纳米膜的制备方法PPT演示文稿

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• 真空蒸发沉积的过程：
• 1. 蒸发源物质由凝聚相转变为气相； • 2.在蒸发源与基片之间蒸发粒子的输
运；
• 3. 蒸发粒子到到基片后凝结、成核、
长大、成膜
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• 采用真空沉积镀膜技术，在玻璃
表面形成纳米级微孔结构的二氧化钛 光催化薄膜，在阳光的作用下，产生 电子空穴对，以其特有的强氧化能力， 将玻璃表面的几乎所有的有机物完全 氧化并降解为相应的无害无机物，在 雨水冲刷下便可自洁，从而对环境不 会产生二次污染，同时使玻璃表面具 有超亲水性，从而使玻璃表面具有自 洁、防雾和不易被再被污染的功能。
纳米薄膜材料的制备
• 1.模板法 • 2.分子束外延法 • 3.真空蒸发法 • 4.化学气相沉积法 • 5.其他方法
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1.模板法合成纳米薄膜 • 纳米颗粒的形成一般可分为两个阶
段：
• 第一是晶核的生成。 • 第二是晶核的长大。
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• 要制备粒径均匀，结构相同的
纳米颗粒，相当于让烧杯中天文数 字的原子同时形成大小一样的晶核， 并且同时长大到相同的尺寸。因此 为了得到尺寸可控，无团聚的纳米 颗粒，必须找到有效的“窍门”， 来干预化学反应的过程。
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2.分子束外延法
• 分子束外延（MBE）技术主要是一种
可以在原子尺度上精确控制外延厚度、 掺杂和界面平整度的超薄层薄膜制备 技术。
• 所谓“外延”就是在一定的单晶体材
料衬底上，沿着衬底的某个指数晶面 向外延伸生长一层单晶薄膜。
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• 分子束外延是在超高真空条件下，
精确控制原材料的分子束强度，把 分子束射入被加热的底片上而进行 外延生长的。由于其蒸发源、监控 系统和分析系统的高性能和真空环 境的改善，能够得到极高质量的薄 膜单晶体。
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• 由PaulaHammond教
授负责的美国工程师 学会称他们已经通过 一种新的燃料电池薄 膜把燃料电池的功率 提高了50%之多。
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4.化学气相沉积法
• 化学气相沉积（CVD，chemical
vapor deposition）是利用气态的先 驱反应物，通过原子、分子间发生热 分解、还原或其他化学反应的途径生 成固态薄膜的技术。
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• 化学气相沉积法按照激发源的不同
又可分为高温气相裂解法、激光辅 助化学气相沉积法、等离子体辅助 化学气相沉积法等。萦 绕着神秘气 息的连绵雪 山。
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• 硅柱与硅线
结合，宛如
石林，突兀
参差，千姿
百态。
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3.真空蒸发法
真空蒸发法沉积纳米薄膜的原理：
• 在真空环境下，给待蒸发物提供足
够的热量以获得蒸发所必需的蒸气 压，在适当的温度下，蒸发粒子在 基片上凝结，实现真空蒸发薄膜沉 积。