石墨舟清洗作业指导书

PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。

本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。

一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。

2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。

注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。

3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。

根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。

为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。

如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。

漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。

当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。

当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。

注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。

4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。

注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。

烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。

二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。

将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。

PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。

本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。

一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。

2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。

注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。

3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。

根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。

为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。

如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。

漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。

当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。

当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。

注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。

4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。

注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。

烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。

二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。

将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。

PECVD石墨舟清洗使用作业规程
为了更好的提升产品的质量，减少返工片；需要对石墨舟进行定期的保养和清洗。

清洗规程如下：
1- 清洗石墨舟的操作人员，上班第一时间询问工艺人员有哪些石墨舟是需要清洗的，在“石墨舟清洗使用签收表”表上记下超
过使用次数石墨舟。

当班负责清洗石墨舟的操作人员签字确
认。

2 -工序长上班交接后，到石墨舟柜处查看已超过使用次数的石墨
舟编号。

在当班生产前，通知设备人员将超过使用次数的石墨
舟拆下电极，然后送到清洗处清洗。

3 -清洗石墨舟前，要戴好防酸手套，防化服和防酸面具。

4 -把需要清洗的石墨舟要用44L HF（氢氟酸）清洗8个小时，然
后把酸排掉加水清洗2个小时；再把洗好了的石墨舟抬到烘干
箱烘8个小时。

5 -烘好后的石墨舟要到冷却房冷却，然后通知设备人员组装电极。

6 -组装好清洗后的石墨舟，清洗石墨舟的操作人员要将其舟号和清洗日期时间及时记录在“石墨舟清洗记录表”中。

7-把组装好的石墨舟抬到石墨舟存放柜的待镀舟处，工序长必须在“石墨舟清洗使
用签收表”相应的栏中签字确认。

8 -石墨舟在未到规定的使用次数，如果同一石墨舟连续两次出现的色差片数量超过5片、或者色差片数目累计超过15片，则立即停止该石墨舟的使用，并通知工艺人员查看原因。

该石墨舟能否继续使用，由工艺人员查看原因后，工艺人员根据实际情况来决定。

9 -为了确保石墨舟的正常循环使用，每次送至清洗的石墨舟数量为2个。

10-石墨舟的使用次数由工艺人员规定，严禁其他人员修改。

清洗作业指导书一、背景介绍清洗作业指导书是为了确保清洗工作的高效性和质量，提供详细的步骤和要求，以便员工能够按照统一的标准进行清洗作业。

本文将详细介绍清洗作业指导书的标准格式和内容要求。

二、指导书的标准格式清洗作业指导书通常包括以下几个部分：1. 标题：清洗作业指导书2. 简介：对清洗作业的目的和重要性进行简要介绍3. 目录：列出指导书的各个章节和小节4. 作业步骤：按照清洗作业的流程，逐步描述清洗的各个环节和操作步骤5. 要求和标准：明确清洗作业的要求和标准，包括清洗剂的使用、清洗时间、温度要求等6. 安全注意事项：列举清洗作业中需要注意的安全事项和防护措施7. 常见问题解答：罗列可能出现的问题和解决方法，以帮助员工更好地处理异常情况8. 参考资料：提供相关的参考资料和文献，以便员工深入了解清洗作业的理论知识三、指导书内容要求1. 作业步骤的详细描述：清洗作业指导书应该详细描述每个清洗步骤的具体操作方法，包括所需工具和设备、操作顺序、时间要求等。

例如，对于清洗容器的步骤，可以描述如下：a. 准备所需工具和设备，如刷子、清洗剂、清洗桶等；b. 检查容器表面是否有污垢，如有，先用清水冲洗；c. 使用刷子和适当的清洗剂对容器进行刷洗，确保每个角落都得到清洗；d. 冲洗容器，确保清洗剂彻底清除；e. 检查容器是否干净，如有残留物，重新进行清洗；f. 将清洗后的容器放置在指定的位置，等待下一步工序。

2. 要求和标准的明确规定：清洗作业指导书应明确规定清洗作业的要求和标准，以确保作业的质量和一致性。

例如，对于清洗剂的使用要求，可以规定如下：a. 使用指定的清洗剂，确保其符合相关标准；b. 使用适量的清洗剂，避免浪费；c. 清洗剂的浓度要符合规定，不得过高或过低；d. 清洗剂的使用时间不得超过规定的时限。

3. 安全注意事项的列举：清洗作业可能涉及一些危险和安全风险，指导书应列举清洗作业中需要注意的安全事项和防护措施，以确保员工的安全。

156多晶赛瑞达PECVD石墨舟清洗作业指导书SPECIAL WI 专用作业指导书156多晶赛瑞达PECVD石墨舟清洗作业指导书Reason(s) for Update 更新原因：部门签名日期1.0 适用范围156多晶PECVD工位2.0 作业流程2.1生产准备ORIGINATOR编制TECH技术QC品质MFG生产APPD批准文件编号版本：PRODUCT 产品：电池片CUSTOMER 客户：All CostomerWORK STATION 工序名称：PECVDPAGE 页：1 OF 12.1.1工作时必须穿工作衣、鞋，佩戴手套、工作帽2.1.2做好工艺卫生2.1.3选择所需要清洗的石墨舟2.1.4操作前必须做好相应的防护措施：防护眼镜、防毒面具、长袖橡胶手套2.2操作流程2.2.1将需要清洗的石墨舟拆卸好，舟片插入清洗花篮内，陶瓷套管、螺丝与连接杆分开放置。

2.2.2用水将槽内清洗干净，将装有舟片的花篮按顺序平放至清洗槽内2.2.3往槽内注入一定量水后，加12瓶氢氟酸，再注水使槽内液体体积至350L左右（浓度：8%），盖上舱门2.2.4开启鼓泡1小时后关闭，浸泡 8-12小时2.2.5将花篮转移至漂洗槽，注水使用鼓泡漂洗后将水排空，反复操作三次后溢流二十分钟2.2.6用高压气枪将舟片上的水吹干2.2.7将清洗完全后的舟片换用烘干花篮放入烘箱内进行烘干，烘干时间控制在10小时，烘干温度设为80℃2.2.8将卸下的陶瓷套管、连接杆和螺丝帽用酒精浸泡，擦洗干净2.2.9待舟片烘干完成后，将舟重新组装（拧螺丝时使用扭力扳手，无需拧太紧）2.2.10执行镀舟工艺完全后，石墨舟可投入使用3.0 仪器/工具/材料3.1待清洗的石墨舟3.2石墨器件清洗机、舟片花篮、烘箱3.3氢氟酸、无水乙醇3.4扭力扳手、组装台4.0 注意事项4.1添加药液前佩戴防护工具时注意检查是否存在破损，保护自身安全4.2加液时注意将容器口贴近槽壁缓慢注入，脸尽量远离槽体，避免粗放操作使药液溅出。

石墨舟的使用和清洗流程I. 简介石墨舟是一种常用于化学实验室中的实验仪器，用于加热试管、烧瓶等容器的工具。

它具有高温稳定性、加热均匀性好等特点，因此被广泛应用于化学实验中。

本文将介绍石墨舟的使用和清洗流程。

II. 石墨舟的使用流程使用石墨舟需要注意以下几个步骤：1.准备工作–检查石墨舟的表面是否有划痕或损坏，如有，不得使用。

–检查石墨舟的清洁度，如有污垢，应先清洗再使用。

2.将样品放入石墨舟–将待加热的试管或烧瓶等容器稳固地放在石墨舟中心位置。

–确保容器与石墨舟的接触面积大，以提高加热效果。

3.设置加热温度–根据实验需要，选择适当的加热温度。

–打开石墨舟的控温面板，根据指示设置加热温度。

4.加热样品–将石墨舟接通电源，启动加热过程。

–观察样品的加热情况，确保加热过程稳定和均匀。

5.注意安全–加热过程中，注意手部远离石墨舟表面，以免烫伤。

–使用工具时，注意石墨舟的高温，避免碰撞和损坏。

III. 石墨舟的清洗流程石墨舟在使用完毕后需要进行清洗，以下是清洗流程的具体步骤：1.关闭电源–在清洗前，先将石墨舟断电，确保清洗过程的安全。

2.倒去残留液体–将石墨舟倾斜，将残留液体倒入废液容器中。

–注意不要将液体倒到其他地方，以免造成污染。

3.温水清洗–将石墨舟放在水槽中，用温水冲洗石墨舟的内外表面。

–使用软毛刷轻刷石墨舟的表面，去除顽固的污垢。

4.水龙头清洗–打开水龙头，让水流冲洗石墨舟，确保石墨舟表面干净。

5.酸洗–准备稀盐酸溶液，浸泡石墨舟10-15分钟。

–将石墨舟放入酸洗溶液中，用搅拌棒轻轻搅拌。

–定期检查酸洗溶液的pH值，确保清洗效果。

6.水洗–将石墨舟取出，用大量的清水冲洗。

–多次清洗，直到酸洗液全部冲洗干净。

7.干燥–将石墨舟放在通风处晾干，或用纸巾擦干。

8.检查–检查石墨舟的清洗情况，确保没有残留污垢。

IV. 注意事项在使用和清洗石墨舟时需要注意以下事项：•在使用前，检查石墨舟的表面是否有损坏，并保持清洁。

清洗作业指导书标题：清洗作业指导书引言概述：清洗作业指导书是指导清洗工作的操作手册，其中包含了清洗的流程、方法、注意事项等内容。

制定一份清洗作业指导书能够匡助清洗工作更加规范、高效，确保清洗效果达到预期。

一、清洗作业指导书的重要性1.1 提高清洗效率：清洗作业指导书明确了清洗流程和方法，能够匡助清洗人员快速高效地完成工作。

1.2 保证清洗质量：指导书中包含了清洗的注意事项和细节要求，能够确保清洗质量达标。

1.3 提升工作安全性：清洗作业指导书规范了清洗操作步骤，减少了操作失误的风险，提升了工作安全性。

二、清洗作业指导书的内容2.1 清洗流程：指导书中应包含清洗的具体流程，包括准备工作、清洗步骤、清洗剂选择等。

2.2 清洗方法：指导书中应详细描述清洗的方法和技巧，如擦洗、浸泡、喷洒等。

2.3 注意事项：指导书中应列出清洗中需要注意的事项，如防止交叉污染、注意安全防护等。

三、制定清洗作业指导书的步骤3.1 调研：首先需要对清洗对象进行调研，了解清洗的难度和要求。

3.2 制定流程：根据调研结果，制定清洗的具体流程和方法。

3.3 审核：清洗作业指导书需要经过相关部门的审核，确保内容准确、可行。

四、清洗作业指导书的更新与维护4.1 定期检查：清洗作业指导书需要定期检查更新，及时修订内容。

4.2 培训：清洗人员需要接受相关培训，熟悉清洗作业指导书的内容和要求。

4.3 反馈：清洗人员在实际操作中遇到问题，应及时反馈并修订指导书。

五、清洗作业指导书的实际应用5.1 提高效率：清洗作业指导书的实际应用能够提高清洗效率，节省时间成本。

5.2 保证质量：指导书的应用能够保证清洗质量，降低质量风险。

5.3 提升安全性：清洗作业指导书的应用能够提升工作安全性，减少事故发生的可能性。

结语：清洗作业指导书是清洗工作的重要工具，制定和遵守指导书能够提高清洗效率、保证清洗质量，同时提升工作安全性。

希翼清洗单位能够重视清洗作业指导书的制定和应用，确保清洗工作顺利进行。

exact深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd石墨舟清洗、饱和工艺说明书一、清洗工艺：1、配液：HF浓度大约为15%~20%。

2、酸洗：酸浸泡6~8 小时，每1小时设定鼓泡5~6分钟。

3、水洗：用清水透，3~4小时，常时间不停地鼓泡，每1小时换水一次。

(用PH试纸测试，无酸中和后将清水排掉。

)4、吹扫：用N2或CAD将石墨舟表面水分吹扫。

5、烘干：烘箱设定温度100℃~150℃，烘干时间一般为8~10小时。

二、烘舟工艺：（附图为右手机烘舟工艺，为外控温）三、饱和后异常现象：1、陶瓷杆灼伤痕迹2、局部外层灼伤痕迹以上两种异常灼伤现象都是由饱和工艺温度过高引起，建议将其局部温度减少30~40度，由于饱和工艺时间周期较长，如果温度设定太高的话，石墨舟就会被灼伤。

串级控温的设备做饱和工艺时温度设定为：炉口440、430、420、420、420炉尾。

一般情况下，外控温的设备做饱和时温度设定为：炉口460、450、440、440、440炉尾。

（外控温要根据实际拉恒温区温度来设定，建议温度不宜过高。

）四、色差片分析1、石墨舟卡点损坏：石墨舟卡点使用寿命一般为3~5个月，当大量产生色差片，更改清洗、饱和工艺后，都无明显改善，请及时更换石墨舟卡点。

2、石墨舟与电极杆接触不好：应定期检查石墨舟与电极杆接触的位置，检查电极头是否灼伤、变形，石墨舟电极孔也应定期用干燥的无尘布擦抹。

3、石墨舟损坏：检查石墨舟陶瓷杆、石墨杆螺母是否松动，检查石墨舟舟片是否损坏。

4、管内碎片：管内有大量的碎片也会产生许多色差片，它会导致管内气体流通障碍，影响其均匀性，有时还会导致石墨舟瞬间短路，建议一个星期清理一次炉管碎片。

清洗作业指导书一、背景介绍清洗作业指导书是为了确保清洗工作的高效进行而制定的一份详细指导文件。

清洗是指通过物理或化学手段将设备、工具、器具等表面的污垢、油脂、细菌等有害物质去除，以保持其良好的卫生状态。

清洗作业的规范化和标准化对于保证产品质量、提高工作效率和保障员工健康至关重要。

二、目的和范围本清洗作业指导书的目的是确保清洗工作的规范化进行，提供清洗工作的具体步骤和要求，以及相关的安全注意事项。

本指导书适用于所有需要进行清洗作业的场所和设备。

三、清洗作业的步骤1. 准备工作a. 确保清洗工作所需的设备、工具和清洗剂齐全，并进行检查和测试。

b. 确定清洗作业的时间和地点，做好相关的安全防护措施。

c. 对清洗区域进行清理，确保无杂物和障碍物。

2. 清洗前的准备a. 对待清洗的设备进行检查，确保其处于停机状态，并断开电源。

b. 将需要清洗的部件进行拆卸，并按照规定的程序进行分类和标记。

c. 清洗前对设备进行预处理，如去除大块污垢、油脂等。

3. 清洗操作a. 根据清洗剂的种类和使用要求，选择合适的清洗方法，如浸泡、刷洗、喷洒等。

b. 按照清洗剂的使用说明进行配制和使用，确保使用浓度和温度符合要求。

c. 使用合适的工具和设备进行清洗，注意清洗力度和角度，避免对设备造成损坏。

d. 对清洗过程中产生的废水和废液进行妥善处理，遵守环境保护的相关法规和要求。

4. 清洗后的处理a. 清洗完成后，对清洗过的设备进行检查，确保清洗效果符合要求。

b. 对清洗过的部件进行分类和标记，便于后续的组装和使用。

c. 对清洗工具和设备进行清洁和维护，确保其正常运行和延长使用寿命。

d. 清洗区域的清理和整理，确保无残留物和杂物，保持卫生和安全。

四、安全注意事项1. 在清洗作业过程中，必须佩戴个人防护装备，如手套、护目镜、口罩等。

2. 使用化学清洗剂时，应注意其毒性和腐蚀性，避免直接接触皮肤和眼睛。

3. 在清洗作业时，严禁吸烟、使用明火和产生火花的工具。