蔡司扫描电镜EVO 10技术参数

EVO-18扫描电镜操作注意事项
1.高度严格要求在20mm以内，同一批样品高度尽量统一，
最大高度差不能超过5mm。

样品宽度和长度不能超过样品台宽度20mm，换样品和做能谱调样品高度距离时，以最高样品高度为基准，在TV模式下进行。

2.Fill target 灯丝电流不能超过2.8A,学生不允许私自拉动，
若不慎拉动，一定将其调到2.5-2.6A之间。

3.做能谱时，要求工作距离在调好聚焦情况下在10-15mm
之间，高低样品差距较大的尤其要注意高度调节。

进行能谱分析时，I-probe 数值拉动到700-800PA即可，一定不能超过1nA。

做完能谱分析后将电流再调回扫描状态下的数值，50-100PA。

4.样品换样放气时，减压阀已经调好气流量，不允许未经老
师同意私自加大气流量，容易造成能谱铍窗损坏。

5.将样品粘好之后，再进行样品室放气步骤，严禁将样品室
暴露于空气当中，再进行样品制备。

6.如若操作违规，造成设备损坏，将严格追究到个人责任。

7.未尽事宜可以再另外附加。

EVO10电镜安装须知
1、装箱：两个木箱
较小木箱：约长宽高150*120*120，重288KG，装零部件，十字螺丝钉(难开)；
大木箱：约长宽高150*150*220，重820KG，电镜主机重六百多公斤无轮子。

快拆装置。

2、搬运
卸车前确认箱体上平衡指示装置。

锯齿标识应在30°，环形标识应在中间。

需叉车和地牛，木箱落地和电镜主机落地均需要。

大木箱一面可向下半侧开，对面一面可全开作为出口。

1
地牛宽度以55cm（小于59cm）为宜，电梯门大于80cm；地牛若大于60cm宽，最宽不可超过75cm，此时电镜主机可侧着拉，要求过道宽度105cm以上，较难操作，容易挤压线。

1
放置距墙约90cm。

左侧或右侧放置桌子，大约需要130cm空间。

桌子100*115cm。

电镜序列号（2个，以10位数字）在机身后面
1。

Cirrus HD-OCT参数
莱卡M844手术显微镜技术参数
显微镜优点介绍：
•灵活摆位
•电磁锁
•使用方便快捷简单
•最大伸展距离1496mm
•手术显微镜可选择将控制系统固定
•最新专利的阻尼系统工作更加稳定
•显微镜移动顺畅
•包括摄像头控制器支架
•内置附件电源
•持续可调的线性平衡系统
•可选择与手术灯整合
•显微镜马达电动调节高度上下高度达500mm。

•徕卡率先推出独创的APO OptiChromeTM（复消色差技术）。

•QuadZoomTM（四光路光学系统），电动6：1变倍，2×2光路设计为每个人提供最佳视觉效果。

•在始终同步的情况下为主刀及其助手提供100%的立体视效果和照明。

•OttoFlexTM II提供更高对比度的明亮的全角度双光路眼底红光反射。

•新型超低角度双目镜筒UltralowTM II，提供理想的“目镜-视野”距离。

•具有二合一功能的控制器和视频监视屏。

•StepCycleTM -半自动手术功能。

•电动XY平移，可自动调节速度或手动重置。

扫描电镜要点总结（蔡司Gemini450电镜各模式和探头使用参数介绍）扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope, SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面的电子束来获取高清晰度的图像。

蔡司Gemini 450是一种常见的扫描电子显微镜，拥有多种模式和探头，下面将对其各模式和探头的使用参数进行介绍。

1.高真空模式：-工作距离：3-20毫米之间可调。

-放大倍率：高达1,000,000倍。

-检测器：二次电子检测器、能量分散X射线（EDX）探测器等。

高真空模式适用于大多数样品，特别是金属、半导体等导电材料。

该模式下的电子束会扫描样品表面，从而产生二次电子图像。

EDX探测器可用于进行元素成分分析。

2.低真空模式：-气压范围：从10到130帕斯卡（Pa）。

-工作距离：5-25毫米之间可调。

-放大倍率：高达100,000倍。

低真空模式适用于非导电材料以及生物样品等需要避免高真空环境的样品。

低真空模式下，可以使用水冷样品冷凝器来减少样品的水膜蒸发。

3.非接触模式：-工作距离：约为30微米。

-放大倍率：高达100,000倍。

非接触模式使用非接触方式扫描样品表面，减少了对样品的损伤。

它适用于对样品表面要求严格的情况下，如软性材料或纳米材料等。

4.电子背散射模式：-工作距离：约为3毫米。

-放大倍率：高达300,000倍。

电子背散射模式用于观察样品的表面形态和材料本身的晶体结构。

通过背散射电子来获取高对比度的图像。

探头是扫描电镜中十分重要的组成部分，蔡司Gemini 450电镜提供了多种探头供选择，具有不同的特点和应用范围。

1.热阴极电子枪：-适用于常规高真空模式下的成像。

-具有较高的亮度和小的发射面积。

2.场发射电子枪：-适用于较低真空模式下的成像。

-具有更小的亮度和更小的发射面积。

3.高抛射场发射电子枪：-适用于非接触模式。

-具有更大的发射面积，可以提供更高的电子流，为非接触模式下的成像提供更好的性能。

扫描式电子显微镜技术参数1.★总体要求设备要采用国际上同行业中先进设计思想，成熟的制造技术，必须具有优良的品质和可靠性，必须具有良好的操作性和方便的维修性以及安全性，设备型号必须在制造厂商官网上可查阅到。

2. 主要用途可用于对各类样品表面微区进行形貌观察和成份含量分析。

3. 工作条件3.1 工作温度及相对湿度：20°C ± 5°C；80﹪以下；3.2 电源：220V ( ±10% ) 单相，50Hz；3.3 相对湿度<65%；3.4 仪器运行的持久性：长时间连续工作。

4. 扫描电镜★4.1 分辨率二次电子探测器分辨率：<3.0 nm （30 KV）；<8nm (3 KV )，背散射电子探测器分辨率：<3.5nm（30kv )。

★4.2 放大倍数：最低倍率可达到1倍，最高倍率可达到1000,000。

4.3 真空系统★4.3.1 具有高低真空功能,高低真空自动转换；★4.3.2 样品室真空度：高真空可达到5×10-4 Pa；低真空范围不小于5-500Pa；4.4 电子光学系统4.4.1 电子枪：钨灯丝，具有自动加热及对中的功能，可现实灯丝使用时间；4.4.2 聚光镜具有自动可变焦功能；4.4.3 加速电压:200V-30kV，10V步进可调；4.4.4电子探针束流：最大束流不小于2uA，并连续可调。

★4.4.5电子光学镜筒采用中间镜设计，全自动自动调节，无需机械对中装置，包括电子光路合轴，电子光学设置和校准，可以精确控制束流和束斑尺寸；4.5 样品室和样品台★4.5.1 样品台尺寸：装载直径≥200mm样品；★4.5.2全自动五轴优中心台：具有全自动五轴马达驱动功能样品台移动范围：X=130 mm，Y=130mm，Z=100 mm旋转：360度连续倾斜：-30度到+90度更换样品后抽真空时间：< 3.5分钟4.5.3 样品台具有报警与自动停止功能，具有样品位置感知功能。

德国蔡司钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号：EVO MA10北京欧波同光学技术有限公司2017年09月07日目录一、聚焦CARL ZEISS (3)二、产品概述 (4)三、技术参数 (5)四、计划进度及培训 (7)五、环境要求 (8)六、质保及其他服务 (9)一、聚焦CARL ZEISS世界可见光及电子光学的领导企业—德国蔡司公司始创于1846年。

其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。

积扫描电镜领域50年及透射电镜领域60多年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：•第一台静电式透射电镜(1949)•第一台商业化扫描电镜(1965)•第一台数字化扫描电镜(1985)•第一台场发射扫描电镜(1990)•第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)•第一台具有Koehler照明的200kV 场发射透射电镜(2003)•第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。

自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、扫描离子显微镜等全系列解决方案。

其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。

作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。

欧波同有限公司做为Carl Zeiss 集团显微镜事业部的战略合作伙伴，在北京，上海，广州，鞍山、济南、郑州、西安等地设有营销机构和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。

二、产品概述扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背散射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。

赛默飞世尔XSeries II电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)新一代是XSeries II 当前世界上最小的台式ICP-MS，其所用空间甚至小于一些AAS系统。

创新的保护性离子提取技术和Infinity II 型离子透镜技术，使XSeries II 具有同类产品中最低的背景噪声。

此外，第三代碰撞反应池技术（CCT）可以使用简单碰撞气体，反应气体，和混合气体。

有效地消除由样品集体或等离子体源引起地多原子离子地干扰，并保证副反应最小化。

伴随Xt和Xs接口应用，进一步改善了检出限。

半导体控温系统和碰撞反应池技术使XSeries II ICP-MS 成为当前四级杆ICP-MS仪器中拥有最高地信噪比性能。

高性能四极杆分析器所需的高真空系统由一个全新的分流式涡流分子泵后接一个机械泵提供。

可以使用7% 氢气/氦气混合气或1% 氨气/氦气混合气于CCT模块中。

这样便解决了将高纯度的氢气或氨气直接通入CCT中所造成的潜在的腐蚀问题。

同时也大大提高了仪器的稳定性和操作安全性。

同时型模拟/脉冲检测器以及其实时的多通道电子学系统提供了大于8个量级的动态线性范围，这使得仪器能够同时适应稳定信号和瞬时信号分析。

【技术参数】灵敏度（cps/mg/L）：Be>7×106 In>60×106 U>60×106背景噪声（cps）：<0.5 (220amu)信噪比：>120×106短期稳定性：<1.5%RSD长期稳定性：<3%RSD氧化物离子：CeO+/Ce+<2%检出限(3 ，ng/L)：Be<3Co，In，U<0.5同位素比精度：<0.2%(107Ag/109Ag)热焰高灵敏度模式：灵敏度(cps/mg/L)：In>200×106 U>200×106背景（cps）：<1 (220amu)高灵敏度模式信噪比：>200×106冷焰模式：检出限(3 ，ng/L)：Li<1；Na<29；K<20；Ca<30；Fe<5。

钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号：EVO 18目录附件一、品牌介绍附件二、设备用途附件三、技术指标附件四、供货范围附件五、计划进度及培训附件六、环境要求附件七、质保及其它服务附件一：聚焦·CARL ZEISS世界可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。

其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。

积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：第一台静电式透射电镜(1949)第一台商业化扫描电镜(1965)第一台数字化扫描电镜(1985)第一台场发射扫描电镜(1990)第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)第一台具有Koehler照明的200kV 场发射透射电镜(2003)第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。

自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。

其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。

作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。

Carl Zeiss SMT下属的纳米技术系统部在北京，上海，广州，鞍山设有营销公司和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。

附件二：设备主要用途扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背反射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。

高分辨场发射扫描电镜技术参数一、二次电子分辨率：0.8 nm (加速电压 15 kV)1.1nm (着陆电压 1 kV)二、放大倍率：40 到900k三、电子光学：1.电子枪：场发射电子枪2.加速电压: 0.5 到 30 kV，3.透镜系统：三级以上电磁透镜系统4.物镜光阑：四孔或大于四孔可调光阑(内置加热自清洁功能,)5.消像散器：八级电磁系统（X，Y）6.探测器：低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top）至少三个探测器进行二次电子/背散射电子的接收（配置光学导航摄像探头，配备红外CCD探头）四、样品室和样品台：样品台控制：高精度五轴马达台移动范围指标：X≧100 mm, Y≧80 mm, Z 20mm1. X、Y轴重复精度优于0.5微米。

2.样品台控制：图形界面控制；样品位置记忆功能；图片导航功能3.样品仓接口：不少于10个附件预留口并带有附件返控接口4.可进样尺寸：直径不小于100mm五、显示系统1.用户界面：电脑显示器上的图形用户界面2.电脑：操作系统：微软Windows 7 专业版3.显示器：进口24.1寸专业图像处理液晶显示器2台4.扫描模式：二维图像显示；选区模式；点分析模式；线积分；隔行扫描，漂移补偿帧积分5.图像显示模式：大屏显示模式 (1280 960)四屏同时显示模式 (640 480)选区显示模式（图像调整时使用）6.图像存储保存格式：BMP,TIFF(8位，16位，24位),JPEG，存储像素不小于6k X 4k六、真空系统1.真空控制：完全自动气动阀系统2.真空泵：离子泵： 2或3个进口涡轮分子泵： 1（主抽气）前级干泵： 13.真空度：样品室：﹤10-4 Pa七、保护措施断电保护、断水保护、漏气保护，配有进口空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却扫描电镜镜筒及其它部件，要求配备2小时不间断电源系统备用场发射灯丝1根，物镜光阑1套八、防污染措施液氮冷阱，集成式等离子清洗装置（利用电镜主机软件操控）九、工作条件1．电源：220V/50 Hz，2．环境条件：室温：17℃~ 23℃3．相对湿度： 80 %4．仪器运行的持久性：可连续运行十、能谱仪技术参数1．能谱探测器：传感器面积≥100mm2。

tecan evo 技术参数液体加样范围
Tecan EVO系列液体处理工作站的技术参数液体加样范围视具体型号而异，以下是一些可能的参数范围：
1. 加样体积范围：通常情况下，EVO系列工作站可以处理微
升级别的液体加样，如1-2000 μl。

不同型号和配置的设备可
能具有不同的加样体积范围。

2. 加样精度：EVO系列工作站通常具有非常精确的加样精度，在0.1%以内。

3. 加样速度：加样速度也取决于具体型号和配置，通常可以在几秒钟到几分钟之间完成一次加样操作。

4. 液体处理模块数量：EVO系列液体处理工作站可以配置不
同数量的液体处理模块，以满足不同实验需求。

常见的配置包括单通道和多通道模块。

请注意，以上参数仅为示例，实际的技术参数可能因具体型号和配置的不同而有所变化。

对于具体的Tecan EVO型号和配置，请参考设备的规格说明书或与Tecan公司联系以获取准确的技术参数。

如何正确选择不同功能的扫描电镜扫描电镜选型指南如何正确选择不同功能的扫描电镜？扫描电镜选型指南扫描电子显微镜广泛应用于料子科学、生物学、纳米技术、半导体制造等领域，为研究人员供应了察看和分析微观结构和表面形貌的有效工具。

针对不同领域和样品需求，应当如何选择不同功能的扫描电镜呢？我们对已有的不同功能的扫描电镜进行了盘点：系列 1场发射扫描电镜肖特基场发射扫描电镜（Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope，Schottky FE—SEM）是一种采用肖特基场发射电子源的高判别率扫描电子显微镜，可以供应更高的电子束亮度和稳定性，用于察看微观结构和表面形貌。

第二代场发射扫描电镜，台式设计，防震，在台式机身上获得接近大型场发射的性能。

优秀的低电压成像本领，可减轻电子束对样品的损伤和穿透，较大程度还原样品的真实形貌。

连续电镜能谱一体化设计，升级的快速面扫可以即时显示所选元素的分布情况，实时能谱分析功能大幅提升了检测效率。

特点· 肖特基场发射电子枪· 判别率最高的台式电镜· 良好的低电压成像· 电镜能谱一体化设计· 操作简单· 内置磁屏蔽和减震系统，可放置于任意楼层SEM—STEM 电子显微镜2024 年推出台式场发射 SEM—STEM 电子显微镜，在较低的加速电压下，减少了电子束对样品的损伤，显著提高了图像的衬度。

在台式扫描电镜下即可快速获得高判别的 BF 像、DF 像、HAADF 像，且支持用户自定义成像。

Pharos STEM 样品杯为料子领域的研究供应了高效、全面的表征方式。

系列 2CeB6灯丝扫描电镜CeB6（铈六硼化物）灯丝扫描电镜是一种采用CeB6作为电子发射源的扫描电子显微镜。

CeB6灯丝具有良好的发射性能和长寿命，可供应稳定的电子束，用于高判别率的表面成像和样品分析。

特点· 高亮度、低色差 CeB6灯丝，使用时长不低于 1500h· 无需喷金· "全面屏”操作界面· 不受震动、磁场等环境因素干扰系列 3 全自动扫描电镜全自动扫描电镜以扫描电镜和能谱仪为基础，结合自动掌控系统以及强大的数据库系统，可以全自动对杂质颗粒进行快速识别、分析和分类统计，为客户的研发以及生产供应快速、准确和可靠的定量数据支持。

钨灯丝扫描电子显微镜EVO MA 10/LS 10详细描述：品牌：卡尔·蔡司 型号：EVO MA 10/LS 10制造商：德国卡尔蔡司公司 经销商：欧波同纳米技术有限公司免费咨询电话：800-8900-558【品牌故事】世界顶级光学品牌，可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。

其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥），积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：第一台静电式透射电镜 (1949)第一台商业化扫描电镜 (1965)第一台数字化扫描电镜(1985)第一台场发射扫描电镜(1990)第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992)第一台具有Koehler照明的 200kV 场发射透射电镜(2003)第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS以其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。

自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有电镜制造最核心最先进的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、是全球唯一为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案的电镜制造企业。

其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。

作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。

【总体描述】EVO系列电镜是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。

MA 10用于材料领域,LS 10用于生命科学领域。

该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有业界领先的X射线分析技术。

革命性的Beamsleeve的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。

场发射扫描电镜技术参数一、系统基本信息：1.1系统名称：场发射扫描电镜。

1.2系统数量：1套。

1.3系统组成：主机，Schottky型场发射电子源，无交叉光路Gemini镜筒,圆形一体化样品室，5轴全自动马达驱动样品台，环形Inlens二次电子探测器，样品室二次电子探测器，背散射电子探测器，CCD摄像机，计算机系统，操作软件，真空系统，循环水冷却系统、空气压缩机、能谱仪，原装进口离子溅射仪，备用热场发射灯丝1根，导电胶带2卷。

二、用途：该设备主要用于金属材料、非金属材料、纳米材料的检测，可以对样品进行直接的超高分辨微观形貌观察和微区元素分析。

三、技术要求：1工作条件：1.1电源电压：220V±10V,单相50Hz，工作温度：18°C-25°C，磁场：≤3mGauss，湿度：≤60%RH，接地：独立的接地线。

1.2仪器运行的持久性：长时间连续工作。

2性能指标：★2.1分辨率：0.8nm@15kV 1.6nm@1kV★2.2加速电压：0.02-30kV★2.3加速电压调整步长：每档10V连续可调2.4探针电流：12pA-20nA2.5稳定性：优于0.2%/h2.6放大倍数范围： 10-1,000,000×3电子光学系统：3.1电子发射源：Schottky型场发射（热场发射）电子源。

★3.2 Gemini镜筒：无交叉光路设计，电子束仅在样品表面进行一次汇聚，彻底消除电子束交叉三次发生能量扩散大的问题。

★3.3电子束加速器：无需切换模式即可实现低电压模式下电子束在镜筒内维持较高能量到达样品表面，可低至20V。

能适应的表面凹凸不平样品不导电样品、成分复杂样品、需要倾斜观测的样品。

★3.4透镜系统：电磁透镜/静电透镜式复合物镜。

在任何电压条件下样品表面不形成磁场，在极短工作距离下对磁性样品的高分辨成像。

3.5聚焦：工作距离：范围可由1mm至50mm。

具有灵敏度与放大倍数相关的粗调和细调。

扫描电子显微镜技术参数
一、扫描电子显微镜性能指标描述（带“*”必须满足）
*（1）分辨率：高真空模式 3.0 nm (30 kV)8.0nm(3.0 kV) 15.0 nm (1.0 kV)
（2）放大倍率：5X~300,000X或以上
（3）加速电压：0.3kV~30kV
*（4）最大样品尺寸：200mm直径，高度80mm (WD10mm)
*（5）样品台：行程X=100mm及以上；Y=100mm及以上；Z=60mm及以上；T=-10°～90°；R=360°，优中心五轴，五轴马达自动（X，Y，Z，R，T）
二、电子光学系统
（1）电子枪/灯丝：工厂预对中发卡式钨灯丝
（2）探测器：二次电子探测器（标配），被散射探测器（可选）
（3）具有Charge Free不导电样品扫描模式。

三、能谱仪（制造厂家最好与电镜厂家相同）
（1）具有一体化能谱仪设计
（2）有效探测面积：不小于10mm2
（3）采用电制冷技术，无需液氮
四、真空系统
（1）采用二级真空系统：机械泵、涡轮分子泵，均必须原装进口
（2）真空控制：全自动
五、显示系统
（1）23英寸以上液晶显示触摸屏
（2）存储精度640×480;1280×960;2560×1920;5120×3840像素
（3）配套软件系统：需要具有图象处理、数据显示、标注、测量功能（线扫描、点扫描、面扫描），3D测量（优选）
数量：1台。

扫描电镜相关参数·关键技术参数1.分辨率：对微区成分分析而言，它是指能分析的最小区域；对成像而言，它是指能分辨两点之间的最小距离。

分辨率大小由入射电子束直径和调制信号类型共同决定。

电子束直径越小，分辨率越高。

但由于用于成像的物理信号不同，例如二次电子和背反射电子，在样品表面的发射范围也不相同，从而影响其分辨率。

一般二次电子像的分辨率约为5-10nm，背反射电子像的分辨率约为50-200nm。

2.放大倍数：当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫描的幅度为As，在荧光屏阴极射线同步扫描的幅度为Ac，则扫描电镜的放大倍数为: M=Ac/As3.真空系统Pa4.加速电压Kv5.电子束电流 uA6.样品室内部尺寸mm7.样品台行程8.样品最大高度 mm·样品减薄技术复型技术只能对样品表面性貌进行复制，不能揭示晶体内部组织结构信息，受复型材料本身尺寸的限制，电镜的高分辨率本领不能得到充分发挥，萃取复型虽然能对萃取物相作结构分析，但对基体组织仍是表面性貌的复制。

在这种情况下，样品减薄技术具有许多特点，特别是金属薄膜样品：可以最有效地发挥电镜的高分辨率本领；能够观察金属及其合金的内部结构和晶体缺陷，并能对同一微区进行衍衬成像及电子衍射研究，把性貌信息于结构信息联系起来；能够进行动态观察，研究在变温情况下相变的生核长大过程，以及位错等晶体缺陷在引力下的运动与交互作用。

·表面复型技术谓复型技术就是把金相样品表面经浸蚀后产生的显微组织浮雕复制到一种很薄的膜上，然后把复制膜（叫做“复型”）放到透射电镜中去观察分析，这样才使透射电镜应用于显示金属材料的显微组织有了实际的可能。

用于制备复型的材料必须满足以下特点：本身必须是“无结构”的（或“非晶体”的），也就是说，为了不干扰对复制表面形貌的观察，要求复型材料即使在高倍（如十万倍）成像时，也不显示其本身的任何结构细节。

必须对电子束足够透明（物质原子序数低）；必须具有足够的强度和刚度，在复制过程中不致破裂或畸变；必须具有良好的导电性，耐电子束轰击；最好是分子尺寸较小的物质---分辨率较高。

扫描电镜归档目录1 蔡司 (2)1.1 EVO MA 10/LS 10钨灯丝扫描电子显微镜 (2)1.2 EVO MA 15/LS 15钨灯丝扫描电子显微镜 (3)1.3 EVO MA 25/LS 25钨灯丝扫描电子显微镜 (3)1.4 钨灯丝扫描电子显微镜 EVO 18 (4)2 美国 FEI (6)2.1 Magellan? XHR 扫描电子显微镜 (6)2.2 Quanta 250/450/650系列环境扫描电子显微镜 (7)2.3 Inspect S50 扫描电子显微镜 (7)2.4 Inspect F50 场发射扫描电子显微镜 (8)2.5 Quanta FEG系列”场发射环境扫描电镜 (8)2.6 Nova NanoSEM 50系列”超高分辨率场发射扫描电子显微镜(9)2.7 Helios NanoLab FESEM/FIB"双束"显微镜 (10)3 日立高新 (11)3.1 S-3400N扫描电子显微镜 (11)3.2 S-3700N扫描电子显微镜 (14)3.3 SU1510扫描电子显微镜 (16)4 日本电子 (18)4.1 传统钨丝高/低真空扫描电子显微镜 (19)4.1.1 JSM-6610扫描电子显微镜 (19)4.1.2 JCM-5000 NeoScope扫描电子显微镜 (21)4.1.3 JCM-6000 NeoScopeTM台式扫描电子显微镜 (22)4.1.4 JASM-6200 ClairScope? 扫描电子显微镜 (25)4.2 热场发射扫描电子显微镜 (27)4.2.1 JSM-7001F扫描电子显微镜 (27)4.2.2 JSM-7100F（NEW）热场发射扫描电子显微镜 (28)4.2.3 JSM-7600F 扫描电子显微镜 (30)4.2.4 JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜 (32)4.3. JSM-7500F 冷场发射扫描电子显微镜 (33)1 蔡司作为世界顶级光学品牌，可见光学和电子光学的领导者。