极，156硅片有3根背电极，其中多晶为分段类型的，而单晶为整条类型的，更换网版时必须校正网版位置，使两侧的背电极距离Si片边缘基本相同.2. 背电场印刷作用：钝化硅本体，提高电池开路电压（在工艺范围之内，背电场越厚越好）常见异常：A. 铝珠：如果是因为烧结所致，就调节3、4区温度；但若是铝珠分布在履带顶针四周，可考虑是否为履带过脏，或是顶针磨损所致，此时需要清洗履带，严重时可以考虑更换履带；另外，铝珠的产生也可能是由于二道印刷过厚导致，那么可以在不影响电性能的情况下，减轻二道印刷重量。
B. 铝苞：a. 前道清洗减薄量大，使绒面过大，易产生铝苞。
b. 背电场印刷的太薄，刚换过网版未及时控制好背场印刷重量，易产生铝苞，此时只需控制好印刷参数和印刷重量就可以解决。
c. 网版的小洞破损导致铝苞。
看洞的破损情况，如果可以用胶带修补，且试做OK后可正常生产，若修补无效须更换网版.d. 粘板：三个参数同时增大，降低速度3. 正电极印刷作用：收集电流156硅片副栅线有78根，主栅线有3根125硅片副栅线有62根，主栅线有2根注意事项：正电极需返工的硅片，在擦拭后应该正面对正面叠放。
正反面一起叠放时背电场铝桨会粘到正电极上，从而影响转换效率.常见问题：A：断线：当网版被堵时，桨料无法下漏所至，只需擦拭网版即可B：虚印：增大压力，刮刀深度，降低丝网间距C：粗点：加大丝网间距，减小刮刀深度和压力，加大印刷速度。
刮刀刚下去粗点，减小刮刀深度。
刮刀刚上去粗点，加大丝网间距。
4. 烘干炉作用：去除桨料中的有机物质。
5. 烧结炉作用：让上下电极行成良好的接触，提高转换效率。
炉内气氛是在N2的保护情况下进行烧结的，烧结温度主要是通过影响RS&RSH来提高转换效率的.常见问题：a. 烧结不透：将主烧结区5、6区温度适当加大3度左右，测试后看电性能，如果没有达到理想的烧结效果可对其进行再优化。
b. 烧穿：根据烧结后的测试数据，降低烧结5、6区温度，然后再进行测试，直到烧结正常。
上海弘竣实业有限公司QQ112282859。
