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蔡司SEM（SIGMA）操作规范蔡司——SEM（SIGMA）操作规范⼀、仪器结构光学系统：电⼦枪、电磁透镜、扫描线圈、光阑组件机械系统：⽀撑部分、样品室真空系统样品所产⽣的信号收集、处理、显⽰系统⼆、三种主要信号背散射电⼦（BSD）：⼊射电⼦在样品中经散射后再从上表⾯射出来的电⼦。
反映样品表⾯不同取向、不同平均原⼦量的区域差别。
⼆次电⼦(SE2)：由样品中原⼦外壳层释放出来，在扫描电⼦显微术中反映样品上表⾯的形貌特征。
X射线(EDS)：⼊射电⼦在样品原⼦激发内层电⼦后外层电⼦跃迁⾄内层时发出的光⼦。
三、⼯作原理：扫描电镜的⼯作原理可以简单地归纳为“光栅扫描，逐点成像”。
从电⼦枪阴极发出的直径20um～30um的电⼦束，受到阴阳极之间加速电压的作⽤，射向镜筒，经过聚光镜及物镜的会聚作⽤，缩⼩成直径约⼏毫微⽶的电⼦探针。
在物镜上部的扫描线圈的作⽤下，电⼦探针在样品表⾯作光栅状扫描并且激发出多种电⼦信号。
这些电⼦信号被相应的检测器检测，经过放⼤、转换，变成电压信号，最后被送到显像管的栅极上并且调制显像管的亮度。
显像管中的电⼦束在荧光屏上也作光栅状扫描，并且这种扫描运动与样品表⾯的电⼦束的扫描运动严格同步，这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电⼦像，这种图像反映了样品表⾯的形貌特征。
四、操作步骤(⼀)启动系统1、开机将仪器主机上绿⾊按钮“On”打开，双击软件图标，输⼊⽤户名及密码。
2、加⾼压左击图标，单击，待⾼压上升到设定值，状态栏中显⽰为，系统状态就绪。
(⼆)更换样品1、放真空左击→→→，放真空。
2、换样品排⽓完成后，缓慢地将样品室拉开，轻轻将原样品取下，装⼊新样品，旋紧固定，缓慢关闭样品室。
3、抽真空单击→抽真空，待显⽰为时，抽真空完毕，可进⾏正常测试。
注：样品室不开打开太久，制样及更换样品时需戴⼿套，以免污染样品及样品室。
(三)测试样品1、选择观察区点击，将视野切换到TV模式下，前后移动Z⽅向杆将样品台调整到合适的⾼度，点击，将视野切换到Normal模式下，点击，状态栏中显⽰为⿏标左键调整图像亮度，右键调整对⽐度，使图像视野清晰；点击，状态栏显⽰为将⿏标功能切换为调整倍数、聚焦，⿏标左键将放⼤倍数调到最⼩，右键聚焦，选择较快的扫描速度（=1-3），使⽤操纵杆移动样品台位置，找到要观察的样品，并将观察区移动到视野中⼼。
蔡司三坐标培训计划培训内容概括：1.蔡司三坐标的简单介绍及保养细则2.蔡司三坐标对温湿度及电源、气压的要求3.蔡司三坐标的开关机4.蔡司三坐标的校准及要注意的问题5.蔡司三坐标测量工件过程及精度分析6.以一个工件为例建立自动程序，主要讲述三坐标的编程的过程7.对一些常用的测量方法及测量思路进行探讨A 测量圆锥上固定高度的截面圆直径或者固定直径的高度B 测量构造尺寸及构造元素的尺寸C 测量键槽位置度的方法及评定方法D 焊接轴的测量方法及步骤8.测量报告的分析A 位置度的评定原理及出现的问题B 平面度、垂直度、平行度等评定原理9.蔡司三坐标扫描测量原理及测量方法以一个平面或者一个内孔（圆或者圆柱）扫描测量，对测量结果进行讲解分析10.蔡司三坐标常见故障及其解决办法蔡司三坐标培训教程1.蔡司三坐标的简单介绍及保养细则德国蔡司三坐标是在国际上比较有名的，一是它的精度比较高，二是它的运行稳定性及重复性比较好，三是德国蔡司三坐标所用的探头是三维的，可以在空间的360 度方向探测，测量方向及测量误差自动进行补偿。
相对海康斯康三坐标的二维探头来说，精度比较高，测量稳定性及重复性就比较好。
对蔡司三座标的保养可以参考------- 蔡司三坐标保养细则2.蔡司三坐标对使用环境（温湿度及电源、气压）的要求VistaA对温度的要求18C〜22CB 湿度同样对机器的使用有很大的影响。
湿度过大，容易造成电子元器件的短路，需要配备除湿机；湿度过小，容易产生静电，需要配备加湿机。
Vista 对湿度的要求40％to 60 ％C 对气源的要求，要无水，无油，无尘（实际达不到），但纯度要达到99% 以上；D 一般要求压力6〜10bar,根据不同型号的三坐标，相对Vista来说要求压力6〜8bar建议配备1) 无油空压机或集中的干净气源2) 储气罐3) 粗过滤器4) 压缩空气干燥机5) 精密过滤器（除油）；精密过滤器（除尘）6) 压力调节阀（带0—10bar压力表）E对电源的要求（相对Vista型号的三坐标）电压要求220±0% 频率50HZt3.5% 最大总功率（UPS要求）1000VA3.蔡司三坐标的开关机开机：1 ）检查计量室的温湿度2）打开总电源、总气源检查气压压力3）按照安装顺序，依次打开稳压电源、UPS、空气过滤器等4）打开CMM （coordinate measuring machine）5）打开计算机外部设备，例如打印机、显示器6）打开计算机主机，进入xp 系统7）双击桌面上的快捷图标登录Calypso 软件，机器回零8）打开或者新建一个测量程序，开始测量关机：1）将测头停在合适的位置（一般要求z 轴不暴露光栅尺，位于机器右后上方）2）保存当前测量程序3）退出Calypso 软件（CMM 主机不关，再次开机时CMM 不再回零）4）退出XP 系统5）依次关掉计算机的主机、显示器、打印机等PC 设备6）按下紧急按钮，关掉CMM 主机7）按照顺序依次关掉空气过滤器、UPS、稳压电源等8）关掉总电源、总气源注意:建议每次开关机时间间隔五分钟以上。
ZEISS/ SUPRA 55场发射扫描电镜操作规程
一、开机
1、烘烤：超过一个星期完全关机，再开机时要进行烘烤；
2、开总电源；
3、开UPS电源，按UPS机箱后开关至ON，等3秒后至绿灯亮；
4、开冷却水箱，按ON/OFF开关至ON；
5、开空压机，将空压机开关顺时针搬至“1”；
6、按扫描电镜主机箱面板黄灯按钮至“STANDBY”，等2分钟后，
按绿灯“ON”；
7、输入开机密码；
8、启动软件“SmartSEM”；
9、输入用户名；
11、输入用户口令；
12、等系统真空优于5×10-5mbar，枪真空优于5×10-9mbar；
13、加电子枪高压；
14、加灯丝高压；
15、调节亮度、对比度、像散、合轴，使图像最佳。
二、关机
（一）日常关机
1、放气，取样品；
2、关灯丝高压；
3、退出软件“SmartSEM”；
4、退出软件“EMServer”；
5、关电脑；
6、按黄灯，使扫描电镜进入待机状态；
（二）完全关机
1、按红灯；
2、关空压机，搬空压机开关至“0”；
3、关冷却水箱，按开关至OFF，红灯亮后等15分钟；
4、关UPS电源，按ON/OFF开关至OFF，等3秒，关机箱后开关至OFF；
5、关总电源。
2014-1-10。
扫描电镜和电子探针分析技术培训要点扫描电镜和电子探针分析技术培训要点目标
了解扫描电镜和电子探针的基本结构与原理,了解扫描电镜和电子探针检测/校准项目及相关要求,掌握国家标准中扫描电镜和电子探针的检测方法,掌握扫描电镜和电子探针测量数据的结果处理方法及测量结果不确定度评定的基础知识。
1、扫描电镜和电子探针分析技术基础
(1) 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析方法通则
(2) 扫描电镜的结构,电子束与固体样品的相互作用,表面形貌分析基础,X
射线能谱,EDX,分析基础,电子背散射衍射技术,EBSD,分析基础。
2、扫描电镜和电子探针分析技术的仪器设备操作技术
,1,扫描电镜的成像原理与基本构成～各部件的用途和操作技术。
,2,X射线能谱仪的结构与分析软件～测量前的准备、测量条件的选择～定量分析修正方法。
,3,EBSD系统附件的构成、工作条件、背景扣除、样品处理。
3、扫描电镜和电子探针分析技术的标准方法与应用技术
,1,GB/T 17359-1998, 扫描电镜和电子探针X射线能谱定量分析方法通则
,2,GB/T 16594-1996, 微米级长度的扫描电镜测量方法
,3,GB/T 19501-2004, 电子背散射衍射分析方法通则
,4,GB/T4930-93～电子探针分析标准样品通用技术条件
4、扫描电镜和电子探针分析技术的数据分析与处理
能谱成分分析案例。
场发射扫描电子显微镜实验操作扫描电子显微镜（SEM）是一种能够获得高分辨率表面形貌信息的重要工具。
在实验室中，我们经常会使用场发射扫描电子显微镜来观察样品的微观结构和形貌。
本文将介绍场发射扫描电子显微镜的实验操作步骤。
实验准备在进行场发射扫描电子显微镜实验之前，我们需要进行一些准备工作。
首先，确保实验室环境干净整洁，以避免样品受到污染。
其次，检查扫描电子显微镜设备，确保设备正常工作。
最后，准备好待观察的样品，并确保样品表面平整干净。
样品处理与加载处理样品是进行场发射扫描电子显微镜实验的关键步骤。
首先，将待观察的样品切割成适当大小，并利用相关方法处理表面以去除可能的杂质。
然后，将样品加载到扫描电子显微镜样品台上，并使用夹具固定样品。
参数设置在进行扫描电子显微镜实验前，需要设置合适的参数以获得清晰的显微结构图像。
首先，调整加速电压和工作距离，以适应待观察样品的性质和尺寸。
其次，设置扫描速度和倍率，以获得所需的图像分辨率。
最后，根据需要选择不同的检测模式和滤波器。
图像获取与分析当参数设置完成后，可以开始进行样品的图像获取。
通过扫描电子束对样品进行成像，获得样品表面的细微结构信息。
在获取图像后，可以利用相应软件对图像进行分析，包括测量尺寸、分析形貌等。
同时，可以记录图像和相应数据以备后续分析。
结束实验与维护实验结束后，及时关闭扫描电子显微镜设备，并对设备进行清洁和维护。
将样品从样品台取下，妥善保存或处理。
同时，整理实验记录和数据，保留有关信息以备后续参考。
通过以上步骤，我们可以完成一次成功的场发射扫描电子显微镜实验操作。
这不仅可以帮助我们深入了解材料的微观结构和形貌，还可以为科学研究和工程应用提供重要参考。
希望本文对您进行场发射扫描电子显微镜实验操作有所帮助。
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程1. 引言场发射扫描电子显微镜（Field Emission Scanning Electron Microscope，FE-SEM）是现代科学研究中常用的一种实验设备。
本文档旨在说明使用FE-SEM的安全操作规程以及设备的保养方法，保障使用人员的安全并延长设备的使用寿命。
2. 安全操作规程2.1 个人安全 - 在使用FE-SEM之前，使用人员应接受相关培训，了解设备的基本操作方式和安全注意事项。
- 在操作过程中，使用人员应佩戴适当的个人防护装备，包括防护眼镜、手套和实验服等。
- 在进行样品处理和加载时，应注意避免接触有毒或腐蚀性物质，并采取适当的防护措施。
- 若出现设备故障或异常情况，应立即停止操作并向相关人员报告。
2.2 设备安全 - 在操作之前，应检查设备的电源、冷却系统和真空系统是否正常工作。
- 禁止在离设备太近的地方放置易燃、易爆物品。
- 避免使用金属工具或其他尖锐物品直接接触设备，以免损坏设备外壳或导致电气短路。
- 在操作时，确保设备周围没有杂物或其他障碍物，以免影响操作或造成伤害。
2.3 样品处理与装载 - 检查待测样品是否符合FE-SEM的尺寸和材料要求。
- 在进行样品处理和装载时，避免给样品带来静电或其他污染源，保持样品表面干净。
- 使用合适的工具和技术进行样品装载，确保样品与设备接触良好。
3. 设备保养规程3.1 日常清洁 - 定期清洁设备外壳和工作区域，避免尘埃和杂物积累。
- 使用清洁棉布或软刷，避免使用酸性、碱性或腐蚀性溶剂来清洁设备。
- 定期清理样品台和探针，确保设备在正常工作状态下进行观察。
3.2 真空系统维护 - 定期检查真空泵和真空管路的密封性能，确保系统处于正常工作状态。
- 定期更换真空泵的油封、滤芯等易损件，延长设备使用寿命。
- 注意监测真空度的稳定性，如发现异常应及时处理。
3.3 电子枪维护 - 定期检查电子枪的工作状况，清洁电子发射区域，避免灰尘和污垢的堆积。
