扫描电镜操作流程

扫描电镜操作规程扫描电镜操作规程一、开机（电源开关和准备开关均为打开状态）1、开水(系统不报警方可)；2、开总电源；3、电气柜后面开关打开，将自动/手动（AUTO/MAN）开关拔到自动（AUTO）的位置，此时电炉进行加热；4、抽真空30分钟后，断开准备开关；5、开系统软件；6。

、打开主机前面面板上的电气柜开关（CONSOLE POWER），抽真空10分钟。

二、准备观测图像1、打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置；2、加高压（30KV）导电性不好的产品（20-25KV），加高压时最好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值；3、调节对比度和亮度：①调节对比度，使图像上出现一些噪声为最佳，一般情况下在60左右；②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右；4、加灯丝：顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右；5、机械对中：每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点；6、物镜光阑对中（合轴）：①选区，并挑选图像上的一个特征点；②选择放大倍数1000-2000范围；③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动；④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动最小为止；7、像散消除：选择“选区”位置，从放大倍数1000倍开始消像散，增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象；8、拍照、保存。

三、系统停机1、关闭加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA；2、将对比度降至最低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0；3、关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭；4、关闭主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。

扫描电镜使用说明书一、产品概述扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面并检测扫描电子束的反射电子，从而获取样品的形貌和元素成分信息。

本说明书将详细介绍扫描电镜的使用方法和注意事项。

二、安全操作1. 在使用扫描电镜之前，请确保机器的电源已经正确接入地线，避免触电事故的发生。

2. 在打开扫描电镜之前，先检查样品台和操作盖是否已经安装好并正确固定。

3. 使用扫描电镜时，应该配戴好相关的防护眼镜和手套，确保个人安全。

4. 禁止将未经处理的有毒或易燃物质放入扫描电镜中进行观察。

三、仪器操作流程1. 打开电源开关，等待仪器自检完成，并确保控制面板上的指示灯正常。

2. 使用适当的工具调整样品台的位置和角度，使样品处于扫描电子束正下方。

3. 将待观察的样品放置到样品台上，并使用夹具或胶带固定，避免因振动而影响图像质量。

4. 根据样品特性和需要，选择合适的放大倍数和扫描模式，并进行相关设置。

5. 确保样品台和探针头之间的距离适当，并调整探针电子的聚焦和对准。

6. 点击开始扫描按钮，此时电子束将开始扫描样品表面，并生成相应的图像。

7. 观察并分析样品表面的形貌，使用相关软件进行图像处理和测量。

8. 在观察结束后，关闭电源开关，并进行必要的清洁和维护。

四、注意事项1. 在操作过程中，应该避免触摸样品表面，以免影响图像质量。

2. 在调整参数时，应该谨慎操作，避免产生误操作，导致损坏仪器或样品。

3. 镜头和样品台需要保持干净，可使用专门的清洁剂和软布进行清洁。

4. 扫描电镜不适合长时间连续工作，应该注意适当间隔，避免过热或损坏。

5. 扫描电镜需要定期进行保养和维护，以保证其正常工作。

6. 使用扫描电镜时应该有足够的耐心和耐心，避免急躁操作和粗心大意。

五、故障排除1. 若扫描电镜出现异常现象，如图像模糊、偏移等，可先通过重新校准参数来尝试解决问题。

SEM扫描电镜的使用流程1. 准备工作在使用SEM扫描电镜之前，需要进行一些准备工作，以确保仪器能够正常运行并获取高质量的扫描电镜图像。

•确保SEM仪器的供电和连接正常。

检查电源线和连接线是否完好，并确保适配器与电源插座连接良好。

•校准仪器。

使用专用的校准标样对扫描电镜进行校准，以确保电子束的准确聚焦和定位。

•检查样品台的清洁度。

清除可能影响电子束的尘埃和污垢，以避免对图像质量的影响。

•准备好样品。

根据实验需求，选择合适的样品，并进行必要的样品制备，如表面涂覆金属或导电剂。

2. 启动仪器在准备工作完成后，可以启动SEM扫描电镜。

•打开SEM软件。

在计算机上打开SEM软件，并确保与扫描电镜的连接正常。

•打开仪器电源。

按照SEM仪器的操作手册上的指示，打开扫描电镜的电源。

•等待仪器启动。

SEM仪器需要一段时间进行启动和自检过程，等待仪器完全启动并进入工作状态。

3. 设置实验参数在SEM扫描电镜启动后，需要设置一些实验参数，以获得所需的图像。

•选择加速电压。

根据样品的性质和所需分辨率，选择合适的加速电压。

较低的加速电压适合观察表面形貌，较高的加速电压适合观察内部结构。

•确定扫描速度。

根据样品的特点和要求，选择合适的扫描速度，较高的扫描速度可快速获得图像，较低的扫描速度可获得更高的分辨率。

•设置探针电流。

根据样品的导电性，调整探针电流。

较高的探针电流适用于导电样品，较低的探针电流适用于非导电样品。

•设置探头聚焦。

通过调整探头聚焦参数，确保电子束的聚焦和定位良好，获得清晰的图像。

4. 放置样品并调整在设置好实验参数后，需要放置样品并调整到合适的位置。

•将样品放置在样品台上。

小样品可以直接放置在样品台上，大样品可以使用夹具固定在样品台上，确保样品与电子束的距离适当。

•调整样品位置。

使用显微镜调节样品的位置，使其处于电子束的入射区域，以便获取清晰的图像。

•调整对焦和亮度。

通过调节对焦和亮度参数，确保所观察的区域清晰可见，并且亮度适中。

扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。

二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。

确保样品具有足够的稳定性和导电性。

2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。

3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。

4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。

5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。

6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。

7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。

8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。

9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。

三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。

2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。

3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。

4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。

5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。

四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。

2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。

如需要，请更换老化的组件。

3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。

4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。

5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。

扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项扫描电子显微镜的操作步骤与注意事项一、样品制备将分散好的样品滴于铜片上，干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上（对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上）。

对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层，通常为蒸金：将样品座置于蒸金室中，合上盖子，打开通气阀门，对蒸金室进行抽真空。

选择好适当的蒸金时间，达到真空度定好时间后加电压并开始计时，保持电流值，时间到后关闭电压，关闭仪器。

取出样品。

（注意：打开蒸金室前必须先关闭通气阀门，以防液体倒流。

）二、扫描电镜的操作1.安装样品1) 按“Vent”直至灯闪，对样品交换室放氮气，直至灯亮；2) 松开样品交换室锁扣，打开样品交换室，取下原有的样品台，将已固定好样品的样品台，放到送样杆末端的卡抓内（注意：样品高度不能超过样品台高度，并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面）；3) 关闭样品交换室门，扣好锁扣；4) 按“EVAC”按钮，开始抽真空，“EVAC”闪烁，待真空达到一定程度，“EVAC”点亮；5) 将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，确认“Hold”灯点亮，将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。

（注意：推拉送样杆时用力必须沿送样杆轴线方向，以防损坏送样杆）2.试样的观察（注意：软件控制面板上的背散射按钮千万不能点，以防损坏仪器）1) 观察样品室的真空“PVG”值，当真空达到9.0×10-5Pa时，打开“Maintenance”，加高压5kv，软件上扫描的发射电流为10μA，工作距离“WD”为8mm，扫描模式为“Lei”（注意：为减少干扰，有磁性样品时，工作距离一般为15mm左右）；2) 操作键盘上按“Low Mag”、“Quick View”，将放大倍率调至最低，点击“Stage Map”，对样品进行标记，按顺序对样品进行观察；3) 取消“Low Mag”，看图像是否清楚，不清楚则调节聚焦旋钮，直至图像清楚，再旋转放大倍率旋钮，聚焦图像，直至图像清楚，再放大……，直到放大到所需要的图；4) 聚焦到图像的边界一致，如果边界清晰，说明图像已选好，如果边界模糊，调节操作键盘上的“X、Y”两个消像散旋钮，直至图像边界清晰，如果图像太亮或太暗，可以调节对比度和亮度，旋钮分别为“Contrast”和“Brightness”，也可以按“ACB”按钮，自动调整图像的亮度和对比度；5) 按“Fine View”键，进行慢扫描，同时按“Freeze”键，锁定扫描图像；6) 扫描完图像后，打开软件上的“Save”窗口，按“Save”键，填好图像名称，选择图像保存格式，然后确定，保存图像；7) 按“Freeze”解除锁定后，继续进行样品下一个部位或者下一个样品的观察。

扫描电镜基本操作扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，可以对样品表面进行扫描，获得高清晰度、高放大倍数的图像。

下面将介绍扫描电镜的基本操作流程。

1.准备工作：a.打开电镜室门，确保电镜室的温度和湿度处于适宜范围内。

b.穿戴好实验室所需的个人防护装备，如手套、护目镜和实验服等。

c.打开电镜主机的电源，等待电镜系统启动完成。

2.样品制备：a.选择适当的样品，并将其切割成小块，大小约为2-5毫米。

b.将样品固定在样品架上，并使用导电胶固定好。

c.将样品架放入样品台的样品仓中，并调整好样品的位置。

3.调节参数：a. 调节电子束对准仪（Electron Beam Alignment）：使用电子束对准仪对电子束进行调节，使其准直，并使束斑圆形对称。

b.调节电镜放大倍数：根据样品的大小和需要的分辨率，选择合适的放大倍数。

c. 调节工作距离（Working Distance）：调节样品与电子枪的距离，以获得最清晰的图像。

4.图像获取：a. 打开电子枪（Electron Gun）和电子镜（Objective Lens），调节电子束的亮度和对比度，使图像清晰可见。

b.调节扫描线圈和透镜电流，根据需要调整图像的聚焦和深度。

c.使用电子束扫描样品表面，通过检测电子的散射信号，生成图像。

d.调整扫描速率和扫描模式，以获得更多的图像细节。

5.图像处理：a.将图像转移到计算机上，进行存储和分析。

b.使用图像处理软件对图像进行增强、增加对比度、调整亮度等操作，以改善图像质量。

c.使用测量工具对图像中的尺寸、表面形貌等进行检测和分析。

6.清洁和保养：a.使用真空泵或气体吹枪等清理系统内的灰尘和杂质，以保持显微镜的清洁。

b.对电子枪和电子镜等关键部件进行定期维护和清洁，以保证其正常运行和寿命。

以上是扫描电子显微镜的基本操作流程。

在实际操作中，还需要根据具体的样品和要求进行一些细微的调整和处理。

扫描电镜操作说明书一、准备工作1.1 准备扫描电镜操作所需的材料和设备，包括扫描电镜主机、计算机、样品支架、镊子、电镜屏幕清洁布等。

1.2 确保扫描电镜主机已接通电源，并处于待机状态。

1.3 打开计算机，并确保与扫描电镜主机连接正常。

二、样品处理2.1 确保样品已按照预定的方法进行制备，并处理掉可能对扫描电镜操作产生干扰的杂质。

2.2 将样品放置在样品支架上，并通过镊子轻轻固定。

三、开始扫描3.1 打开扫描电镜软件，并在计算机上进行相应的设置。

3.2 将样品支架插入扫描电镜主机，确保插入深度适当。

3.3 根据样品特性和所需观察的区域，选择适当的扫描电镜模式和参数。

3.4 等待扫描电镜主机进行自检，确保操作正常。

四、调整参数4.1 通过软件界面调整所需观察的放大倍数。

4.2 调整电子束的加速电压和亮度，以获得清晰的图像。

4.3 根据样品的导电性和形态，选择合适的工作模式和探针电流。

五、观察与记录5.1 在电镜屏幕上观察样品表面的图像。

5.2 根据需要，可以通过扫描电镜软件对图像进行操作，如调整对比度、亮度、灰度等。

5.3 如需记录图像，可以使用截屏工具保存图像到计算机中。

同时，应对图像进行必要的标注和注释。

六、操作注意事项6.1 在进行扫描电镜操作时，要小心谨慎，避免对设备和样品造成损坏。

6.2 避免触摸或碰撞扫描电镜主机，以免影响其正常工作。

6.3 在更换样品或进行其他操作前，应先关闭扫描电镜软件和电镜主机，并断开与计算机的连接。

七、操作结束7.1 在使用完扫描电镜后，将样品从样品支架上取下，并妥善保存。

7.2 关闭扫描电镜软件和电镜主机，并断开与计算机的连接。

7.3 清洁电镜屏幕和设备表面，确保无灰尘、指纹等污染。

7.4 检查设备和周围环境，确保没留下个人物品和其他杂物。

以上为扫描电镜操作说明书的内容，仅供参考。

实际操作时，请遵循设备和软件的使用说明，并严格遵守相关安全规定。

扫描电镜的使用流程解析1. 简介扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束来扫描样品表面并对电子束与样品间的相互作用进行分析的仪器。

它能提供高分辨率的表面图像，并对样品的形貌和组织结构进行详细研究。

本文将介绍扫描电镜的使用流程，帮助用户了解如何正确操作扫描电镜。

2. 准备工作在使用扫描电镜之前，需要进行以下准备工作：•清洁工作台和样品架，确保无尘。

•检查电镜是否处于正常工作状态，例如电源是否连接、真空泵是否正常工作等。

•准备好待观察的样品，并确保其表面干净、平整。

3. 样品装载使用扫描电镜之前，需要将待观察的样品进行装载。

以下是样品装载的具体步骤：1.将待观察的样品放置在样品架上。

2.将样品架插入扫描电镜的样品台中。

3.确保样品架与样品台连接牢固，以避免在扫描过程中发生移动或倾斜。

注意：在进行样品装载时，要避免直接用手接触待观察的样品，以防留下指纹或污染样品表面。

4. 真空操作在样品装载完成后，需要进行真空操作，以确保扫描电镜内部处于高真空状态。

以下是真空操作的步骤：1.打开真空泵，启动真空泵工作。

2.等待一段时间，直到真空泵将电镜内部抽成高真空状态。

3.监测真空度，确保真空度达到所需的工作要求。

注意：在真空操作期间，避免在电镜周围产生灰尘或其他粉尘，以免影响观察结果。

5. 参数设置在进行实际观察之前，需要设置扫描电镜的参数。

以下是常用的参数设置：•加速电压：根据样品性质和观察要求设置合适的加速电压。

•探针电流：根据样品性质和观察要求设置合适的探针电流。

•焦距：根据样品距离和观察要求设置合适的焦距。

•扫描速度：根据样品的细节和观察要求设置合适的扫描速度。

6. 图像观察设置参数完成后，即可进行实际的图像观察。

以下是图像观察的步骤：1.通过调节焦距和放大倍数，找到合适的观察尺寸和焦距。

2.调节扫描速度和图像对比度，以获得清晰的图像。

3.使用不同的检测方式（如二次电子检测和反射电子检测），观察样品的不同表面形貌。

扫描电镜操作流程扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，可以使用电子束扫描样品表面以获取高清晰度的图像。

它是通过与样品表面相互作用的电子进行成像，不同于传统光学显微镜，可以提供更高的放大倍数和更详细的表面特征。

以下是扫描电镜的操作流程细节：1.准备工作：首先，检查SEM的状态，包括电子枪、二次电子和反射电子探测器、样品台、真空系统和电子束控制系统等等。

确保这些部件运作正常，并进行必要的维护和保养。

2.真空系统调节：打开SEM并启动真空泵以排出系统内的空气。

当系统达到所需的真空度时，关闭真空泵并稳定真空状态，确保SEM的内部环境符合操作要求。

3.样品准备：选择合适的样品进行观察。

样品要求平整、干燥，并且需要导电性，因为在SEM中需要通过导电样品进行电子束的传递。

如果样品非导电，可以通过涂覆薄层金或碳来增加导电性。

4.固定样品：将样品固定在SEM的样品台上。

使用吸附性材料（如双面胶带或碳胶），使样品稳定在台面上。

确保样品平整地放置，并避免接触样品表面。

5.样品调整：根据需要，可以使用样品台上的微动控制装置来对样品进行粗略的位置和焦距调节。

确保样品所需的区域位于视野范围内，并且处于最佳对焦状态。

6.电子束调整：对于SEM，需要调整电子束的加速电压、光圈和聚焦等参数，以获得高清晰的图像。

根据样品特性和观察需求，调整这些参数，以确保电子束能够有效穿透样品并获得最佳成像效果。

7.图像获取：一切准备工作完成后，可以开始进行图像获取。

通过SEM系统的控制软件，选择所需图像的扫描区域和扫描参数，包括扫描速度、图像放大倍数等。

点击“开始”或相应按钮后，电子束将开始扫描样品表面，并将所得得电子信号转换为图像。

8.图像处理与分析：获取到的图像可以通过SEM系统的软件进行进一步处理和分析。

常用的操作包括亮度和对比度调整、放大和缩小、图像滤波、颜色调整等。

还可以使用图像处理软件进行粒径测定、表面形貌分析、化学成分分析等。

扫描电镜操作规程扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种将电子束聚焦在样品表面，通过扫描方式来获得样品高分辨率3D表面形貌和成分信息的仪器。

为了确保SEM操作的有效性和安全性，以下是SEM操作规程。

一、设备准备：1.认真阅读并了解SEM操作说明和安全规范。

2.检查SEM主机和附件是否处于正常工作状态，包括真空度、电源和冷却系统。

3.确保SEM试样台和样品夹具是干净的，无油污和灰尘。

二、样品处理：1.样品制备前，需要了解样品性质和要求，选择合适的样品制备方法。

2.对于生物样品，应优先使用冷冻切片等方法固定样品形态，以避免形变。

3. 样品尺寸应适合SEM观察，常规样品尺寸为10mm×10mm。

三、真空系统操作：1.打开SEM干净室门前，请先关闭室门内的LED灯进行暗室操作。

2.打开真空系统电源，并调节抽真空系统排气阀门，观察真空度是否达到工作要求。

若真空泄漏现象，请通知维修人员。

3.室外样品台安装完成后，请确保样品台和附件干净，并将样品固定到样品夹具上。

4.朝样品夹具上的固体样品均匀喷涂金属薄层来提高导电性。

四、SEM主机操作：1.打开SEM主机电源开关，仪器会进行自检程序，确认系统启动正常后才能进行操作。

2.将SEM控制软件打开，并加载上一次使用的配置文件，确认加热丝和工作功能正常。

3.调节电子枪电流和加速电压，以达到最佳分辨率和清晰度。

4.运用选择二级电子或回散二级电子来实现图像形成，根据具体需求调整像素率和扫描速度。

五、SEM样品观察：1.在获得清晰的样品图像之前，调整样品和悬臂梁的位置，以保证电子束准确的投射到样品表面。

2.调节电子束扫描范围、分辨率和时间，以获得高质量的SEM图像。

六、SEM样品操作结束：1.操作完成后，关闭SEM主机电源开关和控制软件。

2.关闭系统真空排气阀门，并观察真空泵的运行情况，确保真空度恢复正常。

3.清理和保养SEM主机和附件，如清除样品夹具上的残留物。