先进封装Fanout工艺流程-大连佳峰

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荷重 UPH
D*** 8800 FC
E*** 2100FC
A** 8312FC
JAF-D700FC
<±10um @3σ
<12um @3σ
<±15um @3σ
<±10 @3σ
<±0.15º @3σ
<±0.15º @3σ
<±0.3º @3σ
<±0.05º @3σ
0.5 — 30 mm 0.5×0.5-25×25mm 0.5×0.5-10×10mm 0.5 — 30 mm

司的设备在国内半导体
后道设备的行业中处于
领军地位。
先进封装装片机设备 Die Bonder used in Advanced Packaging
Fanout 装片机 JAF-900WL
Fanout 装片机是我公司专为Fanout 工艺研发的封装设备,可实现用于 Fanout大型基板(350*350mm)封装 的工艺。
3
Fanout技术特点及优势 Fanout Packaging Principles and Advantages
4
Fanout应用 Fanout Packaging Applications
5
Fanout瓶颈 Challenges for Fanout Packaging
6
我们的设备 Our Equipment
芯片放置过程中 的不精确定位将 导致Lithography 和对准步骤有困

Fanout 封装过程中虽面临一些技术瓶颈,但已基本被各生产厂家用不同方法解决了。
Fanout封装的瓶颈与解决专利(以卷曲和芯片移动为例)
Thanks to KnowMade
目录
1
先进封装形式 Advanced Packaging Platforms
8",12"
6",8",12"
12"(选配6",8")
8",12"
50.8 — 330.2 mm
90-300mm
12"(304.8mm) 50.8 — 330.2 mm
25 — 203.2 mm 0.5 — 10 mm
200-2500g
20-125mm 0.1-2.5mm 20g-5000g
15-100mm
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Fanout瓶颈 Challenges for Fanout Packaging
6
我们的设备 Our Equipment
Fanout封装市场趋势 Fanout Packaging Market Forcast
“核心”Fanout 苹果留下的“High density”Fanout封装
苹果拉动的“High density”Fanout封装
绿色:可能在未来的器件中应用的 FOWLP封装
灰色:可能会保留WLCSP或倒 装封装形式的器件,或向3DIC或 Embedded Die发展的封装
Thanks to Yole Development
目录
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先进封装形式 Advanced Packaging Platforms
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Fanout封装市场趋势 Fanout Packaging Market Forcast
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Fanout技术特点及优势 Fanout Packaging Principles and Advantages
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Fanout应用 Fanout Packaging Applications
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Fanout瓶颈 Challenges for Fanout Packaging
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我们的设备 Our Equipment
比倒装FC BGA更小 比倒装FC 简化的供
的封装尺寸和更 BGA更少的 应链与生 不要求有
薄的封装大小
热阻
产设施 层压基板
Bump Pitch 的 间距无限制
更短的互联 Interconnection
Fanout packaging
Fanout的面积由客 户需求所决定
其他优势包括: ➢ 更好的板级可靠性 ➢ 更好的电性能 ➢ 更灵活的封装设计
目录
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先进封装形式 Advanced Packaging Platforms
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Fanout封装市场趋势 Fanout Packaging Market Forcast
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Fanout技术特点及优势 Fanout Packaging Principles and Advantages
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Fanout应用 Fanout Packaging Applications
4
Fanout应用 Fanout Packaging Applications
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Fanout瓶颈 Challenges for Fanout Packaging
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我们的设备 Our Equipment
目录
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先进封装形式 Advanced Packaging Platforms
2
Fanout封装市场趋势 Fanout Packaging Market Forcast
自由度 ➢ 可靠小型高性能的
封装表现
目录
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先进封装形式 Advanced Packaging Platforms
2
Fanout封装市场趋势 Fanout Packaging Market Forcast
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Fanout技术特点及优势 Fanout Packaging Principles and Advantages
一般Fanout Chip Last packaging
RDL
载板Substrate
De-Bonding
Die Bond 装片
Molding 压模
载板Substrate
Molding
载板Substrate
Dicing 切割
载板Substrate
Fanout封装的几点优势 Advantages of Fanout Packaging
先进封装探索 – Fanout封装工艺与设备
大连佳峰自动化股份有限公司 王云峰
START
目录
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先进封装形式 Advanced Packaging Platforms
2
Fanout封装市场趋势 Fanout Packaging Market Forcast
3
Fanout技术特点及优势 Fanout Packaging Principles and Advantages
4
Fanout应用 Fanout Packaging Applications
5
Fanout瓶颈 Challenges for Fanout Packaging
6
我们的设备 Our Equipment
一般Fanout Chip First packaging
Face Down

载板Substrate
“High density”Fanout封装无数其他应用
Thanks to Yole Development
目录
1
先进封装形式 Advanced Packaging Platforms
2
Fanout封装市场趋势 Fanout Packaging Market Forcast
3
Fanout技术特点及优势 Fanout Packaging Principles and Advantages
先进封装形式 Advanced Packaging Platforms
Thanks to Yole Development
Fanout 封装的几种形式 Different types of Fanout packaging
Chip First
Face up
Face down RDL
Chip Last
高精度倒装机 JAF-D700FC
佳峰高精度倒装机JAF-D700FC是高精度可满足 Flip-Chip倒装需求的新款装片机,其各项性能 指标均与国际同类产品比肩,且性价比较高, 可极大降低倒装封装的生产成本。
JAF-D700FC与其他主流倒装设备性能指标一览
X/Y贴装精度 θ旋转精度
芯片尺寸 晶圆尺寸 引线框架长度 引线框架宽度 引线框架厚度
Die Bond 装片
Chip
Chip
Chip
Molding
Chip
Chip Mold Chip
压模
De-bonding
标准WLB流程
(Passivation, Patterning, RDL, Bonding)
Chip
Dicing
切割
Chip
Chip Mold Chip
Face Up 载板Substrate Chip
JAF-900WL各项性能指标
Specifications
UPH 精度 Accuracy 芯片尺寸 Die size 基板尺寸 Substrate size 晶圆尺寸 Wafer size 设备尺寸 Equipment size 工作电压 Voltage 工作气压 相机系统
JAF-900WL
20000 ±25μm 0.2mm*0.2mm~10mm*10mm ≦350mm*350mm 6”, 8”, 12” L 1.58m,W 1.57m,H 1.88m(含报警灯) 220V,50Hz 0.4~0.5Mpa 200W像素相机
Fanout封装的瓶颈与挑战 Challenges in Fanout Packaging
01
Reliability 可靠性
02
Warpage 卷曲
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04