第九章单晶硅制备-直拉法案例
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直拉单晶硅的制备-掺杂直拉单晶硅的制备硅、锗等单晶制备,就是要实现由多晶到单晶的转变,即原子由液相的随机排列直接转变为有序阵列;由不对称结构转变为对称结构。
但这种转变不是整体效应,而是通过固液界面的移动而逐渐完成的。
为实现上述转化过程,多晶硅就要经过由固态到熔融态,然后又由熔融态硅到固态晶体硅的转变。
这就是从熔体硅中生长单晶硅所遵循的途径。
从熔体中生长硅单晶的方法,目前应用最广泛的主要有两种:有坩埚直拉法和无坩埚悬浮区熔法。
在讨论这两种制备方法之前,还应讨论在制备单晶过程中必不可少的一些准备工序。
包括掺杂剂的选择、坩埚的选择、籽晶的制备等,分别介绍如下:一、掺杂在制备硅、锗单晶时,通常要加入一定数量杂质元素(即掺杂)。
加入的杂质元素决定了被掺杂半导体的导电类型、电阻率、少子寿命等电学性能。
掺杂元素的选择必须以掺杂过程方便为准,又能获得良好的电学性能和良好晶体完整性为前提。
1掺杂元素的选择(1)根据导电类型和电阻率的要求选择掺杂元素制备N型硅、锗单晶,必须选择Ⅴ族元素(如P、As、Sb、Bi);制备P型硅、锗单晶必须选择Ⅲ族元素(如B、Al、Ga、In、Ti)。
杂质元素在硅、锗晶体中含量的多少决定了硅、锗单晶的电阻率。
电阻率不仅与杂质浓度有关,而且与载流子的迁移率有关。
当杂质浓度较大时,杂质对载流子的散射作用,可使载流子的迁移率大大降低,从而影响材料的导电能力。
考虑到以上因素,从理论上计算了电阻率与杂质浓度的关系曲线,如图9-5所示。
在生产工艺上按电阻率的高低分档。
掺杂有三档:轻掺杂(适用于大功率整流级单晶)、中掺杂(适用于晶体管级单晶)、重掺杂(适用于外延衬底级单晶)。
(2)根据杂质元素在硅、锗中溶解度选择掺杂元素各种杂质元素在硅、锗中溶解度相差颇大。
例如,采用大溶解度的杂质,可以达到重掺杂的目的,又不会使杂质元素在晶体中析出影响晶体性能。
下表列出了常用掺杂元素在硅、锗单晶生长时掺入量的极限,超过了极限量,单晶生长不能进行。
单晶硅的生长方法1. 直拉法呀,就像我们小时候搭积木一样,一点点把单晶硅拉起来。
你看,在一个高温的坩埚里,把多晶硅熔化,然后用一根细细的籽晶去慢慢往上提拉,哇,单晶硅就这么神奇地生长出来啦!就像盖高楼一样,一层一层的。
2. 区熔法呢,这可有意思了,就好比是在一个局部区域进行一场特殊的“培育”。
把一根多晶硅棒固定,然后用一个加热环在上面移动,加热的地方就熔化啦,慢慢移动过去,单晶硅不就长出来了嘛!是不是很神奇呀!3. 外延生长法,哎呀呀,就好像给单晶硅穿上一件新衣服一样。
在一个已经有单晶硅的衬底上,让气态的反应物沉积上去,形成新的单晶硅层,这就像给它装饰打扮一番呢!4. 气相沉积法,就如同是在空中“变魔术”,让那些气体中的硅原子乖乖地聚集在一起变成单晶硅。
比如把含硅的气体通入反应室,它们就会乖乖地在合适的地方沉积下来成为单晶硅啦,多奇妙呀!5. 分子束外延法,这可是个精细活儿呀,就像一个细心的工匠在雕琢一件艺术品。
通过精确控制分子束的流量和方向,让单晶硅完美地生长出来,厉害吧!6. 固相晶体生长法,这就像是在一个安静的角落默默努力的小伙伴。
在固体状态下,通过一些特殊的条件,让单晶硅悄悄地生长,给人一种很踏实的感觉呢!7. 助熔剂法,好比是有了一个好帮手一样。
加入助熔剂来帮助单晶硅生长,就像有人在旁边助力,让单晶硅长得更好更快呢!8. 水热法,哇哦,就如同在一个温暖的水中“孕育”着单晶硅。
在特定的温度和压力下,让单晶硅在水中生长,是不是很特别呀!9. 熔盐法,这就好像是在一个充满魔法的盐世界里让单晶硅现身。
利用熔盐作为介质,单晶硅就神奇地冒出来啦,真的好有趣呀!10. 等离子体增强化学气相沉积法,就像有一股神奇的力量在推动着单晶硅生长。
利用等离子体来增强反应,让单晶硅快快长大,太有意思啦!我觉得呀,这些单晶硅的生长方法都好神奇,各有各的独特之处,都为我们的科技发展做出了重要贡献呢!。
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毕业设计(论文)-直拉单晶硅的制备题目:直拉法制备单晶硅的研究摘要:单晶硅是目前最广泛应用于光电子器件和太阳能电池领域的材料之一。
本研究主要通过直拉法制备单晶硅,并对其制备过程中的影响因素进行研究和优化。
使用不同的原料、控制拉丝速度和控制拉丝温度等参数进行实验,并通过光学显微镜、扫描电子显微镜和X射线衍射仪等手段进行表征和分析。
关键词:单晶硅、直拉法、控制参数、光电子器件、太阳能电池1. 引言随着科技的快速发展,光电子器件和太阳能电池作为可再生能源领域的重要组成部分,对高纯度、大尺寸、无缺陷的单晶硅的需求越来越大。
直拉法是一种广泛应用于制备单晶硅的方法,通过控制拉丝过程中的参数,可以获得高质量的单晶硅。
2. 直拉法的工作原理直拉法制备单晶硅的过程主要包括原料准备、熔化、拉丝和固化等阶段。
在拉丝过程中,通过初始晶种的引入和拉丝速度的控制,可以实现单晶硅的制备。
3. 影响直拉法制备单晶硅的因素3.1 原料选择:原料的纯度和成分对单晶硅的质量有着重要影响,不同的原料对单晶硅的生长速率和晶体结构有不同的影响。
3.2 拉丝速度:拉丝速度对于单晶硅的形成和生长起到至关重要的作用,过快或过慢的拉丝速度都会影响单晶硅的质量。
3.3 拉丝温度:拉丝温度对单晶硅晶体的质量和纯度有很大影响,需在合适的温度范围内进行控制。
4. 实验设计和结果分析4.1 实验材料和设备的选择:选用高纯度硅片作为原料,使用恒温炉和拉丝机进行实验。
4.2 实验步骤:控制不同拉丝速度和拉丝温度下的直拉法实验。
4.3 结果分析:通过光学显微镜、扫描电子显微镜和X射线衍射仪等手段对实验结果进行表征和分析。
5. 结论本研究通过直拉法制备单晶硅的实验,得出了原料选择、拉丝速度和拉丝温度对制备单晶硅的影响,并优化了制备过程中的参数,从而获得了高质量的单晶硅。