石墨舟的清洗及保养

PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。

本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。

一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。

2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。

注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。

3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。

根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。

为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。

如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。

漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。

当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。

当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。

注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。

4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。

注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。

烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。

二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。

将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。

石墨舟清洗方法包括以下步骤：
1.打开酸槽排水阀，待废酸排尽，用水枪对酸槽进行冲洗。

2.关上阀门，将石墨舟放进酸槽中，打开进水阀门，往酸槽里
放入纯水直到水能够淹没石墨舟为止，关闭水阀。

然后在酸槽加入HF酸（4瓶），把清洗机的窗户关好，开始清洗（要在酸中浸泡6个小时左右）。

清洗过程中戴好防酸碱手套，将石墨舟从酸槽中取出查看是否清洗干净，如果到时间还未洗干净，再继续清洗，直到干净为止。

3.清洗干净之后，放入水槽，用水枪冲洗后关上排水阀，放水，
以水没过舟为准，漂洗一般需2个小时。

4.清洗完毕后，将石墨舟从水槽中取出，用气枪吹掉表面明显
的水珠。

5.将石墨舟抬入专用烘箱，关上烘箱门锁紧；打开电源开关—
风机开关—升温开关—报警开关；温控表设定温度80度。

石墨舟在烘箱烘干6—8小时（经过测试石墨舟在烘箱烘干后与使用前的石墨舟无差别方可取出）。

6.设定温度20度，一般降温半个小时烘箱里的石墨舟达到常
温，可以取出。

7.将石墨舟上的所有螺母扭紧并检查石墨舟所有的陶瓷件，需
要更换工艺点的石墨舟，取出后需要入维修间专用货架等待维修。

石墨舟清洗机保养作业流程和安全注意事项。

石墨舟清洗机是半导体制造工艺中用于清洁PECVD（等离子增强化学气相沉积）设备所使用的石墨舟的重要设备。

保养作业流程及安全注意事项如下：石墨舟清洗机保养作业流程：1. 准备工作：清洁工作区域，确保无尘环境。

检查电源、水源和气体供应是否正常。

佩戴好防护装备，如防静电手套、防化学品护目镜、防尘口罩等。

2. 设备检查：检查石墨舟清洗机的机械部件是否有磨损或损坏。

检查电气控制系统、温控系统以及压力调节装置是否正常运行。

3. 拆卸与装载石墨舟：根据规程将待清洗的石墨舟放入清洗槽内，确保位置正确且固定稳固。

4. 清洗操作：设置清洗程序，包括清洗剂种类、温度、时间、循环次数等参数。

开始清洗过程，可能涉及酸洗、碱洗、超声波清洗及纯水漂洗等多个步骤。

5. 冲洗与干燥：清洗完毕后用大量去离子水彻底冲洗石墨舟，去除残留清洗剂。

使用烘干程序或者自然晾干方式使石墨舟达到干燥状态。

6. 维护保养：更换滤网：定期更换清洗设备内部的过滤网，保证清洗液的纯净度。

清理腔体：按照规程对设备腔体进行清理，避免积垢影响效果。

检查泵体功能：确认气动隔膜泵或其他输送泵的工作状况，并在必要时进行维护或更换。

润滑和紧固：对所有运动部件进行润滑处理，紧固松动的螺丝。

7. 记录与审核：记录每次清洗及保养过程中的重要参数及结果，便于追溯和质量控制。

审核保养情况，由操作人员和监督人员签字确认。

安全注意事项：在整个过程中严格遵守ESD（静电放电）防护措施，防止静电损害精密设备。

使用化学品时应确保良好的通风条件，避免直接接触皮肤和眼睛，若不慎接触立即用清水冲洗并就医。

在设备运行过程中严禁触碰运动部件，以防夹伤。

设备停用后应及时关闭电源和水源，防止意外开启。

清洗后的废液要妥善收集，按照环保法规要求处理，不得随意排放。

执行任何维修或保养工作前，必须先切断设备电源，并悬挂“正在维修，禁止启动”等警示标识。

石墨舟清洗及使用维护舟的清洗:1: 新舟在第一次使用前建议使用去离子水+10%（体积比）的氢氟酸进行清洗约3~5小时；再用去离子水进行漂洗8~12小时；直到确认舟体没有酸性成分，可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟，以确认清洗结果。

然后按照要求进行烘干。

2：使用后石墨舟的清洗：SHF的石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。

建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液，分三轮次来清洗，每次4-5小时，并在浸泡清洗的过程中进行周期性氮气鼓泡，加半小时左右的清洗；注意：鼓泡不建议直接使用空气作为气源。

酸洗后用纯水漂洗10小时左右，并确认舟已经彻底清洗干净，请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点和舟片结合处、以及其它部位是否还有氮化硅的残余。

然后按照要求进行烘干。

清洗注意事项：A）由于HF酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性，对操作人员有一定的危险性。

因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护，并进行专人管理。

B）建议在清洗时将舟拆开后只对石墨部位进行清洗，这样能将各个接触部位清洗的更彻底。

目前国内很多厂家采用整体清洗，虽然方便，但由于HF酸对陶瓷部件有一定的腐蚀性，整体清洗会缩短相应部件的使用寿命。

舟的烘干：1、建议使用有定时功能和循环排风的烘干箱，这样烘烤的水蒸气可直接被抽掉，以避免水蒸气因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。

2、清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间，确保舟表面没有水滴或水痕，再放进烘干箱。

请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘干箱。

3、将烘干箱温度设定在100-120摄氏度，运行和保持时间为10-12小时，可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。

舟的预处理（饱和）：进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。

建议预处理（饱和）正常时间在200-240分钟；随着石墨舟清洗次数的增多及时间的增加，其饱和时间需要相应延长。

建议不在空舟状态下进行预处理，最好装上假片或废片；虽然操作程序较长，但可缩短预处理时间，并可延长舟的使用寿命。

石墨舟的使用和清洗流程I. 简介石墨舟是一种常用于化学实验室中的实验仪器，用于加热试管、烧瓶等容器的工具。

它具有高温稳定性、加热均匀性好等特点，因此被广泛应用于化学实验中。

本文将介绍石墨舟的使用和清洗流程。

II. 石墨舟的使用流程使用石墨舟需要注意以下几个步骤：1.准备工作–检查石墨舟的表面是否有划痕或损坏，如有，不得使用。

–检查石墨舟的清洁度，如有污垢，应先清洗再使用。

2.将样品放入石墨舟–将待加热的试管或烧瓶等容器稳固地放在石墨舟中心位置。

–确保容器与石墨舟的接触面积大，以提高加热效果。

3.设置加热温度–根据实验需要，选择适当的加热温度。

–打开石墨舟的控温面板，根据指示设置加热温度。

4.加热样品–将石墨舟接通电源，启动加热过程。

–观察样品的加热情况，确保加热过程稳定和均匀。

5.注意安全–加热过程中，注意手部远离石墨舟表面，以免烫伤。

–使用工具时，注意石墨舟的高温，避免碰撞和损坏。

III. 石墨舟的清洗流程石墨舟在使用完毕后需要进行清洗，以下是清洗流程的具体步骤：1.关闭电源–在清洗前，先将石墨舟断电，确保清洗过程的安全。

2.倒去残留液体–将石墨舟倾斜，将残留液体倒入废液容器中。

–注意不要将液体倒到其他地方，以免造成污染。

3.温水清洗–将石墨舟放在水槽中，用温水冲洗石墨舟的内外表面。

–使用软毛刷轻刷石墨舟的表面，去除顽固的污垢。

4.水龙头清洗–打开水龙头，让水流冲洗石墨舟，确保石墨舟表面干净。

5.酸洗–准备稀盐酸溶液，浸泡石墨舟10-15分钟。

–将石墨舟放入酸洗溶液中，用搅拌棒轻轻搅拌。

–定期检查酸洗溶液的pH值，确保清洗效果。

6.水洗–将石墨舟取出，用大量的清水冲洗。

–多次清洗，直到酸洗液全部冲洗干净。

7.干燥–将石墨舟放在通风处晾干，或用纸巾擦干。

8.检查–检查石墨舟的清洗情况，确保没有残留污垢。

IV. 注意事项在使用和清洗石墨舟时需要注意以下事项：•在使用前，检查石墨舟的表面是否有损坏，并保持清洁。

石墨舟清洗机操作方法石墨舟清洗机是一种常用于实验室清洗的设备，它能够快速高效地清洗石墨舟，减轻实验人员的工作负担。

下面将为您详细介绍石墨舟清洗机的操作方法。

1. 设备准备首先，确保石墨舟清洗机已经接通电源，并与水源连接良好。

检查水管和电源线有无异常，确保设备正常工作。

同时，确保设备的底部没有杂物，保持清洁。

2. 加入清洗液在开始清洗之前，需要将清洗液倒入石墨舟清洗机的清洗槽中。

一般来说，我们可以选择使用酸性或碱性清洗液，具体使用哪一种清洗液，可以根据具体的需求来确定。

在加入清洗液之前，需要确保清洗槽没有污渍和杂质，以免影响清洗效果。

3. 调节清洗时间和温度根据具体的需要，我们可以调节石墨舟清洗机的清洗时间和温度。

一般来说，较短的清洗时间和较高的清洗温度能够取得更好的清洗效果。

但是，需要根据具体的清洗对象来确定，以防止石墨舟被损坏或者清洗不干净。

4. 放入石墨舟当准备工作完成后，我们可以将需要清洗的石墨舟放入石墨舟清洗机的清洗槽中。

放入石墨舟时，要注意确保石墨舟的正确认放，以免在清洗过程中发生倾倒或者碰撞，造成石墨舟损坏。

5. 开始清洗当石墨舟放入清洗槽中后，我们可以按下石墨舟清洗机的启动按钮，开始清洗。

在清洗的过程中，我们需要注意观察，确保清洗的效果。

如果发现清洗液不够或者需要更换清洗液，可以按下停止按钮，进行相应的操作。

6. 清洗完成当清洗时间到达设定的时间后，石墨舟清洗机会自动停止。

此时，我们可以取出已经清洗完成的石墨舟。

取出石墨舟时，要小心操作，避免石墨舟倾覆或者受伤。

7. 清洗槽清理在清洗完成后，需要对石墨舟清洗机的清洗槽进行清理，以保持设备的清洁。

可以倒掉清洗液，并用清水彻底冲洗清洗槽，清除残留的污渍和清洗液。

同时，还要检查设备的其他部位，如输液管路和过滤器等，确保其干净无污渍。

8. 关闭设备当一次清洗任务完成后，我们需要将石墨舟清洗机关闭，并断开电源和水源。

同时，还要将各个部件归位，并进行必要的维护工作，如清洗和擦拭清洗机的外壳，检查设备是否有损坏或者松动的部位，及时进行维修和更换。

清洗石墨舟的工艺原理清洗石墨舟的工艺原理主要包括物理清洗和化学清洗两个方面。

1. 物理清洗原理物理清洗是指利用物理力学原理和工艺设备进行清洗的过程。

其原理主要包括以下几个方面：(1) 溶解污垢：通过在清洗过程中使用溶解剂，将石墨舟表面的污垢溶解或软化，以便更好地去除。

(2) 摩擦力：通过机械刷或喷枪等工具，运用摩擦力对石墨舟表面进行刷洗或冲洗，以去除粘附在表面的污垢。

(3) 冲击力：利用冲洗水流或气流，使其以一定的速度和压力对石墨舟表面进行清洗，以清除表面的污垢。

(4) 梯次法则：根据不同的清洗工艺和要求，按照一定的顺序和步骤，进行清洗工作。

比如先采用强力清洗，再进行中度清洗，最后使用弱酸或碱性介质进行清洗，以达到最佳清洁效果。

2. 化学清洗原理化学清洗是指通过化学药剂对石墨舟表面进行溶解、活化、去除污垢的过程。

其原理主要包括以下几个方面：(1) 溶解作用：利用酸、碱、盐等化学药剂与污垢发生化学反应，溶解部分表面污垢，如酸性溶液可溶解金属氧化物和有机物等。

(2) 氧化反应：在清洗过程中，一些高效的清洗剂能与污垢表面发生氧化反应，彻底去除污垢，如氧化酶清洗剂等。

(3) 扩散效应：化学清洗剂在清洗过程中，通过扩散作用将溶解的污垢带走，使得污垢与金属表面分离，达到清洁的效果。

(4) 离子交换：化学清洗剂中的一些化学物质可与污垢表面的离子发生离子交换反应，将污垢离子溶解或去除。

总的来说，清洗石墨舟的工艺原理是通过物理力学和化学作用将污垢从表面溶解、摩擦、冲洗等方式去除，在保证石墨舟表面不受损害的前提下，达到清洁、干净的效果。

不同的清洗工艺和药剂的选择会根据具体的石墨舟材质、污垢性质和清洗要求等不同因素进行选择和调整。

⽯墨⾈清洗、烘⾈⼯艺说明书exact深圳市捷佳伟创微电⼦设备有限公司Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd⽯墨⾈清洗、饱和⼯艺说明书⼀、清洗⼯艺：1、配液：HF浓度⼤约为15%~20%。

2、酸洗：酸浸泡6~8 ⼩时，每1⼩时设定⿎泡5~6分钟。

3、⽔洗：⽤清⽔透，3~4⼩时，常时间不停地⿎泡，每1⼩时换⽔⼀次。

(⽤PH试纸测试，⽆酸中和后将清⽔排掉。

)4、吹扫：⽤N2或CAD将⽯墨⾈表⾯⽔分吹扫。

5、烘⼲：烘箱设定温度100℃~150℃，烘⼲时间⼀般为8~10⼩时。

⼆、烘⾈⼯艺：（附图为右⼿机烘⾈⼯艺，为外控温）三、饱和后异常现象：1、陶瓷杆灼伤痕迹2、局部外层灼伤痕迹以上两种异常灼伤现象都是由饱和⼯艺温度过⾼引起，建议将其局部温度减少30~40度，由于饱和⼯艺时间周期较长，如果温度设定太⾼的话，⽯墨⾈就会被灼伤。

串级控温的设备做饱和⼯艺时温度设定为：炉⼝440、430、420、420、420炉尾。

⼀般情况下，外控温的设备做饱和时温度设定为：炉⼝460、450、440、440、440炉尾。

（外控温要根据实际拉恒温区温度来设定，建议温度不宜过⾼。

）四、⾊差⽚分析1、⽯墨⾈卡点损坏：⽯墨⾈卡点使⽤寿命⼀般为3~5个⽉，当⼤量产⽣⾊差⽚，更改清洗、饱和⼯艺后，都⽆明显改善，请及时更换⽯墨⾈卡点。

2、⽯墨⾈与电极杆接触不好：应定期检查⽯墨⾈与电极杆接触的位置，检查电极头是否灼伤、变形，⽯墨⾈电极孔也应定期⽤⼲燥的⽆尘布擦抹。

3、⽯墨⾈损坏：检查⽯墨⾈陶瓷杆、⽯墨杆螺母是否松动，检查⽯墨⾈⾈⽚是否损坏。

4、管内碎⽚：管内有⼤量的碎⽚也会产⽣许多⾊差⽚，它会导致管内⽓体流通障碍，影响其均匀性，有时还会导致⽯墨⾈瞬间短路，建议⼀个星期清理⼀次炉管碎⽚。