下载文档原格式
高温氧化扩散炉的工作原理高温氧化扩散炉是一种用于集成电路（IC）制造过程中的重要设备，它主要用于在硅片上形成氧化层、掺杂杂质和扩散杂质等工艺步骤。
下面将详细介绍高温氧化扩散炉的工作原理。
高温氧化扩散炉由炉膛、加热装置、气氛调节系统、控制系统和监测系统等组成。
其工作原理可分为三个主要步骤：预热、氧化和冷却。
首先，预热阶段。
在使用高温氧化扩散炉之前，需要对炉膛进行预热，使其达到工作温度。
预热一般分为两个阶段，首先是室温到400C之间的低温预热，其目的是预防因温度快速升高造成的炉膛损坏；然后是400C左右到工作温度的高温预热，这个阶段主要是为了使炉膛的温度稳定在工作温度。
其次，氧化阶段。
这个阶段是在工作温度下进行的，目的是在硅片表面形成一层氧化层。
工作温度一般在800C到1200C之间，具体温度取决于所需的氧化层厚度。
通常情况下，氧化阶段会持续一段时间，以确保氧化层的稳定性和质量。
在氧化过程中，氧气和惰性气体（如氮气）被搅拌并送入炉膛，氧气与硅片表面发生化学反应，生成二氧化硅（SiO2）薄膜。
氮气的作用是稀释氧气，防止氧气浓度过高，避免氧化层产生缺陷。
最后，冷却阶段。
在完成氧化过程后，炉膛需要冷却至室温，以便取出硅片。
冷却过程一般是逐渐降温，以避免快速温度变化对硅片的影响。
炉膛内部会通过风扇或其他冷却装置进行散热，以加快冷却速度。
冷却完毕后，可打开炉门取出硅片，经过下一步工艺处理。
在高温氧化扩散炉的工作过程中，温度、气氛和时间是三个主要的工艺参数。
温度控制是通过加热装置，如电阻丝或加热器等，将炉膛体系加热至设定温度，并通过温度传感器进行实时监测和控制。
气氛调节系统则通过气流控制和阀门调节，确保氧化过程中气氛的稳定性。
时间控制则是通过控制系统中的定时器或计时器实现，根据工艺要求设定氧化时间。
总结来说，高温氧化扩散炉的工作原理是通过施加高温、控制气氛和时间，实现在硅片表面形成氧化层，并完成杂质掺杂和扩散等工艺。
M5111-4WP/UM系列软着陆闭管高温扩散/氧化系统 安装调试说明书中国电子科技集团公司第四十八研究所2009年10月目录1．概述 (1)2.设备的标识 (1)3.设备的安装 (1)3.1结构安装 (1)3.1.1安装要求 (1)3.1.2安装程序及注意事项 (2)3.2电气安装 (3)3.2.1安装要求 (3)3.2.2安装程序及注意事项 (3)4.关键部件的装调 (4)4.1 SiC桨及石英炉门的装调 (4)4.1.1开管装调步聚 (4)4.1.2 闭管装调步骤 (5)4.1.3 软着陆闭管装调步骤 (6)4.1.4注意事项 (10)4.2 真空部件的装调（如装备） (10)4.3 H/O合成部件的装调（如装备） (11)4.3.1装调步聚 (11)4.3.2注意事项 (11)4.4恒温区的调试方法及验收判据 (12)5.调试时的安全要求 (13)1．概述为了加强产品在安装调试过程中的质量控制、规范操作，确保设备合格率以及防止安全事故的发生，特制定高温扩散/氧化系统安装调试说明书；设备在出所前的装配调试以及调机人员在用户现户现场的安装调试均应严格按照此执行。
2.设备的标识1． 在设备的安装、调试及检验过程中，应在设备整体左端1.5米高处挂上设备的工作状态标识。
2． 设备的铭牌统一钉在净化操作台的后盖板底部。
3． 在设备中的强电裸露处和气源柜内应有相应的警示标识。
4． 在设备的安装、调试及检验过程中，视用电情况应在配电箱上设置“严禁拉闸”或“严禁合闸”标识。
3.设备的安装3.1结构安装3.1.1安装要求1． 设备应该在相对洁净的场地安装，装配人员在进入安装现场前应先换鞋；气路安装应在洁净度更高的专用房间内进行，非装配人员不得随意进入。
气路安装应严格按照《气路装配间管理规章制度》和《高温扩散/氧化系统气路装配技术规范》执行。
2． 装配前要由相应设计人员对送来的机架、门板以及机加工件等仔细核对尺寸、检查外观质量，如果不符合设计要求，应拒绝签收，同时与质管部门联系下一步的处理办法。
高温扩散炉使用说明书北京中联科利技术股份有限公司目录1．概述 (2)1．1产品特点 (2)1．2主要用途及适用范围 (2)1．3品种、规格 (2)1．4型号的组成及其代表意义 (2)2．结构特征与工作原理 (3)2．1总体结构 (3)2．2分部件结构 (3)2．3系统控制原理 (7)2．4系统各主要单元功能结构及工作原理 (7)3．主要性能指标 (10)4．安装、调试 (11)4．1安装条件 (11)4．2安装程序及注意事项 (11)4．3调试程序及注意事项 (12)4．4 SiC桨及石英炉门的装调 (13)4．5调试恒温区的方法及验收判据 (14)4．6工艺试运行 (15)5．使用、操作 (15)5．1温控仪的使用 (15)5．2恒温槽的操作使用 (16)5．3计算机的操作使用 (16)5．4操作过程中应注意事项 (16)6．常见故障分析与排除 (17)7．安全 (19)1．概述1.1产品特点本设备加热部分选用进口炉丝以及耐高温保温材料，炉体使用寿命长，保温性能好。
送片系统采用丝杠、导轨及SiC桨悬臂式推拉舟机构，可确保进出舟运行平稳，同时能有效地防止因磨擦而产生的粉尘污染。
温控部分采用了内外联合的控温方式，炉体内置5段控温热电偶，实时实地检测和控制炉内温度，从根本上保证了恒温区的精度和稳定性，彻底改变了常规扩散炉（炉外单控模式）必须靠不断拉恒温区，校准炉外温控仪与炉内实际温度的偏差来保证恒温区的控温方式。
气路部分的关键件均采用进口件，并具有完善的安全保护措施，可靠性好。
整机由计算机控制，各部分软、硬件联锁；操作部分采用先进的触摸屏技术，工艺参数的设置及运行均可在触摸屏上直接进行；自动化程度高、操作简便、可靠性好。
1.2主要用途及适用范围本设备主要用于6英寸、8英寸太阳能晶体硅电池片的扩散、氧化工艺；也可用于半导体器件制造中的扩散、氧化、退火及合金工艺，同时还适用于对其他材料的特殊温度处理。
1.3使用环境要求1.3.1 环境温度5～40℃。
规范四十八所扩散炉常规维护项目的操作二、适用范围适用于佳诚太阳能有限公司电池车间扩散一到四线工序三、规范性引用文件四十八所扩散炉操作说明书四、职责设备人员:1、检查温控仪表及热电偶是否正常2、检查触摸屏是否偏移,矫正3、检查电气线路按钮开关及指示灯是否正常4、检查插片房风机是否正常5、检查变压器及炉体接线端子是否老化、发黑等现象6、保养完后,确认每台炉管加热、流量正常工艺人员:1、负责协助生产拆装废液瓶夹子2、检查有毒气体管道密封性和老化程度,是否需要更换生产员工:1、检查传动是否平滑,有无震动和异响,加润滑油2、清理净化滤网,必要时更换3、清理废气室及废气管滴下的偏磷酸4、检查恒温水槽不锈钢源瓶座是否有积水,清理5、检查恒温水槽液位是否过低;控温等是否正常6、检查气路是否有漏气现象,更换卡套和四通阀7、检查废液瓶内废液,是否需要清理五、设备主要技术参数 :六、设备介绍与操作1.1总体结构总体结构分为四大部分,见平面安装图 1,从右到左为:控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分。
图 1 软着陆扩散炉平面安装图1.2分部件结构1.2.1工控机控制框图见图 2。
图 2在控制柜的底层, 安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路、电路转接控制板及各层的开关、保险等 , 前盖板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开关等。
该柜内有 220V 的交流电,也有 15V 、 5V 直流电和控制信号线,检修时请注意区分及安全,谨防接错和短路。
1.2.2推舟净化部分推舟净化柜的顶部装有照明灯;正面是悬臂桨推拉舟机构,推舟水平运动采用步进电机 +减速机 +同步带 +同步带轮的传动机构,推动悬臂桨水平移动;推舟垂直运动采用步进电机 +减速机 +升降机的驱动机构,推动推舟底板整体上下移动。
导轨的两端和上下运动的两端都装有限位开关和极限保护开关。
靠近炉口的净化柜顶部设有漏斗状的抽气罩,与外接抽风系统连接后,用来排掉出舟时散发的大量高温有毒气体。
M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统安全使用说明书中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年2月目 录1．使用环境要求 (1)2．工作条件要求 (1)3．设备调试时注意事项 (1)4．设备使用注意事项 (2)5．运行H/O合成工艺注意事项 (4)6．真空系统注意事项 (5)7．化学品的安全使用 (6)8．气体的安全使用 (7)9． 保养与维修 (8)10、碳化硅制品使用说明 (8)11、石英器件使用说明 (11)1、使用环境要求1.1 环境温度5～40℃。
1.2 相对湿度＜75％。
1.3 海拔不超过2500m。
1.4 电网电压波动不超过额定值±10%。
1.5 环境洁净度不劣于：1000级。
1.6 有良好的抽风排毒系统，每管抽风量3000～5000L/min。
1.7 无高频及较强的磁场干扰。
2、工作条件要求2.1 供电：3Ф＋中线+地线，50HZ；设备功率：序号 反应管形式 炉膛内径 单台管数 单台总功率1 开管 Ф300mm 3管/台 105KVA2 开管 Ф300mm4管/台 140KVA3 闭管 Ф330mm3管/台 128KVA4 闭管 Ф330mm4管/台 170KVA5 闭管 Ф350mm4管/台 195KVA2.2 供水：3／4＂管供自来水，水压0.1～0.3MPa，冷却用；去离子水，清洗及工艺用。
2.3 供气：N2、O2 、H2、压缩空气，进气压力0.4～0.6Mpa，工艺气体纯度99.99﹪。
2.4 气源柜、废气室、净化台顶部均应接入排毒、排气管道。
2.5 设备应接入专用接地线，接地电阻≤3 Ω。
3、调试时注意事项3.1 逐柜、逐层上电，检查各部件上电情况，注意检查机壳是否带电。
3.2控制柜及气源柜上电，检查计算机、温控仪、温度保护仪、各控制开关、指示灯、电磁阀、质量流量控制器、流量计电源等是否正常。
在计算机手动操作屏上逐一试验，看对各器件的控制是否正确无误。
中国电子科技集团公司第四十八研究所M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年6月中国电子科技集团公司第四十八研究所目录1．设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2．电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定······················2.3电气接线编号规定····················2.4电气转接端口定义····················2.5计算机转接端口定义···················3．故障判别与维修······················3.1温度控制系统·······················3.1.1温控仪上显示oooo····················3.1.2炉子不能升温······················3.1.3面板上的超温指示灯亮··················3.1.4炉温失控························3.1.5面板上的短路指示灯亮··················3.2自动推拉舟系统······················3.2.1不能自动进出舟·····················3.2.2不能自动停舟······················3.3气体流量控制系统····················3.3.1气动阀不能受控打开···················3.3.2触摸屏上无气体流量显示·················3.3.3气体流量总是显示最大值·················3.3.4气体流量显示值波动大··················3.4 H/O合成氧化系统····················3.4.1火不能点燃·······················3.4.2系统误报警·······················I （3）（3）（3）（7）（11）（11）（11）（11）（12）（12）（13）（13）（13）（14）（14）（14）（14）（15）（15）（16）（16）（16）中国电子科技集团公司第四十八研究所1．设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 — 4 W / UM型 48所）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义1300℃3〞硅片工艺4〞硅片工艺6〞硅片工艺8〞硅片工艺1中国电子科技集团公司第四十八研究所2．电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：代号ABCEFGHJKLMNPQRSTUVWXYZ 代号意义计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器薄膜规、热电偶、接近开关、光电开关电容加热器、扩散泵、照明灯熔断器开关电源、直流电源指示灯、报警器温控仪固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器三相总进线，分为：L1、L2、L3 真空泵、轴流风机、净化风机零线质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电流表、电压表、检测器件断路器、空气开关电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关变压器、调压器、电压互感器、电流互感器旋转编码器、变频器、整流器晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管导线、电缆接线排、端子排、连接片（XB）、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座（头可采用XP、座可采用XS）电磁阀、电磁离合器、气动阀滤波器2中国电子科技集团公司第四十八研究所2.2元器件编号规定* * * * *如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定* * * **连接线序号，零线号从001～099 ；其他线号从101～999 。
M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年2月目录1．设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2．电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定 (3)2.3电气接线编号规定 (3)2.4电气转接端口定义 (3)2.5计算机转接端口定义 (7)3．故障判别与维修 (11)3.1温度控制系统 (11)3.1.1温控仪上显示oooo (11)3.1.2炉子不能升温 (11)3.1.3面板上的超温指示灯亮 (12)3.1.4炉温失控 (12)3.1.5面板上的短路指示灯亮 (13)3.2自动推拉舟系统 (13)3.2.1不能自动进出舟 (13)3.2.2不能自动停舟 (14)3.3气体流量控制系统 (14)3.3.1气动阀不能受控打开 (14)3.3.2触摸屏上无气体流量显示 (14)3.3.3气体流量总是显示最大值 (15)3.3.4气体流量显示值波动大 (15)3.4 H/O合成氧化系统 (16)3.4.1火不能点燃 (16)3.4.2系统误报警 (16)1．设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 — 4 W / UM型所企业代号（中国电子科技集团公司第48所）特点代号设计顺序号主参数（1100℃）品种代号（扩散设备）形式代号（掺杂设备）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义M 薄膜淀积设备5 掺杂设备1 扩散掺杂设备13 主参数，最高使用温度1300℃1 炉膛有效内径φ150mm，适用于3〞硅片工艺2 炉膛有效内径φ180mm，适用于4〞硅片工艺3 炉膛有效内径φ250mm，适用于6〞硅片工艺4 炉膛有效内径φ300mm，适用于8〞硅片工艺W 微控H 悬臂舟A 内燃式B 外燃式S 双温区2．电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：2.2元器件编号规定* * * * *0—公共器件，1—下层，2—中下层，3—中上层，4—上层 1—电控柜，2—净化台，3—炉体柜，4—气源柜如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定* * * * *001～099 ；其他线号从101～999 。
中国电子科技集团公司第四十八研究所M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年6月中国电子科技集团公司第四十八研究所目录1．设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2．电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定······················2.3电气接线编号规定····················2.4电气转接端口定义····················2.5计算机转接端口定义···················3．故障判别与维修······················3.1温度控制系统·······················3.1.1温控仪上显示oooo····················3.1.2炉子不能升温······················3.1.3面板上的超温指示灯亮··················3.1.4炉温失控························3.1.5面板上的短路指示灯亮··················3.2自动推拉舟系统······················3.2.1不能自动进出舟·····················3.2.2不能自动停舟······················3.3气体流量控制系统····················3.3.1气动阀不能受控打开···················3.3.2触摸屏上无气体流量显示·················3.3.3气体流量总是显示最大值·················3.3.4气体流量显示值波动大··················3.4 H/O合成氧化系统····················3.4.1火不能点燃·······················3.4.2系统误报警·······················I （3）（3）（3）（7）（11）（11）（11）（11）（12）（12）（13）（13）（13）（14）（14）（14）（14）（15）（15）（16）（16）（16）中国电子科技集团公司第四十八研究所1．设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 — 4 W / UM型 48所）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义1300℃3〞硅片工艺4〞硅片工艺6〞硅片工艺8〞硅片工艺1中国电子科技集团公司第四十八研究所2．电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：代号ABCEFGHJKLMNPQRSTUVWXYZ 代号意义计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器薄膜规、热电偶、接近开关、光电开关电容加热器、扩散泵、照明灯熔断器开关电源、直流电源指示灯、报警器温控仪固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器三相总进线，分为：L1、L2、L3 真空泵、轴流风机、净化风机零线质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电流表、电压表、检测器件断路器、空气开关电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关变压器、调压器、电压互感器、电流互感器旋转编码器、变频器、整流器晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管导线、电缆接线排、端子排、连接片（XB）、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座（头可采用XP、座可采用XS）电磁阀、电磁离合器、气动阀滤波器2中国电子科技集团公司第四十八研究所2.2元器件编号规定* * * * *如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定* * * **连接线序号，零线号从001～099 ；其他线号从101～999 。
层号：0—公共器件线，1—下层，2—中下层，3—中上层，4—上层柜子号：1—电控柜，2—净化台，3—炉体柜，4—气源柜，5—柜子间的转接线。
如电控柜中上层第35号零线编号为：13035 ；气源柜下层第89号线编号为：41189 ；2.4电气转接端口定义（注：以下的接口定义适用于修改后的WK92及WK93电气图纸）3中国电子科技集团公司第四十八研究所X2003:（Y2M-10TJ/ZK，净化台转接板至控制柜前门板）脚号1 2V相指示灯火线3W相指示灯火线4净化台控制火线入5接触器线圈火线照明灯火线7散热风扇火线8出舟提示线圈火线作用 U相指示灯火线脚号 9 作用常开阀10零线X1103:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至前面板）脚号作用脚号作用脚号作用1上电开关火线入2上电开关火线出3加热开控制线出45急停开关控制线入7急停开关控制线出8加热关控制线入9消声开关报警线入10漏氢指示灯火线11火未燃指示灯火线12超温指示灯火线13工艺指示灯火线14短路指示灯火线15加热开指示灯火线16加热关指示灯火线17加热关控制线出18前面板工作火线19前面板工作零线X1104:（Y2M-10TJ/ZK，控制柜转接板至后面板）脚号作用脚号作用1后面板工作火线2后面板工作零线3报警输出4温控Ⅰ输出＋5温控Ⅱ输出＋温控Ⅲ输出＋7温控Ⅳ输出+8温控Ⅴ输出+9温控输出COM10X1105:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至固态继电器板）脚号作用脚号作用1扩散小氮2大氮3 4 5氢气清洗小氮7 8大（干）氧湿（小）氧D/O备用一 D/O备用二9设备异常灯塔指示灯10 11 12工艺灯13热偶短路报警1415出舟音乐提示16净化风机启动D/O备用四 D/O备用五脚号作用17指示灯火线入18电磁阀火线入194中国电子科技集团公司第四十八研究所X1106:（Y2M-14TJ/ZK，控制柜转接板至X1119 D型25芯针）脚号作用脚号1扩散小氮流量检测2大氮流量检测3 4 5氢气流量检测6清洗小氮流量检测扩散小氮源瓶压力检测8清洗小氮源瓶压力检测大（干）氧湿（小）氧流量检测流量检测9 10 11 12A.GND、G.GND13OPTO14点火信号作用 A/D备用一（风量检测） FREE（启DIR（方向动电平）电平）X1107:（Y2M-24TJ/ZK，控制柜转接板至X1120 D型37芯针）脚号作用脚号作用脚号作用1扩散小氮流量设定2大氮流量设定3 4 5氢气流量设定6清洗小氮流量设定前限位8后限位大（干）氧湿（小）氧流量设定流量设定9急停状态10断水状态11极限保护12炉体开状态13火未燃14火已燃15漏氢16点火温度到17超温18 19 20A.GND、G.GND21222324D/I备用CP（脉冲输（POCL3泄出）漏检测）X1119:（25针D型插头，A/D、D/O信号至计算机）脚号1 2 3 4 5氢气流量检测6清洗小氮流量检测扩散小氮源瓶压力检测8清洗小氮源瓶压力检测作用扩散小氮大氮流量检流量检测测脚号 9 10 作用 A/D备用一（风量检测）脚号 17 作用大（干）氧湿（小）氧流量检测流量检测11DIR（方向电平）12A.GND、G.GND13OPTO141516181920212223FREE（启动电平）24点火信号X1120:（37针D型插头，D/I、D/A信号至计算机）脚号作用脚号作用脚号1前限位2急停状态3极限保护4火未燃5漏氢6超温89101112131415湿氧流量设定161718 19 20521 22 23 24中国电子科技集团公司第四十八研究所作用脚号作用氢气流量设定清洗小氮流量设定后限位断水状态炉体开状态火已燃点火温度到25D/I备用（POCL3泄漏检测）262728CP29扩散小氮流量设定3031大氮流量设定32脚号作用33干氧流量设定3435A.GND、G.GND3637X1108:（Y2M-10TJ/ZK，控制柜转接板至净化台）脚号作用脚号作用1步进电机A+2步进电机A－3步进电机B+4步进电机B-5前限位6后限位7限位COM910极限保护X1109:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至功率板X3102）脚号作用脚号作用脚号作用1温控Ⅰ触发信号2温控Ⅱ触发信号3温控Ⅲ触发信号4温控Ⅳ触发信号5温控Ⅴ触发信号6触发信号COM7+15V触发板GND9功率板零线引入101112131415加热开指示灯火线16加热关指示灯火线17接触器线圈火线18自锁开关触点出线19控制电源火线入X1110或X4101（Y2M-32TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）脚号作用脚号1扩散小氮流量设定2 3 4 5氢气流量设定6清洗小氮流量设定7扩散小氮流量检测大氮流量检测大氮干（大）氧湿（小）氧流量设定流量设定流量设定9 10 11氢气流量检测12清洗小氮流量检测13扩散小氮源瓶压力检测14清洗小氮源瓶压力检测15A/D备用一(风量检测)16作用干（大）氧湿（小）氧流量检测流量检测脚号作用17181920 2122温度到23点火信号24D/I备用（POCL3泄漏检测）6中国电子科技集团公司第四十八研究所脚号作用25断水状态26火已燃2728293031+15V32COMX1111或X4102:（Y2M-14 TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）脚号作用脚号作用1扩散小氮电磁阀2大氮电磁阀3干（大）氧电磁阀4湿（小）氧电磁阀5氢气电磁阀6清洗小氮电磁阀7火未燃报警8漏氢报警10D/O备用线111121314气源柜火线入X4114:（Y2M-10TJ/ZK，气源柜转接板至电磁阀）脚号作用脚号作用1扩散小氮2大氮3 4 5氢气或氮氢混合气6清洗小氮78干（大）氧湿（小）氧或气帘氮常开阀10零线X4105-X4110:（Y2M-7TJ/ZK，至质量流量计）脚号作用1流量设定2COM3流量检测4COM5＋15V6－15V7X4105:至扩散小氮质量流量计 X4106:至大氮质量流量计 X4107:至大（干）氧质量流量计 X4108:至湿（小）氧质量流量计 X4109:至氢气或氮氢混合气质量流量计X4110:至清洗小氮质量流量计（注：修改后与扩散小氮共用） X4113:冷阱电源插座（～220V）P4101-P4107:（9芯D型插头，STEC 质量流量计）脚号6 4 27 3 57中国电子科技集团公司第四十八研究所作用流量设定COM流量检测COM＋15V－15VP4101-P4107:（15芯D型插头，BROOKS 质量流量计）脚号作用8流量设定1COM2流量检测10和9COM5＋15V6－15VP4101-P4107:（15芯D型插头，七星华创质量流量计）脚号作用4流量设定3COM7流量检测6和8COM15＋15V11和12－15VP4101-P4107:（20芯扁平插头，UNIT 质量流量计）脚号作用A流量设定2COM3流量检测B和CCOM4＋15VF－15V（注：以下接口定义的适用于修改前的WK80及WK49等其它图号的电气图纸）X2003:（Y2M-10TJ/ZK，净化台转接板至控制柜前门板）脚号1 2V相指示灯火线3W相指示灯火线4净化台控制火线入5接触器线圈火线6照明灯火线7散热风扇火线8出舟提示线圈火线作用 U相指示灯火线脚号 9 作用常开阀零线X1103:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至前面板）脚号作用脚号作用脚号作用1上电开关火线入2上电开关火线出3加热开控制线出456急停开关控制线入7急停开关控制线出8加热关控制线入9消声开关报警线入漏氢指示灯火线11火未燃指示灯火线12超温指示灯火线13工艺指示灯火线14短路指示灯火线15加热开指示灯火线16加热关指示灯火线17加热关控制线出18前面板工作火线19前面板工作零线8中国电子科技集团公司第四十八研究所X1104:（Y2M-7TJ/ZK或Y2M-14TJ/ZK，控制柜转接板至后面板）脚号作用脚号作用1后面板工作火线2后面板工作零线3报警输出4左温控输出＋5中温控输出＋6右温控输出＋7温控输出COM8左温控外热偶＋9左温控外热偶－10中温控外热偶＋中温控外热偶－1213右温控外热偶＋14右温控外热偶－X1105:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至固态继电器板）脚号作用脚号作用脚号作用1扩散小氮2大氮3 4 5氢气6清洗小氮7冷阱开8湿氧开大（干）氧湿（小）氧9扩散小氮后阀10湿（小）氧后阀清洗小氮后阀12工艺灯13热偶短路报警14散热风扇15出舟音乐提示16净化风机启动17指示灯火线入18电磁阀火线入19净化台火线入20 21 22 23 24X1106:（Y2M-24TJ/ZK，控制柜转接板至X1119和X1120）脚号作用脚号1扩散小氮流量设定2大氮流量设定3 4 5氢气流量设定6清洗小氮流量设定7扩散小氮流量检测8大氮流量检测大（干）氧湿（小）氧流量设定流量设定9 10 11氢气流量检测12清洗小氮流量检测13火已燃14点火温度到15火未燃16漏氢作用大（干）氧湿（小）氧流量检测流量检测脚号 17 18 作用点火信号A.GND、G.GND19前限位20后限位21CP（脉冲输出）22DIR（方向电平）23FREE（启动电平）24OPTOX1119:（25针D型插头，A/D、D/A信号至计算机）脚号作用脚号作用脚号作用1扩散小氮流量设定23大氮流量设定45大（干）氧流量设定67A.GND8扩散小氮流量检测9大氮流量检测10 11 12氢气流量检测13清洗小氮流量检测141516大（干）氧湿（小）氧流量检测流量检测17A.GND18湿（小）氧流量设定1920氢气流量设定921A.GND22清洗小氮流量设定2324中国电子科技集团公司第四十八研究所X1120:（25针D型插头，D/I、D/O信号至计算机）脚号作用脚号作用脚号作用1 2 3FREE（启动电平）4G.GND5OPTO6点火温度到7火已燃8火未燃点火信号 DIR（方向电平）9漏氢10G.GND1113141516171819前限位20后限位21222325CP（脉冲输出）X1108:（Y2M-14TJ/ZK，控制柜转接板至净化台）脚号作用脚号作用1步进电机A+2步进电机A－3步进电机B+4步进电机B-5前限位6后限位7 8限位COM 编码器A9编码器B10+15V11COM极限保护1314X1109:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至功率板X3102）脚号作用脚号作用脚号作用1温控Ⅰ触发信号2温控Ⅱ触发信号3温控Ⅲ触发信号4触发信号COM5+15V6触发板GND7功率板零线引入8温控Ⅰ外热偶＋9温控Ⅰ外热偶－10温控Ⅱ外热偶＋11温控Ⅱ外热偶－+24V13温控Ⅲ外热偶＋14温控Ⅲ外热偶－15加热开指示灯火线16加热关指示灯火线17接触器线圈火线18自锁开关触点出线19控制电源火线入X1110或X4101（Y2M-32TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）脚号作用脚号1扩散小氮流量设定2 3 4 5氢气流量设定6清洗小氮流量设定7扩散小氮流量检测8大氮流量检测大氮干（大）氧湿（小）氧流量设定流量设定流量设定9 10 11氢气流量检测清洗小氮流量检测13+24V或+5V备用14扩散小氮15大氮16干（大）氧作用干（大）氧湿（小）氧流量检测流量检测脚号 17 1819 20 21 22 23 2410中国电子科技集团公司第四十八研究所作用湿（小）氧氢气清洗小氮湿氧加热冷阱开温度到（氩气流量检测）点火信号扩散小氮（模拟地）后阀（备用氮）脚号25 26 27 28 29清洗小氮后阀（氩气）30气源柜火线入31+15V32COM作用湿（小）氧后阀火已燃火未燃报漏氢气（备用氮警(备用氮（氩气流流量检测）流量设定) 量设定）X4102或X4116:（Y2M-14或19TJ/ZK，气源柜转接板至电源盒）脚号作用脚号作用1火未燃23火已燃45COM6COM7+15V8-15V9温度到1011 12 13氢气阀：J141516点火信号氢气阀：KX4103:（25芯D型孔头，电源盒内至氢氧合成保护板）脚号作用脚号1 2 3 4COM5COM6COM7＋15V8－15V检测热电火已燃：e 火焰探头：偶：入－＋9 10 11 14 15火线：l24氢气阀：k25作用温度到：n 检测热电点火信号：火未燃：m 偶：入＋ a氢气阀：jX4112:（XS16-3芯，至氢气报警器）脚号作用1火线2零线3漏氢气X4114:（Y2M-10TJ/ZK，气源柜转接板至电磁阀）脚号作用1扩散小氮2大氮3 4 5氢气或氮氢混合气6清洗小氮7扩散小氮后阀或备用氮8清洗小氮后阀或氩气干（大）氧湿（小）氧或气帘氮脚号作用9常开阀10零线X4117:（Y2M-10TJ/ZK，电源盒至氢氧合成点火控制部件）脚号作用1检测热偶－2检测热偶＋3火焰检测探头＋4火焰检测探头－5温控输出＋6温控输出－7控制热偶＋8控制热偶－11中国电子科技集团公司第四十八研究所X4105-X4110:（Y2M-7TJ/ZK，至质量流量计）脚号作用1流量设定2COM3流量检测4COM5＋15V6－15V7X4105:至扩散小氮质量流量计 X4106:至大氮质量流量计 X4107:至大（干）氧质量流量计 X4108:至湿（小）氧质量流量计 X4109:至氢气或氮氢混合气质量流量计X4110:至清洗小氮质量流量计（注：后来有与扩散小氮共用的） X4115:至备用氮气质量流量计 X4119:至氩气质量流量计 X4113:冷阱电源插座（～220V）P4101-P4107:（9芯D型插头，STEC 质量流量计）脚号作用6流量设定4COM2流量检测7COM3＋15V5－15VP4101-P4107:（15芯D型插头，BROOKS 质量流量计）脚号作用8流量设定1COM2流量检测10和9COM5＋15V6－15VP4101-P4107:（15芯D型插头，七星华创质量流量计）脚号作用4流量设定3COM7流量检测6和8COM15＋15V11和12－15V12中国电子科技集团公司第四十八研究所2.5计算机转接端口定义（注：以下的接口定义适用于工控机后为25针和37针D型插头组合的情况）PCL－812PG：CN1（Analog Input）地址备注控制位 A/D 0 A.GND A/D 1 A.GND A/D 2 A.GND A/D 3 A.GND A/D 4 A.GND A/D 5 A.GND A/D 6 A.GND A/D 7 A.GND A/D 8 A.GND A/D 9I/O脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 191 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19出入线X1119（25）1 14 2 15 3 16 4 17 5 18 6 19 7 20 8 21 9 22 10功能控制含义扩散小氮流量检测模拟地大氮流量检测模拟地干氧流量检测模拟地湿氧流量检测模拟地氢气流量检测模拟地清洗小氮流量检测模拟地扩散小氮源瓶压力检测模拟地清洗小氮源瓶压力检测模拟地 A/D备用一模拟地 A/D备用二PCL－812PG：CN3（Digital Output）地址备注控制位 D/O 13 D/O 14 D/O 15 D.GND D.GND +5VI/O脚 14 15 16 17 18 191 2 3 4 5 6出入线X1119（25）23 11 24 12 25 13功能控制含义推舟启动电平FREE 推舟方向电平DIR 点火信号 D.GND D.GND OPTOPCL－812PG：CN4（Digital Input）地址控制位 D/I 4 D/I 5 D/I 6I/O脚 5 6 75 6 7出入线功能X1120（37）控制含义 1 推舟前限位开关 20 推舟后限位开关 2 急停按钮状态13中国电子科技集团公司第四十八研究所备注D/I 7 D/I 8 D/I 9 D/I 10 D/I 11 D/I 12 D/I 13 D/I 14 D/I 15 D.GND D.GND +5V +12V 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 208 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 2021 3 22 4 23 5 24 6 25 7 26 8 27断水状态推舟极限保护开关炉体加热状态火未燃信号火已燃信号漏氢状态检测点火温度到信号超温D/I备用二 D.GND D.GND +5V +12VPCL－812PG：CN5（Counter）地址备注控制位 NoCTR0 OUT NoI/O脚 9 10 119 10 11出入线功能X1120（37）控制含义 9 28 推舟脉冲 10PCL－726：CN1（Digital Output）地址备注控制位 D/O 0 D/O 1 D/O 2 D/O 3 D/O 4 D/O 5 D/O 6 D/O 7 D/O 8 D/O 9 D/O 10D/O 11 D/O 12 D/O 13 D/O 14 D/O 15 D.GND D.DNG +5V +12VI/O脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20出入线功能控制含义扩散小氮电磁阀大氮电磁阀干氧电磁阀湿氧电磁阀氢气电磁阀清洗小氮电磁阀D/O备用一 D/O备用二设备异常指示灯 D/O备用四 D/O备用五工艺指示灯短路指示灯 D/O备用三出舟音乐提示净化风机 D.GND D.DNG +5V +12V14中国电子科技集团公司第四十八研究所PCL－726：CN3（D/A Output）地址备注控制位 D/A 1# V D/A 1# I D/A 1# R D/A 1# A D/A 2# V D/A 2# I D/A 2# R D/A 2# A D/A 3# VI/O脚 5 6 7 8 9 10 11 12 13出入线 X1113 X1120（37）5 29 6 11 7 30 8 12 9 31 10 13 11 32 12 14 13 33功能控制含义扩散小氮流量设置模拟地大氮流量设置干氧流量设置PCL－726：CN4（D/A Output）地址 Base+6，7Base+8，9Base+10，11 备注控制位 D/A 4# V D/A 4# I D/A 4# R D/A 4# A D/A 5# V D/A 5# I D/A 5# R D/A 5# A D/A 6# VI/O脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9出入线 X1114 X1120（37）1 15 2 34 3 16 4 35 5 17 6 36 7 18 8 37 9 19功能控制含义湿氧流量设置模拟地氢气流量设置清洗小氮流量设置（注：以下的接口定义适用于工控机后为25针和25针D型插头组合的情况）PCL-726 6通道D/A板基址:2C0H CN1出入线功能地址控制位 I/O脚X1112-I X1112-O 控制含义Base+13 DO0 1 1 1 扩散小N2阀 Base+13 DO1 2 2 2 大N2阀 Base+13 DO2 3 3 3 干（大）O2阀 Base+13 DO3 4 4 4 湿（小）O2阀 Base+13 DO4 5 5 5 H2阀Base+13 DO5 6 6 6 清洗小N2阀 Base+13 DO6 7 7 7 冷阱开 Base+13 DO7 8 8 8 湿氧开 Base+12 DO8 9 9 9 扩散小N2后阀 Base+12 DO9 10 10 10 湿（小）O2后阀Base+12 DO10 11 11 11 清洗小N2后阀 Base+12 DO11 12 12 12 工艺指示灯15中国电子科技集团公司第四十八研究所Base+12 Base+12 Base+12 Base+12备注DO12 DO13 DO14 DO15 D．GND D．GND +5V +12V13 14 15 16 17 18 19 2013 14 15 16 17 18 19 2013 热偶短路报警 14 散热风扇 15 出舟音乐提示 16 净化风机启动 17 18 19 20使用20芯扁平电缆连接到固态继电器板PCL-726 6通道D/A板基址:2C0H CN3地址 Base+0，1Base+2，3Base+4，5备注控制位 D/A 1# V D/A 1# I D/A 1# R D/A 1# A D/A 2# V D/A 2# I D/A 2# R D/A 2# A D/A 3# VI/O脚 5 6 7 8 9 10 11 12 13出入线功能 X1113 X1119（25）控制含义 5 1 扩散小N2流量设置 6 14 7 2 8 15 9 3 大N2流量设置 10 16 11 4 12 17 模拟地 13 5 干（大）O2流量设置X1119共有9根线连接PCL-726:CN3PCL-726 6通道D/A板基址:2C0H CN4地址 Base+6，7Base+8，9Base+10，11 备注控制位 D/A 4# V D/A 4# I D/A 4# R D/A 4# A D/A 5# V D/A 5# I D/A 5# R D/A 5# A D/A 6#I/O脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9出入线 X1114 X1119（25）1 18 2 6 3 19 4 7 5 20 6 7 8 9 22功能控制含义湿（小）O2流量设置模拟地 H2流量设置清洗小N2流量设置（详见注一）X1119共有5根线连接PCL-726:CN4PCL-812PG 12通道A/D板基址:220H CN1地址 Base+4，5Base+4，5控制位 A/D 0# A．GND A/D 1# A．GNDI/O脚 1 2 3 2出入线 X1115 X1119（25）1 8 2 21 3 9 ―――――22功能控制含义扩散小N2流量检测模拟地大N2流量检测连接清洗小N2流量设置（详见注一）16中国电子科技集团公司第四十八研究所Base+4，5 A/D 2# 5 5 10 干（大）O2流量检测A．GND 2 2 23Base+4，5 A/D 3# 7 7 11 湿（小）O2流量检测A．GND 2 2 24Base+4，5 A/D 4# 9 9 12 H2流量检测A．GND 2 2 25Base+4，5 A/D 5# 11 11 13 清洗小N2流量检测备注 X1119共有11根线连接PCL-812PG:CN1注一：清洗小N2流量设置的引出线为X1119的22脚，连接时先制作一根15芯的扁平电缆与X1119的18、6、19、7、20这五个脚构成一个20芯电缆连接至PCL-726:CN4,然后剥出PCL-726:CN4的第9脚。
