2.2压阻式传感器
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压阻式压力传感器利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。
单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。
压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制(见加速度计)。
压阻效应当力作用于硅晶体时,晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化,扰动了载流子纵向和横向的平均量,从而使硅的电阻率发生变化。
这种变化随晶体的取向不同而异,因此硅的压阻效应与晶体的取向有关。
硅的压阻效应不同于金属应变计(见电阻应变计),前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化,后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化(应变),而且前者的灵敏度比后者大50~100倍。
压阻式压力传感器的结构这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。
压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。
硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。
硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。
在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对称。
硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条,两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。
发展状况1954年C.S.史密斯详细研究了硅的压阻效应,从此开始用硅制造压力传感器。
早期的硅压力传感器是半导体应变计式的。
后来在N型硅片上定域扩散P型杂质形成电阻条,并接成电桥,制成芯片。
此芯片仍需粘贴在弹性元件上才能敏感压力的变化。
采用这种芯片作为敏感元件的传感器称为扩散型压力传感器。
《压力传感器》教案压力传感器教案1. 教学目标- 了解压力传感器的基本概念和原理。
- 掌握常见的压力传感器的种类和应用领域。
- 学会使用压力传感器测量和监测压力。
2. 教学内容2.1 压力传感器的基本概念和原理- 压力传感器的定义和作用。
- 压力传感器的工作原理。
- 压力测量单位和常见的压力标准。
2.2 压力传感器的种类和应用领域- 压阻式传感器。
- 血压传感器。
- 力传感器。
- 应力传感器。
- 其他常见的压力传感器类型。
- 压力传感器在工业、医疗、环境监测等领域的应用。
2.3 压力传感器的测量和监测- 使用压力传感器测量压力的步骤和注意事项。
- 如何校准压力传感器以保证测量的准确性。
- 使用压力传感器进行压力监测的方法和技巧。
3. 教学方法- 讲授与演示相结合的教学方法。
- 利用多媒体设备展示压力传感器的原理和应用案例。
- 组织学生参与讨论和实验操作,加深理解和掌握。
4. 教学评价- 设计小组项目或实验任务,评估学生对压力传感器的理解和运用能力。
- 通过问答、测验等形式,检验学生对教学内容的掌握程度。
- 利用观察记录和学生反馈,评估教学效果,及时调整教学策略。
5. 教学资源- 多媒体设备及相关软件。
- 压力传感器及实验设备。
- 相关教材、资料和案例。
6. 教学时间安排本教案预计需要4个学时来完成。
7. 备注以上教案仅供参考,具体教学内容和方法可根据实际情况进行调整和适应。
教师应根据学生的实际情况,采用灵活多样的教学手段,提高教学质量和效果。
> 注意:此教案的内容是为了提供给教师参考,不可用于商业目的。
压阻式压力传感器1. 引言压阻式压力传感器是一种用于测量压力的传感器。
该传感器的工作原理是通过应变电阻的变化来检测受力物体的压力。
它广泛应用于工业控制、汽车制造等许多领域。
本文将介绍压阻式压力传感器的工作原理、特点以及应用。
2. 工作原理压阻式压力传感器的工作原理基于应变电阻效应。
当传感器受到压力作用时,传感器内的金属薄片或薄膜会发生形变,导致金属材料的电阻值发生变化。
通过测量电阻值的变化,我们可以得知受力物体的压力大小。
通常,压阻式压力传感器由两个电极之间夹着一层薄膜或薄片构成。
当压力作用在传感器上时,薄膜或薄片会发生拉伸或压缩,从而改变电流的通道,使电阻值发生变化。
这种变化可以被测量电路检测到并转换为相应的电压或电流信号。
3. 特点压阻式压力传感器具有以下特点:•灵敏度高:由于应变电阻效应是线性的,压阻式压力传感器在测量范围内具有较高的灵敏度。
•稳定性好:传感器内部的金属材料通常经过特殊处理,以增加其稳定性和可靠性。
•宽测量范围:压阻式压力传感器可以适应广泛的测量范围,从几千帕到几百兆帕不等。
•耐用性强:传感器通常采用金属或陶瓷材料制成,具有较好的耐用性。
4. 应用压阻式压力传感器在许多领域有广泛的应用,包括但不限于以下几个方面:4.1 工业控制压阻式压力传感器可用于测量流体压力,如液体或气体。
在工业控制中,压力传感器常被用于监测管道或容器中的压力变化,以确保系统正常运行。
4.2 汽车制造压阻式压力传感器在汽车制造中起着重要作用。
它们可用于测量发动机燃油压力、轮胎气压等数据,以确保汽车的安全性和性能。
4.3 医疗设备压阻式压力传感器在医疗设备中也有应用。
例如,它们可用于测量患者的血压、呼吸气道压力等数据,以协助医生进行诊断和治疗。
4.4 环境监测压阻式压力传感器可用于环境监测,如大气压力、海洋水深等数据的测量。
这些数据对于气象研究、海洋科学等领域非常重要。
5. 总结压阻式压力传感器是一种用于测量压力的重要传感器。
传感器的分类和特点1. 传感器的概述传感器是一种能够将物理量或化学量转化为电信号的装置,用于感知和测量环境中的各种参数。
传感器在各个领域中都有广泛的应用,如工业自动化、医疗设备、环境监测等。
传感器的分类主要根据其工作原理、测量物理量和应用领域来进行。
本文将对常见的传感器分类及其特点进行详细介绍。
2. 传感器的分类2.1 按工作原理分类2.1.1 电阻式传感器电阻式传感器是利用物质的电阻随温度、压力等物理量变化而变化的原理进行测量。
常见的电阻式传感器有温度传感器、压力传感器等。
温度传感器根据热敏材料(如热敏电阻、热敏电容)的特性来测量环境温度。
压力传感器则利用压敏电阻或压敏薄膜测量介质压力。
2.1.2 容抗式传感器容抗式传感器是利用物质的电容随温度、湿度等物理量变化而变化的原理进行测量。
常见的容抗式传感器有湿度传感器、接近开关等。
湿度传感器通过测量介质中水分含量来得知湿度信息。
接近开关则通过测量物体与传感器之间的电容变化来判断物体是否接近。
2.1.3 感应式传感器感应式传感器是利用物质对磁场或电磁波的敏感性进行测量的传感器。
常见的感应式传感器有磁场传感器、光电传感器等。
磁场传感器通过检测磁场的强度和方向来获得相关信息。
光电传感器则是利用光敏元件对光信号的敏感性进行测量,常用于测距、检测物体颜色等。
2.2 按测量物理量分类2.2.1 温度传感器温度传感器广泛应用于各个领域,如工业控制、气象监测、医疗设备等。
常见的温度传感器有热敏电阻(如铂电阻)、热敏电容、热电偶等。
热敏电阻是一种电阻随温度变化的传感器,常用于测量室内温度、液体温度等。
热敏电容则是利用介质的电容随温度变化来测量温度。
2.2.2 压力传感器压力传感器用于测量气体或液体的压力,广泛应用于工业自动化、汽车行业等领域。
常见的压力传感器有压阻式传感器和压电式传感器。
压阻式传感器利用弹性元件(如金属薄膜)的形变来测量压力。
压电式传感器则是利用壳体上附着的压电材料产生电荷来测量压力。
总结压阻式压力传感器的一般检测方法压阻式压力传感器是一种常用的测量压力的传感器,其原理是基于材料的压阻效应。
为了确保传感器的准确性和稳定性,需要进行一般的检测方法。
以下是总结的一般检测方法:1. 外观检查:首先,对压力传感器进行外观检查,包括检查传感器外壳是否完整、有无损坏,是否有明显的划痕或变形等。
确保传感器外观正常可靠。
2. 线路连接检查:检查传感器的电气连接,包括检查传感器与接收器之间的线路连接是否正确牢固,检查所有电连接器是否无松动或断裂。
确保传感器与电路之间的连接良好。
3. 零点检测:通过此检测方法,测量压力传感器在无压力状态下的输出信号。
将传感器暴露在零压条件下,记录输出信号。
正常情况下,压力传感器在无力作用时应输出稳定的零信号。
4. 线性度检测:线性度是指压力传感器输出与输入压力之间的直线关系。
可通过在一定范围内施加等间隔的压力,记录传感器的输出信号。
然后,根据斜率和截距计算其线性关系。
理想情况下,传感器应该有良好的线性关系。
5. 灵敏度检测:灵敏度是指压力传感器输出信号与输入压力变化之间的关系。
可以通过在不同压力范围内改变输入压力,并记录传感器的输出信号,计算出输出信号相对于输入信号的变化量。
传感器的灵敏度应保持稳定并与规格相符。
6. 温度特性检测:压力传感器的温度特性直接影响其测量的准确性。
进行温度特性检测时,将传感器暴露在不同的温度环境下,并记录传感器的输出信号。
比较传感器在不同温度下的输出,确保传感器对温度的响应在规格范围内。
总之,以上是总结的压阻式压力传感器的一般检测方法,通过这些方法可以确保传感器的质量和性能符合要求,提供可靠准确的压力测量结果。