石墨舟控制管理规定

石墨设备安全操作规程范本第一章总则第一条为了确保石墨设备的安全使用，保障人员的生命安全和财产安全，制定本规程。

第二条本规程适用于所有使用石墨设备的人员，包括操作人员、维修人员等。

第三条所有使用石墨设备的人员必须遵守本规程，并接受必要的安全培训。

第四条对于发现安全隐患或存在不安全行为的人员，应立即报告相关部门。

第五条石墨设备操作人员必须经过相关岗位培训，并获得相应岗位证书方可上岗操作。

第六条本规程由石墨设备管理部门负责制定、实施和更新。

第二章设备操作安全规程第一条石墨设备操作人员必须熟悉设备的结构、性能和操作流程，严禁未经培训的人员擅自操作设备。

第二条操作人员在操作设备前应对设备进行检查、清洁，确保设备处于正常工作状态。

第三条操作人员在操作过程中严禁穿着宽松衣物、长发、项链、手镯等会影响安全的物品，操作过程中严禁吸烟、喧哗和嬉戏打闹。

第四条操作人员在操作过程中必须佩戴防护手套、护目镜、防护口罩等个人防护装备。

第五条操作人员在操作设备过程中，应按照操作规程的要求进行操作，严禁任意更改操作参数或操作程序。

第六条操作人员在操作结束后，应检查设备是否关闭、电源是否切断，并将设备进行清洁。

第三章设备维护安全规程第一条石墨设备维修人员必须具备相关专业知识和经验，并了解相关安全规程。

第二条维修人员在维修设备时应切断设备电源，并采取相应的安全措施，确保自身安全。

第三条维修人员在拆卸和更换设备组件时，应按照操作规程要求进行操作，并严禁随意更改设备的结构。

第四条维修人员在维修过程中发现设备存在故障或安全隐患，应及时报告相关部门，禁止强行修复或继续使用。

第五条维修人员在维修结束后，应对设备进行全面检查，确保设备处于安全、正常的工作状态。

第四章应急处置安全规程第一条发生设备故障、事故等紧急情况时，操作人员应立即切断设备电源，并采取相应的应急措施，确保人员的生命安全。

第二条发生火灾、泄漏等紧急情况时，操作人员应根据应急预案进行处置，并及时报告相关部门。

PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。

本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。

一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。

2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。

注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。

3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。

根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。

为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。

如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。

漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。

当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。

当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。

注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。

4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。

注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。

烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。

二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。

将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。

PECVD石墨舟清洗使用作业规程
为了更好的提升产品的质量，减少返工片；需要对石墨舟进行定期的保养和清洗。

清洗规程如下：
1- 清洗石墨舟的操作人员，上班第一时间询问工艺人员有哪些石墨舟是需要清洗的，在“石墨舟清洗使用签收表”表上记下超
过使用次数石墨舟。

当班负责清洗石墨舟的操作人员签字确
认。

2 -工序长上班交接后，到石墨舟柜处查看已超过使用次数的石墨
舟编号。

在当班生产前，通知设备人员将超过使用次数的石墨
舟拆下电极，然后送到清洗处清洗。

3 -清洗石墨舟前，要戴好防酸手套，防化服和防酸面具。

4 -把需要清洗的石墨舟要用44L HF（氢氟酸）清洗8个小时，然
后把酸排掉加水清洗2个小时；再把洗好了的石墨舟抬到烘干
箱烘8个小时。

5 -烘好后的石墨舟要到冷却房冷却，然后通知设备人员组装电极。

6 -组装好清洗后的石墨舟，清洗石墨舟的操作人员要将其舟号和清洗日期时间及时记录在“石墨舟清洗记录表”中。

7-把组装好的石墨舟抬到石墨舟存放柜的待镀舟处，工序长必须在“石墨舟清洗使
用签收表”相应的栏中签字确认。

8 -石墨舟在未到规定的使用次数，如果同一石墨舟连续两次出现的色差片数量超过5片、或者色差片数目累计超过15片，则立即停止该石墨舟的使用，并通知工艺人员查看原因。

该石墨舟能否继续使用，由工艺人员查看原因后，工艺人员根据实际情况来决定。

9 -为了确保石墨舟的正常循环使用，每次送至清洗的石墨舟数量为2个。

10-石墨舟的使用次数由工艺人员规定，严禁其他人员修改。

石墨舟清洗及使用维护舟的清洗:1: 新舟在第一次使用前建议使用去离子水+10%（体积比）的氢氟酸进行清洗约3~5小时；再用去离子水进行漂洗8~12小时；直到确认舟体没有酸性成分，可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟，以确认清洗结果。

然后按照要求进行烘干。

2：使用后石墨舟的清洗：SHF的石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。

建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液，分三轮次来清洗，每次4-5小时，并在浸泡清洗的过程中进行周期性氮气鼓泡，加半小时左右的清洗；注意：鼓泡不建议直接使用空气作为气源。

酸洗后用纯水漂洗10小时左右，并确认舟已经彻底清洗干净，请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点和舟片结合处、以及其它部位是否还有氮化硅的残余。

然后按照要求进行烘干。

清洗注意事项：A）由于HF酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性，对操作人员有一定的危险性。

因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护，并进行专人管理。

B）建议在清洗时将舟拆开后只对石墨部位进行清洗，这样能将各个接触部位清洗的更彻底。

目前国内很多厂家采用整体清洗，虽然方便，但由于HF酸对陶瓷部件有一定的腐蚀性，整体清洗会缩短相应部件的使用寿命。

舟的烘干：1、建议使用有定时功能和循环排风的烘干箱，这样烘烤的水蒸气可直接被抽掉，以避免水蒸气因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。

2、清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间，确保舟表面没有水滴或水痕，再放进烘干箱。

请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘干箱。

3、将烘干箱温度设定在100-120摄氏度，运行和保持时间为10-12小时，可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。

舟的预处理（饱和）：进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。

建议预处理（饱和）正常时间在200-240分钟；随着石墨舟清洗次数的增多及时间的增加，其饱和时间需要相应延长。

建议不在空舟状态下进行预处理，最好装上假片或废片；虽然操作程序较长，但可缩短预处理时间，并可延长舟的使用寿命。

石墨舟的使用和清洗流程I. 简介石墨舟是一种常用于化学实验室中的实验仪器，用于加热试管、烧瓶等容器的工具。

它具有高温稳定性、加热均匀性好等特点，因此被广泛应用于化学实验中。

本文将介绍石墨舟的使用和清洗流程。

II. 石墨舟的使用流程使用石墨舟需要注意以下几个步骤：1.准备工作–检查石墨舟的表面是否有划痕或损坏，如有，不得使用。

–检查石墨舟的清洁度，如有污垢，应先清洗再使用。

2.将样品放入石墨舟–将待加热的试管或烧瓶等容器稳固地放在石墨舟中心位置。

–确保容器与石墨舟的接触面积大，以提高加热效果。

3.设置加热温度–根据实验需要，选择适当的加热温度。

–打开石墨舟的控温面板，根据指示设置加热温度。

4.加热样品–将石墨舟接通电源，启动加热过程。

–观察样品的加热情况，确保加热过程稳定和均匀。

5.注意安全–加热过程中，注意手部远离石墨舟表面，以免烫伤。

–使用工具时，注意石墨舟的高温，避免碰撞和损坏。

III. 石墨舟的清洗流程石墨舟在使用完毕后需要进行清洗，以下是清洗流程的具体步骤：1.关闭电源–在清洗前，先将石墨舟断电，确保清洗过程的安全。

2.倒去残留液体–将石墨舟倾斜，将残留液体倒入废液容器中。

–注意不要将液体倒到其他地方，以免造成污染。

3.温水清洗–将石墨舟放在水槽中，用温水冲洗石墨舟的内外表面。

–使用软毛刷轻刷石墨舟的表面，去除顽固的污垢。

4.水龙头清洗–打开水龙头，让水流冲洗石墨舟，确保石墨舟表面干净。

5.酸洗–准备稀盐酸溶液，浸泡石墨舟10-15分钟。

–将石墨舟放入酸洗溶液中，用搅拌棒轻轻搅拌。

–定期检查酸洗溶液的pH值，确保清洗效果。

6.水洗–将石墨舟取出，用大量的清水冲洗。

–多次清洗，直到酸洗液全部冲洗干净。

7.干燥–将石墨舟放在通风处晾干，或用纸巾擦干。

8.检查–检查石墨舟的清洗情况，确保没有残留污垢。

IV. 注意事项在使用和清洗石墨舟时需要注意以下事项：•在使用前，检查石墨舟的表面是否有损坏，并保持清洁。

1. 目 的：规范石墨舟的使用全过程。

2. 适用范围：石墨舟的申购、使用、维护和报废。

3. 职 责：由设备部门负责管理。

4. 内 容：Centrotherm 管式PECVD 石墨舟。

4.1石墨舟的申购4.1.1为了保证正常的生产，生产线必须保有一定数量的石墨舟，（4管/台的配8只石墨舟，3管/台配6只石墨舟）。

一条新的生产中心配全石墨舟后由设备中心移交给生产中心,有各生产中心自己负责保管。

新设备进厂配备一定数量的石墨舟以供设备调试之用，通常每个炉管配备一只石墨舟，剩余的石墨舟由设备部门负责申购。

4.1.2石墨舟在使用过程中会有部分的石墨片会损坏，由设备部门负责记录并负责及时申购；对于人为损坏的石墨舟或舟片在申请增补时，由各中心提出申请有部门最高领导签字才能领取新的石墨舟或舟片，石墨舟维护人员负责安装；对于设备损坏的石墨舟或舟片在申购增补时必须有部门最高领导签字才能申请购买。

4.1.3石墨舟使用寿命快到期的前2个月由设备部门负责统计报废舟的数量，申购报废数量的石墨舟，并全程跟踪采购进度。

4.2 石墨舟的使用4.2.1新的石墨舟入库后由设备人员负责开箱，并检验石墨舟的完好情况，发现损坏立即照相并通知物料部相关人员联系厂家。

检验合格后给石墨舟编号，并建立使用档案 ，随后通知生产中心领取。

具体使用方法见《管式PECVD 设备操作规程》。

4.2.2 石墨舟编号定义： 4.2.2.1 编号方法说明J 1 –4.2.2.2石墨舟编号统一编写在石墨电极侧，石墨舟片由里到外依次编刻1-13。

4.2.2.3 石墨舟损坏后有新配片投入使用，必须在舟片刻上投入生产的日期，以便跟踪。

4.2.3 生产中心拥有舟的数量为4管/台的配8只石墨舟，3管/台配6只石墨。

设备部门拥有舟的数量为设备台数X2，用于清洗维护周转和备用。

4.2.4 设备部门每天下班前1.5小时把每天超时要清洗的石墨舟编号交给各中心工序长，工序长下班前必须把超时的石墨舟送至石墨舟清洗处，同时领取相同数量的石墨舟做预处理。

Pecvd石墨舟工艺维护方法最佳答案1，批次与批次之间不满舟如何？不满舟会有什么结果？上一批不满一舟用下一批次填满，并分别记录区分开来。

不满舟进行工艺，没有硅片的舟片上会沉积SIN膜，石墨舟物理性质下降，会产生红片，色差片等。

2，一区二区流程卡如何对接，数量如何确认？刻蚀通过传送箱流入的合格品，当场清点数量即可。

3，石墨舟工艺要求的清洗周期、刻蚀周期？预处理的方式有几种不同？预处理不合格返工片多如何处理？石墨舟运行120-150次需刻蚀，刻蚀满6次需清洗预处理方式预处理方式：NEW BOAT PRZ 新舟插上硅片预处理AFTETCH PRZ 舟刻蚀后没插硅片预处理AFTETCH PRZ 舟刻蚀后插硅片预处理预处理后返工片多，加工艺时间，若还不行，需进行拆洗。

4，刻蚀、清洗、预处理的整个流程？当石墨舟运行120-150次：满6次刻蚀-拆洗-烘干-预处理不满6次刻蚀-刻蚀-预处理5，色差片产生的几种原因？清洗、刻蚀工序减薄量不稳定石墨舟物理性质下降（SIN沉积过多）镀膜时间不同微波峰值不稳定（设备原因）6，色斑批片产生的原因？硅片表面清洗不干净扩散间偏磷酸滴漏清洗、刻蚀、风刀没吹干或堵塞7，检验标准？（色差、色斑片的判定标准）以QC为准8，每台机的石墨舟配置标准？小车的配置是怎样的？每台机石墨舟标准配置7个，为正常轮转生产，小车配置4个。

9，为什么会出现舟浆分离？石墨舟电极放反，SLS浆在炉管中较长时间未出，导致变形，检查要到位，及时观察。

10，镀膜的整个过程。

工艺开始-充氮-进舟-浆降至低位-浆在低位退出-管内抽真空并进行管内压力测试-通过高频电源用NH3预清理和检查-清洗管路-测漏-恒温-高频电源用NH3预清理-镀膜-结束镀膜-抽真空及测试压力-清洗管路-将管内剩余NH3、SH4抽走、防止与空气接触爆炸-充氮-浆在低位进入炉内-SLS移至高位-退舟-结束工艺12，备用舟的管理。

一条线总共20个舟，14个生产，6个备用，备用舟不使用时应保存在相应的石墨舟柜内。

石英舟使用管理规定1.目的石英舟为贵重、易碎的物品，为降低人为操作不当造成损坏特制订如下管理规定。

2.使用范围部门里所有涉及到使用、维护石英舟的人员。

3.定义无4.职责和权限制造部：对石墨舟的日常管理，清洗等。

5.流程无6.实施内容具体管理规定：6.1石英舟为易碎物品，操作的时候必须轻拿轻放；6.2石英舟上、下舟必须2个人配合进行操作；且在移动过程中两人要面对面水平移动；6.3在平时作业中不可用手或其它物品及工具敲打石英舟；6.4如石英舟使用到需要清洗时；由两名清洗人员轻轻抬上专用推车上；一人推推车；另外一人在旁边手扶石英舟以防止推车受到碰撞而损坏石英舟；6.5在将石英舟放在桨上准备进炉时要先确认好石英舟放置是否平稳并恰到固定位置；同时要注意避免和设备以及其他位置有碰撞的现象；6.6在取需要清洗石英舟途中遇到通门口时一人打开门并让门固定不要摆动而碰撞石英舟；并确定和两边门框没有接触后轻轻推过去；6.7在清洗过程请按照工艺提示单以及SOP规定作业，且特别注意在上舟到清洗机内清洗或清洗OK取出舟时在确认没有和清洗机有接触碰撞的可能性方可移动到指定放置台面上，且放置台面必须保持干净无水渍；6.8硅片扩散完成后，石英舟为高温状态，移动石英舟一定要佩戴耐高温手套；6.9在将石英舟放进洁净柜中是要先将洁净柜门打开；轻轻放进将要放进的层面上，并轻轻两边同时用力放到柜的最里面；6.10为保证扩散的质量，必须每15天对石英舟进行清洗一次；清洗完按照工艺提示规定做饱和工作；6.11对不按照规定进行石英舟操作的员工，一经发现将严肃处理；6.12石英舟每个班进行交接，如有异常情况必须12小时内报告到制造部经理；6.13如不按照上述规定作业的，而损坏石英舟的给予重罚；具体将参照公司经济损失以及制造内部相关规定；7.相关表单7.1《石（）舟清洗状况记录表》 HCJLZZ028。