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Hitach（日立）S-4800型扫描电子显微镜培训材料一、注意事项：1、严禁没有操作资格的人员操作电镜；2、操作人员要严格按照操作规程进行操作，在仪器产生异常时要及时报告所有事实；3、样品制备严格按照要求进行，特别是磁性样品；4、严禁在实验室吃东西，保持实验室清洁卫生；5、不允许在实验室内使用水槽；6、禁止在实验室内使用产生大量粉尘的物质；7、不得在实验室内大声喧哗、扰乱正常工作；8、注意实验室内湿度应该在60%以下，注意下水管漏水情况。
培训加考核共6个半天。
必须按时到场，认真学习，不允许半途离开。
培训考核结束之后，每人进行操作的前两次必须有熟练人员陪同，并要求陪同人员在使用登记表上签字。
电镜操作的第一前提是要保证人身安全，第二前提是保证仪器设备安全。
第一次培训内容：熟悉S-4800的开机、进样、取样、关机等主要步骤。
1、介绍冷热场发射的扫描电镜（附件一及附件二）。
冷场发射电镜特点，灯丝不加热，引出电场，束流小，能量分散小，但需要高真空，有气体分子吸附。
扫描电镜的基本原理。
2、介绍S-4800及能谱的组成部分、电源控制。
3、先打开循环水开关，再打开主机Display开关。
4、检查离子泵IP1、IP2、IP3的数据并记录。
5、进入控制主机桌面，双击图标进入S-4800的控制软件。
6、每天开始工作前做Flashing 2一次，加电压，观察vext数值（例如3.8KV），如果跟上一次做完flashing之后的数值（例如3.7KV）差别小于0.2KV，则记录此值。
如果与上次相比差别大于0.2KV（例如本次做完flashing后vext数值为4.0KV），则需再做一次flashing2，差值应该减小到0.2KV以内，记录此vext数值。
7、检查样品高度，样品台粘好样后，一定要用气枪把未粘牢的样品吹掉，并确定被测样品的最高处在标准范围内，不能超出标准高度，也不能低太多；8、如何进样：（1）按交换舱上的AIR（放气）按钮，向交换舱充气，听到“嘀——”的声音，可以打开交换舱。
Zeiss Supra55(VP）扫描电子显微镜简明操作指南一、开机说明冷启动步骤1、启动UPS打开墙上空气开关,确认UPS后面电池开关打开,按前面面板上On键至两个绿灯亮。
2、启动循环水冷机。
按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。
检查出水口压力在2～3bar.出水口压力可由压力表下方阀门调节。
若有报警，检查水位,按Res键。
3、启动空气压缩机。
确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I"状态。
检查输出气压为5~6bar。
4、确认主机后两个电源开关状态为On.此时,主机前面板上红灯亮.5、按下黄键。
说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。
6、按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动,输入计算机密码:7、启动SmartSEM软件。
用户名： system 密码：8、检查真空值,等待真空就绪.注意:当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve），并启动离子泵。
当Gun Vacuum=〈5×10-9mBar时，可启动灯丝。
若长期停机,需做烘烤。
9、开启灯丝.10、开TV,检查样品台。
11、装样品(见第二部分）。
12、加高压（EHT）.13、观察样品。
待机状态1、关闭高压（EHT）.2、关闭SmartSEM软件。
注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。
3、关Windows。
4、必要时，关能谱、EBSD。
5、按下黄键此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。
电镜真空系统和灯丝继续工作.待机状态启动1、按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：2、启动SmartSEM软件.用户名:system 密码：3、检查真空值.4、换样或加高压观察样品。
关机步骤1、关高压(EHT)和灯丝。
2、关SmartSEM软件。
注意:分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。
场发射扫描电镜使用方法一、场发射扫描电镜的基本了解。
1.1 场发射扫描电镜是个相当厉害的家伙呢。
它就像一个超级放大镜，可以把微观世界的东西看得清清楚楚。
这东西构造可不简单，有电子枪、电磁透镜这些重要部件。
电子枪就像是它的能量源，产生电子束，然后通过电磁透镜聚焦，最后打到样品上。
1.2 它能观察的样品类型可多啦。
不管是金属、陶瓷，还是生物样品，它都能一展身手。
不过不同的样品，在观察之前得做不同的处理，这就像是给不同的人梳妆打扮，各有各的讲究。
二、样品的制备。
2.1 对于金属样品，如果表面比较粗糙，那得先打磨得光滑平整些。
这就好比把一块坑坑洼洼的石头打磨成漂亮的鹅卵石。
打磨之后呢，还得清洗干净，可不能让杂质留在上面捣乱。
2.2 生物样品就更麻烦些了。
有的生物样品含水量高，那得先进行脱水处理。
这脱水就像把湿漉漉的衣服晾干一样重要。
然后还得固定、镀膜等一系列操作。
如果这些步骤没做好，就像盖房子没打好地基，后面观察就会出问题。
2.3 陶瓷样品相对来说可能没那么复杂，但也得把表面处理干净，确保没有灰尘或者其他脏东西附着。
这就如同洗脸一样，要把脸洗得干干净净才能见人。
三、电镜的操作。
3.1 开机那可得小心谨慎。
就像启动一辆超级跑车，得按照步骤来。
先打开电源，然后预热一段时间。
这个预热就像运动员比赛前的热身，必不可少。
预热完了，要检查各种参数设置是否正确，这就好比出门前检查钥匙有没有带一样重要。
3.2 放置样品的时候也要轻拿轻放。
把样品放到样品台上，要确保它放得稳稳当当的。
这时候就像把宝贝放在一个安全的地方一样。
然后调整电子束的参数，像调整电子束的强度、聚焦等。
这就像调整相机的焦距一样，要让图像清晰。
在观察过程中，可能还需要根据实际情况不断调整参数，直到得到满意的图像。
这就像厨师做菜，得不断调味才能做出美味佳肴。
四、图像的获取与分析。
4.1 当参数调整好后，就可以获取图像啦。
这图像就像是微观世界的一扇窗户，通过它能看到很多奇妙的东西。
