微变形反射镜技术应用及发展
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一、实验目的1. 理解全息干涉技术的原理和基本操作流程。
2. 掌握二次曝光全息干涉法的操作步骤。
3. 通过实验,观察并分析全息干涉条纹的形成和变化。
4. 学习全息干涉技术在微小形变测量中的应用。
二、实验原理全息干涉技术是一种利用光的干涉原理记录和再现物体光波波前信息的照相技术。
它能够记录物体光波的振幅和相位信息,从而实现物体的三维再现。
二次曝光全息干涉法是一种常用的全息干涉技术,通过在同一片感光板上分别记录同一物体变形前后的两张全息照片,来观察物体表面的微小形变。
三、实验仪器与材料1. 全息实验台2. 氦氖激光器3. 分束器4. 反射镜5. 扩束镜6. 载物台7. 全息干板8. 显影液和定影液9. 暗房设备10. 悬臂梁四、实验步骤1. 实验准备:将全息实验台、激光器、分束器、反射镜、扩束镜、载物台、全息干板等仪器设备安装调试好。
2. 激光束调整:调整激光器,使激光束通过分束器后分成两束,一束作为参考光束,另一束作为物光束。
3. 第一次曝光:将待测悬臂梁放置在载物台上,调整悬臂梁的位置,使其位于激光束的物光路径上。
打开激光器,对悬臂梁进行第一次曝光,记录下悬臂梁的初始状态。
4. 变形处理:在第一次曝光后,对悬臂梁施加一定的力,使其发生微小形变。
5. 第二次曝光:关闭激光器,将悬臂梁恢复到初始状态,再次打开激光器,对悬臂梁进行第二次曝光,记录下悬臂梁的变形状态。
6. 显影和定影:将全息干板放入显影液和定影液中,进行显影和定影处理。
7. 观察与分析:用激光照射全息干板,观察干涉条纹的形成和变化,分析物体表面的微小形变。
五、实验结果与分析1. 通过实验观察,可以看到全息干涉条纹的形成和变化。
当悬臂梁发生微小形变时,干涉条纹会发生相应的变化,从而反映了物体表面的形变情况。
2. 通过分析干涉条纹的疏密分布,可以计算出物体表面各点位移的大小,从而实现微小形变的测量。
3. 实验结果表明,全息干涉技术在微小形变测量中具有高精度、高分辨率的特点,是一种很有应用前景的测量技术。
mems结构光原理小伙伴们!今天咱们来唠唠一个超酷的东西——MEMS结构光原理。
你知道吗?MEMS这个词看起来有点神秘,其实它就是微机电系统(Micro - Electro - Mechanical Systems)的缩写啦。
这就像是一个小小的微观世界里的机械和电子的大集合。
那结构光呢?想象一下,光不再是那种单纯的、散散的光线,而是像被精心编排过的舞蹈演员一样,有着特定的结构和模式。
MEMS结构光的产生呀,就像是一场微观世界里的魔法秀。
在这个微观的MEMS设备里,有一些超级小的机械结构,小到你得用显微镜才能看清楚它们的模样呢。
这些小结构就像是一个个小小的指挥官,它们可以对光进行操控。
比如说,有一些微小的反射镜或者衍射元件。
当光照射到这些小结构上的时候,就像光宝宝遇到了自己的小向导。
就拿那个小小的反射镜来说吧。
这个反射镜可不是普通的镜子哦。
它可以根据我们想要的结构光模式,快速地改变自己的角度。
就好像这个小镜子在说:“光光,你得按照我指的方向走,这样我们就能变出超酷的结构光啦。
”光呢,就乖乖地按照反射镜指的路走。
如果反射镜把光反射到不同的方向,而且是按照一定的规律来反射的话,那出来的光就不再是那种杂乱无章的样子了。
它就会形成特定的图案,这就是结构光啦。
那这些结构光有啥用呢?用处可大了去了。
比如说在3D成像方面。
你看现在那些超酷的3D扫描或者3D人脸识别技术。
MEMS结构光就像是一个超级助手。
它发射出的结构光照射到物体上,因为物体表面是有高低起伏的嘛,所以这个结构光打在上面就会产生变形。
就像你把一个精心编织好的图案毯子盖在一个形状奇怪的石头上,毯子就会跟着石头的形状变样。
然后呢,有专门的传感器来接收这个变形后的结构光信号。
通过对这些变形信号的分析,就能知道物体表面的形状啦,这样就可以构建出物体的3D模型。
这是不是超级神奇呀?再说说在一些精密测量领域的应用吧。
MEMS结构光就像是一把超级精确的小尺子。
它可以测量非常小的距离或者微小的物体形状变化。
万花筒应用的原理什么是万花筒应用万花筒应用是一种通过光学原理和机械结构实现的视觉艺术装置。
它通过特殊的设计和构造,能够产生出独特的图形和图案,给观看者带来视觉上的享受和变化。
万花筒应用的工作原理万花筒应用的运作原理可以分为光学原理和机械结构两个方面。
光学原理万花筒应用利用光源的投射和反射原理来产生视觉效果。
首先,准备一个光源,可以是自然光、白光或者彩色光源。
然后,通过一个镜筒和镜片的组合使光线经过反复折射和反射,最终形成各种形状的图案和图像。
在万花筒中,一般会使用三面镜或多面镜的结构。
这些镜面的角度和位置安排得非常精确,通过反射和折射光线,不断地改变光的路径,使得观看者可以看到迷人的图案和色彩。
机械结构万花筒应用的机械结构起到了支撑和转动的作用。
通常,万花筒由一个中心轴线和多个部件组成,包括镜筒、转轮、反射镜等。
镜筒是万花筒应用的主体部分,可以是一根空心的金属或者塑料管,内部装有反射镜和透明材料。
转轮是镜筒的一部分,通过手动或者电动方式旋转,使得镜片和反射镜能够改变相对位置,产生更多的视觉效果。
万花筒应用的效果和分类万花筒应用通过光学原理和机械结构的协作,可以产生出各种各样的图案和视觉效果,包括但不限于下面几种:•同心圆或螺旋形图案:利用镜面的形状和角度,不断反射和折射光线,形成同心圆的效果或者类似螺旋形的图案。
•拱形或分形图案:通过合适的反射和折射,产生出拱形或不规则的分形图案。
•虹彩色光效果:通过反射、折射和颜色滤光片的组合,产生出丰富多彩的虹彩色光效果。
•变形扭曲效果:通过镜片和反射镜的特殊设计,使得图案和图像发生扭曲和变形,产生出独特的效果。
万花筒应用根据设计和效果的不同,可以分为传统款、现代款和艺术款等多个分类。
传统款的万花筒通常采用经典的设计和结构,产生出简单而美丽的图案。
现代款的万花筒则更注重创新和科技,使用各种高级材料和光学技术,产生出更多样化的效果。
艺术款的万花筒则更强调艺术性和独特性,通过设计师的创意来展现不同的视觉艺术。
实验技术中的激光干涉技术的原理与实现激光干涉技术是一种基于光的干涉现象的测量方法,广泛应用于实验技术中。
它利用激光的特点,在光的干涉区域产生明暗相间的干涉条纹,通过分析和处理这些条纹,可以获取被测量物体的形态、位移、厚度等信息。
本文将介绍激光干涉技术的原理与实现。
激光干涉技术的原理基于光的干涉现象,即两束光相遇叠加时,互相干涉形成干涉条纹。
而激光由于具有相干光源的特点,可以产生高质量的干涉条纹。
激光干涉技术主要分为两类:自由空间干涉和光纤干涉。
自由空间干涉是指利用激光经过光学元件,如分束器、反射镜等,形成干涉条纹。
其中最常见的实验技术是大气相干仪。
大气相干仪是一种可以测量大气中的湍流结构的仪器,通过测量光的相位差来反映湍流的程度。
它利用激光通过大气中的物理参数发生变化时,光的波前将会发生相位延迟,从而形成明暗相间的干涉条纹。
通过分析这些干涉条纹的强度和形态变化,可以了解大气湍流的情况。
大气相干仪广泛应用于气象研究、天体光学以及激光通信等领域。
另一类是光纤干涉技术,它利用光在光纤中传播时的干涉现象进行测量。
光纤干涉技术可以分为两种类型:多模干涉与单模干涉。
多模干涉是指激光在光纤中传输时,由于不同模场的干涉造成的干涉条纹。
这种技术可以用于测量光纤中的形变、温度等物理量。
而单模干涉是指由于光纤中的微小扰动引起的相位变化所产生的干涉。
这种技术可以用于测量微小位移、细胞生物力学以及微纳尺度物体的变形等。
在实现激光干涉技术时,需要注意的是光路的稳定性和准直性。
光路的稳定性是指光经过光学元件传递时,要保证光的相对相位不受外界干扰的影响,从而保证干涉条纹的稳定性。
准直性则是指激光传输过程中光的方向要准确,以保证干涉效果的准确性。
除此之外,还需要使用适当的光学器件,如分束器、反射镜、透镜等,来控制光线的传输和干涉。
激光干涉技术具有高精度、高灵敏度、非接触性等特点,被广泛应用于科学研究和工程领域。
在材料科学中,可以用于测量材料的应力分布、膨胀系数等物理性质。
第1篇一、实验目的1. 理解全息干涉测量原理,掌握其基本操作步骤。
2. 学习使用全息干涉测量技术进行物体形变和位移的测量。
3. 分析实验数据,验证全息干涉测量技术的准确性和可靠性。
二、实验原理全息干涉测量技术是一种利用干涉和衍射原理记录并再现物体光波波前的一种技术。
其基本原理是利用参考光束和物光束的干涉,将物体的光波信息记录在全息干板上,通过再现光束照射全息干板,可以得到物体的三维图像。
实验中,我们使用二次曝光法进行全息干涉测量。
具体步骤如下:1. 将物体放置在载物台上,调整激光器和分束镜,使激光束分为两束:参考光束和物光束。
2. 首先记录物体的初始状态,即物体未发生形变时的全息图像。
3. 对物体施加外力,使其发生形变,再次记录物体的全息图像。
4. 通过再现光束照射全息干板,观察再现的干涉条纹,分析物体形变情况。
三、实验仪器1. 全息实验台2. 激光器3. 分束镜4. 反射镜5. 扩束镜6. 载物台7. 全息干板8. 显影及定影器材9. 凸透镜全息照相四、实验步骤1. 将全息干板放置在载物台上,调整激光器和分束镜,使激光束分为两束:参考光束和物光束。
2. 调整扩束镜,使激光束在载物台上形成圆形光斑。
3. 调整反射镜,使参考光束照射到全息干板上。
4. 将物体放置在载物台上,调整物体位置,使物光束与参考光束发生干涉。
5. 使用相机拍摄干涉条纹,记录物体的初始状态。
6. 对物体施加外力,使其发生形变。
7. 再次调整物光束,使参考光束和物光束发生干涉。
8. 使用相机拍摄干涉条纹,记录物体形变后的状态。
9. 通过再现光束照射全息干板,观察再现的干涉条纹,分析物体形变情况。
五、实验结果与分析实验中,我们选择了不同形状和尺寸的物体进行全息干涉测量,得到了一系列干涉条纹。
通过对干涉条纹的分析,我们可以得到物体形变和位移的信息。
1. 干涉条纹的间距反映了物体形变的大小。
当物体形变较大时,干涉条纹间距较大;当物体形变较小时,干涉条纹间距较小。
自适应光学技术姜文汉中国工程院院士,中国科学院光电技术研究所,成都610209关键词 自适应光学 波前探测 波前控制 波前校正 高分辨力成像 激光核聚变 人眼视网膜 动态光学波前误差是困扰光学界几百年的老问题,自适应光学技术提供了解决这一难题的途径。
自适应光学通过对动态波前误差的实时探测—控制—校正,使光学系统能够自动克服外界扰动,保持系统良好性能。
本文在说明自适应光学技术的基本原理后,介绍由中国科学院光电技术研究所研制的三套自适应光学系统及其使用结果:1.2m 望远镜天体目标自适应光学系统,“神光I”激光核聚变波前校正系统和人眼视网膜高分辨力成像系统。
1自适应光学———自动校正光学波前误差的技术 从1608年利普赛(L ippershey)发明光学望远镜, 1609年伽里略(G alileo)第一次用望远镜观察天体以来已经过去了近400年了,望远镜大大提高了人类观察遥远目标的能力,但是望远镜发明后不久,人们就发现大气湍流的动态干扰对光学观测有影响。
大气湍流的动态扰动会使大口径望远镜所观测到的星像不断抖动而且不断改变成像光斑的形状。
1704年牛顿(I.N ew ton)在他写的《光学》[1]一书中,就已经描述了大气湍流使像斑模糊和抖动的现象,他认为没有什么办法来克服这一现象,他说:“唯一的良方是寻找宁静的大气,云层之上的高山之巅也许能找到这样的大气”。
天文学家们以极大的努力寻找大气特别宁静的观测站址。
但即使在地球上最好的观测站,大气湍流仍然是一个制约观测分辨率的重要因素。
无论多大口径的光学望远镜通过大气进行观察时,因受限于大气湍流,其分辨力并不比0.1~0.2m的望远镜高。
从望远镜发明到20世纪50年代的350来年中,天文学家和光学家像谈论天气一样谈论大气湍流,而且还创造了Seeing这个名词来描述大气湍流造成星像模糊和抖动的现象,但是对Seeing的影响还是无能为力。
图1是有无波前误差时点光源成像光斑的比较。
47, 022201 (2010) ©2010 中国激光杂志社doi: 10.3788/lop47.022201微变形反射镜技术应用及发展陈力子关小伟张政(63655部队,新疆乌鲁木齐 841700)摘要变形反射镜是用于自适应光学中波前校正的重要元件,它能产生可控的波面校正量对波面相位加以校正。
但随着自适应光学技术的发展,传统变形反射镜已不能满足微型化、集成化的发展需求,而基于微机电加工技术的新型变形反射镜的出现解决了传统变形反射镜存在的问题。
介绍了微变形反射镜的工作原理,国内外微变形反射镜技术的发展情况及其在自适应光学中的应用,并对分立式与连续表面微变形反射镜的校正能力进行了比较分析,最后阐述了微变形反射镜器件技术展望。
关键词自适应光学;微变形反射镜;波前校正;校正能力中图分类号 TN256 OCIS 220.4000 230.4685 文献标识码 ADevelopment and Application of MEMS Deformable MirrorChen Lizi Guan Xiaowei Zhang Zheng(Army No.63655, Urumchi, Xinjiang 841700, China)Abstract Deformable mirror (DM) is a very important element in adaptive optical system, and it can perform dynamic phase modulation and endow optical system the ability to decrease the influence of dynamic wavefront errors. Deformable mirror of conventional adaptive optics can not satisfy the need of miniaturization and integration, but the deformable micro-mirror based on microelectro-mechanical systems (MEMS) can solve these problems. The theory and development of MEMS-DM and its application in adaptive optics are summarized, the fitting capability of MEMS-DM are discussed. At last, a prospect of MEMS-DM is given.Key words adaptive optics; MEMS deformable mirror; wavefront correction; correction capability1 引言自适应光学的概念最初是由美国天文学家Babcock于1953年提出的,此后随着大型激光工程及光学系统的发展,以及相关支撑技术的日益成熟,20世纪70年代首次实现工程应用,之后迅速在军事、天文、激光、眼科医学等领域得到广泛的应用[1,2]。
传统自适应光学系统通常是由探测器、控制器和校正器三部分构成。
变形反射镜作为自适应光学系统重要的波前校正元件,能在外部控制下实现高速、高精度的光学镜面面形变化、平移或转角,从而产生可控的波面校正量对波面相位加以校正。
然而传统变形反射镜由于体积大,控制复杂,已不能满足自适应光学系统向微型化、集成化的发展需求。
随着微机电系统(MEMS)的发展,20世纪90年代实现微变形反射镜的研制,这种器件的单元尺寸达到微米级,可以与光波波长相比拟,便于仪器小型化,可以用集成电路的平面工艺制作,易于批量生产,价格便宜,容易制成多阵列元件,产品性能重复性好,成品率高,便于光机电集成,具有低惯性,即使在高频工作状态下,也可以通过较小的力进行精确定位,此外还具有宽带宽的优点。
收稿日期:2009-04-17; 收到修改稿日期:2009-07-03作者简介:陈力子(1981—),男,工程师,主要从事自适应光学技术方面的研究。
E-mail: lzchen1234@2 微变形反射镜工作原理与发展概况MEMS 是20世纪80年代迅速发展起来的一门综合性新兴学科。
MEMS 包括微能源、微驱动器、微传感器、微控制器和微操作器等,这类系统通常集成于一个微小的空间,实现一种或多种设定的功能。
而微变形反射镜(MEMS-DM)正是微机电技术上与自适应光学的完美结合。
微变形反射镜就其驱动方式可分为压电驱动式、电磁驱动式、静电驱动式和热驱动式等[3],其中静电驱动式微变形反射镜虽然存在着变形量小的弱点,但却以其易于集成、响应速度快、加工难度低等优点成为微变形反射镜发展的主流。
静电驱动式微变形反射镜单元一般由多晶硅基底、弹性支撑、多晶硅平板及覆盖在多晶硅平板上的金属平板层构成,如图1所示。
图1 微变形反射镜结构示意图Fig.1 General MEMS-DM physical model对于静电驱动式变形反射镜,静电驱动器的本质就是一种电容结构,它是利用电极板上产生的异种电荷之间的吸引作用来实现静电力。
多晶硅平板可视为上电极,多晶硅基底可视为下电极,其共同构成平板式电容器。
当下电极施加驱动电压时,引起上电极发生形变,并带动微变形反射镜镜面垂直方向运动,从而实现相位调制。
微变形反射镜单元的控制模型如图2所示,其中M Total 是微变形反射镜一个子单元的总质量,B air 是微变形反射镜中空气阻尼函数,K Total 是总的弹性常数,包括多晶硅平板的弹性常数K S 及镜面薄膜的弹性常数K M ,f e 是静电力,则传递函数 [4]2E Total air Total()1()()==++X s G s F s M s B s K , (1) 在引入谐振频率n ω和阻尼比ξ后 2n 22n n()2ωξωω=++C G s s s . (2) 式中X (s )与F E (s )分别为位移和静电力的拉氏变换式,C 为控制常数。
图2 微变形反射镜控制模型Fig.2 MEMS-DM controls model20世纪90年代,许多国家开始对微变形反射镜的技术进行研究,其中,美国在微变形反射镜的研究与制造能力方面处于世界领先水平。
国外主要研究单位有美国波士顿大学(Boston Uni.)、波士顿微机械公司(Boston Micromachines Corporation)、美国空军研究实验室(Air Force Researoh Laboratory)、艾斯自适应光学公司(Iris AO, Inc.)、德州仪器(Texas Instrument, Inc.)、加州大学伯克利分校(UC Berkeley)、贝克自适应光学(Baker AO, Inc.)公司,以及荷兰的OKO公司(OKO Technologies, Netherlands)等[1,3,5]。
表1为国外生产的几种主要微变形镜的性能参数。
表1 几种主要微变形反射镜的性能参数Table 1 Characteristics of MEMS-DMsActuatorsDiameter /mm stroke /µm Mirrors Technology144 4.4×4.4 1.5 BMC140 Electrostatic1024 10.9×10.9 1.5 BMC1024 Electrostatic35 10.2 3,7AOptix35 BimorphMIRAO52 Magnetic 52 15 10~15Iris AO 37 Electrostatic 3.5 37 5 国内微变形反射镜研究起步较晚,主要的研究单位有中国科学院光电技术研究所、华中科技大学、西北工业大学、北京理工大学、浙江大学、南京航空航天大学、中国科技大学等。
3 微变形反射镜的加工技术根据硅微加工方法,微变形反射镜加工技术可分为体硅微机械加工技术和表面硅微机械加工技术。
其中体硅微机械加工技术较早在工程中得到应用,它主要以硅衬底自身充当结构材料,通过选择性地去除硅衬底来完成对体硅的三维加工,从而形成微机械元器件的工艺,此技术中最关键的步骤是如何去除硅材料的工艺,通常情况下根据腐蚀原料组成形式的不同可以分为湿法腐蚀(液态)和干法腐蚀(气态),同时根据腐蚀气液对单晶硅各晶面腐蚀速率的不同还可分为各向同性腐蚀和各向异性腐蚀。
表面硅微机械加工技术是另外—种重要的微机械加工技术,它是由硅平面工艺发展而来的,以美国波士顿大学研制的329单元分立式微变形反射镜为例[6],如图3所示,其加工过程为:首先在衬底上沉积多晶硅驱动电极,第二步在电极上沉积氧化牺牲层,并利用光刻技术刻蚀形成一定的图形以确定驱动单元的位置,接着在牺牲层上沉积第二层多晶硅材料,在此基础上再沉积第二层牺牲层,并确定驱动器的位置,之后沉积第三层多晶硅材料,最后再将支撑结构层的牺牲层材料用氟化氢溶液腐蚀掉,并在镜面上完成镀膜工艺,这样就形成了悬浮可动的微变形反射镜元件。
图3 微变形反射镜加工流程Fig.3 Micromachining processes for the fabrication of MEMS-DM在这项技术中最关键的步骤就是牺牲层材料和结构材料的淀积工艺以及牺牲层材料的腐蚀工艺,除此之外选用合适的牺牲层材料及腐蚀液也是至关重要的,其选择原则是选用的腐蚀液能快速地腐蚀牺牲层而同时对上、下方结构层材料的腐蚀则很慢,此两者的腐蚀速率之比越大,结构层受到的影响就越小,从而得到的结构就越精确。
4 微变形反射镜校正能力分析自适应光学系统是利用变形反射镜拟合误差波前的共轭相位,以补偿误差波前,达到波前误差的校正作用。
因此,通常自适应光学系统只对光场复振幅中的相位进行校正,而不能对振幅校正,对系统的校正能力通常是评价系统对波像差相位的校正能力,可以由模式校正残差比σk 来表示[7]。
设误差波面为某一阶泽尼克系数k ,波前相位的均方根(RMS)值为σe k ,变形镜校正后的残差波面均方根值为σr k ,则模式校正残差比为r e σσσ=k k k. (3) (3)式中σk 表征了自适应光学系统对波像差校正后的残余误差的比重,σk <l 表示系统对第k 阶模式有校正效果,σk =1表示系统对第k 阶模式不起作用,σk >1表示系统对第k 阶模式进行校正时反而会更坏。
我们分别对子孔径呈矩形和六边形分布的微变形反射镜校正能力进行计算,计算结果如图4所示。