信号的收集效率和相应检测器的安放位置有很大关系,如果 安微镜的样品室内还配有多种附 件,可使样品在样品台上能进行加热、冷却、拉伸等试验, 以便研究材料的动态组织及性能。
二、信号的收集和图像显示系 统
信号收集和显示系统包括各种信号检测器,前置放大 器和显示装置,其作用是检测样品在入射电子作用下 产生的物理信号,然后经视频放大,作为显像系统的 调制信号,最后在荧光屏上得到反映样品表面特征的 扫描图像。
12-0引言
2、 图像景深大,富有立体感。可直接观察起 伏较大的粗糙表面(如金属和陶瓷的断口等)
3、试样制备简单。只要将块状或粉末的、导 电的或不导电的试样不加处理或稍加处理,就 可直接放到SEM中进行观察。一般来说,用 SEM观察断口时,样品不必复制,可直接进行 观察,这给分析带来极大的方便。比透射电子 显微镜(TEM)的制样简单,且可使图像更近 于试样的真实状态。
二次电子、背散射电子和透射电子的信号都可采用闪 烁计数器来进行检测。信号电子进入闪烁体后即引起 电离,当离子和自由电子复合后就产生可见光。可见 光信号通过光导管送入光电倍增器,光信号放大,即 又转化成电流信号输出,电流信号经视频放大器放大 后就成为调制信号。
二、信号的收集和图像显示系 统
如前所述,由于镜筒中的电子束和显像 管中电子束是同步扫描,而荧光屏上每 一点的亮度是根据样品上被激发出来的 信号强度来调制的,因此样品上各点的 状态各不相同,所以接收到的信号也不 相同,于是就可以在显像管上看到一幅 反映试样各点状态的扫描电子显微图像。
俄歇电子特点:
(1)俄歇电子的能量很低,能量有特征值, 一般在50eV-1500eV范围内。
(2)俄歇电子的平均自由程很小(1nm左 右).因此在较深区域中产生的俄歇电子 在向表层运动时必然会因碰撞而损失能 量,使之失去了具有持征能量的特点.