扫描电镜钨灯丝的维护保养与存储

扫描电子显微镜细心合理的设计扫描电子显微镜维护和修理保养扫描电子显微镜细心合理的设计扫描电子显微镜是用极细的电子束在样品表面扫描，将产生的二次电子用特制的探测器收集，形成电信号运输到显像管，在荧光屏上显示物体。

（细胞、组织）表面的立体构像，可摄制成照片。

扫描电子显微镜样品用戊二醛和饿酸等固定，经脱水和临界点干燥后，再於样品表面喷镀薄层金膜，以加添二波电子数，扫描电镜样品用戊二醛和饿酸等固定，经脱水和临界点干燥后，再于样品表面喷镀薄层金膜，以加添二波电子数。

扫描电子显微镜能察看较大的组织表面结构，由於它的景深长，1mm左右的凹凸不平面能清所成像，故放样品图像富有立体感。

扫描电镜能察看较大的组织表面结构，由于它的景深长，1mm左右的凹凸不平面能清所成像，故放样品图像富有立体感。

扫描电子显微镜自动定性分析是依据能量位置来确定峰位，直接单击"操作/定性分析"按钮，即可实现自动定性分析，在谱的每个峰的位置显示出相应的元素符号。

扫描电子显微镜优点是识别速度快，但由于能谱谱峰重叠干扰严重，自动识别极易出错，比如把某元素的L系误识别为另一元素的K系，这是它的缺点。

为此分析者在仪器自动定性分析过程结束后，还必需对识别错了的元素用手动定性分析进行修正。

所以虽然有自动定性分析程序，但对分析者来说，具有确定的定性分析技术实在是必不可少的。

扫描电子显微镜是通过X射线强度来取得构成样品材料的各种元素的浓度，依据实际情况，人们寻求并提出了测量未知样品和标样的强度比方法，再把强度比经过定量修正换算呈浓度比。

扫描电子显微镜两种定量分析方法：无标样定量分析法和有标样定量分析析法。

电子束只打到试样上一点，得到这一点的X射线谱的分析方法是点分析方法。

与此不同的是，用扫描像察看装置，使电子束在试样上做二维扫描，测量特征X射线的强度，使与这个强度对应的亮度变化与扫描信号同步在阴极射线管上显示出来，就得到特征X射线强度的二维分布的像。

扫描电子显微镜之SEM日常保养和维护扫描电子显微镜之--SEM日常保养和维护00编辑作者： DEMA 驰奔 (转载请注明) 要把扫描电子显微镜使用好，日常的保养和维护非常重要。

一般供应商都会提供全面的培训。

用户不要期望供应商会派人及时的为您提供维护保养，应该自觉的管理仪器。

当然通过维护保养，非常专业的人员还能够发现仪器潜在问题，能够及时修正和解决问题，避免事态扩大，减少损失。

用户也可以和供应商签订保修合同，在合同中可能会包含一定频率的保养和维护次数。

日常保养和维护的目的：最大限度消除扫描电镜的干扰因素，使得扫描电镜工作处于最佳状态，获得良好的图像质量和分析结果。

同时通过日常维护保养，能够及早发现和解决潜在问题。

从扫描电镜的干扰因素我们可以知道，大部分干扰是常量，变量主要是污染对电子光学系统的干扰。

因此电子光学系统的清洗和真空系统的维护成为日常保养和维护的重点。

日常保养维护的内容：1、电子光学系统清洗的一般原则电子光学镜筒的某些部位可能会观察到有不同程度的污染迹象，例如电子枪亮度减低，电子透镜的象散加大，这需要操作者判断污染的部位和程度。

拆卸这些部位，朝向电子束的任何表面可能都需要一次或多次清洗和抛光。

清洁的电镜，电子束亮度最高，图象信噪比较好，象散较小，象散器位置接近零位。

注：很多清洗过程可使用酒精，当可以持续地暴露时，可使用无水乙醇。

甲醇和丙醇有毒，不能吸入，咽下或被皮肤吸收。

为了节省，可以使用100%的变性乙醇。

1）清洗频率清洗仪器的频率取决于一系列因素及条件，其中包括：使用时间、样品种类、加速电压及电子束流等。

参见以下各条：A. 每次更换灯丝时，栅帽、栅帽光阑固定圈都要清洗，不必清洗阳极和阳极帽。

B. 当见到明显的污染及图象象散过大时，就应清洗物镜光阑柄并用酒精灯烧物镜光阑或换新光阑。

C. 用户最后注意的应是镜筒衬管和探头组件。

如果前面A和B两条中的部位都已被清洗过，还有明显的污染和象散迹象，则应拆下衬管进行清洗。

日立钨灯丝扫描电镜安全操作及保养规程一、安全操作规程1.穿戴个人防护装备：在操作钨灯丝扫描电镜之前，必须穿戴适当的个人防护装备，包括实验室服装，护目镜，手套和防护鞋。

这些装备有助于减少不必要的伤害和感染的风险。

2.确保操作环境安全：在操作钨灯丝扫描电镜时，操作区域应保持整洁，没有杂物堆积。

确保电源线和连接线没有损坏，不要使用过长的电线。

3.严守操作规程：必须按照正确的操作步骤进行操作。

任何时候，都不要擅自修改设备配置或进行非法操作。

保持设备周围的垃圾桶干净，并避免在操作时放置任何杂物。

4.避免碰撞和震动：在操作钨灯丝扫描电镜时，应当小心处理，并避免碰撞或震动设备。

严禁拆卸或改动设备内部结构。

5.合理使用和储存荧光物质：若需要使用荧光物质，必须遵循正确的使用方法，并且合理储存。

避免直接接触荧光物质，必要时佩戴手套。

6.安全关闭设备：在使用钨灯丝扫描电镜结束后，应当将设备关闭，切断电源，并进行适当的清洁和保养操作。

二、保养规程1.定期清洁外部：使用柔软的布轻轻擦拭钨灯丝扫描电镜的外壳和面板。

清洁时，避免使用强酸或碱性溶液，以免损坏设备外表。

2.保持设备干燥：钨灯丝扫描电镜应放置在干燥的环境中，避免潮湿。

如果设备表面出现水珠，应先用吹风机低温吹干，然后再使用。

3.定期维护：钨灯丝扫描电镜应定期进行检查和维护。

按照用户手册中的指导，清理设备内部的灰尘和积聚物，并确保所有配件和连接线没有松动。

4.保养灯泡：钨灯丝扫描电镜使用的灯泡寿命有限，应定期更换。

在更换灯泡时，确保设备已关闭，并使用指定的灯泡型号。

5.适当存储设备：当钨灯丝扫描电镜长时间不使用时，应放置在防尘罩内，并妥善保管。

设备存放时，应避免阳光直射和高温环境。

6.定期校准：钨灯丝扫描电镜需要定期校准，以确保其准确性和稳定性。

校准应由专业人员进行，并按照设备制造商的建议进行。

三、紧急情况处置1.停电处理：如果发生停电情况，应立即切断钨灯丝扫描电镜与电源的连接，并采取适当措施，确保设备和样品的安全。

钨灯丝电镜安全操作及保养规程钨灯丝电镜是一种常见的显微镜，在物理、化学、医学等领域都有广泛的应用。

在使用钨灯丝电镜时，必须遵守相关的安全操作规程，以确保设备的安全运行和使用者的人身安全。

此外，正确的保养也对设备的长期稳定性有着至关重要的意义，下面是相关的安全操作和保养规程。

安全操作规程1. 装载样品前必须断电在安装样品之前，必须将仪器断电，以避免意外伤害。

如果必须在运行状态下更换样品，则需要先关闭所有系统，并等待其冷却至安全温度。

在此之后，可根据实际情况决定是否保留真空依据不同的操作需求。

2. 避免触摸电镜应尽量避免手触电镜设备，因为人的体内可能带有静电电荷，这些电荷可能对电镜系统造成损坏。

特别是在更换样品之前，一定要确保双手清洁和干燥，以清除可能存在的静电电荷。

3. 防止电镜电弧在操作电镜过程中，电极之间可能产生电弧，因此需要特别注意此类危险。

为了避免产生电弧，需要进行以下操作：•确保真空泵始终工作；•在进行任何更换或操作之前切断电源；•在样品取出/放入过程中使用工具，当取出/插入样品时，放置只有柄的插件；•避免清除电镜的内部元件，除非您是技术专家。

4. 避免损坏激光设备在操作激光设备时，一定要遵守操作规程，避免在使用时损坏设备。

操作激光时应穿戴防护装置，以避免由于激光直接照射而导致的眼部损伤等意外伤害。

5. 避免电源波动钨灯丝电镜的运转离不开稳定的电源供应，电源波动和电源瞬间关闭都会对设备造成损害。

因此，在操作过程中应该确保电源稳定，并避免电源波动和短暂的停电或停电。

如果出现这种情况，需要立即将设备关闭，并通知技术人员进行检查和修复。

6. 避免使用已损坏的设备如果在使用过程中发现设备出现故障或损坏，应立即停止使用并通知技术人员进行维修。

在设备完全修复并通过安全测试后，才能恢复使用。

保养规程钨灯丝电镜在使用时，必须进行一定的保养，以确保其长期稳定性和有效性。

以下是保养规程：1. 定期更换钨丝钨丝是钨灯丝电镜中最常需要更换的零件之一。

钨灯丝扫描电镜中的灯丝该怎么保养？钨灯丝扫描电镜的灯丝寿命相对较短，一般只有几十个小时。

灯丝寿命直接影响扫描电镜运行成本、有效运行时间、仪器性能等。

因此日常维护保养要格外注意灯丝的保养。

1.保持镜筒的高真空度
随时注意镜筒是否存在微小泄露，同时保证各级泵的性能，必要时要更换泵油。

再有就是待观察样品应尽量干燥、无挥发性物质。

2.适当增加灯丝高度
灯丝工作时发射电子束，灯丝的发射束流与灯丝的加热电流和灯丝高度有关，灯丝高度越大，则灯丝达饱和点的工作温度就越低，灯丝表面蒸发得也越慢。

因此在保证理论高度的条件下，我们可以将灯丝高度适当增加。

新型扫描电镜一般配有几个可选灯丝垫片，其型号不一样，厚薄也不一样。

在满足观察要求的情况下，我们可以选择厚一点的垫片以增加灯丝高度，减少灯丝饱和电流。

3.及时手动调整灯丝电流
在扫描电镜使用过程中，应经常观察灯丝的饱和程度，当发现灯丝电流不在饱和状态时，适当手动调整灯丝电流，使灯丝处于饱和状态。

另外新型扫描电镜电子枪的调整一般分全自动调整和半自动调整，我们一般应选择半自动调整。

否则，当自动调整电子枪时，灯丝电流也将一起调整且长时间处于过大电流，极大地消耗灯丝，严重影响灯丝寿命。

4.准确对中灯丝
安装、更换新灯丝时仍需检查灯丝的对中情况，最好将安装好的灯丝组件放在解剖镜下再检查一下，看灯丝是否居中，否则很容易导致灯丝亮度偏暗，而由此操作者又会增加偏压或电流来提高亮度，损伤灯丝。

钨灯丝扫描电镜拍图最佳状态的维护与思考
周广荣
【期刊名称】《分析仪器》
【年(卷),期】2013(000)006
【摘要】钨灯丝扫描电镜最佳工作状态的维护需要处理好仪器的硬件、附件和附属的工具、工作参数的调节与维护、样品处理以及保养等工作。

这篇文章详细分析了这些影响因素，同时提出了一些相应的维护方法。

【总页数】4页(P74-77)
【作者】周广荣
【作者单位】聚合物分子工程教育部重点实验室，复旦大学高分子科学系上海200433
【正文语种】中文
【相关文献】
1.详解EVO-18型扫描电镜钨灯丝的更换及其日常维护 [J], 徐凌云;严丽娟
2.现代新型扫描电镜灯丝的维护 [J], 张国云;刘衍晟;简利茹;姬燕
3.台式钨灯丝扫描电镜的日常维护及故障排查 [J], 陈静怡
4.FEI quanta 250 FEG环境扫描电镜灯丝更换及维护案例 [J], 刘婷婷;倪敏;潘杨;丁炜楠;顾海东
5.影响高真空钨灯丝扫描电镜成像因素分析 [J], 陈晓霞
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环境扫描电镜安全操作及保养规程前言环境扫描电镜是一台高度复杂的仪器，它需要谨慎、仔细地进行操作和保养。

本文介绍了环境扫描电镜的相关安全操作和保养规程，以确保扫描电镜能够保持最佳性能，同时确保使用者在操作过程中安全。

安全操作安全措施•环境扫描电镜必须操作在一个安全的、干燥的、洁净的、受控制的环境中。

•操作人员必须在仪器操作和检查过程中佩戴干净、耐化学药品的手套，不要穿着任何带有金属结构或功能的衣服。

•在操作前必须熟悉扫描电镜的基本操作程序，并按照操作流程进行操作。

•在操作过程中，必须严格遵守操作规程，不得随意拆卸和更换仪器部件，以免对仪器造成损坏。

样品准备•样品需完全干燥，不能有液体或气态成分，以免对仪器造成损坏。

•样品表面需平整光滑，并且不能带有粉尘和污染物，以确保样品准确被探测。

•为了避免对操作人员造成危害，应避免测试含放射性的样品。

操作程序•打开电源，开启仪器，并根据操作手册进行仪器初始化。

•根据所需分辨率进行优化参数设置，并进行样品扫描。

•操作完成后，关闭电源并进行仪器清洁。

保养规程保养周期•建议每年对环境扫描电镜进行一次全面维护和清洁。

•在每次使用仪器后，必须对仪器进行及时清洁。

保养步骤1.仪器清洗•使用清洁棉和纯水或乙醇进行清洁。

保证清洁棉摸起来干爽，不含任何有害元素。

•清洁前必须关闭电源并拔掉电缆。

•清洗仪器内外的各个部件，包括玻璃窗口和涂层，注意不要损坏高压电极、扫描电极等部件。

2.保养•定期检查并更换碳线和电极，确保维护维持正常运转。

•定期更换与仪器运作相关的机械零件（如马达、滑轨等）。

3.存储•环境扫描电镜不用时存放在一个干燥、温度适宜、没有任何粉尘的仪器存放室内。

•电镜头等部件存放时应注意防潮、防尘等，避免存放在潮湿及易携带灰尘的地方，以免造成腐蚀或电气短路。

结语在使用环境扫描电镜时，必须严格遵守操作规程，注意对仪器进行正确的保养和维护。

正确操作和保养可以确保高效地使用环境扫描电镜，并延长仪器的使用寿命。

ISSN 1002-4956 C N11-2034/T实验技术与管理Experimental Technology and Management第37卷第8期2020年8月Vol.37No.8Aug.2020D O I:10.1679 l/ki.sjg.2020.08.022台式扫描电子显微镜钨灯丝的熔断分析及维护郑娜，沈素丹，浦群，房尔园，贺静，张斌，徐丽(浙江大学化学工程与生物工程学院化学工程联合国家重点实验室，浙江杭州310027 )摘要：对近两年来已熔断的不同使用寿命的钨灯丝进行对比总结，发现在有效长度基本一致的情况下，使 川寿命长的钨灯丝发叉处的夹角比使用寿命短的大；而且相比未使用的钨灯丝的微观形貌，使用后的钨灯丝的表面产生了很多褶皱。

结合多年来的管理和维护实践，提出了台式扫描电子显微镜延长钨灯丝使用寿命的方法，对提高扫描电子显微镜的开放共享具有借鉴意义关键词：扫描电子显微镜；钨灯丝；熔断；维护中图分类号：G647 文献标识码： B 文章编号：1002-4956(2020)08-0102-03Fusing analysis and maintenance of tungsten filamentfor desktop scanning electron microscopeZ H E N G N a,S H E N S u d a n,P U Q u n,F A N G E r y u a n,H E J i n g,Z H A N G B i n,X U Li(State Key Laboratory of Chemical Engineering, School of Chemical and BiologicalEngineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China)Abstract:The tungsten filament with different service life which has been fused in recent two years is compared and summarized and it is found that the angle at the fork of tungsten filament with long service life is larger than that with short service life when the effective length is basically the same. Compared with the micro morphology of the unused tungsten filament, there are many wrinkles on the surface of the used tungsten filament. Based on the management and maintenance practice for many years, the method of prolonging the service life of tungsten filament by the desktop scanning electron microscope is put forward, which can be used for reference to improve the open sharing of the scanning electron microscope.Key words:scanning electron microscope; tungsten filament; fusing; maintenance扫描电子显i散镜（s c a n n i n g e l e c t r o n m i c r o s c o p e,S E M)简称扫描电镜，是电子学与光学相结合的大型 精密仪器[1]，是微观结构分析的有力T.具，广泛地应用于化工、高分子、医药、纳米材料等领域[2_6、扫描电镜的电子束由电子枪产生，电子枪主要有两种类型：热电子枪和场发射电子枪。

场发射扫描电镜维护保养内容
1. 嘿，你知道场发射扫描电镜的“洗澡”有多重要吗？就像我们每天要洗漱保持干净一样，它也需要定期清洁呢！比如我们可以用干净的软布轻轻擦拭它的镜头，去掉那些灰尘和杂物，不然怎么能拍出清晰的图像呢？清洁可是保养它的第一步呀！
2. 哇塞，可别小瞧了给场发射扫描电镜“加油”这事儿哟！这就好比汽车没油跑不动一样，它要是没了合适的润滑剂，那可不得出问题呀！定期给那些关键部位来点润滑剂，能让它运行得更顺畅呢，这可不是开玩笑的！
3. 哎呀，给场发射扫描电镜选个合适的“家”也很关键呢！不能太潮湿也不能温度太高或太低，这不就跟我们人要住舒适的房子一样嘛！你想想，如果它的“家”不合适，那它能好好工作吗？所以环境一定要把控好呀！
4. 嘿，你有没有想过给场发射扫描电镜做个“体检”呀？就像我们每年要去体检一样，它也需要呀！看看各项指标是否正常，有没有哪里出现小毛病，及时发现及时解决嘛，不然等出大问题就麻烦啦！
5. 哇，别忘了给场发射扫描电镜的“零件”们来个定期“检查”哟！就像我们检查身体器官一样，那些关键的部件可得好好关注呢！万一有个松动啥的，赶紧处理呀，难道要等它罢工吗？
6. 哼，千万不要小瞧了日常对场发射扫描电镜的维护呀！这可关系到它能陪我们多久呢，如果不好好保养，它很快就会“生病”的，到时候可别后悔哟！
我的观点结论就是：一定要认真对待场发射扫描电镜的维护保养，它可是我们的重要伙伴，只有好好呵护它，它才能更好地为我们服务呀！。