场发射透射电镜操作规程共52页文档

JEM-2200FS透射电镜操作规程全程视频监控，不明白处请多问，坚决禁止盲目操作。

1.换样品：插入和取出样品杆示意图，插入和取出样品杆的过程，一定不要蛮力拧样品杆，防止样品杆损坏。

放入样品杆方法：插入样品杆（注意：插入样品杆时严禁旋转样品杆），打开真空开关（提拔式开关，switch to pump），对样品预抽室抽真空(手先轻抵样品杆底部，等抽真空开始后即可松手，等待)，直至高真空指示灯亮（绿灯），再等待5分钟，切记。

将样品杆顺时针分两次共计90度旋入侧角台。

旋进时，需加水平方向力拉住样品杆以防样品杆快速吸入测角台，引起测角台损坏。

取出样品杆方法：往外轻拉样品杆，拉不动时逆时针旋转较大角度（约85度左右）至转不动；转不动时再轻拉样品杆一小段距离，逆时针旋转小角度（约5度左右）到转不动，再缓缓轻拉样品杆到绿灯亮（切记不要用力过猛全部拔出，会导致真空度下降主机保护）；打开放气开关（提拔开关，switch to air），等待，样品杆会自动松动（有氮气轻推样品杆，不要用力拽样品杆），取出样品杆。

可更换需要观察的样品，一定要轻拧螺丝，不要过力，因为压舌有一定的弧度，轻拧即可达到固定载网的目的。

但也不要松垮，防止载网滑落。

观察：（check真空，方法：1.软件界面montor value status 观察specimen/PIG电流：33-34微安2..到隔间看真空度，拧4档后，真空度<1.5即可）打开BeamValve，插入1#聚光镜光阑和2#物镜光阑（操纵板上的按钮CLA-1#-OLA-2#），利用BRIGHT NESS、SHIFT X、SHIFT Y、IMAGE X、IMAGE Y、放大倍数、焦距等旋钮调整TEM的图象，直至满意。

(Brightness 需不断调节，逆方向欠焦，欠焦为亮边，顺方向过焦，过焦为黑边，调Z可达到高分辨，3D重构，不宜调Z)2.采集图像：启动Gatan Digital Micrograph软件，（按TV键进行切换，按start view 采集图像——不是照相，是转换CCD）须注意，在Gatan CCD （右侧电脑）上观察的图像大约为Hamamazu CCD（左侧电脑）中观察图像的9倍。

Tecnai G² 20 S-TWIN透射电子显微镜简易操作指南说明：●本文件的目的在于帮助用户记忆培训的内容，不能代替培训。

有意自己操作透射电镜的用户请到现场参加培训。

●为了把此文件的篇幅限制在一个合理程度，文件内容难于面面俱到。

●欢迎各位对本文件的内容提出宝贵意见！简介：一．Tecnai G² 20 ST透射电镜二．Tecnai G² 20 ST透射电镜操作注意事项三．检查实验室安全及仪器运行状况四．Tecnai G² 20 ST透射电镜基本操作步骤1.登陆计算机2.打开操作软件3.检查电镜状态4.装液氮5.装载样品6.插入样品杆7.加灯丝电流8.开始操作9.结束操作10.取出样品杆11.卸载样品12.真空低温（Cryo Cycle）13.数据刻录、转化和输出14.关闭操作软件15.退出计算机16.实验记录（注意：其中4,5,6,10,11等操作是必须由TEM室的高老师进行操作。

遇到任何异常的情况都应停止操作，并询问高老师。

）一.Tecnai G² 20 ST透射电镜●生产厂家：美国FEI公司●主要附件：美国Gatan公司1k×1k CCD相机美国EDAX公司X射线能谱仪主要规格及技术指标最高加速电压200KV或W灯丝电子枪LaB6点分辨率0.24nm晶格分辨率0.14nm最小束斑尺寸 1.5nm放大倍数25×-1030K×样品台最大倾转角A:±40°，B：±40°X射线能谱分辨率136ev分析范围Be-U主要功能及应用范围观察各种材料的微观结构并对样品进行纳米尺度的微区分析，如：形貌观察；高分辨电子显微像；电子衍射；会聚束电子衍射；衍射衬度成像；X射线能谱分析等仪器工作条件工作温度：15℃~25℃工作湿度: ＜80%电力供应：220v(±10%), 50Hz主要测试项目：明场像（BF）、暗场像（DF）高分辨像（HRTEM）能谱分析（EDX）选区电子衍射（SAED）二.Tecnai G² 20 ST透射电镜操作注意事项1.透射电镜及其附属设备中有高压电、低温、高压气流、电离辐射等危险因素，因此不正确的使用有可能造成仪器损坏，甚至人身伤亡。

Tecnai F30 场发射透射电镜操作规程一、操作前准备◼刷卡打开电镜主机显示器，检查Tecnai User Interface控制软件是否正常运行；◼检查电镜状态：Vacuum, High Tension (HT)--on, FEG --operate；◼检查Column Valve是关闭状态（黄色表示关闭）；◼检查测角台X, Y, Z, α, β 的值在“0”附近；◼填满液氮杜瓦瓶（确认投影室观察窗是用黑色挡盖挡住）。

每3-4小时需要填充一次，否则真空会变差污染样品。

建议午饭和晚饭前各填充一次。

◼注意事项：在填充液氮或者有事临时离开电镜时，务必把Column Valve关上。

二、插入样品杆◼将样品装入样品杆（仔细检查样品是否固定牢靠）；1)上下旋转样品杆确保没有样品等掉下来；如果你的样品由分散的碎片组成如粉末样品，务必把铜网的样品面朝下（面向样品杆）；2)禁止用手去接触到样品杆前端部分（手上的油会污染样品杆）。

◼检查样品杆和样品杆上的O-ring橡胶圈；1)用镊子或者洗耳球除掉橡胶圈上的粉尘、丝状物等；2)若发现O-ring橡胶圈受损，请立刻告知电镜管理员。

◼检查光阑（Obj/SA）处于retract状态；对准样品杆，确保样品杆上的顶针和测角台的槽是对应上的（5点钟方向）；◼插入样品杆，同时托住样品杆避免往逆时针方向旋转；测角台上的红灯会亮起；◼在软件上选择“proper holder type”，点击Enter。

如果是双倾杆，需要先连接线缆，再点击Enter；◼等预抽真空大概4min（软件上会有3min倒计时）。

当测角台上的红灯灭掉，顺时针旋转样品杆（约120°）然后托住样品杆缓缓插入（整个过程一定要保持顺畅，绝对不能用蛮力）。

三、观察拍照◼当Column/IGP1 Vacuum低于15log（低于12log更佳），打开Column Valve；◼降低放大倍数找到样品感兴趣的区域；◼按压操作面板上的“Eucentric Height”，使用“Z” height 来聚焦样品；◼使用Digital Micrograph软件进行拍照。

场发射透射电镜（TEM)测试制样说明测试样品范围：各种材料内部微结构进行观察；粉末、纳米颗粒形貌和粒径观察选区电子衍射和晶体结构分析；金属、陶瓷、半导体、塑料、农作物、细胞等显微结构；配合EDS能谱仪可以对各种元素进行定性和半定量微区分析，元素检测范围：B～U元素。

透射电镜（TEM)测试制样要求：1. 透射电镜能够观察200nm以下的样品；2. 对于粉末和液体样品，要求样品均匀分散在支持膜上并且干燥；3. 块体样品，要求样品大小为直径3mm的圆，厚度为200nm以下；高分辨样品要求厚度在10nm以下；4. 含磁样品需要在委托测试单中重点标识，需要特殊处理，否则不予测试；5. 需要离子减薄的金属、陶瓷样品，需要已预减到150微米以下，否则不予制样和测试。

透射电镜生物样品制备步骤：1．取材：组织块小于1立方毫米2．固定：2.5%戊二醛，磷酸缓冲液配制固定2小时或更长时间。

用0.1M磷酸漂洗液漂洗15分三次1%锇酸固定液固定2-3小时用0.1M磷酸漂洗液漂洗15分三次3．脱水：50%乙醇15-20分70%乙醇15-20分90%乙醇15-20分90%乙醇90%丙酮（1：1）15-20分90%丙酮15-20分以上在4度冰箱内进行100%丙酮室温15-20分三次4．包埋：纯丙酮+包埋液（2：1）室温3-4小时纯丙酮+包埋液（1：2）室温过夜纯包埋液37度2-3小时5．固化：37度烘箱内过夜45度烘箱内12小时60度烘箱内24小时6．超薄切片机切片70 nm7．醋酸铀-柠檬酸铅双染色负染色的操作方法用一根细滴吸管吸一滴样品悬液滴在有膜的铜网上，滴样时要防止铜网被液体吸到管上来或翻转而被污染。

如果用Formvar膜时，在制好膜后，可以直接在粘于滤纸上的铜网进行负染色操作。

如果用碳膜时，要用镊子夹着铜网，滴液后静置数分钟，然后用滤纸从铜网边缘吸去多余的液体，滴上负染色液，染色1～2分钟用滤纸吸去负染色液，再用蒸馏水滴在铜网上洗1～2次，用滤纸吸去水，待干后可用于电镜观察。

透射电镜使用流程样品准备：首先，需要准备符合透射电镜观察要求的样品。

对于动物组织标本，应在取样后的短时间内（如1-3分钟内）立即投入电镜固定液中以固定组织，然后切成适当大小的块状。

固定液的渗透能力有限，超出特定尺寸后组织可能无法完全固定，因此务必注意控制取样组织的体积。

取样后，组织应在室温下避光固定一段时间，然后转移至低温保存，以待后续处理。

抽真空与加高压：打开透射电镜前，需要先接通总电源，打开冷却水，并接通抽真空开关进行抽真空。

待真空度达到指定值后，可以开始上机工作。

接着，接通镜筒内的电源，给电子枪和透镜供电，并给电子枪加高压至所需值。

观察与调整：在荧光屏状态下，通过操作工具选择观察区域，并调整画面亮度。

选定观察区域后，需要调弱光强，确保光强度在适当的范围内，然后切换到CCD模式进行进一步调整。

通过调节旋钮可以增大或减小放大倍数，选定拍照区域后，再次调整光强使图像清晰。

完成这些步骤后，点击面板上的聚焦键进行自动聚焦，并使用聚焦旋钮将图像调整至最清晰。

拍照与记录：在图像清晰并调整到最佳状态后，可以进行拍照操作。

务必注意，在拍照前点击保存按钮，否则图像不会自动保存。

卸载样品与清理：观察完成后，需要按照特定的步骤卸载样品，包括拔出样品杆、取出样品等。

然后，进行真空低温处理，以确保设备处于良好的工作状态。

请注意，透射电镜是一种高精密度的科研仪器，使用时必须严格遵循操作规程，以确保设备的安全和实验的准确性。

同时，由于透射电镜的使用涉及复杂的物理和化学原理，操作人员应具备一定的专业知识和技能。

在进行透射电镜操作时，建议由经验丰富的专业人员或在专业人员的指导下进行。

TEM 操作规程1、接通电源。

2、接通循环冷却水电源。

3、接通电镜电源开关，红灯亮。

4、接通电脑开机键，同时接通显示器开关。

5、输入登陆密码，进入电脑工作界面。

6、待工作界面电镜标识变绿色，点击电镜操作标识登陆。

7、进入登陆操作界面后，接通抽真空开关VAC键，电镜开始抽真空。

8、回答提示栏提出的问题，机器自检。

9、戴震控指示处变为绿色时及相应按键处激活状态时，点击HT按键。

10、从20KV起逐步加HT。

11、检查发射电流的设置是否在适当位置。

12、装入超薄切片：1）首先检查样品室红灯是否处于熄灭状态，红灯亮时不得送样品2）将样品杆销对准白色标识线且水平插入样品室，此时样品室红灯亮3）待红灯灭，逆时针旋转样品杆，将其送入镜筒。

13、观察镜筒真空，当COL在20LOG以下时，点击电镜电流按键。

14、待电流强度升至预先设置的数值后，点击镜筒阀门开关，此开关按键由黄色变为灰色。

15、用放大倍率扭，将放大倍率降到合适位置。

16、用操作盘，左手旋钮控制观察亮度。

17、同时用左手轨迹球控制光斑对中。

18、同时用右手轨迹球移动被观察样品的图象，用聚焦旋钮聚焦图象。

19、消除物镜像散。

20、将要拍照的视野放入观察屏的四框内，调整亮度使曝光时间在3.0秒左右，按左手操作台上的Export键拍照图象。

21、数码摄像。

22、关机：1) 将放大倍率降低，取出样品杆2) 切断灯丝电源3)切断HT4)切断Vac真空开关5)带冷却30分钟后关循环水电源6)推出操作界面7)按电镜开关OFF键红、绿灯同亮。

注意事项：1、必须确认冷却循环水启动无误后，方可进行下一步操作；2、更换样品需由仪器负责人操作，以免发生故障。

工作原理：利用电子射线（或称电子束也称电子波）穿透样品，而后经多级电子放大后成像于荧光屏。

主要优点：分辨率高，可用来观察组织和细胞内部的超微结构以及微生物和生物大分子的全貌。

根据加速电压的大小分为以下3种：1）一般TEM。

双球差校正分析型场发射透射电镜技术参数1.设备名称：双球差校正分析型场发射透射电子显微镜2.数量：1套3.设备用途说明：用于材料科学进行快速、精确的形貌观察和微区的晶体结构和定量表征，选择特定设计的样品台进行原位动态实验。

用于金属、半导体、电介质、多层膜结构、稀土材料等材料的形貌、晶格、缺陷或界面原子结构的表征；提供材料的化学成分信息、轻重原子分布、电子结构、缺陷及成键信息、静电和磁场信息等；可以对材料进行原位分析、三维重构分析等。

本系统主要有电子光学系统、高压系统、真空系统等部分组成。

4.主要工作环境4.1电源电压：220V（±5%）50HZ，单相或380V（±10%）4.1.1电源及频率稳定性：≤±5%4.1.2地线：≤5欧姆以下独立地线4.2工作环境温度：10︒C-25︒C4.3环境相对湿度：≤80％（@20℃）4.4压力变化：≤1Pa4.4空气流动：≤100mm/秒4.5噪音：≤50-60dB4.6振动：≤0.2-0.4um4.7磁场：直流电流磁场波动：小于0.05T；交流电流磁场波动：小于0.05T4.8仪器运行的持久性：仪器可连续使用4.9仪器的工作状态：较强的防震抗磁能力，工作稳定4.10仪器设备的安全性：符合放射线防护安全标准和电器安全标准5．技术要求及参数5.1电子枪和加速电压*5.1.1电子枪：冷场发射电子枪或者带单色器的X-FEG电子枪，电子枪质保8年，如果单支电子枪质保寿命不足，应额外提供满足8年使用的电子枪。

5.1.2加速电压：30或40--300kV，双球差校正器和整个电镜主机系统均在30或40KV、60或80kV、120KV、200kV、300kV加速电压下完成合轴；加速电压在全程范围内可自由切换，一键完成，无需重新合轴。

*5.1.3高压稳定性：≤0.8⨯10-6/min（峰峰值）*5.1.4物镜电流稳定度：≤0.5⨯10-6/min(峰峰值)5.1.5束流：≥2.0nA@0.136nm，束流稳定性：≤2%@10小时*5.1.6在不使用单色器条件下能量发散度：≤0.30eV@300KV，且亮度≥1.0*109A/cm2/Sr@300KV(300pA束流条件下)5.2分辨率5.2.1TEM点分辨率(杨氏条纹)：≤0.07nm（300kV）；≤0.09nm（200kV）；≤0.13nm（80kV）；5.2.2TEM晶格分辨率：≤0.060nm5.2.3STEM分辨率(FFT spot)：≤0.065nm(300KV)；≤0.095nm（200kV）；≤0.12nm(80KV)；5.3全自动光阑系统，须马达驱动，包括自动化一级、二级聚光镜光阑，物镜光阑，选区光阑*5.4双球差校正器：标准配置（球差校正器为核心设备，如只提供单球差或者无球差，将直接导致废标）5.4.1球差系数调节范围：-0.1到1.2mm*5.4.2每个矫正透镜（物镜和聚光镜）均采用≥6极子设计，最低优化校正到≥4阶像差系数以上；5.4.3球差矫正器矫正透镜采用长、短焦距或者等焦距设计，光路采用轨道扩张型设计，能最大程度的抑制色差的增加。

JEM2010型透射电镜详细操作步骤JEM2010型透射电镜开机操作:MAG 放大倍数Current density 束斑电子密度Exp time 曝光时间Specimen 样品位置，尽量让X Y接近0，但在+/- 100均可以。

Brightness 束斑大小(旧:condenser)Shift 光斑平移(旧:Aignment-trans)Spot size 1—4 或 1—5 合轴(旧:1—3 合轴)Object focus 物镜聚焦1. 开循环水。

由于新电镜循环水不关，这步可省。

但要注意水温是否正常。

2. 打开电源开关。

IN/OUT。

从来都是开着的，这步也可省。

3. 打开荧屏电源;检查荧屏第一页:确认?电压是否在120KV;如不是，请联系值班老师;?确认样品位置“specimen position”为原点:<x，y，z>=0，0，0，如果不是原点，使用观察窗左侧“SPEC CONTROLLER”控制面板上的N键复原(注意在没有插入样品杆时，严禁使用“N”键～，所以每次推出样品杆之前应该复位);?α-selector为24. 用键盘键入P3，使荧屏显示第三页，检查P1,至P5的电流值，正常情况下:p1:25,p2:25,p3:29,p4,28,p5,100，观察阀V1，V2和V4, V5B, V8, V13,V17和V 21共8个阀处于打开状态。

5. 察看右下方的真空面板，确定真空进入10-5Pa量程，理想的状态的是指针居中，在灌入液氮的情况下应该更低;如没达到这个范围，请联系值班老师;6. 灯丝处于关闭状态(filament的开关ON没亮)7. 检查聚光镜光栏是否全打开，物镜光栏是否全打开，如不是请打开全部光栏。

检查右侧面板，观察电镜是否处于MAG1(此灯亮)8. 打开左侧门，将“lens”开关打到ON的位置(请一定要非常小心，确认是lens开关，不要开错开关。

即开灯丝，将开关稍向外拉再抬上即开。