1.工艺控制软件的使用1.1软件的启动按下“上电”按钮，启动工控计算机，双击“扩散监控系统”图标后启动工艺控制软件，启动软件后，程序进入登录界面，选择用户名，输入密码，即可登陆。
如果修改密码，则先输入原密码，再在相应的恶框内输入新密码，按确认后就可完成修改。
正确输入密码登录后，进入手动操作界面。
1.2温度设置界面上有三个模拟温度控制器图形，分别对应扩散炉的三端温度控制器。
温度控制器图形中第一行三个绿色的示值为左、中、右三个温区的控温热电偶测量值。
三个热电偶之间的区域正是该设备的恒温区。
第二行的三个红色示数为温度控制器的温度设定值（SV值）。
三个点的SV值可以单独设置，主要供调试和维护所用，在自动运行界面中，没有开放。
温度设定值在本窗口可以修改。
修改方法：点击温度控制器上的SET按钮，ＳＶ值的颜色改变，通过＂＋１＂等按钮进行修改数值，然后再次点击SET按钮，该端点的ＳＶ值将得到修改。
1.3手动界面的温度曲线和流量曲线显示在手动操作界面中有一个记录并描叙温度的曲线图。
横坐标为时间轴，起始长度为１小时，记录到一小时时，时间区域长度自动翻倍，依次类推，一直记录，在两种情况下将自动停止：1）点击“退出系统”按键，退出工作程序；2）进入程序工艺运行（此时将启动运行状态下的温度曲线记录）。
温度曲线是控制热电偶ＰＶ的温度记录，左端温度记录曲线显示为白色线条，中点温度记录为红线条，右端温度记录为绿线条。
见面右上角显示有系统时间，每月要注意将其与标准时间核对。
本界面还有流量曲线显示，操作同温度曲线显示，通过手动操作间界面上的“温度曲线／流量曲线”进行温度曲线显示和流量曲线显示的装换。
1.4阀动作设置在手动操作界面的中上部有系统的气路总图和气路简图的显示，两者可以通过“气路总图／气路简图）按钮进行切换。
在窗口的右下侧，有一个“设置区域”，在该区域可对电磁阀状态和气体流量进行设置。
设置键为右侧中部的“＋１”等按键。
在设置O2阀、N2阀、小N2阀气体阀门及流量时，相应的气体阀门将会打开，反映在屏幕上是气体简图中的阀门将会改变颜色（绿色为开，红色为关）。
