F d0 0.02m m
tgc Mtgc
d0临界分辨本领,c 电子束的入射角
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7. 样品制备
• 扫描电镜的最大优点是样品制备方法简单,对金属和陶瓷 等块状样品,只需将它们切割成大小合适的尺寸,用导电 胶将其粘接在电镜的样品座上即可直接进行观察。
• 对于非导电样品如塑料、矿物等,在电子束作用下会产生 电荷堆积,影响入射电子束斑和样品发射的二次电子运动 轨迹,使图像质量下降。因此这类试样在观察前要喷镀导 电层进行处理,通常采用二次电子发射系数较高的金银或 碳膜做导电层,膜厚控制在20nm左右。
现代先进的扫描电镜的分辨率已经达到1纳米左右。 • 有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调; • 有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平
表面的细微结构 • 试样制备简单。 • 配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成
分分析。
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Optical Microscope VS SEM
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第三章 扫描电子显微镜
1. 扫描电镜的优点 2. 电子束与固体样品作用时产生的信号 3. 扫描电镜的工作原理 4. 扫描电镜的构造 5. 扫描电镜衬度像
二次电子像 背散射电子像 6. 扫描电镜的主要性能 7. 样品制备 8. 应用举例
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1. 扫描电镜的优点 • 高的分辨率。由于超高真空技术的发展,场发射电子枪的应用得到普及,
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8.3 在微电子工业方面的应用
(a)芯片导线的表面形貌图, (b)CCD相机的光电二极管剖面图。
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本章重点
电子束与固体样品作用时产生的信号 扫描电镜的工作原理 扫描电镜衬度像( 二次电子像、背散射电子像