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扩散炉石英管安装力诺光伏设备管理部潘学兴1Add your text in here初定位2Add your text in here定位3Add your text in here密封4Add your text in here安装炉门Add your text in here 初定位1z 石英管的进入：将石英管从loading box送入炉管内部，如图1所示：图1注意：石英管进入炉管时，尾端的进气管旋转至上方，以免在推入石英管时碰坏。
然后轻轻将石英管推入炉管内部。
1Add your text in here初定位z石英管的进入：当石英管尾端超出炉管3-5cm时，停止推入。
将尾端进气管轻轻旋转至底部。
如图2所示：注意：尾端超出炉管尾端3-5cm而不是机器外壳。
注意：将进气管轻轻旋转到下方。
用力时，旋转石英管体而不是进气管。
图2Add your text in here 初定位1z 石英管的初定位：将石英棉填入石英管顶端与炉管间的空隙处，使其固定。
如图3所示：图3注意：填入石英棉时不要将石英棉填到加热丝处，尾端处理同前端一样也需要填入石英棉。
Add your text in here 初定位1z 石英管的初定位：用尺子测量石英管两侧与炉管之间的距离并填入石英棉。
如图4所示：图4注意：当位于同一水平线上的两侧与炉管的距离相同时既是炉管中心位置。
在此处填入少量石英棉，若一边距离大于另一边，可在距离小的一侧填入石英棉将石英管”挤”到中心位置。
定位测量的点为四个：十点钟，两点钟，四点钟，八点钟。
尾端处理也是如此。
1Add your text in here初定位初定位完成的效果如图5、6所示：图5图6Add your text in here 定位2z 石英管定位：用尾端端盖将石英管推到正确位置。
端盖如图7所示：图7注意：在将端盖放到石英管为短时要特别小心，以防将进气管、尾气管碰坏。
双手摊开用力推回至端盖与炉管外沿之间无缝隙为止。
M5111-4WP/UM系列软着陆闭管高温扩散/氧化系统 安装调试说明书中国电子科技集团公司第四十八研究所2009年10月目录1．概述 (1)2.设备的标识 (1)3.设备的安装 (1)3.1结构安装 (1)3.1.1安装要求 (1)3.1.2安装程序及注意事项 (2)3.2电气安装 (3)3.2.1安装要求 (3)3.2.2安装程序及注意事项 (3)4.关键部件的装调 (4)4.1 SiC桨及石英炉门的装调 (4)4.1.1开管装调步聚 (4)4.1.2 闭管装调步骤 (5)4.1.3 软着陆闭管装调步骤 (6)4.1.4注意事项 (10)4.2 真空部件的装调（如装备） (10)4.3 H/O合成部件的装调（如装备） (11)4.3.1装调步聚 (11)4.3.2注意事项 (11)4.4恒温区的调试方法及验收判据 (12)5.调试时的安全要求 (13)1．概述为了加强产品在安装调试过程中的质量控制、规范操作，确保设备合格率以及防止安全事故的发生，特制定高温扩散/氧化系统安装调试说明书；设备在出所前的装配调试以及调机人员在用户现户现场的安装调试均应严格按照此执行。
2.设备的标识1． 在设备的安装、调试及检验过程中，应在设备整体左端1.5米高处挂上设备的工作状态标识。
2． 设备的铭牌统一钉在净化操作台的后盖板底部。
3． 在设备中的强电裸露处和气源柜内应有相应的警示标识。
4． 在设备的安装、调试及检验过程中，视用电情况应在配电箱上设置“严禁拉闸”或“严禁合闸”标识。
3.设备的安装3.1结构安装3.1.1安装要求1． 设备应该在相对洁净的场地安装，装配人员在进入安装现场前应先换鞋；气路安装应在洁净度更高的专用房间内进行，非装配人员不得随意进入。
气路安装应严格按照《气路装配间管理规章制度》和《高温扩散/氧化系统气路装配技术规范》执行。
2． 装配前要由相应设计人员对送来的机架、门板以及机加工件等仔细核对尺寸、检查外观质量，如果不符合设计要求，应拒绝签收，同时与质管部门联系下一步的处理办法。
高温扩散炉使用说明书北京中联科利技术股份有限公司目录1．概述 (2)1．1产品特点 (2)1．2主要用途及适用范围 (2)1．3品种、规格 (2)1．4型号的组成及其代表意义 (2)2．结构特征与工作原理 (3)2．1总体结构 (3)2．2分部件结构 (3)2．3系统控制原理 (7)2．4系统各主要单元功能结构及工作原理 (7)3．主要性能指标 (10)4．安装、调试 (11)4．1安装条件 (11)4．2安装程序及注意事项 (11)4．3调试程序及注意事项 (12)4．4 SiC桨及石英炉门的装调 (13)4．5调试恒温区的方法及验收判据 (14)4．6工艺试运行 (15)5．使用、操作 (15)5．1温控仪的使用 (15)5．2恒温槽的操作使用 (16)5．3计算机的操作使用 (16)5．4操作过程中应注意事项 (16)6．常见故障分析与排除 (17)7．安全 (19)1．概述1.1产品特点本设备加热部分选用进口炉丝以及耐高温保温材料，炉体使用寿命长，保温性能好。
送片系统采用丝杠、导轨及SiC桨悬臂式推拉舟机构，可确保进出舟运行平稳，同时能有效地防止因磨擦而产生的粉尘污染。
温控部分采用了内外联合的控温方式，炉体内置5段控温热电偶，实时实地检测和控制炉内温度，从根本上保证了恒温区的精度和稳定性，彻底改变了常规扩散炉（炉外单控模式）必须靠不断拉恒温区，校准炉外温控仪与炉内实际温度的偏差来保证恒温区的控温方式。
气路部分的关键件均采用进口件，并具有完善的安全保护措施，可靠性好。
整机由计算机控制，各部分软、硬件联锁；操作部分采用先进的触摸屏技术，工艺参数的设置及运行均可在触摸屏上直接进行；自动化程度高、操作简便、可靠性好。
1.2主要用途及适用范围本设备主要用于6英寸、8英寸太阳能晶体硅电池片的扩散、氧化工艺；也可用于半导体器件制造中的扩散、氧化、退火及合金工艺，同时还适用于对其他材料的特殊温度处理。
1.3使用环境要求1.3.1 环境温度5～40℃。
一、操作前准备工作：．清洗石英管前工具的准备石英管承载箱SIC桨承载盒石英制品承载盒橡胶手套HF HCL防酸服防毒面具（二）石英管的拆卸：确定待换洗的扩散管为待机状态关闭加热开关进行冷却。
将扩散管温度降至通知设备人员拆卸石英管，在拆卸前将待清洗管子的大N2流量设为桨及石英制品零部件。
最后从炉体中卸下石英管。
设备人员在拆卸后，首先检查石英制品（石英管、石英档板、石英杆、石英长套N2进气管）、SIC桨是否完好无损。
石英制品零部件放入石英制品承载盒再次注入纯水，液面需浸过石英管的3/4。
打开自动转动按钮，使石英管处于转动状态。
同时检查石英制品零部件之间是有异常响声应立即按停止按钮并查找原因石英管在浓酸中浸泡1小时。
转动后每隔15酸槽中取出，先提管尾，倒出管中的液体石英管水平抬起，将石英管放入清水槽中。
将石英制品零部件从浓酸槽取出放入稀酸槽卡槽。
打开自动转动按钮，使石英管处于转动状态。
同时检查石英制品之间是否存石英管、石英制品零部件在清水中浸泡分钟确认（检查）一次.开启稀酸槽出水阀门，等待将水放净。
抬出石英管放入石英管承载箱，石英制品零部件放回石英制品承载盒。
至扩散间指定位臵。
稀酸槽阀门关闭，在稀酸槽中注入纯水。
安装前再次确认（大、小）石英制品是否完好无损，确认后通知设备人员进检查安装的完整性。
发现问题应立即通知相关设备进行处理开启电源加热开关，手动阶段性升温（POCL3和TCA2个源瓶均要打开。
工艺并确认.注意事项:佩戴橡胶手套，防毒面具时首先要确认有效性。
在搬运过程中要小心石英制品由于人为原因导致损坏。
扩散制结操作规程1. 目 的为规范扩散制结操作流程，正确的操作设备、高效的进行生产，特制定本规程。
2. 使用范围上海超日太阳能科技发展有限公司辖区内的扩散车间。
3. 职 责3.1操作不规范可能引起原材料硅片的损耗，在进行操作之前，务必仔细阅读本规程。
3.2熟练掌握每道操作步骤。
4. 定 义4.1扩散车间只负责按规程操作，更改数据需技术部授权。
5. 程 序5.1 开启非区排风开关及扩散炉总电源。
5.2 开启水浴槽循环开关，检查每个水浴槽的设定温度以及有无循环，观察每个源瓶容量多少。
5.3开启氧气瓶开关，将阀门调节至最大，检查氧气压力是否正常（图2），正常扩散中不断查看氧气压力表，及源瓶温度（图3）。
（图2） （图3）5.4开启的扩散炉的“电源”开关按钮，进入程序操作界面，按下“炉体开”按钮，开始升温（图4）。
（图4） 5.5 插片，将清洗好的硅片从花篮中取下，两片为一单元，插进石英舟内，要求硅片较洁净的一面朝向外面。
如遇硅片表面较脏，须请示工艺员是否对其扩散。
5.6 选定相应工艺参数组，待炉温到达设定值后，按下“装舟”按钮（图5）。
（图5） 5.7 将装有硅片的石英舟用拉舟棒架于悬臂桨上，4个舟依次靠紧，按下“运行”按钮（图6），进行扩散。
（图6）5.8 扩散过程中要检查非区水浴槽的温度，水循环状况，源瓶鼓泡状况，若发现异常，应及时上报并处理。
5.9 扩散结束待悬臂桨完全出炉后用拉舟棒依次取下石英舟放入净化台，开启吹风按钮（图7），进行降温。
图（7）5.10 在扩散开始时，开启半导体电阻率测试仪器。
图（8） 开启测试仪电源、测试探针电源，方块电阻测试旋扭置于“短路”，仪器通电预热半小时。
5.11 抽检扩散后硅片的方块电阻图（9）从风冷后的每个石英舟内不同位置各取两片硅片放于盛片盒内，将测试探针升降脚踏板踩下，取下探针保护套，放下探针，旋紧螺丝将其固定。
将测试旋扭置于测试状态，把硅片扩散面朝上放在测试台上，选取硅片中心及四个边的中心，改变电源极性测出每个测试点正负两个数据并做好各项记录表单。
扩散炉石英管清洗程序一、备用石英管清洗1.清洗石英管的整个过程应严格按照扩散工序相关工艺安全标准进行。
2.清洗槽内如果存有以前用过的氢氟酸溶液，溶液不脏的情况下可以再往里面加10瓶氢氟酸（由生产人员调配）；如果原有的氢氟酸溶液很脏，则应全部排空并洗净槽体，然后通知生产人员配液；如果槽内无以往剩下的氢氟酸溶液，洗净槽体后请生产人员配液。
3.清洗人员必须佩戴好防护眼镜和防酸手套，然后将备用石英管放入石英管清洗机靠近里面的槽内，管口朝向制绒间，管尾指向扩散炉所在方向。
拉下防护门，将酸槽清洗时间设定为30min，按下控制面板中“酸槽启动”按钮。
4.酸槽清洗时间的设定：新的石英管只需清洗30min左右。
如果是用过的石英管，应以将管内壁上沾附的白色五氧化二磷全部脱落的时间为准。
清洗用过的管子，有的要1到2天时间。
在酸槽未启动的情况下，应每隔2个小时将石英管旋转180°。
5.清洗人员戴好防护眼镜和手套，将石英管从酸槽取出，轻放入水槽。
将水槽内的水排空后用水枪冲洗石英管内外壁约5分钟。
冲洗石英管内壁时不要按下“水槽启动”按钮，如果已经按下了应再按下“水槽结束”按钮。
然后把水枪拉到石英管管口，从管口向管尾方向冲洗管内壁。
冲洗时应仔细认真，不要有残留未冲到的区域。
2分钟后，将石英管旋转180°，再用同样方式冲洗2分钟。
6.将纯水注入水槽，水位以能没过石英管尾部的中间通气管为准。
拉下防护门，然后将水槽清洗时间设定为30min，按下“水槽启动”按钮。
7.重复第6步，再清洗一遍。
8.水槽结束后，将水槽内的水排空。
然后，参照上面第5步的方法用水枪冲洗石英管内/外壁。
重点冲洗内壁。
约5min后用水枪冲洗管尾的四个小通气管，重点同样是管内壁。
冲洗2分钟后再继续从管口方向冲洗。
此步清洗时间应不少于15min，以管内外壁无颗粒状磷化物残留为清洗干净的标志。
9.清洗好后将石英管放到净化间的指定位置，下面垫上专用的泡沫。
扩散炉石英管安装
力诺光伏设备管理部
潘学兴
1
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初定位
2
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定位
3
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密封
4
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安装炉门
Add your text in here 初定位
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z 石英管的进入：将石英管从loading box
送入炉管内部，如图1所示：
图1
注意：石英管进入炉管时，尾
端的进气管旋转至上方，以免在推入石英管时碰坏。
然后轻轻将石英管推入炉管内部。
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初定位
z石英管的进入：当石英管尾端超出炉管3-5cm时，停止推入。
将尾端进
气管轻轻旋转至底部。
如图2所示：
注意：尾端超出炉管尾端3-5cm而不是机
器外壳。
注意：将进气管轻轻旋转到下方。
用力
时，旋转石英管体而不是进气管。
图2
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1
z 石英管的初定位：将石英棉填入石英管顶端与炉管间的空隙处，使其固定。
如图3所示：
图3
注意：填入石英棉时不要将石英棉填到加热丝处，尾端处理同前端一样也需要填入石英棉。
Add your text in here 初定位
1
z 石英管的初定位：用尺子测量石英管两侧与炉管之间的距离并填入石英棉。
如图4所示：
图4
注意：当位于同一水平线上的两侧与炉管的距离相同时既是炉管中心位置。
在此处填入少量石英棉，若一边距离大于另一边，可在距离小的一侧填入石英棉将石英管”挤”
到中心位置。
定位测量的点为四个：十点钟，两点钟，四点钟，八点钟。
尾端处理也是如此。
1
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初定位
初定位完成的效果如图5、6所示：
图5图6
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2
z 石英管定位：用尾端端盖将石英管推到正确位置。
端盖如图7所示：
图7
注意：在将端盖放到石英管为
短时要特别小心，以防将进气管、尾气管碰坏。
双手摊开用力推回至端盖与炉管外沿之间无缝隙为止。
Add your text in here 定位
2
z 石英管尾端找平：用水平尺在进气管与热电偶管上进行找平。
如图8所示：
图8
注意：此时在尾端已无法
旋转石英管，若不平只能在石英管管口旋转找平。
Add your text in here 定位
2
z 石英管尾端的定位：找平后测量尾气管到两侧金属外壳的距离。
如图9所示：
图9
注意：尾气管距离
任意一侧边缘的距离为159-160mm ，如有太大差距则用石英棉填充将石英管
“挤”到正确位置。
2
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定位
z石英管端口的定位：测量石英管上下左右四点到金属外壳螺口中心的位置，如图10所示：
注意：石英管左右距螺口的距
离为33mm，上端距金属外壳
边缘的距离为31mm，下端距
金属外壳的距离为23mm。
2
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定位
z石英管的固定：确定好管口、尾端的位置及水平后在为填入石英棉的空隙中填入石英棉。
固定石英管的位置。
如图11、12所示：
2
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定位
z石英管的找平：在固定好石英管的位置之后将，水平仪放入石英管内进行找平。
炉体的找平调节螺栓在furnace正面。
如图13所示：
注意：此时只能调节尾端的调
节螺栓，因为管口的位置已经
确定不能变更。
在结束定位后，要用无尘布及
酒精清洁石英管内外壁。
3
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密封
z尾端密封：将定位时使用的尾端端盖盖在石英管尾端。
用固定底片固定住即可。
如图14所示：
注意：在端盖下凹的部分铺上少
量石英棉，要保证石英棉的厚度
一致。
大约在2mm左右。
进气管与端盖口之间的距离要均
匀不要使一边间隙很大，另一边
没有间隙。
用固定底片固定好后，固定底片
的螺丝不能拧的太紧。
在尾气管、进气管与端盖之间的
间隙中填入石英棉。
3
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密封
z管口密封：在端口垫上两层石英垫圈，然后垫上陶瓷圈。
石英垫圈如图15所示：
图15 石英垫圈
3
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密封
z管口密封：在端口垫上两层石英垫圈，然后垫上陶瓷圈。
效果如图16所示：
注意：当垫上陶瓷圈后仍需
再垫上1-2层石英垫圈。
让石
英垫圈与金属外壳在同一平
面上。
Add your text in here 密封
3
z 管口密封：用金属端盖固定并找平。
效果如图17所示：
图17
注意：金属端盖与石英垫圈之间还有四
层方形的石英垫圈。
如图18
所示：在找平时先按上金属端盖上的上下两个螺母。
图18
Add your text in here 密封
3
z 管口密封：端口排风装置安装。
如图
19所示：
图19
注意：此端口排风装置也需要找平，
其方法与金属端盖找平方法相同。
不再赘述。
密封完成后，要对金属表面进行清洁。
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4
炉门的安装：将炉门支撑杆推知如图
20所示位置并用工具定位在该位置：
图20
注意：此位置必须固
定牢固防止安装炉门时炉门掉落摔碎。
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4
炉门的安装：将炉门固定在支架上。
如图21所示：
图21
注意：固定炉门后，
关闭炉门，若位置不对，可以调节炉门上的调节螺栓。
4
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安装炉门
炉门的安装：安装后效果如图22所示：
图22。
