扫描电镜能谱仪使用要求

能谱仪技术指标1、技术指标：1)*可靠性：可以配合各主流品牌的场发射扫描电镜使用，且在北京的地质行业有配合先例，提供用户名单和联系方式；2)探测器：硅漂移晶体，超薄窗口，完全独立真空；晶体有效面积不小于60 mm2，探头整体有效采集面积不小于50mm2；适合低电压或小束流分析；3)*探测器制冷和定位：采用三级帕尔贴制冷，最低工作温度可达零下80摄氏度；探头采用马达控制的自动伸缩设计，可以在软件里实现控制，确保针对不同尺寸样品的定位精度；4)元素分析范围Be4—U92；5)免维护性：探头不包含冗余的前置放大电路板，随时可以断电，无需重新校正；6)分辨率MnKa优于127eV，CKa优于56eV，F Ka优于64eV（20000CPS）；在不同计数率下谱峰稳定，分辨率衰减小于1eV；7)输出最大计数率：大于500,000CPS谱峰无畸变，可处理最大计数率优于750,000CP S；8)软件：64位能谱应用软件，操作简便界面清楚，直接读出电镜参数和仪器状态，结果输出方便，适合于不同层次的用户尽快掌握；9)谱定性分析：具备点、线、面扫描分析功能，高帽法扣除背景避免人为误差；10)*谱定量分析:可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面的分析；具有虚拟标样法（间接标样法）以及有标样法（直接标样法）；可以方便的得到归一化和非归一化定量结果；11)*谱峰稳定性：具备零峰设计，相对峰位稳定，无需铝铜双峰校准，保证数据重现性；12)图像输出：支持BMP,TIFF, JPEG等流行的图像格式，对视场上任选区域进行能谱分析和线、面扫描，可得到元素的线分布、常规面分布、快速面分布和定量面分布等，所支持电镜数字图像最大清晰度优于8192*8192，全息X射线成分图最大清晰度（live Spectrum Mapping）优于4096*4096.13)*高级应用软件：针对地质领域，可以提供多视场自动叠加的数据拼接功能，实现大范围面扫描和特征元素富集区域的自动分析；14)图形处理器配置不低于：知名品牌，Intel Core i7-2600 处理器，8G以上内存，1TB硬盘，DVD/RW 刻录光驱，24”平板液晶显示器，专用实验台等；2、培训要求卖方在用户现场进行技术培训，一年以后免费提供深入的技术培训课程，终生提供免费的应用咨询以及技术帮助3、售后服务3.1 安装：要求卖方到用户现场进行免费安装、调试、试运行。

S-4800扫描电镜附件Horiba X射线能谱仪操作规程一、启动能谱计算机及EMAX软件确认EMAX液氮灌中有充足的液氮；打开地上接线板上的红色开关；打开能谱计算机；打开EMAX软件；预热三十分钟后才能开始能谱操作。

二、启动S-4800及PC-SEM软件同S-4800扫描电镜操作。

三、加载样品同S-4800扫描电镜操作。

四、插入能谱探头慢慢摇入能谱探头，用力不要过大。

五、S-4800参数设定（1）加速电压：一般设为元素激发能量的2－3倍，常用范围15－20kv，原子序数越大电压越高；（2）工作距离：WD=15mm；（3）Probe current：High；（4）Focus mode：HR；（5）聚光镜C1电流：选大一些，数字越小，电流越大。

六、调整、观察样品同S-4800扫描电镜操作：调节电子光学系统（合轴，消像散），观察样品，记录图像。

七、EMAX软件中参数设定电镜控制：<菜单>—<选项>—<电镜控制>：放大倍数、加速电压、工作距离都要与S-4800的设定一致。

当SEM的参数变化时，要随时调整电镜控制。

八、能谱操作（1）选择所需要的功能：Analyzer——对SEM所扫描的整幅图像进行定性和定量分析；Point & ID——对SEM图像中指定的感兴趣区域进行定性和定量分析；Mapping——元素分布图。

（2）Analyzer分析操作：(a)项目：输入项目名称，也可以输入注释及文件检索时所需的关键字。

(b)样品：输入样品名称及相关信息，表面是否经过喷镀等，如表面喷镀物质，需选则喷镀元素名称并设定镀层厚度，程序在定量分析时扣除该元素。

(c)电镜设置：调节电镜电子束的电流，选择处理时间（5或6），来调节死时间（20-30%），以相对较好的条件进行分析。

(d)采集谱图。

(e)定性分析：确定元素。

(f)定量分析设定：设定分析条件。

(g)定量分析。

(h)制作报告。

扫描电镜使用说明书一、产品概述扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面并检测扫描电子束的反射电子，从而获取样品的形貌和元素成分信息。

本说明书将详细介绍扫描电镜的使用方法和注意事项。

二、安全操作1. 在使用扫描电镜之前，请确保机器的电源已经正确接入地线，避免触电事故的发生。

2. 在打开扫描电镜之前，先检查样品台和操作盖是否已经安装好并正确固定。

3. 使用扫描电镜时，应该配戴好相关的防护眼镜和手套，确保个人安全。

4. 禁止将未经处理的有毒或易燃物质放入扫描电镜中进行观察。

三、仪器操作流程1. 打开电源开关，等待仪器自检完成，并确保控制面板上的指示灯正常。

2. 使用适当的工具调整样品台的位置和角度，使样品处于扫描电子束正下方。

3. 将待观察的样品放置到样品台上，并使用夹具或胶带固定，避免因振动而影响图像质量。

4. 根据样品特性和需要，选择合适的放大倍数和扫描模式，并进行相关设置。

5. 确保样品台和探针头之间的距离适当，并调整探针电子的聚焦和对准。

6. 点击开始扫描按钮，此时电子束将开始扫描样品表面，并生成相应的图像。

7. 观察并分析样品表面的形貌，使用相关软件进行图像处理和测量。

8. 在观察结束后，关闭电源开关，并进行必要的清洁和维护。

四、注意事项1. 在操作过程中，应该避免触摸样品表面，以免影响图像质量。

2. 在调整参数时，应该谨慎操作，避免产生误操作，导致损坏仪器或样品。

3. 镜头和样品台需要保持干净，可使用专门的清洁剂和软布进行清洁。

4. 扫描电镜不适合长时间连续工作，应该注意适当间隔，避免过热或损坏。

5. 扫描电镜需要定期进行保养和维护，以保证其正常工作。

6. 使用扫描电镜时应该有足够的耐心和耐心，避免急躁操作和粗心大意。

五、故障排除1. 若扫描电镜出现异常现象，如图像模糊、偏移等，可先通过重新校准参数来尝试解决问题。

扫描电镜的基本原理和应用的国标1. 扫描电镜的基本原理扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种使用电子束来观察样品表面形貌的仪器。

其基本原理如下：•电子源：扫描电镜使用热阴极或场发射枪产生高能电子束。

这些电子经过加速和聚焦，形成高能电子的束流。

•扫描线圈：扫描线圈控制电子束的位置，并负责将电子束扫描在样品上。

电子束从一边开始扫描，逐行覆盖整个样品表面。

•样品台：样品台是安放样品的平台，它可通过电动装置在水平以及垂直方向上移动，以便对样品进行调整。

•检测器：当电子束照射到样品表面时，该区域将会发射出不同的信号，检测器用于接收并测量这些信号。

常用的检测器包括二次电子检测器（SE），反射电子检测器（BSE）等。

•图像处理系统：扫描电镜能够通过图像处理系统显示样品表面的形貌和微观结构。

图像处理系统可以调节对比度、亮度等参数，以获得更清晰的图像。

2. 扫描电镜的应用的国标扫描电镜被广泛应用于材料科学、生物科学、地质学等领域。

以下是一些与扫描电镜应用相关的国标：•GB/T 20112-2006 扫描电子显微镜技术术语和定义：该国标定义了扫描电子显微镜中使用的术语和定义。

它包括了电子源、扫描线圈、检测器等组成部分的定义，为扫描电镜的使用提供了统一的术语标准。

•GB/T 21306-2008 金属和合金中显微组织的测量信息的表达：该国标规定了使用扫描电子显微镜观察金属和合金显微组织时所需的信息表达方法。

它定义了显微组织的分类、测量参数的计算方法等内容，为金属和合金显微组织的表征提供了规范。

•GB/T 26354-2010 扫描电子显微镜橡胶纳米复合材料分析方法：该国标规定了使用扫描电子显微镜分析橡胶纳米复合材料的方法。

包括样品的制备、参数的设定和分析步骤等内容，为橡胶纳米复合材料的研究提供了规范。

•GB/T 17661.1-2017 粉尘爆炸危险性试验方法第1部分：确定粉尘爆炸特性的方法：该国标规定了使用扫描电子显微镜检测粉尘的方法。

扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。

二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。

确保样品具有足够的稳定性和导电性。

2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。

3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。

4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。

5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。

6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。

7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。

8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。

9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。

三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。

2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。

3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。

4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。

5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。

四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。

2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。

如需要，请更换老化的组件。

3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。

4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。

5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。

SEM扫描电镜能谱（EDS）分析技术来源：Labs科技⽂摘如果要分析材料微区成分元素种类与含量，往往有多种⽅法，打能谱就是我们最常⽤的⼿段。

能谱具有操作简单、分析速度快以及结果直观等特点，最重要的是其价格相⽐于⾼⼤上的电镜来说更为低廉，因此能谱也成为了⽬前电镜的标配。

今天这篇⽂章集齐了有关能谱（EDS）的各种问题，希望能给⼤家带来帮助。

Q1:能谱的缩写是EDS还是EDX？开始的时候能谱的缩写有很多，⽐如EDS，EDX，EDAX等，⼤家对此也都⼼照不宣，知道ED 就是Energy Dispersive，后⾯因为X-ray Analysis和Spectrum这⼏个词的不同⽤法，导致了缩写的不同。

⽽且相应的汉译也有很多，⽐如能量⾊散谱，能量散射谱等等。

不过，到了2004年左右，相关协会规定，EDS就是能谱或者能谱仪，EDX就是能谱学，Dispersive就不去翻译。

这样EDS就应该是⽂章⾥的正规⽤法，⽽现在有很多⽂章仍然使⽤其他说法，有约定俗成的味道，⼤家知道怎么回事就⾏了。

Q2:TEM的能谱误差⽐SEM的⼩吗？A2:因为很多⼈知道TEM的分辨率⾼，所以认为TEM所配能谱的分辨率⾼于SEM。

这可以说是⼀个⾮常错误的论断。

同样⼚家的能谱，同⼀时期的产品，⽤于TEM的分辨率通常要低于SEM⼏个eV，诚然，TEM可能会观察到更⼩的细节，但这只是能谱分析范围的精准，并不代表能谱的分辨率⾼。

SEM的样品⽐较容易制备，⽽且跟厚度关系不⼤，⼀般电⼦束深⼊样品的⾼度为⼏个微⽶，定量时可以放相应样品的标样（⽐如纯Si就⽤纯Si标样，MgO就⽤MgO标样，有很多国家级标样供选择）来做校正。

⽐较重的元素诸如很多⾦属和稀⼟元素的分析结果可以认为是定量的。

上海硅酸盐研究所的李⾹庭教授对SEM和电⼦探针的EDS分析结果做过⽐较系统的讲述，我摘抄如下：EDS分析的最低含量是0.x%（注：这个x是因元素不同⽽有所变化的。

）“电⼦探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则”国家标准，规定了EDS的定量分析的允许误差（不包括含超轻元素的试样）。

场发射扫描电镜及能谱仪的使用实验报告本次实验是使用场发射扫描电镜及能谱仪，在该实验中，我们使用了分别大小不同的4种不同样品，来研究场发射扫描电镜的原理和能谱仪的使用方法以及样品的成分。

首先，我们使用场发射扫描电镜来观察样品的表面形态。

在观察的过程中，我们需要将样品放置在扫描电子显像样品台上，示波器显示出各类电子的轨迹和位置，样品的表面形态被非常清楚地显示在了电子显像器上。

在观察样品表面形态的过程中，我们发现样品的表面形态非常复杂，有些微观结构上的细节在肉眼里并不能看得出来，但是在电杆极电子轨道的照射下，这些细节清晰可见，非常充分地展现了物质的微观结构。

接着，我们使用场发射扫描电镜来对样品的表面进行能谱分析。

能谱仪是将能量较低的电子通过质谱仪来进行测量，通过利用不同电子在材料中相互作用时发生的产生与到达位置的变化，可以精确地测量到样品中不同元素的元素组成比例。

通过能谱仪的测量，我们得到了样品的化学元素组成和相对含量，从而进一步确认样品的型号和质
量。

在使用能谱仪进行样品分析的过程中，我们需要注意到样品表面
的污染和样品本身的含水率等因素，这些都可能导致测试结果的偏差。

总的来说，使用场发射扫描电镜和能谱仪进行样品分析是一种非
常有效的分析方法。

场发射扫描电镜不仅可以将物质的微观结构清晰
地呈现出来，还可以用来确认样品的型号，而能谱仪则可以帮助我们
进一步了解样品的元素组成和含量，这对于对样品进行研究和分析非
常有帮助。

当然，在进行分析前，我们还需要对每个样品的具体情况
进行细致的分析和考虑，并采取相应的措施来避免测试误差的发生，
保证测试结果的准确性。

场发射扫描电镜及能谱仪的使用实验报告(一)场发射扫描电镜及能谱仪使用实验报告实验目的1.了解场发射扫描电镜及能谱仪的基本原理和使用方法；2.熟悉场发射扫描电镜及能谱仪的操作流程；3.掌握利用场发射扫描电镜及能谱仪对样品进行表征的技能。

实验器材1.场发射扫描电镜及能谱仪；2.样品；3.电脑。

实验步骤一、准备工作1.打开电脑，登录操作系统；2.打开场发射扫描电镜及能谱仪的相关软件；3.将样品放置在台面上，并对其进行定位和调整。

二、场发射扫描电镜成像1.点击场发射扫描电镜软件界面上的“成像”按钮；2.调整样品位置和姿态，确保取得清晰的图像；3.根据需要进行调整，如放大、缩小、改变灰度等。

三、能谱仪分析1.点击能谱仪软件界面上的“能谱分析”按钮；2.设置分析参数，如电子束的加速电压、电子束的工作距离、收集角度等；3.等待采集数据，得到样品的能谱图；4.根据能谱图进行分析和判断，如分析样品的成分元素和结构等。

四、关闭仪器1.关闭软件界面；2.关闭仪器的主电源；3.给样品台面等部件进行清洁。

实验结果通过场发射扫描电镜及能谱仪的使用，我们成功得到了样品的形态、结构特征以及成分等信息。

实验结果表明，场发射扫描电镜及能谱仪是非常重要的材料表征手段，对于材料的表征、研究和开发具有非常重要的作用和意义。

实验总结1.场发射扫描电镜及能谱仪的操作流程相对简单，但在实验操作时需要非常注意；2.实验中需要格外注意操作的安全性和环境的卫生；3.实验结果的可靠性需要通过多次实验进行验证；4.实验工作需要团队合作，大家需要相互配合协作，以确保取得预期的实验结果。

实验注意事项1.实验者需要对仪器有一定的了解，以免操作不当造成设备损坏或人身伤害；2.实验时需要保持实验场地的卫生，避免样品受到污染；3.实验数量不能过多，要保证每次实验充分利用设备和样品；4.实验时需认真遵守实验室安全操作规程，不得离开实验室；5.实验结束后，需仔细清洁实验场地和仪器。

能谱仪安全操作及保养规程能谱仪是一种常用于材料分析、元素分析、放射性测量等领域的仪器，在正常操作使用的同时，也需要注意其安全性和保养。

本文将提供能谱仪安全操作及保养规程。

一、安全操作1.1 仪器安装能谱仪采用高压粒子探测器进行测量，因此，在使用前需要先进行仪器的安装，然后接好相关的电源和数据线，并进行必要的校准。

1.2 人员防护能谱仪使用放射性同位素进行测量，因此在操作时，需要注意安全防护措施，包括佩戴防护手套和防护面罩等，严禁直接用手触碰样品或仪器。

1.3 操作流程在进行能谱测量时，需要按照操作规程进行，禁止超出仪器安全范围操作。

应该了解每个测量参数及对应的操作流程，并正确进行操作。

需要注意的是，仪器运行过程中，切勿在没有了解理解的情况下轻易更改参数或关闭仪器。

1.4 废弃物处理在使用过程中产生的放射性废弃物需要按照国家规定的标准进行妥善处理，严禁私自处理。

二、保养规程2.1 保持仪器的干燥度和清洁度能谱仪的灵敏度和精度会受到湿度和污染物的影响。

因此，仪器在使用前需要干燥，并保证在使用时干燥。

在使用过程中，也需要保持仪器的清洁，严禁使用带有化学物质的清洗剂。

2.2 定期维护在使用一段时间后，能谱仪需要进行一定的维护，例如检查仪器电缆、接头是否松动等，这样能谱仪在长时间的使用中能够保持正常的工作状态。

2.3 定期校准能谱仪是一种高精度的仪器，因此在使用前需要通过校准来完成基础的准确性。

同时，由于实际应用环境及其他因素的影响，能谱仪需要定期校准以保持测量准确性。

2.4 定期做辐射防护措施检测在使用一段时间后，能谱仪需要进行辐射防护措施检测，以保证其能够符合相关的辐射防护标准。

三、紧急措施3.1 紧急停机和报警在操作中，如果出现异常情况，例如放射源泄漏、漏电等，应立即停止使用并报警。

3.2 废弃物泄漏的处理在废弃物泄漏的情况下，应当隔离泄漏区域，使用合适的化学材料吸收掉泄漏废弃物并妥善处理。

在处理中，应该佩戴适当的保护装置。

扫描电镜操作注意事项扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束显微镜技术对样品进行观察和分析的仪器。

它能够提供高分辨率的图像，揭示物质的微观结构和表面形貌。

在进行扫描电镜操作时，需要注意以下几个方面。

一、样品准备在进行扫描电镜操作之前，首先需要对样品进行准备。

样品应该具备一定的导电性，可以通过涂覆导电材料或金属蒸镀的方式来增加导电性。

同时，样品的表面应该光滑、干燥，并且尽量避免灰尘和杂质的污染。

二、仪器设置在使用扫描电镜之前，需要对仪器进行一系列的设置。

首先是选择合适的电子束加速电压和电流，以及扫描速度和扫描模式。

这些参数的选择应该根据样品的特性和需要观察的目标来确定。

同时，还需要调整样品与电子枪之间的距离和角度，以获得清晰的图像。

三、操作技巧在进行扫描电镜操作时，需要掌握一些操作技巧。

首先是对样品进行定位和对焦，确保样品位于电子束的焦点位置，并且图像清晰可见。

其次是控制扫描速度和图像放大倍数，以获得所需的分辨率和细节。

同时，还需要注意避免样品的漂移和电荷积累，可以通过调整扫描参数和样品的位置来解决。

四、图像处理与分析在获得扫描电镜图像后，可以进行一些图像处理和分析。

常用的图像处理方法包括对比度调整、边缘增强和噪声去除等。

同时，还可以利用图像分析软件对图像进行测量和粒径分布分析等操作。

这些操作可以帮助研究人员更好地理解样品的微观结构和特性。

五、安全注意事项在进行扫描电镜操作时，需要注意安全问题。

首先是要避免直接接触电子束，以免对人体造成伤害。

其次是要注意样品的处理和清洁，避免对环境和人体造成污染。

同时，还需要注意仪器的正常运行和维护，及时清洁和更换零部件，以确保仪器的稳定性和可靠性。

扫描电镜操作是一项复杂而精细的工作。

在进行操作时，需要注意样品准备、仪器设置、操作技巧、图像处理与分析以及安全注意事项等方面。

只有掌握了这些注意事项，才能够获得高质量的扫描电镜图像，并且准确地观察和分析样品的微观结构和表面形貌。

扫描电镜-能谱法和离子色谱法检验土制炸药中雄黄、氯酸盐成分涉爆案件中常见为黑火药、烟火药和硝铵类炸药，而使用氯酸钾与雄黄混合自制的土炸药并不常见。

氯酸钾与雄黄混合自制的土炸药敏感度极高，火星、碰撞就会引起爆炸，爆炸后产生大量白烟并且伴随剧毒的有刺激性气味的烟雾。

常用做发令枪药、摔炮、砸炮，在山区也有常用氯酸钾与雄黄混合制作“天雷”捕兽丸。

爆炸残留物检验分为无机物和有机物的检验。

无机物的检验方法通常有化学点滴分析、离子选择电极法、红外光谱法、毛细管电泳分析法、扫描电镜能谱仪（SEM，EDX）法和离子色谱法。

有机物的检验方法通常有显色法、薄层色谱法、气相色谱法、色谱一质谱联用分析法、GC/FTllK联用技术和SPMFfFSD联用分析法等。

用扫描电镜能谱仪对爆炸残留物进行形态观察和元素分析，可以有效地确定炸药的成分、种类、特点，从而为侦查工作提供方向，为破案提供证据。

本文利用扫描电镜/能谱仪观察土制炸药中雄黄、氯酸盐成分的微观形态，并进行元素分析，再根据溶解性不同对土制炸药中的雄黄、氯酸盐进行分离，扫描电镜/能谱仪检验雄黄中的砷、硫元素，离子色谱仪检测氯酸根离子和钾离子成分。

1简要案情与实验1.1简要案情2016年3月，某地公安机关民警工作中发现辖区一住户使用“天雷’l十制炸弹猎杀野兽，并从其家中收缴用于制造“天雷”的土制炸药（黄色粉末状可疑物质）。

1.2试剂与仪器：FEI Quant 600扫描电镜ASK能谱仪，高真空模式，工作电压25kv，工作距离10tilth，电子束斑5。

DIONEX公司ICS-2000离子色谱仪和Aquion离子色谱仪电导检测器阳离子分析条件：色谱柱：Dionex IonPac？CSlZA型分析柱（250mmX4mm）及Dionex lonPac？CSl2A型保护柱（50mmX4mm）；淋洗液：20mmol/L甲磺酸。

等度淋洗；流速：1.0mL/min；柱温：30℃；抑制器：CSR.S300 4mm阳离子抑制器；抑制电流：59mA。

A包：场发射扫描电镜技术要求1.运行环境：房间温度：15～25℃相对湿度：小于60%电源：单相，220V±10%，50/60Hz地线：独立地线2.技术指标2.1 设备组成场发射扫描电子显微镜、能谱仪、离子溅射仪。

2.2场发射扫描电子显微镜2.2.1主机组成：包括真空系统、电子光学系统、各种检测器、自动变压器（若需要）、冷却循环水系统、稳压电源、不间断电源，计算机，标准工具及附件。

2.2.2 技术参数电子枪：场发射电子枪分辨率：1.2nm及以上加速电压：0.5～30kV放大倍率： 20～800k及以上，粗、细调模式连续可调真空系统：（无油）机械泵、分子泵、离子泵三级真空，样品室真空<10-4Pa探测器：二次电子检测器（包括低位、高位）背散射电子检测器CCD 摄像机附件接口：在样品室上提供5个以上附件接口，可同时接X射线能谱仪、波谱仪、EBSD、背散射电子探测器等。

其它：设备必须具有低真空、环扫、着落电子减速模式等功能中的一种。

2.2.3 样品室和样品台：样品台驱动： 3轴马达驱动及以上移动范围：X：0～50mm；Y：0～50mm；Z：0～30mm；T：-3～70°以上；R：360°连续最大样品尺寸：100mm及以上样品置换时间（抽真空时间）：不大于7分钟2.2.4计算机E7400/2G/250G/256M/22LCD*2/DVD-RW操作系统：Microsoft Windows XP外界接口：串行、并行、SCSI、USB 2.0接口、网络。

全功能电镜控制操作软件、图像分析软件打印机：HP2015dn2.2.5 图像采集、储存扫描速度：快扫描等于或优于25桢/秒慢扫描全屏模式下慢扫描速度可选，扫描速度0～80秒及以上图像储存：最大像素≥2560×1920图像文件格式：BMP，JPEG，TIFF数据记录：加速电压，标尺或放大倍率，时间，采集的信号电子图像移动：≥±12μm2.2.6 保护具有断电、漏电、真空保护2.2.7标准附件及工具标准随机附件及工具1套灯丝2～4根（以满足10年电镜工作的要求）更换光阑1套导电双面铜碳胶带各10盒2.3 能谱仪2.3.1 组成:主机、计算机、打印机2.3.2 技术指标：制冷方式：电制冷探头面积≥30mm2分辨率优于135eV分析元素范围：4Be～92U及以上最大计数率：≥300000cps可实现点、线、面方式扫描自动元素标定，无标样定量分析2.3.3 计算机E7400/2G/250G/256M/22LCD/DVD-RW操作系统：Microsoft Windows XP外界接口：串行、并行、SCSI、USB 2.0接口、网络。

扫描电镜-能谱仪实验技术在《材料分析方法》课程教学中的应用一、引言材料分析方法是材料科学与工程学科中的重要课程之一，通过该课程的教学可以使学生掌握材料分析的基本原理和方法，提高他们的实验操作能力和分析问题的能力。

在材料分析方法课程中，扫描电镜-能谱仪实验技术是一项重要的实验内容，它可以帮助学生了解材料的微观形貌和化学成分，为他们深入理解材料的结构和性能奠定基础。

二、扫描电镜-能谱仪实验技术概述扫描电镜-能谱仪实验技术是一种利用电子束与物质相互作用的技术，通过扫描电镜对材料的形貌进行观察和分析，并通过能谱仪对材料的化学成分进行分析。

其主要特点包括分辨率高、成像清晰、分析快速等优点。

通过该技术，可以观察到材料的表面形貌和结构，同时还可以了解材料的元素组成和化学成分，对于材料的分析和研究具有非常重要的意义。

在《材料分析方法》课程中，扫描电镜-能谱仪实验技术通常作为重要的实验内容进行教学。

通过该实验，学生可以学习到扫描电镜的工作原理和操作方法，了解能谱仪的原理和使用技巧，并通过实际操作获得扫描电镜-能谱仪的应用经验。

1. 学生通过实际操作掌握扫描电镜的使用方法在课程中，老师可以通过实验教学的方式，让学生亲自操作扫描电镜，掌握其使用方法和操作技巧。

学生可以通过观察样品的不同部位，了解到材料的微观形貌和表面结构，对于材料的特性和性能有更加直观的认识。

2. 学生通过实验操作了解能谱仪的原理和分析方法在实验过程中，学生还可以学习到能谱仪的工作原理和分析方法，了解能谱仪是如何对样品进行化学成分分析的。

通过操作能谱仪，学生可以获取到样品的化学成分信息，从而对材料的成分和结构有深入的了解。

3. 学生通过实验获得扫描电镜-能谱仪的应用经验通过实验操作，学生可以获得扫描电镜-能谱仪的应用经验，掌握这一重要实验技术。

这对于提高学生的实验操作能力、培养他们的分析问题能力和创新能力具有重要意义。

1. 提高学生的实验操作能力通过观察样品的形貌和化学成分，学生可以对材料的特性和性能进行分析，提高了他们的分析问题能力。

扫描电镜-能谱仪操作中易发生危险或故障的注意事项一、开机前必须先开启循环冷却水，否则会造成油扩散泵因过热而损坏。

二、关机后必须等待20分钟以上才能关闭循环冷却水，否则会损坏油扩散泵。

三、人员长时间离开后必须关机、20分钟后关循环水，否则万一水管漏水将会损坏仪器。

四、单个样品最大尺寸不得大于32 mm，否则观察时会超出自动马达台的活动范围，造成马达台损坏。

五、当采用单眼或四眼样品座时，原则上每个样品最宽处不能超出样品台（直径为1 cm）的范围，否则观察时容易超出自动马达台的活动范围，造成马达台损坏。

六、为保护能谱探头、避免样品过高碰坏探测器和物镜，更换样品时，样品台的高度必须下降，一般Z轴高度（即物镜至样品的距离）设为30 mm，如果样品具有一定高度，则需相应地增大Z轴高度（Z轴最大高度为48 mm）。

七、为保护灯丝，更换样品时，必须首先关闭高压，并等待3-5 min让灯丝稍微冷却后再放气（vent），必须等到放气灯（“vent”）停止闪烁后才能拉开样品室的门。

样品室的门必须轻拉轻关，以防剧烈震动和强气流破坏能谱探头的超薄铍窗。

八、观察样品时，需逐步升高样品台，应保证聚焦清晰后的工作距离WD在10-20 mm之间，严禁聚焦清晰后的工作距离WD < 10 mm，否则容易导致探测器和物镜被碰坏。

九、在移动样品、放大图像以及聚焦图像的过程中，动作应轻缓，幅度不宜过大，注意保护各类功能旋钮，不得同时进行多项操作，以防电脑死机。

移动样品时必须注意不能超过自动马达台的极限，否则马达台会发生故障损坏；放大图像时放大倍数一般不得超过4万倍。

十、为防止电脑中毒，严禁在仪器设备上使用外来U盘和光盘，所有测试数据均存放在电脑桌面上指定文件夹内，实验结束后由相关负责教师通过email 发送。

SEM扫描电镜操作规范和图像解读流程整合SEM（扫描电子显微镜）是一种先进的显微镜技术，它利用高能电子束对样品进行扫描，产生高分辨率的图像。

SEM图像具有高放大倍率、高解析力和三维表面拓扑信息等特点，广泛应用于材料科学、生命科学、地球科学和工业领域。

然而，正确的SEM操作规范和图像解读流程对于获得可靠的结果和准确的分析至关重要。

本文将介绍SEM扫描电镜的操作规范和图像解读流程，以帮助用户正确操作和解读SEM图像。

一、SEM操作规范1. 样品制备：在进行SEM观察之前，必须对样品进行适当的制备。

样品应该是干燥的，并且必要时要进行表面处理，如金属镀膜或碳镀膜。

同时，样品应该固定在SEM样品台上，并保持平整和稳定。

2. 启动SEM：在启动SEM之前，必须进行一系列的准备工作。

首先，检查并确保SEM的真空系统正常工作，真空度在要求范围内。

然后，对SEM电子枪进行预热，通常需要10-15分钟。

最后，调整束流强度和对焦，以获得最佳的图像质量。

3. 设定参数：SEM操作期间，需要根据具体的样品和实验需求来设定不同的参数。

主要包括加速电压、电流、探针大小和扫描速度等。

这些参数的设定应该根据经验和实验要求来确定，以获得清晰的图像和准确的分析结果。

4. 扫描图像：在开始扫描之前，必须调整样品镜头和对焦。

然后，选择合适的扫描模式和区域，并开始扫描图像。

SEM图像的质量取决于扫描速度、像素大小和电子束与样品之间的距离等因素。

因此，在操作过程中应密切注意这些因素，并进行必要的调整和优化。

5. 图像保存：每次扫描完毕后，及时保存SEM图像。

可以选择将图像保存为原始格式（如TIFF格式），以便在需要时进行后续分析和处理。

此外，还可以对图像进行调整和标记，如亮度和对比度调整、边缘检测和像素统计等。

二、SEM图像解读流程1. 初步观察：首先，进行初步观察，浏览SEM图像的整体特征和形貌。

注意图像中的明暗对比、细节和粗糙度等特征。

扫描电镜-能谱仪操作中易发生危险或故障的注意事项扫描电镜-能谱仪操作中易发生危险或故障的注意事项一、开机前必须先开启循环冷却水，否则会造成油扩散泵因过热而损坏。

二、关机后必须等待20分钟以上才能关闭循环冷却水，否则会损坏油扩散泵。

三、人员长时间离开后必须关机、20分钟后关循环水，否则万一水管漏水将会损坏仪器。

四、单个样品最大尺寸不得大于32 mm，否则观察时会超出自动马达台的活动范围，造成马达台损坏。

五、当采用单眼或四眼样品座时，原则上每个样品最宽处不能超出样品台（直径为1 cm）的范围，否则观察时容易超出自动马达台的活动范围，造成马达台损坏。

六、为保护能谱探头、避免样品过高碰坏探测器和物镜，更换样品时，样品台的高度必须下降，一般Z轴高度（即物镜至样品的距离）设为30 mm，如果样品具有一定高度，则需相应地增大Z轴高度（Z轴最大高度为48 mm）。

七、为保护灯丝，更换样品时，必须首先关闭高压，并等待3-5 min让灯丝稍微冷却后再放气（vent），必须等到放气灯（“vent”）停止闪烁后才能拉开样品室的门。

样品室的门必须轻拉轻关，以防剧烈震动和强气流破坏能谱探头的超薄铍窗。

八、观察样品时，需逐步升高样品台，应保证聚焦清晰后的工作距离WD在10-20 mm之间，严禁聚焦清晰后的工作距离WD < 10 mm，否则容易导致探测器和物镜被碰坏。

九、在移动样品、放大图像以及聚焦图像的过程中，动作应轻缓，幅度不宜过大，注意保护各类功能旋钮，不得同时进行多项操作，以防电脑死机。

移动样品时必须注意不能超过自动马达台的极限，否则马达台会发生故障损坏；放大图像时放大倍数一般不得超过4万倍。

十、为防止电脑中毒，严禁在仪器设备上使用外来U盘和光盘，所有测试数据均存放在电脑桌面上指定文件夹内，实验结束后由相关负责教师通过email 发送。

扫描电镜操作手册一、前言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种采用电子束来形成高分辨率图像的仪器。

它可以通过扫描样品表面并检测反射电子的方式，将样品的微观形貌和表面结构进行观察和分析。

本操作手册将向您介绍扫描电镜的基本原理和操作步骤，以及一些常见的技巧和注意事项。

二、扫描电镜的基本原理扫描电镜的基本原理是利用高能电子束与样品相互作用产生的各种信号来获取样品表面形貌的信息。

当电子束扫描到样品表面时，会产生次级电子、反射电子、散射电子等不同的信号。

这些信号被探测器接收并转换成电压信号，再通过信号处理系统转换成图像。

三、扫描电镜的操作步骤1. 准备工作在操作扫描电镜之前，需要进行一些准备工作。

首先，打开电镜主机，并确保它与电源连接。

其次，检查样品架是否干净，并将待观察的样品放置在样品架上。

注意，样品表面应干净且不含有尘埃和油污等杂质。

2. 开机和预热按下电源按钮，等待电镜主机启动。

在启动过程中，电子枪和样品室会开始预热。

预热时间一般为15-20分钟，以确保电子枪和样品室达到稳定的工作温度。

3. 样品安装当电镜主机预热完成后，打开样品室的门，并将准备好的样品放置在样品架上。

然后，仔细关闭样品室门，并确保它完全密封。

4. 参数调整根据样品的性质和需求，进行相应的参数调整。

主要包括加速电压、放大倍数、扫描速度等参数的选择和调整。

调整参数时，应根据所需的观察效果进行实时调整和反馈。

5. 图像观察和采集在参数调整完成后，可以开始观察和采集图像。

选择观察区域并调整对焦，然后点击图像采集按钮进行图像保存。

在观察和采集图像时，注意保持样品和电子束之间的距离适当，以避免样品受到过度辐照。

6. 关机和清理在使用完毕后，进行关机和清理工作。

首先，将加速电压调至最低，然后按下关机按钮。

等待电镜主机完全关闭后，进行样品架的清理和样品的取出。

清理时，使用压缩空气吹扫样品架和电子束光路，以去除附着在上面的灰尘和杂质。

JSM-6610LV扫描电子显微镜与IE 250型X射线能谱仪校验方法1、主要内容与适用范围1.1本方法规定了JSM-6610LV扫描电子显微镜、IE 250型X射线能谱仪的技术要求、校验条件及校验方法。

1.2本方法适用于 JSM-6610LV扫描电子显微镜、IE 250型X射线能谱仪的校验。

2、概述JSM-6610LV 扫描电子显微镜在石油地质上是用于分析各种岩石和古生物化石样品的形貌特征的分析仪器，其原理是利用聚焦高能电子束在样品表面扫描产生各种信息（二次电子、背散射电子、透射电子、吸收电子等），这些信息被检测器接收，经过计算机图像处理系统转换成图像。

IE 250型X射线能谱仪是在扫描电镜下，利用高能聚焦电子束轰击样品表面，使其各种元素产生不同的特征 X-射线，根据特征 X-射线的能谱峰位及强度，可测定样品中所含的元素及其含量。

3、技术要求3.1 技术性能加速电压：0.3〜30KV灯丝：预对中，钨丝探测器：二次电子探测器、高灵敏度半导体探测器图像类型：背散射电子像（成分像、拓朴像、立体像）X-Y:样品移动范围 125mm-100mmZ：样品移动范围 5mm-80mmT ： -10 °〜 +90°R： 360°3.1.4 X 射线能谱仪检出 Mn谱线值为6。

3.1.5 X 射线能谱仪分辨率小于 150KeV。

3.2 环境要求o3.3 安全可靠性，配备冷暖两用空调4、校验项目物镜光栅对中、聚焦和消除像散、二次电子像清晰度、X射线能谱仪谱峰位置。

5、校验方法5.1 物镜光栅对中：最好在 5,000 倍以上完成此项调整。

,SCAN1的图像在一定的方向上做有节奏的漂移，证实物镜光栅不对中。

，细调物镜光栅横向及纵向控制旋纽，直至SCAN1的图象沿对角线方向扩散或收缩。

5.2 聚焦和消除像散,000倍至10,000倍左右，束斑20nm-32nm条件下，上下调节聚焦移动条至合适位置，获得初步聚焦看清图像。

场发射扫描电镜技术参数（配能谱仪）1 运行环境1. 1房间温度：15 ~ 25℃1. 2相对湿度：小于60%1. 3适用电源：单相，220V±10%，50/60Hz，4kV A，要求连续供电1. 4地线：电阻小于100Ω2设备用途微细结构材料的形貌及尺寸观察、组成的定性测量。

生物样品、环境样品、催化剂、吸附剂、陶瓷材料、金属材料、合金材料等的形貌观察、微区分析和组成定性测量。

3 技术规格3. 1 组成：主机（包括真空系统、电子光学系统、检测器），自动变压器，冷却循环水系统，能谱仪，计算机，标准工具及附件。

*3. 2 分辨率：1.0nm （15kV） 1.3nm （1kV，减速模式）3. 3 加速电压：0.5 ~ 30kV，0.1kV/步*3. 4 放大倍率：⨯20 to ⨯800, 0003. 5电子光学系统*电子枪：冷场发射电子枪最大电子束流度：不低于2nA透镜系统：3级电磁式*透镜工作多种模式：高分辨、大束流强度、磁性样品工作模式、样品低损伤模式*物镜光阑：4孔可调式（直径30、50、50、100μm）内置加热自清洁装置*3. 6 样品室和样品台：样品台驱动：3轴马达驱动移动范围：X：0~50mm；Y：0~50mm；Z：1.5~30mm；T：-5~70°；R：360°最大样品尺寸：100mm3. 7探测器:二次电子探测器：高位和低位*高位探头可选择接受二次电子像或背散射像，并有100多种混合方式。

*可控信号混合：允许操作者控制图像信号。

操作者可以选择纯的二次电子像或者纯的背散射电子像或者两者信号的任意比例混合像*3. 8 扫描模式：TV扫描（扫描速度不低于0.033桢/秒），慢扫描，用于观察和记录。

图像捕捉：慢扫描成像和快扫描积分成像扫描速度：快扫描等于或优于25桢/秒慢扫描全屏模式下1、4、20、40、80桢/秒，可选3. 9 操作/显示：PC/A T兼容，Windows 操作系统3. 10 图像储存：640×480，1280×960，2560×1920像素图像文件格式：BMP，JPEG，TIFF3. 11 数据记录：胶卷号，加速电压，微米标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离*3. 12电子图像移动：±12μm (WD=8mm)3. 13真空系统：真空度：10-7Pa (电子枪)；10-4Pa (样品室)真空泵：分子泵1台，机械泵1台，离子泵2台保护：断电、漏电、真空保护带有冷阱以减小样品污染3. 14 能谱仪*配置电制冷能谱仪有效晶体活区面积：≥30mm23.14.1硅漂移(SDD)型SEM探测器3.14.2内含珀耳帖（Peltier）无液氮制冷系统3.14.3对Mn-Ka在100,000CPS计数率下测量的分辨率优于128eV3.14.4SUTW 超薄窗口,传感器: 30mm²3.14.5可以定量分析包括B5以上的所有元素3.14.6可处理输入计数率>1,000kCPS ，输出计数率>350kCPS3.14.7包括前置放大器，放大器和电缆3.15离子溅射仪，电镜同品牌，带喷碳附件3.15.1溅射电压：0.4KV（直流电）*3.15.2溅射电流：0－40mA*3.15.3压力控制范围：7－20Pa3.15.4镀膜速率：15nm/min （Pt靶）（溅射条件：溅射腔压力：7Pa；溅射电流：40mA；溅射距离：20mm）*3.15.5最大样品直径：60mm3.15.6最大样品高度：20mm*3.15.7机械泵抽气速率：135升/分钟4 标准附件及工具按标准配置，由厂家提供二年以上备品备件、专用工具和消耗品1套。