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石墨舟H F清洗说明
步骤一
拆开石墨舟。
一般舟在运行 100至 150次后就应该进行清洗, 这是因为舟上的 SiN会随着运行次数的增加而增加，影响舟的正常使用。
步骤二
在室温条件下 (<40°C)，将舟的部件放入 HF浓度(5 – 20 %) 的腐蚀槽内进行腐蚀。
最好的浓度是 10%，腐蚀时间为 4~6小时。
低浓度条件下，腐蚀槽会被产生的 SiN颗粒污染，因此需要进行定期的过滤维护。
浓度高于 10%会对操作人员造成危险。
所有部件应该被分开放入腐蚀槽内并且不可互相接触，这样 HF酸就可以腐蚀到任何部位，这对于石墨连接块而言更为重要。
步骤三
在 2号纯水槽内将其用纯水漂洗 4~6小时。
用 PH-试纸检查流动的水是不是中性的，必须保证所有的蚀刻残渣（SiF4）都已经被洗掉，任何蚀刻残渣被带入炉管都可能引起沾污或者工艺问题。
可以在石墨上看到白色的一层就是残渣，所有部件都必须分开放置这样可以避免酸液残留在其中。
步骤四
在 85°C 条件下，将分离的舟各部件烘干 24小时。
石墨像海绵一样可以蓄水并保持比较长的时间；在 100°C以上烘干或者是在未干的状态下将其送入炉管会引起水的突然气化，这会使石墨破裂。
将一个没有完全干燥的舟放入炉管还可能导致炉门边缘的侵蚀以及真空系统的过分沉积。
步骤五
在提供的装配台上将舟装配好。
检查有无损伤。
用 CentroTherm提供的转矩扳手（0.6Nm）拧紧陶瓷螺丝，石墨螺丝比较易碎，因此必须用手小心拧紧。
石墨舟的使用和清洗流程I. 简介石墨舟是一种常用于化学实验室中的实验仪器，用于加热试管、烧瓶等容器的工具。
它具有高温稳定性、加热均匀性好等特点，因此被广泛应用于化学实验中。
本文将介绍石墨舟的使用和清洗流程。
II. 石墨舟的使用流程使用石墨舟需要注意以下几个步骤：1.准备工作–检查石墨舟的表面是否有划痕或损坏，如有，不得使用。
–检查石墨舟的清洁度，如有污垢，应先清洗再使用。
2.将样品放入石墨舟–将待加热的试管或烧瓶等容器稳固地放在石墨舟中心位置。
–确保容器与石墨舟的接触面积大，以提高加热效果。
3.设置加热温度–根据实验需要，选择适当的加热温度。
–打开石墨舟的控温面板，根据指示设置加热温度。
4.加热样品–将石墨舟接通电源，启动加热过程。
–观察样品的加热情况，确保加热过程稳定和均匀。
5.注意安全–加热过程中，注意手部远离石墨舟表面，以免烫伤。
–使用工具时，注意石墨舟的高温，避免碰撞和损坏。
III. 石墨舟的清洗流程石墨舟在使用完毕后需要进行清洗，以下是清洗流程的具体步骤：1.关闭电源–在清洗前，先将石墨舟断电，确保清洗过程的安全。
2.倒去残留液体–将石墨舟倾斜，将残留液体倒入废液容器中。
–注意不要将液体倒到其他地方，以免造成污染。
3.温水清洗–将石墨舟放在水槽中，用温水冲洗石墨舟的内外表面。
–使用软毛刷轻刷石墨舟的表面，去除顽固的污垢。
4.水龙头清洗–打开水龙头，让水流冲洗石墨舟，确保石墨舟表面干净。
5.酸洗–准备稀盐酸溶液，浸泡石墨舟10-15分钟。
–将石墨舟放入酸洗溶液中，用搅拌棒轻轻搅拌。
–定期检查酸洗溶液的pH值，确保清洗效果。
6.水洗–将石墨舟取出，用大量的清水冲洗。
–多次清洗，直到酸洗液全部冲洗干净。
7.干燥–将石墨舟放在通风处晾干，或用纸巾擦干。
8.检查–检查石墨舟的清洗情况，确保没有残留污垢。
IV. 注意事项在使用和清洗石墨舟时需要注意以下事项：•在使用前，检查石墨舟的表面是否有损坏，并保持清洁。
1. 目 的：规范石墨舟的使用全过程。
2. 适用范围：石墨舟的申购、使用、维护和报废。
3. 职 责：由设备部门负责管理。
4. 内 容：Centrotherm 管式PECVD 石墨舟。
4.1石墨舟的申购4.1.1为了保证正常的生产，生产线必须保有一定数量的石墨舟，（4管/台的配8只石墨舟，3管/台配6只石墨舟）。
一条新的生产中心配全石墨舟后由设备中心移交给生产中心,有各生产中心自己负责保管。
新设备进厂配备一定数量的石墨舟以供设备调试之用，通常每个炉管配备一只石墨舟，剩余的石墨舟由设备部门负责申购。
4.1.2石墨舟在使用过程中会有部分的石墨片会损坏，由设备部门负责记录并负责及时申购；对于人为损坏的石墨舟或舟片在申请增补时，由各中心提出申请有部门最高领导签字才能领取新的石墨舟或舟片，石墨舟维护人员负责安装；对于设备损坏的石墨舟或舟片在申购增补时必须有部门最高领导签字才能申请购买。
4.1.3石墨舟使用寿命快到期的前2个月由设备部门负责统计报废舟的数量，申购报废数量的石墨舟，并全程跟踪采购进度。
4.2 石墨舟的使用4.2.1新的石墨舟入库后由设备人员负责开箱，并检验石墨舟的完好情况，发现损坏立即照相并通知物料部相关人员联系厂家。
检验合格后给石墨舟编号，并建立使用档案 ，随后通知生产中心领取。
具体使用方法见《管式PECVD 设备操作规程》。
4.2.2 石墨舟编号定义： 4.2.2.1 编号方法说明J 1 –4.2.2.2石墨舟编号统一编写在石墨电极侧，石墨舟片由里到外依次编刻1-13。
4.2.2.3 石墨舟损坏后有新配片投入使用，必须在舟片刻上投入生产的日期，以便跟踪。
4.2.3 生产中心拥有舟的数量为4管/台的配8只石墨舟，3管/台配6只石墨。
设备部门拥有舟的数量为设备台数X2，用于清洗维护周转和备用。
4.2.4 设备部门每天下班前1.5小时把每天超时要清洗的石墨舟编号交给各中心工序长，工序长下班前必须把超时的石墨舟送至石墨舟清洗处，同时领取相同数量的石墨舟做预处理。
本技术提供一种基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，包括以下步骤：S1：当石墨舟进入镀膜机台时，获取石墨舟的舟号和当前使用次数，并将获得的石墨舟数据存储到镀膜机台服务器中；S2：通过MES系统服务器读取存储于所述镀膜机台服务器中的石墨舟数据，并显示到MES系统的显示屏上。
本技术通过对镀膜机台系统进行设定，使输入的石墨舟使用资料传输至镀膜机台服务器，再将镀膜机台服务器资料与MES系统进行交互，使得石墨舟的使用状况直观呈现在MES系统内，可以及时、精确管控石墨舟使用次数，从而降低镀膜色差不良率。
技术要求1.一种基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：当石墨舟进入镀膜机台时，获取石墨舟的舟号和当前使用次数，并将获得的石墨舟数据存储到镀膜机台服务器中；S2：通过MES系统服务器读取存储于所述镀膜机台服务器中的石墨舟数据，并显示到MES系统的显示屏上。
2.根据权利要求1所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：于所述步骤S1中，当石墨舟进入镀膜机台时，通过镀膜机台电脑软件界面手工输入石墨舟的舟号和当前使用次数，所述镀膜机台服务器将输入的石墨舟数据记录。
3.根据权利要求1所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：于所述步骤S2中，所述MES系统服务器通过JAVA程式读取所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容，并解析该文档中的内容，读取文档中的舟号及使用次数写至数据库指定表中，所述MES系统服务器查询所述数据库指定表中的数据，并显示到所述显示屏上。
4.根据权利要求1所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：当石墨舟达到规定的使用次数后，并经过清洗后重新上线，所述MES系统服务器将该石墨舟原有的使用次数清零。
5.根据权利要求1所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：所述MES系统服务器按照预设周期更新数据。
6.根据权利要求5所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：所述MES系统服务器更新数据包括如下步骤：调用JAVA程式查询数据库中的石墨舟数据，并将所述数据库中的石墨舟数据与所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容进行对比，如果石墨舟数据发生变化，则将所述镀膜机台服务器上新的石墨舟数据写入数据库指定表中。
