第二章 化学腐蚀法检测晶体缺陷
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晶间腐蚀检测方法
晶间腐蚀检测方法:
①目视检查最简单直接无需任何仪器仅凭肉眼即可发现表面凹凸不平颜色变化等宏观特征;
②超声波检测利用高频声波在材料中传播时遇到界面会发生反射折射吸收现象分析回波信号判断损伤程度;
③涡流检测原理与超声波类似但使用的是交变磁场和感应电流当试件中有缺陷时会导致涡流路径改变;
④射线照相将X射线γ射线穿过被检测物体落在底片上由于不同区域吸收强度不一样便形成黑白对比影像;
⑤磁粉检测适用于铁磁性材料在其表面撒上干湿磁粉通以直流电后若有裂纹则会在磁场作用下载流子积聚;
⑥渗透检测采用含有荧光或着色染料的渗透液涂抹在干净表面上渗入开口缺陷停留一段时间后擦去多余部分;
⑦拉曼光谱通过激光激发样品中分子振动转动产生散射光谱分析其中峰位强度变化可定性定量描述腐蚀产物;
⑧电化学测试将待测样品作为工作电极浸入电解液中施加恒定电压或电流测量其极化曲线阻抗谱等电化学参数;
⑨扫描电镜结合SEM+EDS技术不仅能观察到微观形貌还能进行元素成分分析揭示腐蚀机理;
⑩三维重建利用CTMRI等断层扫描技术获取物体内部多个截面图像再通过软件重建出三维立体模型;
⑪声发射监测在设备运行状态下安装拾音器捕捉因晶间腐蚀引发的微弱声波信号实现在线预警;
⑫模拟预测基于有限元分析法建立腐蚀模型输入环境介质成分温度应力等边界条件预测服役寿命。
不锈钢硫酸-硫酸铁腐蚀试验方法(GB4334.2-84)适用于将奥氏体不锈钢在硫酸-硫酸铁溶液中煮沸试验后,以腐蚀率评定晶间腐蚀倾向的一种试验方法。
试验步骤:1)将硫酸用蒸馏水或去离子水配制成50±0.3%(质量百分比)的硫酸溶液,然后取该溶液600ml加入25g硫酸铁加热溶解配制成试验溶液。
2)测量试样尺寸,计算试样面积(取三位有效数字)。
3)试验前后称质量(准确到1mg)。
4)溶液量按试样表面积计算,其量不小于20ml/cm2。
每次试验用新的溶液。
5)试样放在试验溶液中用玻璃支架保持于溶液中部,连续沸煮沸120h。
每一容器内只放一个试样。
6)试验后取出试样,在流水中用软刷子刷掉表面的腐蚀产物,洗净、干燥、称重。
试验结果以腐蚀率评定为W前-W后腐蚀率=──────(g/m2.h)St式中W前──试验前试样的质量(g);W后──试验后试样的质量(g);S──试样的表面积;t──试验时间(h)。
(3)不锈钢65%硝酸腐蚀试验方法(GB4334.3-84)适用于将奥氏体不锈钢在65%硝酸溶液中煮沸试验后,以腐蚀率评定晶间腐蚀倾向的试验方法。
试验步骤:1)试验溶液的配制将硝酸用蒸馏水或去离子水配制成65±0.2%(质量百分比)的硫酸溶液。
2)、3)、4)同硫酸-硫酸铁试验方法。
5)每周期连续煮沸48h,试验五个周期。
试验结果以腐蚀率评定,同硫酸-硫酸铁试验方法。
焊接试样发现刀状腐蚀即为具有晶间腐蚀倾向,性质可疑时,可用金相法判定。
(4)不锈钢硝酸-氢氟酸腐蚀试验方法(GB4334.4-84)适用于检验含钼奥氏体不锈钢的晶间腐蚀倾向。
用在70℃、10%硝酸-3%氢氟酸溶液中的腐蚀率的比值来判定晶间腐蚀倾向。
试验步骤:1)试验溶液:将硝酸和氢氟酸试剂,用蒸馏水或去离子水配制成质量分数为10%的硝酸-3%的氢氟酸试验溶液。
2)、3)同硫酸-硫酸铁试验方法。
4)将支架放入容器中,溶液量按试样表面积计算,其量不少于10ml/cm2。
晶体缺陷显示实验指导实验名称:晶体缺陷显示实验实验目的:1、了解掌握硅单晶片研磨、热处理、化学抛光和化学腐蚀的操作方法。
2、学会在金相显微镜下观测硅单晶中的位错或点缺陷。
实验内容:在硅单晶(选〈111〉晶向)片上通过研磨和热处理、化学抛光和化学腐蚀的方法显示晶体缺陷。
用“非择优腐蚀剂”进行表面化学抛光;然后用“择优腐蚀剂”进行化学腐蚀来揭示晶体缺陷。
在金相显微镜下观测硅晶体位错或漩涡缺陷(点缺陷)的腐蚀坑,根据显示的腐蚀坑数目来计算缺陷密度。
实验原理:1、常用的“非择优腐蚀剂”为:HF (40—42 %):HNO3 (65%) = 1:2.5。
主要用于硅片表面化学抛光,以达到表面清洁处理,去除机械损伤层,获得光亮表面的目的。
(其反应原理为:Si + 4HNO3 + 6HF = H2SiF6 + 4NO2↑+4 H2O )2、常用的“择优腐蚀剂”为:标准液:HF (40—42 %) = 3:1慢速液标准液:HF (40—42 %) = 2:1中速液标准液:HF (40—42 %) = 1:1中速液标准液:HF (40—42 %) = 1:2快速液(其中标准液为:CrO3:H2O = 1:2 重量比)。
用来揭示缺陷,一般来说腐蚀速度越快,择优性越差。
根据现在气温我们选1:1的中速液。
(其反应原理为:Si + CrO3 + 8HF = H2SiF6 + CrF2 + 3H2O )硅晶体中位错线或点缺陷附近晶格发生畸变,不稳定。
位错或漩涡缺陷在硅片表面露头处周围,腐蚀速度比较快,从而形成缺陷腐蚀坑(如图)。
腐蚀坑的数目可在金相显微镜中数出,单位面积内腐蚀坑的数目称为缺陷密度。
三角坑是因为硅(111)面容易显露出来的结果。
实验方法和步骤:1、用14μ刚玉细砂在玻璃板上研磨硅片30—40分钟。
2、在ZKL—1F型石英管扩散炉中对硅片进行退火处理1小时。
3、带上乳胶手套,在通风橱中用量筒、烧杯配适当量的“非择优腐蚀剂”,将硅片放入其中进行抛光,时间大约3—4分钟,以试剂变成棕黄色并冒烟为准。
晶间腐蚀检验方法晶间腐蚀(Intergranular Corrosion,简称IGC)是一种金属晶间发生的腐蚀现象,是一种隐蔽的材料失效问题。
晶间腐蚀通常发生在金属晶粒边界区域,特别是一些易于形成与腐蚀敏感的化合物相的晶界位置。
晶间腐蚀可能导致材料的力学性能和耐蚀性能下降,从而对材料的可靠性和安全性产生严重的影响。
因此,晶间腐蚀检验方法对于材料失效的预防和质量控制具有重要意义。
1.标准腐蚀试验法这是一种常用的实验室研究方法,通常使用强酸或浓碱溶液作为腐蚀介质,对试样进行浸泡腐蚀。
腐蚀时间、温度和腐蚀介质的浓度可以根据材料的要求进行调整。
通过观察试样的腐蚀程度,可以评估材料的晶间腐蚀敏感性。
2.焊接连接处腐蚀试验法通过模拟实际的焊接接头,对焊接连接处进行腐蚀试验。
这种方法更接近实际应用环境中的情况,可以更准确地评估材料在焊接热影响区域的晶间腐蚀情况。
通常采用电化学方法进行试验,如恒电位法或交流阻抗法。
3.金相显微组织观察法金属材料的显微组织往往与晶间腐蚀敏感性密切相关。
通过光学显微镜或电子显微镜观察试样的金相组织,可以评估晶粒边界的特征和化合物相的分布情况。
晶间腐蚀敏感性通常与晶界的特征有关,如晶界的偏聚现象和特定化合物相的形成。
4.化学分析法化学分析法通过对试样进行化学分析,检测晶界区域的元素异常含量,从而间接评估晶间腐蚀敏感性。
常用的化学分析方法有扫描电子显微镜-能谱分析(SEM-EDS)和电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)。
总结来说,晶间腐蚀检验方法包括标准腐蚀试验法、焊接连接处腐蚀试验法、金相显微组织观察法和化学分析法等。
这些方法均可以评估材料的晶间腐蚀敏感性,为材料的设计和选择提供参考依据。
然而,每种方法都有其局限性和适用范围,在应用时需要综合考虑多种因素。
此外,随着科学技术的不断进步,新的检验方法也在不断涌现,为晶间腐蚀问题的解决提供更多选择。
晶间腐蚀试验引言晶间腐蚀(Intergranular Corrosion, IG)是金属材料在一定条件下,沿着晶界发生的腐蚀现象。
这种腐蚀形式对金属材料的性能和可靠性造成了很大的影响,因此对晶间腐蚀的研究非常重要。
晶间腐蚀试验是一种常用的方法,用于评估金属材料在特定环境条件下的晶间腐蚀倾向。
本文将介绍晶间腐蚀试验的原理、常用试验方法以及试验结果的分析与解读。
原理晶间腐蚀的发生与金属材料的晶界特性有关。
晶界是相邻晶粒之间的界面,它通常具有较高的能量和活性。
在特定条件下,晶界上可能出现化学成分不均匀或局部应力集中等不利因素,从而导致腐蚀敏感区域的形成。
晶界的特性对晶间腐蚀倾向有重要影响,如晶界结构、晶粒尺寸等。
晶间腐蚀试验的原理是将金属材料暴露在特定的环境中,通过一定的试验方法和条件,评估材料在晶界处的腐蚀倾向。
试验过程中,通常会检测材料的晶界腐蚀程度、腐蚀产物的形貌和物理性质等参数。
试验方法1. 铺盖试验法铺盖试验法是一种常用的晶间腐蚀试验方法,适用于一些常见的金属材料,如不锈钢,铜合金等。
具体步骤如下:1.将试样切割成适当的形状和尺寸。
2.清洗试样表面,去除污垢和氧化物。
3.在试样表面涂覆一层酸性溶液,覆盖整个试样表面。
4.在酸性溶液中浸泡一定时间,使晶界处发生腐蚀反应。
5.取出试样,用显微镜观察和记录晶界腐蚀程度。
2. 泡热法泡热法是一种对高温合金等材料进行晶间腐蚀试验的方法。
具体步骤如下:1.准备试样,对材料进行预处理,如打磨、抛光等。
2.在高温环境下,将试样浸泡在特定的腐蚀介质中。
3.控制浸泡时间和温度,使材料在晶界处发生腐蚀反应。
4.取出试样,观察和记录晶界腐蚀情况。
3. 加速腐蚀试验加速腐蚀试验是一种常用的快速评估晶间腐蚀倾向的方法,通常使用特殊的试验设备和试验介质。
具体步骤如下:1.准备试样,如片状样品或者盘状样品。
2.将试样置于试验设备中,通过控制试验介质的温度、压力和浓度等参数,模拟实际使用条件下的腐蚀环境。
研究晶体缺陷的实验方法与注意事项晶体是由原子、离子或分子排列有序而成的固体,具有高度的结晶性和周期性。
然而,实际上完美的晶体是非常罕见的,大部分晶体都存在着各种缺陷。
研究晶体缺陷的实验方法具有重要的科学价值和应用前景。
在进行这方面的研究时,需要注意一些实验方法和操作事项。
本文将介绍研究晶体缺陷的实验方法以及注意事项。
一、传统实验方法1. 光学显微镜光学显微镜是研究晶体缺陷最常用的实验工具之一。
通过显微镜的放大功能,可以观察到晶体表面和断口的缺陷结构,如位错、孪晶和晶界。
通过对晶体缺陷结构的观察和分析,可以了解晶体缺陷形成的机理和影响因素。
2. 透射电子显微镜(TEM)透射电子显微镜是一种高分辨率的显微镜技术,可以用于观察晶体内部的缺陷。
通过透射电子显微镜的高分辨率图像,可以观察到晶体内部的原子排列,进而分析晶体的缺陷类型和密度。
3. X射线衍射(XRD)X射线衍射是一种常用的实验方法,可以通过对X射线的散射模式来确定晶体的结构和晶格缺陷。
通过分析衍射图谱,可以得到晶体的晶格参数、晶体质量和晶体缺陷的分布情况。
二、先进实验方法1. 扫描探针显微镜(SPM)扫描探针显微镜是近年来发展起来的一种表面形貌和物性研究的重要工具。
通过扫描探针显微镜,可以在原子尺度上观察到晶体表面的缺陷结构和缺陷密度,如单个位错和点缺陷。
此外,扫描探针显微镜还可以进行缺陷的操作和操控,有助于研究晶体缺陷的纳米尺度特性。
2. 电子自旋共振(ESR)电子自旋共振是一种研究晶体缺陷的电子磁共振技术。
通过对晶体中未成对电子的激发和自旋翻转行为进行研究,可以分析晶体缺陷的类型和数量。
电子自旋共振技术对于研究晶体中的缺陷态、离子掺杂和辐射损伤等方面具有重要意义。
三、实验操作注意事项1. 实验环境控制在进行晶体缺陷研究实验时,需要严格控制实验环境。
温度、湿度和气氛对晶体缺陷的形成和演化有着重要影响。
确保实验环境的稳定和一致性,有助于获得可重复且可靠的实验结果。
材料科学中的晶体缺陷与分析方法晶体缺陷是指晶体内部的结构畸变和非理想排布,这些缺陷对晶体的热力学、物理、化学等性质有着重要的影响。
因此,研究晶体缺陷以及如何对其进行分析方法的研究具有重要的应用价值。
材料科学中,晶体缺陷对于制备高性能材料、电子器件、生物医学材料等都有着重要的影响。
本文将重点介绍晶体缺陷的种类、成因及分析方法。
一、晶体缺陷的种类与成因晶体缺陷可以根据其空间尺度分为点缺陷、线缺陷和面缺陷。
其中,点缺陷包括离子替位、点缺陷、夹杂物等;线缺陷包括螺型位错、堆积型位错等;面缺陷包括晶界、孪晶、双晶等。
晶体缺陷是由于材料制备、加工、热处理、高能粒子注入等过程中所造成的。
其中,离子替位是指在晶体内部的原子位置上,离子取代了原来的离子,从而引起了缺陷。
跟离子替位相似的表示新结晶相的出现。
夹杂物是指某类元素或化合物在形成晶体时未完全排除,由于尺寸或成分的差异而形成的缺陷;点缺陷是指材料晶体中原子位置的改变,包括插入、空位和离子替代三种形式。
螺型位错是指材料中的某个晶面沿螺旋线移动,造成一个部分薄膜在晶体内部存在与晶体前后存在错位。
堆积型位错是指某个晶面堆积在了它本身的上面,形成了一种新的晶面。
晶界是指两个不同晶粒之间或是一块单晶体内部的不同方向晶面之间的交界面。
晶界是晶体中一种重要的缺陷类型,可以影响晶体的强度、塑性、导电性等性质。
二、晶体缺陷的分析方法晶体缺陷对于材料性能的影响十分显著,因此对晶体缺陷的分析和研究是当今材料科学的重要课题。
目前,人们主要使用多种表征工具来探索晶体缺陷的性质和机制。
1. 透射电镜技术透射电镜技术是分析晶体缺陷的一个重要手段。
透射电镜通过高能电子穿透样品并在对侧形成图像,可探测材料中的晶体缺陷。
透射电镜可以检测出位错、夹杂物、穿过晶粒的线缺陷以及晶界等结构的缺陷。
2. X射线衍射技术晶体缺陷可以在X射线衍射图案中产生明显的影响。
通过观察X射线衍射图案,可以确定晶体中的缺陷、晶面旋转角度、晶体结晶方向等参数。
化学腐蚀是将抛光好的样品磨光面在化学腐蚀剂中腐蚀一定时间,从而显示出其试样的组织形貌。
纯金属及单相合金的腐蚀是一个化学溶解的过程。
由于晶界上原子排列不规则,具有较高自由能,所以晶界易受腐蚀而呈凹沟,使组织显示出来,在显微镜下可以看到多边形的晶粒。
若腐蚀较深,则由于各晶粒位向不同,不同的晶面溶解速率不同,腐蚀后的显微平面与原磨面的角度不同,在垂直光线照射下,反射进入物镜的光线不同,可看到明暗不同的晶粒。
两相合金的腐蚀主要是一个电化学腐蚀过程。
两个组成相具有不同的电极电位,在腐蚀剂中,形成极多微小的局部电池。
具有较高负电位的一相成为阳极,被溶入电解液中而逐渐凹下去;具有较高正电位的另一相为阴极,保持原来的平面高度。
因而在显微镜下可清楚地显示出合金的两相。
图为镁-锌合金与珠光体组织两相腐蚀后的情况。
多相合金的腐蚀,主要也是一个电化学的溶解过程。
在腐蚀过程中腐蚀剂对各个相有不同程度的溶解。
必须适用合适的腐蚀剂,如果一种腐蚀剂不能将全部组织显示出来,就应采取两种或更多的腐蚀剂依次腐蚀,使之逐渐显示出各相组织,这种方法也叫选择腐蚀法。
另一种方法是薄膜染色法。
此法是利用腐蚀剂与磨面上各相发生化学反应,形成一层厚薄不均的膜(或反应沉淀物),在白光的照射下,由于光的干涉使各相呈现不同的色彩,从而达到辨认各相的目的。
化学腐蚀的方法是显示金相组织最常用的方法。
其操作方法是:将已抛光好的试样用水冲洗干净或用酒精擦掉表面残留的脏物,然后将试样磨面浸入腐蚀剂中或用竹夹子或木夹夹住棉花球沾取腐蚀剂在试样磨面上擦拭,抛光的磨面即逐渐失去光泽;待试样腐蚀合适后马上用水冲洗干净,用滤纸吸干或用吹风机吹干试样磨面,即可放在显微镜下观察。
试样腐蚀的深浅程度要根据试样的材料,组织和显微分析的目的来确定,同时还应与观察者所需电解腐蚀所用的设备与电解抛光相同,只是工作电压和工作电流比电解抛光时小。
这时在试样磨面上一般不形成一层薄膜,由于各相之间和晶粒与晶界之间电位不同,在微弱电流的作用下各相腐蚀程度不同,因而显示出组织。
硅单晶中晶体缺陷的腐蚀显示实验安排:4人/组时间:两小时地点:北方工业大学第三教学楼2403房间实验所用主要设备:金相显微镜一、实验目的硅单晶中的各种缺陷对器件的性能有很大的影响,它会造成扩散结面不平整,使晶体管中出现管道,引起p-n 结的反向漏电增大等。
各种缺陷的产生和数量的多少与晶体制备工艺和器件工艺有关。
晶体缺陷的实验观察方法有许多种,如透射电子显微镜、X光貌相技术、红外显微镜及金相腐蚀显示等方法。
对表面缺陷也可以用扫描电子显微镜来观察。
由于金相腐蚀显示技术设备简单,操作易掌握,又较直观,是观察研究晶体缺陷的最常用的方法之一。
金相腐蚀显示可以揭示缺陷的数量和分布情况,找出缺陷形成、增殖和晶体制备工艺及器件工艺的关系,为改进工艺,减少缺陷、提高器件合格率和改善器件性能提供线索。
二、原理硅单晶属金刚石结构,在实际的硅单晶中不可能整块晶体中原子完全按金刚石结构整齐排列,总又某些局部区域点阵排列的规律性被破坏,则该区域就称为晶体缺陷。
硅单晶中的缺陷主要有点缺陷、线缺陷和面缺陷等三类。
晶体缺陷可以在晶体生长过程中产生,也可以在热处理、晶体加工和受放射性辐射时产生。
在硅单晶中缺陷区不仅是高应力区,而且极易富集一些杂质,这样缺陷区就比晶格完整区化学活拨性强,对化学腐蚀剂的作用灵敏,因此容易被腐蚀而形成蚀坑,在有高度对称性的低指数面上蚀坑形状通常呈现相应的对称性,如位错在(111)、(100)、(110)面上分别呈三角形、方形和菱形蚀坑。
用作腐蚀显示的腐蚀剂按不同作用大体可分为两类,一类蚀非择优腐蚀剂,它主要用于晶体表面的化学抛光,目的在于达到清洁处理,去除机械损伤层和获得一个光亮的表面;另一类是择优腐蚀剂,用来揭示缺陷。
一般腐蚀速度越快择择优性越差,而对择优腐蚀剂则要求缺陷蚀坑的出现率高、特征性强、再现性好和腐蚀时间短。
通常用的非择优腐蚀剂的配方为:HF(40-42%):HNO3(65%)=1:2.5它们的化学反应过程为:Si+4HNO3+6HF=H2SiF6+4NO2+4H2O通常用的择优腐蚀剂主要有以下二种:(1)希尔腐蚀液(铬酸腐蚀液)先用CrO3与去离子水配成标准液:标准液=50g CrO3+100g H2O然后配成下列几种腐蚀液:A. 标准液:HF(40-42%)=2:1(慢速液)B. 标准液:HF(40-42%)=3:2(中速液)C. 标准液:HF(40-42%)=1:1(快速液)D. 标准液:HF(40-42%)=1:2(快速液)一般常用的为配方C液,它们的化学反应过程为:Si+CrO3+8HF=H2SiF6+CrF2+3H2O(2)达希腐蚀液达希(Dash)腐蚀液的配方为:HF(40-42%):HNO3(65%):CH3COOH(99%以上)=1:2.5:10硅单晶中不同种类的缺陷需选用上述不同的配方,采用不同的腐蚀工艺。