原子层沉积培训PPT
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倍耐克 – 卓越的薄膜设备和技术供应商原子层沉积(ALD)是一种适合于研制最新的和前沿性的产品的薄膜制备技术。
原子层沉积(ALD)也是一种用于高级纳米技术研究的有效方法。
典型的原子层沉积(ALD)应用是在各种尺寸和形状的基底上沉积高精度、无针孔、高保形的纳米薄膜。
针对目前的市场需要, 倍耐克公司通过提供开创性应用技术和可接受的购置成本的原子层沉积设备为企业的快速发展提供了必要的条件。
介绍原子层沉积(ALD)可归类于一种化学气相沉积技术。
在该技术开发的初期,它被用于生产纳米叠加结构的绝缘体(Al 2O 3/TiO 2)和薄膜电致发光显示器(TFEL)的硫化锌(ZnS)发光膜。
得益于原子层沉积(ALD)技术的发展,这种显示器在80年代中期开始大规模的生产。
原子层沉积技术特有的属性和工艺的高可重复性是这种显示器能够成功工业化生产的关键因素。
原子层沉积(ALD)是一种成熟的技术,如其在半导体等工业的广泛应用。
事实上,ALD在众所周知的摩尔定律的实现过程中扮演了非常重要的角色。
同时原子层沉积(ALD)技术还引发了许多前所未有的新的应用领域的发展。
今天原子层沉积(ALD)技术已经应用到了各种各样的工业领域,其中包括光伏、光学、化学、水气阻挡层、有机印刷电子、珠宝保护和医疗行业-- 更多的工业领域正处于不断发展中。
原子层沉积(ALD)可以说是纳米技术以及其他材料和薄膜研究的关键组成部分。
原子层沉积(ALD)技术曾被认为是比较慢的、适合具有高附加值的薄膜制备技术;不适用于制备厚的薄膜,如几个微米厚的薄膜,至少不是一种低成本的方法。
实际情况完全相反,原子层沉积(ALD)技术对制备较厚的薄膜没有真正的困难,而且总的生产成本也不高。
大批量,自动化的工艺流程和可靠的,易操作的设备是成功的工业应用的关键。
Beneq的原子层沉积设备是建立在25年苛刻的24/7工业条件下连续生产的经验基础之上的,就像前面提到的TFEL显示器制造。
原子层沉积的原理小伙伴们!今天咱们来唠唠原子层沉积这个超酷的东西。
原子层沉积啊,就像是给原子们安排一场超级有秩序的排队游戏。
想象一下,原子们就像一群调皮的小豆子,不过在原子层沉积这个神奇的过程里,它们可就得乖乖听话啦。
从最基础的来说呢,原子层沉积是一种特殊的薄膜制备技术。
它的特别之处就在于,每次只沉积一层原子哦。
对,你没听错,就一层!这就好比盖房子,不是一下子把所有砖头都堆上去,而是一块一块非常精准地往上垒。
那怎么做到每次只弄一层原子呢?这就涉及到一些超级有趣的化学反应啦。
我们得有两种或者多种前驱体气体。
这些前驱体气体就像是带着原子小豆子们的小火车。
比如说,一种前驱体气体带着一种原子,另一种前驱体气体带着另一种原子。
当第一种前驱体气体进入到反应腔室的时候,它就会吸附在基底的表面。
这个基底呢,就像是小原子们要站上去的小舞台。
这些原子就像小吸盘一样,紧紧地吸附在基底上,整整齐齐地排好队。
不过这个时候,它们的排列还不是最终的样子呢。
然后呢,把多余的第一种前驱体气体给清理掉,就像把那些没有找到位置的小原子火车给开走一样。
接下来,第二种前驱体气体就闪亮登场啦。
第二种前驱体气体里的原子和已经吸附在基底上的原子就会发生反应,这样就形成了一层非常薄的薄膜。
这一层薄膜就像是给基底穿上了一件超级薄的小衣服,而且这件小衣服的厚度那可是精确到原子级别的哦。
这个过程可以不断地重复,一层又一层地往上加。
就像我们给小舞台上的演员不断地加服装道具一样。
每一层原子的沉积都是这么精确、这么有秩序。
这就使得用原子层沉积做出来的薄膜啊,质量超级高。
它的厚度均匀性特别好,就像我们擀面皮一样,擀得平平整整的。
而且薄膜的成分和结构也能够被非常精准地控制。
原子层沉积还有一个很棒的地方呢。
它可以在各种形状复杂的基底上进行薄膜沉积。
不管是那种弯弯绕绕的小零件,还是表面坑坑洼洼的东西,原子层沉积都能像一个超级细心的小工匠一样,把原子一层一层地铺上去。
原子层沉积系统介绍一、什么是原子层沉积系统原子层沉积(Atomic Layer Deposition,简称ALD)是一种薄膜生长技术,它以单个层的厚度为单位,通过交替地引入气态前体分子和气态反应剂在材料表面逐层沉积。
原子层沉积系统(ALD system)指的是用于实施原子层沉积工艺的一系列装置和设备。
二、原子层沉积系统的核心部件原子层沉积系统包括以下核心部件:1. 反应室反应室是原子层沉积系统的核心部件之一,用于容纳材料样品和用于生长薄膜的气体。
反应室通常采用真空环境,以确保反应室内的气体与样品表面发生反应,而不与外界环境发生干扰。
2. 前体分子输送系统前体分子输送系统用于传递以原子层沉积所需的前体分子。
这些前体分子通常以液态或固态形式存储,并通过加热或者气体柱塞等方式进行蒸发或者挥发。
前体分子输送系统必须能够精确地控制前体分子的量,以保证薄膜生长的一致性和可重复性。
3. 反应剂输送系统反应剂输送系统用于传递与前体分子反应的反应剂,以促进薄膜的生长。
反应剂通常是气态的,并且在与前体分子接触时会发生化学反应,使得薄膜生长。
4. 真空系统真空系统用于在反应室中维持恰当的压力和气氛。
通过排除外部气体,真空系统可以提供干净的反应环境,避免与杂质反应。
真空系统通常由气泵、吸附剂和阀门等组成。
5. 控制系统控制系统用于监测和控制原子层沉积系统中各个部件的操作。
它可以实时监测压力、温度、流量等参数,并自动调节前体分子和反应剂的供给,确保薄膜生长的准确性和稳定性。
三、原子层沉积系统的工作原理原子层沉积系统的工作原理基于气相分子间的表面反应,其主要步骤包括:1. 吸附前体分子被引入反应室,并与样品表面发生吸附作用。
吸附程度取决于前体分子与样品表面的亲和力。
2. 易位反应反应室中入口的反应剂分子与已经吸附在样品表面的前体分子进行反应,产生新的产物。
3. 副产物清除副产物或未反应的前体分子会与反应剂一起被排出反应室,以确保下一个周期开始时的表面完全干净。