高功率微波与等离子体相互作用理论和数值研究
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高功率微波窗口击穿及馈源技术高功率微波窗口击穿及馈源技术一、引言近年来,随着无线通信和雷达技术的迅猛发展,高功率微波(High Power Microwave,简称HPM)技术越来越受到人们的关注。
HPM技术具有覆盖范围大、穿透力强、打击效果明显等特点,在军事和民用领域都有广泛应用。
然而,在实际使用中,高功率微波所面临的窗口击穿问题成为制约其应用的一个重要因素。
因此,研究高功率微波窗口击穿的机理以及相关的馈源技术对于提高其稳定性和可靠性具有重要意义。
二、高功率微波窗口击穿机理1. 电子碰撞击穿当高功率微波射入窗口材料时,微波与窗口内的气体分子发生碰撞,产生电子。
这些电子会与窗口材料相互作用,使得窗口材料内的电场分布产生变化,最终导致窗口击穿。
2. 电介质击穿当高功率微波射入窗口材料时,由于强电场的作用,窗口材料中的电荷会重新分布,导致局部电场增强。
当局部电场超过窗口材料的击穿强度时,窗口发生击穿。
3. 电弧击穿当高功率微波射入窗口材料时,窗口表面的气体被电离形成等离子体,并且产生电子和正离子。
当等离子体电流密度过高时,导致局部温度升高,从而形成电弧,导致窗口发生击穿。
三、高功率微波窗口击穿的影响因素1. 窗口材料的特性窗口材料的特性包括介电常数、损耗因子、震荡频率等。
这些特性直接影响了窗口材料的耐电压和耐电流能力,从而影响了窗口的耐压能力。
2. 窗口结构的设计窗口的结构设计包括形状、大小、厚度等。
不同的设计参数会对窗口的脆性、热阻、耐热能力等产生影响,进而影响窗口的耐压能力。
3. 窗口周围环境条件窗口周围环境条件包括气体的种类、压力、温度等。
这些条件会直接影响窗口的电离和电子撞击等现象的发生概率,进而影响窗口的耐压能力。
四、高功率微波窗口击穿控制技术1. 窗口材料的优化选择选择合适的窗口材料对于提高微波窗口的耐压能力至关重要。
合适的窗口材料需要具有高耐压强度、低损耗、低电离特性等特点。
2. 窗口结构的优化设计通过优化窗口的形状、大小、厚度等设计参数,可以改善窗口的脆性、热阻、耐热能力等特性,进而提高窗口的耐压能力。
等离子体综述摘要对等离子体、平均自由程、德拜长度等一些概念做了详细述说。
主要是分析了各种郎缪尔探针的优劣,及评价探针结构优劣的理论依据,最终得到最优化探针结构。
一、引言1.等离子体“等离子体”其本意是电离状态气体正负电荷大体相等,整体上处于电中性。
是气态下继续加热得到的一个状态。
我们知道,物质的温度实际上是用来描述其内部粒子运动的剧烈程度的,当气体温度很高时,气体的物质分子热运动加剧,相互间的碰撞就会使气体分子产生电离,这样,物质就变成由相互作用并自由运动的电子和正离子组成的混合物。
物质的这种存在状态被称为物质的第四态,即等离子体态。
等离子体中并不是所有的原子都会被离子化:工艺过程中用到的冷等离子体仅仅有1-10%被离子化,余下的气体仍然保持为中性原子或分子。
在更高的温度,例如热核研究,等离子体完全离化。
通常来说,粒子流是处于热平衡的,意味着原子或分子具有麦克斯韦速率分布f(v)=Ae−(12⁄mv2KT⁄)(1)A是标准因子,K是玻尔兹曼常数。
T是温度,它决定了分布宽度。
在等离子体中,离子、电子和中性粒子具有自己的温度:T i,T e,T n。
三种粒子能互相渗透,但不能充分地碰撞从而使三种粒子等温。
这是由于相对于大气压下的气体,等离子体密度非常低。
但是每种粒子能和自己充分碰撞从而获得麦氏分布。
非常热的等离子体可能不是麦氏分布了,这个时候需要“能动理论”解释。
为了方便,表示温度一般用电子电压(eV)。
典型低温等离子体电子温度是1~10eV,1eV=11,600K。
等离子体被普遍认为非常难理解,相对于流体动力学或电磁学来说确实是这样。
等离子体作为带电粒子流,既有粒子间的相互碰撞又会受到电场或磁场的长程力影响。
还有一个原因是,大部分的等离子体相当稀薄和热以至于不能视为连续的流体。
典型低温等离子体密度值是108-1012cm-3。
2.德拜长度和鞘层等离子体是带电粒子流,它以一种复杂的方式满足麦克斯韦方程组。
微波等离子体●微波等离子体反应器特点:微波:为交流能量(信号),通过波导传输,每一种波导具有一定的特征阻抗(射频传输线理论)等离子体的反应器:本质上是具有一定阻抗的负载。
微波等离子体工作要求:波导特征阻抗=等离子体负载阻抗。
微波反射波能量将至最低。
●微波等离子体反应器发展:小尺寸共振腔---->表面波长细等离子体--->大面积(体积)表面波等离子体。
●微波等离子体反应器结构:⊙单模谐振腔谐振腔尺寸: λλ=R,(谐振条件)=d阻抗匹配: 好,可以不设置附加匹配。
激励电场单模(单一本征模)方向:图中电场沿轴向。
状态:驻波缺点:体积小(?)电场不均匀-----〉等离子体空间均匀性差。
应用:放电灯,光谱分析。
⊙多模腔谐振腔尺寸: λλ>>R;(非谐振)>>d阻抗匹配: 差,需要附加匹配。
优点:电场较均匀-----〉等离子体空间均匀性好。
⊙表面波等离子体(surface microwave plasma,SWP)源尺寸: λ=R(谐振条件),轴向尺寸没有限制阻抗匹配: 需要设置附加匹配。
激励电场单模或多模(单一本征模)状态:行波优点:大体积,细长缺点:面积小应用:气体反应(甲烷--->乙炔),有害气体处理侧视图多管SWP 源大面积/体积SWP源两种方式:(a)顶面馈入;(b)侧面馈入三种典型装置:(a)日本平面狭缝(顶面)耦合;(b) 德国环状狭缝(侧面)耦合;(c)法国改进型表面波导(侧面)耦合美国:中国(中国科大、合肥等离子体物理所----> 德国版) 日本顶面狭缝(重点)(1)两种加热模式bulk heating: 整体加热 surface heating:表面加热 分界点:电子等离子体波f f =截止n n =○不同加热模式下等离子体参数轴向分布不同加热模式的电子加热机理截止密度点(共振点)处的特性及验证预测:实验验证:装置ICP 等离子体密度轴向分布不同功率下的微波轴向分布共振点附近的等离子体密度和电子温度(2)不同的微波模式 无限大平面波2/1ε=n1122<-=ωωεppd p εε<等离子体相对于石英而言为光疏媒质,微波由石英窗口向等离子体传播时: (i )反射+折射(ii) 全反射---> 实际情况:微波在光疏媒质中指数衰减。
气体放电等离子体及应用的研究进展石峰;王昊【摘要】由于气体放电在材料处理、热核聚变、环境净化以及等离子体推力器等各个前沿科学领域中具有广泛的应用.为了推动气体放电及等离子体理论与应用技术的研究和发展,综述了近年来各种典型气体放电机理的发展.分析了直流辉光放电、介质阻挡放电、大气压辉光放电、电子回旋共振放电、容性耦合射频放电的国内外研究现状,最后介绍了气体放电等离子体的应用领域.%Gas discharge is the main way to produce low temperature plasma,and exists widely in people's daily life. Its development has a great impact on the development of high-tech economy and the transformation of traditional indus-tries.In this paper,the classification and principle of gas discharge,the conditions of dischargeand Characteristics of gas discharge plasma are described.Finally,the application fields of gas discharge plasma are introduced.【期刊名称】《真空与低温》【年(卷),期】2018(024)002【总页数】6页(P80-85)【关键词】气体放电;直流放电;射频放电;介质阻挡放电;容性耦合射频放电;等离子体应用【作者】石峰;王昊【作者单位】河南理工大学物理与电子信息学院,河南焦作454000;河南理工大学物理与电子信息学院,河南焦作454000【正文语种】中文【中图分类】O530 引言在自然状态下,气体通常处于绝缘状态,但是在外加电场时,气体分子就被电离成电子和离子,因此,气体放电是产生低温等离子体的主要方式[1]。
等离子体物理学的基本原理与应用等离子体是一种被高温或强电场激发后,电子与原子、分子相分离并自由运动的状态。
等离子体物理学研究了等离子体的基本特性、行为和应用。
本文将介绍等离子体物理学的基本原理以及它在不同领域的应用。
一、等离子体的基本原理等离子体由正、负电荷的电子和离化的原子、分子组成。
当物质被加热至足够高温或通过强电场作用下,原子、分子中的电子会被激发,脱离束缚成为自由电子。
这些自由电子与带正电的离子共同组成了等离子体。
等离子体的性质与固体、液体和气体有很大不同。
它能够传播电磁波、产生磁场,具有高度的电导率和热传导率。
等离子体还具有强烈的相互作用,相空间将不再具有区分原子与分子的性质。
二、等离子体物理学的研究范畴1. 等离子体的动力学和热力学性质研究:研究等离子体的流体性质、粘滞性、扩散和输运性质等,以及等离子体中的波和不稳定性。
2. 等离子体诊断技术:研究如何通过测量等离子体的辐射、电子密度和温度以及磁场等参数来了解等离子体的特性。
3. 等离子体数值模拟:通过计算机模拟等离子体的行为和性质,进一步理解和预测等离子体的物理过程。
4. 等离子体与表面相互作用:研究等离子体在与表面相互作用的过程中,产生的等离子体束对表面的效应,探索等离子体在材料加工和表面改性中的应用。
三、等离子体物理学的应用1. 等离子体在核聚变中的应用:等离子体物理学是核聚变研究的基础。
等离子体束的控制和稳定是实现核聚变反应的关键,研究等离子体物理学有助于解决核融合技术中的一系列问题。
2. 等离子体在激光聚变中的应用:激光聚变是一种利用高功率激光束对等离子体进行加热和压缩,从而产生高能量输出的技术。
等离子体物理学为激光聚变提供了理论基础。
3. 等离子体在光电子学中的应用:等离子体可以作为粒子加速器、热核反应堆和高功率激光器的媒介。
它在光电子学领域中有多种应用,如等离子体放电管、等离子体显示器等。
4. 等离子体在材料科学中的应用:等离子体束加工、等离子体刻蚀和等离子体沉积等技术在材料科学中有广泛的应用,可用于改变材料表面的物理、化学和光学性质。