电化学工作站四探针电阻率测试的方法

100MΩ

1Ω图

1mΩ图

0.1mΩ图

参数及技术指标：

1. 电阻形态：分立电阻、线状电阻、面状电阻、块状电阻、直流器件内阻。

2. 电阻范围：0.1mΩ～1GΩ

3. 电阻率范围：10-6～106Ωcm

4. 激励电流范围：10nA、100nA、1μA，10μA，100µA，

1mA，10mA，100 mA、200 mA、500 mA

5. 电流精度：±0.1%量程

6. 电阻精度：≤0.3%量程

7. 显示数据：电阻、电阻率、电导率、电流、电压、探针形状、探针间距、材料尺寸。

8. 测试方式：恒电流多脉冲电阻时间曲线

9. 被测器件电动势：无源或者E＜5mV，E＜1.5V，E＜4.5V，E＜9.5V。

10. 工作电源：AC 220V±10% ，50Hz，功耗<50W。

11. 整机不确定性误差：≤4%（标准样片结果）

12. 选购：（a）方形探头；（b）直线形探头；（c）测试平台。

13. 探针材质选购：（a）碳化钨针；（b）白钢针；（c）镀金磷铜半球形针。