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PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。
本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。
一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。
2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。
注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。
3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。
根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。
为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。
如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。
漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。
当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。
当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。
注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。
4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。
注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。
烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。
二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。
将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。
PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。
本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。
一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。
2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。
注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。
3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。
根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。
为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。
如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。
漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。
当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。
当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。
注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。
4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。
注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。
烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。
二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。
将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。
1.目的确保管式PECVD处于良好的运行状态。
2.使用范围适用于所有Centrotherm管式PECVD。
3.生产操作3.1开机3.1.1开总电源。
用手扳住电柜外部的红色按钮，旋转9()度。
从“OFF”位置拔向“ON”位置，机器上指示灯亮VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。
注意，当机器出现故障，按下急停键后，首先松开急停键，然后将开关逆时针转到Reset的位宜，然后再顺时针转到“ON”的位置。
机器上指示灯亮VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。
3. 1.2开真空泵。
(1) 合上真空泵电源，按卜jesct按钮，start按钮亮，然后按卜• start按钮，pre run按钮亮，此时真空泵启动，当真空泵运行到止常转速时，vacuum mode灯亮，此时真空泵完全启动。
3. 1.3检查外围条件。
N2的压力〉2. 5Kg/cm 2, SiH4的压力约为1. 5 Kg/cm 2, NH3的压力约为1. 5Kg/cm-, CDA 的压力为5〜7 Kg/ cm 2 o炉门处的冷却水流量计＞4SLM,设备炉体区顶部的冷却水流量计＞4SLM,主冷却器＞8SLM,设备尾部的冷却水 流量计＞4SLM,射频电源的总冷却水流虽计＞18SLM.3. 2界面操作（1） 启动CM 【程序。
开总电源后计算机自动启动。
输入密码“6065”后自动进入Windows 桌面。
用鼠标左键双击“CM1”图标，启动CM1。
（2） 进入CMI 画而，检查设备状态：SLS=UP （舟处于上位），DOOR 二CLOSED （门处于关紧状态），PIQOK , LIFT 二READY（机械壁必 须在零位）,TUBE 二READY （炉管处于准备好状态）SET/ACT POSITION 二0 （桨处于原点位），PROCFLAG 二0K （程序标志位0K 状态）3. 2. 1选择工艺程序，生产。
（1） 插片。
用小车承载石墨舟，在插片房屮插满硅片。
（2） 向机器进车。
PECVD石墨舟清洗使用作业规程
为了更好的提升产品的质量，减少返工片；需要对石墨舟进行定期的保养和清洗。
清洗规程如下：
1- 清洗石墨舟的操作人员，上班第一时间询问工艺人员有哪些石墨舟是需要清洗的，在“石墨舟清洗使用签收表”表上记下超
过使用次数石墨舟。
当班负责清洗石墨舟的操作人员签字确
认。
2 -工序长上班交接后，到石墨舟柜处查看已超过使用次数的石墨
舟编号。
在当班生产前，通知设备人员将超过使用次数的石墨
舟拆下电极，然后送到清洗处清洗。
3 -清洗石墨舟前，要戴好防酸手套，防化服和防酸面具。
4 -把需要清洗的石墨舟要用44L HF（氢氟酸）清洗8个小时，然
后把酸排掉加水清洗2个小时；再把洗好了的石墨舟抬到烘干
箱烘8个小时。
5 -烘好后的石墨舟要到冷却房冷却，然后通知设备人员组装电极。
6 -组装好清洗后的石墨舟，清洗石墨舟的操作人员要将其舟号和清洗日期时间及时记录在“石墨舟清洗记录表”中。
7-把组装好的石墨舟抬到石墨舟存放柜的待镀舟处，工序长必须在“石墨舟清洗使
用签收表”相应的栏中签字确认。
8 -石墨舟在未到规定的使用次数，如果同一石墨舟连续两次出现的色差片数量超过5片、或者色差片数目累计超过15片，则立即停止该石墨舟的使用，并通知工艺人员查看原因。
该石墨舟能否继续使用，由工艺人员查看原因后，工艺人员根据实际情况来决定。
9 -为了确保石墨舟的正常循环使用，每次送至清洗的石墨舟数量为2个。
10-石墨舟的使用次数由工艺人员规定，严禁其他人员修改。
石墨舟清洗机保养作业流程和安全注意事项。
石墨舟清洗机是半导体制造工艺中用于清洁PECVD（等离子增强化学气相沉积）设备所使用的石墨舟的重要设备。
保养作业流程及安全注意事项如下：石墨舟清洗机保养作业流程：1. 准备工作：清洁工作区域，确保无尘环境。
检查电源、水源和气体供应是否正常。
佩戴好防护装备，如防静电手套、防化学品护目镜、防尘口罩等。
2. 设备检查：检查石墨舟清洗机的机械部件是否有磨损或损坏。
检查电气控制系统、温控系统以及压力调节装置是否正常运行。
3. 拆卸与装载石墨舟：根据规程将待清洗的石墨舟放入清洗槽内，确保位置正确且固定稳固。
4. 清洗操作：设置清洗程序，包括清洗剂种类、温度、时间、循环次数等参数。
开始清洗过程，可能涉及酸洗、碱洗、超声波清洗及纯水漂洗等多个步骤。
5. 冲洗与干燥：清洗完毕后用大量去离子水彻底冲洗石墨舟，去除残留清洗剂。
使用烘干程序或者自然晾干方式使石墨舟达到干燥状态。
6. 维护保养：更换滤网：定期更换清洗设备内部的过滤网，保证清洗液的纯净度。
清理腔体：按照规程对设备腔体进行清理，避免积垢影响效果。
检查泵体功能：确认气动隔膜泵或其他输送泵的工作状况，并在必要时进行维护或更换。
润滑和紧固：对所有运动部件进行润滑处理，紧固松动的螺丝。
7. 记录与审核：记录每次清洗及保养过程中的重要参数及结果，便于追溯和质量控制。
审核保养情况，由操作人员和监督人员签字确认。
安全注意事项：在整个过程中严格遵守ESD（静电放电）防护措施，防止静电损害精密设备。
使用化学品时应确保良好的通风条件，避免直接接触皮肤和眼睛，若不慎接触立即用清水冲洗并就医。
在设备运行过程中严禁触碰运动部件，以防夹伤。
设备停用后应及时关闭电源和水源，防止意外开启。
清洗后的废液要妥善收集，按照环保法规要求处理，不得随意排放。
执行任何维修或保养工作前，必须先切断设备电源，并悬挂“正在维修，禁止启动”等警示标识。
PECVD石墨舟清洗及使用维护新舟的接收:打开包装前须检查外包装是否完好、石墨舟是否完整;外观、舟片及陶瓷组件是否有裂纹或断裂;组件有无缺失。
发现外包装变形或损失以及上述问题的产品应及时联系供应商。
舟的清洗:1.新舟在第一次使用前建议使用去离子水+氢氟酸(体积比10%)溶液进行清洗约3-5小时;再用去离子水进行漂洗8-12小时;直到确认舟体没有酸性成分。
可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟,以确认清洗结果。
然后按照要求进行烘干。
2.使用后的石墨舟的清洗:上海弘竣的石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。
建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液,分三个轮次来清洗,每次4-5小时;并在浸泡清洗过程中进行周期性氮气鼓泡,加半小时左右的冲洗;注意:鼓泡不建议直接使用空气作为气源。
酸洗后用纯水漂洗10小时左右,并确认舟体已经彻底清洗干净。
请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点与舟片结合处、以及其他部位是否还有氮化硅的残存。
然后按照要求进行烘干。
清洗注意事项:A)由于氢氟酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性,对操作人员有一定的危险性。
因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护,并进行专人管理。
B)建议在清洗时将舟拆开只对石墨部件进行清洗,这样能将各个接触部位清洗得更彻底。
目前国内很多厂家采用整体清洗,虽然方便,但由于氢氟酸对陶瓷组件有一定的腐蚀性,整体清洗会缩短相应组件的使用寿命。
舟的烘干:1.建议使用有定时功能和循环排风的烘箱,这样烘烤的水蒸汽可直接被抽调,以避免水蒸汽因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。
2.清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间,确保舟表面没有水滴或水痕,再放进烘箱,请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘箱。
3.将烘箱温度设定在100-120摄氏度,运行和保持时间为10-12小时,可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。
PECVD石墨舟清洗及使用维护舟的预处理(饱和):进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。
部门单位：东磁太阳能 页码：1 / 2 版本：A1.0 文件编号：P/DMTYN-7.5.1-08-03-10 受控号PECVD 石英器材石墨舟 清洗维护规程 1 目的确保制程工艺的工艺卫生，电池PE 镀膜之后外观良好。
2 适用范围范围：PE 车间石英器材，石墨舟 3 清洗维护流程3.1 清洗要求及条件常规清洗周期 异常清洗/处理条件石墨舟 使用100次 ①因石墨舟原因导致连续两次返工超过15片/舟，该石墨舟不包括新舟②非净化空间长期暴露③新石墨舟及新石墨舟片石英管 1次/年非净化空间暴露过/被有机成分等污染/石英器材上有明显异物 3.2 石墨舟清洗具体流程配液 ①换液频率：1次/15天, 换液过程要对槽体进行彻底清洗 ②初始配液酸的浓度不能低于15%，以后正常洗舟之前，每个槽要加2-3瓶HF 酸.酸洗 ②酸洗时间一般要在10个小时，每一个小时鼓泡5-10分钟 。
水洗 水洗时间要在8个小时以上，每一个小时换一次水，全程鼓泡。
水洗结束后等待晾干。
烘干 ①每次烘舟一次性最多不要超过三个舟，上层放一个，下层放两个，注意下层的两个舟要和上层的舟位置错开。
若是烘两个舟的话，上下层各一个舟，也要注意要位置错开放，这样有利于烘箱里的抽风排废。
②烘舟时间8个小时，烘舟温度在120 度。
烤舟 正常烤舟工艺，01号工艺 操作代码 007CYH工艺新舟正常使用，使用过一年以上的舟，前几次工艺的时间要延长15-25s ，看出片情况适当调整，出片出现略微发白的情况，投入正常使用。
拟制 审核 标准化 批准 日期部门单位：东磁太阳能 页码：2 / 2 版本：A1.0 文件编号：P/DMTYN-7.5.1-08-03-10 受控号PECVD 石英器材石墨舟 清洗维护规程3.3 更换工艺点条件及流程更换条件：① 石墨舟镀膜工艺点超过1.5mm 要对整个石墨舟的工艺点进行更换② 石墨舟经过清洗之后，运行工艺持续3-4舟返工超过15片，排查确为石墨舟原因引起的更换石墨舟全部的工艺点3.4 石英舟清洗具体流程 配液氢氟酸浓度3%—6%，盐酸浓度1%-2% ，（新石英管所需氢氟酸浓度和时间可适当减少，进行长期工艺过的石英管氢氟酸浓度要稍高） 酸洗清洗过程中，每个小时鼓泡10分钟，直至石英管内无异物，干净透明 水洗 酸洗结束，取出放入水槽中。
