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Daihen晶圆搬运机器人操作手册
Daihen晶圆搬运机器人操作手册机器人是一种能够代替人类在恶劣环境中工作的机器。
它不需要人的眼睛，只需要通过一个简单的机械臂即可完成操作。
这使得机器人能够在恶劣环境中工作，并且能够与人紧密合作，对工作场所进行优化，并实现无人驾驶车辆。
晶圆搬运机器人通过使用专用机械臂或机械手进行各种不同的精确定位和动作过程，并且可以在空间狭窄、设备较重以及有危险的场合进行灵活移动（例如搬运/移动/焊接等）。
通过将Daihen的专利技术结合至I」使用Daihen的解决方案中，可以提供自动化和柔性生产系统。
Daihen的产品是为客户提供灵活高效、高精度和安全可靠的自动化晶圆搬运系统。
1.通过机器人臂执行任务，可实现精确定位和高精度操作，同时可提高晶圆传输效率。
2. Daihen具有高度可扩展性、灵。
简单介绍一下半导体工厂AMHS系统的搬运机器人写得不好，请大家多多指教。
OHS（OverHeadShuttle）可以在安装在天井下轨道上高速移动的自动搬运装置。
一般是用于成膜、洗浄等各个保管设备间FOUP搬运OHT（OverheadHoitTranfer）是安装在天井下轨道下高速移动的自动搬运小车。
由升降装置马达驱动BELT，使GRIPPER自动抓取设置在port的foup。
这是300mm晶圆厂运用最广防的搬运工具。
GRIPPER有不同的类型可以搬运不同类型的foup。
从第一代10几年前只能低速走行单线轨道，移载设置于其正下方port的foup，到第二代可以高速走行在分歧轨道，第三代不仅可以走行在分歧轨道，还可以左右移载设置在STS，UTS上的FOUP再到第四代450mm搬运小车，更新速度可谓非常之快。
中国国内半导体厂商使用第一代，第二代自动搬运小车，目前国内还没有使用第三代自动搬运小车的客户。
AGV（AutomatedGuidedVehicle）车上安装了多关节手臂机器人，用于搬运保管设备和制造设备之间的foup。
本搬运小车由于安装了大容量的电池，可以自动走行在工厂的地板上，并按照程序设置，可以走行比较复杂的路径。
台湾，韩国有半导体厂商很多使用这种小车的案例。
RGV（AutomatedGuidedVehicle）本小车走行在安装在地板上的轨道，可以高速搬运保管设备和制造设备之间的foup。
和AGV同样搭载了多关节手臂机器人，但是小车走行速度大大高于同类型的AGV。
韩国半导体厂商有使用这种小车的案例。
STOCKER是fab里面的一时自动保管仓库。
可以把半成品的硅片暂时存放于此。
有好几种类型。
其中一种塔形仓库可以实现foup楼层之间的搬运。
Reje project introduction 半导体晶圆搬运洁净机械手臂
锐洁项目介绍
目 录
02 03
项目概述商业模式
应用案例
04
01关于我们
市场前景05
关于我们
+
半导体高端制造行业
+
主营业务：半导体、LED 、液晶设备用洁净机械手臂，包括真空和大气机械手等，半导体集成设备包括EFEM 、Sorter 等
+经营理念：“真诚、协作、学习、创新” ，为客户及行业实现更高价值
+
时间：成立于2013年
地点：总部位于北京经济技术开发区，苏州设有华东办事处，预计2016年成立深圳华南办事处
生产基地
强调类型图表关于我们
+
优
秀留学创业团队
+行政总监：刘冬梅（英国留学经历）
1、国外专修国际贸易及经营管理
2、回国创办成立空气净化设备公司，拥有丰富实际经营管理经验
+
2014年董事长与诺贝尔物理学奖获得者中村修二博士合影
董事长：周卫国（日本留学经历）
1、半导体行业20年从业经验
2、作为第一发明人获得国内外13项 发明专利
3、国外研发的大型液晶面板搬运机械手臂获得成功
4、协助国内厂家完成中国第一台国产LED 刻蚀机的 研发和
市场化工作
强调类型图表关于我们
+自主知识产权
发明专利：（机械手臂相关专利）
公司拥有机械手臂核心技术，数十项发明专利，能够
自主研发生产半导体高端机械手及集成设备
专利名称专利号
真空装置P 2002-28469 A 一种基片处理系统及其机械手臂装置ZL 2009 1 0242381.3
一种基片处理系统及其机械手臂装置CN 102452559 A
传送装置及系统CN 102452559 A 基板传输机构和具有它的基板传输系统CN 103287847 A 一种触屏控制与驱动一体化的4轴步进电机闭环控制系统201510077771.5一种利用NFC技术于机械手臂实现通讯的方法201510054128.0 +
关于我们
发明专利：
一种利用NFC技术于机械手臂实现通讯的方法
通过这种技术可以帮助客户非常容易地实现现场机械
手臂状态的采集。
强调类型图表项目概述
Project introduction
机械手臂：旋转轴、升降轴、手臂伸缩轴
电机系统：步进电机闭环控制
采用钢带驱动和直线导轨配合的方式，提升手臂运动轨迹直线性精度，降低加工成本
采用先进步进电机，增加机械式绝对值编码器，实现电机闭环控制，解决丢步问题，提高响应性
整体构造
强调类型图表
项目概述
Project introduction
关键技术
机械绝对值编码器 闭环控制原理电机软件
驱动装置结构设计
钢带加工及厚度优化 部件材质优化与表面处理
本项目的洁净机械手臂关节部的驱动装置采用了钢带和摩擦轮组合方式并且在电机控制方面，为了实现步进电机的闭环控制，综合运用了以上关键技术解决了该问题。
强调类型图表项目概述
Project introduction
3、拥有洁净机械手臂市场的专业技术团队
公司核心技术人员在国内外半导体行业从业20多年，拥有丰富行业经验，技术团队拥有较强创新性，协作互补，综合实力强，能够研发设计出满足客户需求产品
竞争优势
1、拥有电机控制以及手臂结构的核心技术该项目电机的闭环控制技术和手臂结构技术均突破现有技术基础，并通过测试验证，在中国当前市场具有一定得唯一性和前瞻性
2、国内市场最高的性价比优势
使用全新结构手臂技术，降低了加工成本，具有绝对价格优势
4、最佳的市场进入时机
目前国内市场对洁净机械手臂需求量大，机器人产业也成为国家和市政府重点开发和支持领域，公司市场规模稳定增长，在未来10年内，中国半导体行业都将会保持良好的发展态势
强调类型图表项目概述
Project introduction
运用领域
1、可用于半导体PVD，CVD，刻蚀设备等工艺设备内部的晶圆传输，以及
半导体芯片生产线上的晶圆检测设备。
2、具体应用包括在大气环境下从晶圆盒中取出晶圆，并传输上述晶圆到半导体工艺设备的进料室内部，或者在不同的晶圆盒之间传输晶圆。
3、其中真空洁净机械手臂还可以在高真空环境下传输晶圆。
通过使用不同的末端执行器本项目产品还可以传输一些特殊的晶圆，比如温度超过600度
的高温晶圆，厚度减薄到100μm以下的减薄晶圆等。
其它产品
公司研发产品主要为大气洁净机械手臂、真空洁净机械手臂以及使用半导体晶圆搬运洁净机械手臂的半导体晶圆及晶圆容器的传输集成设备，具体包括：
1、LED蓝宝石晶圆Sorter(RS-1501）
这款设备于今年上半年研发成功，并已经出厂实现销售。
这种设备可以同时对应12个2寸蓝宝石晶圆片盒（每盒最大25片），设备传片效率极高，非常适合生产线上的产品检测等用途。
2、国产首台半导体减薄晶圆Sorter（ RS-1506）
这款设备为国内第一台同类型的国产设备，具有里程碑意义。
相对国外的同类型设备，性价比高，为客户节省了大量采购成本，打破了国外设备在中国市场形成的竞争垄断，填补了国内同
类型产品市场空白。
项目概述
Project introduction
商业模式
Marketing
整合优质资源打造出国内半导体行业芯片生产线上的高端装备。
利用海外留学，工作经验，以及在半导体行业20年间所积累的各种优质资源，快速研发针对中国市场的高科技产品，迅速占领市场。
当前我们已经和国际著名公司TDK 公司，JEL 公司，Hirata 公司建立了良好的合作伙伴关系。
全国覆盖式销售，建立销售服务区域化的盈利模式，率先成立苏州华东办事处，积极开拓东北、华北、华东市场，并将于明年在深圳设立华南办事处，同时着手建立线上与线下推广相结合的市场宣传模式
扩大生产规模该项目现已成功实施运用，后续公司也将不断加
强在洁净机械手臂及系统集成方面的国内领先优势。
适机开拓Scara 机械手臂及液晶面板机械手臂方面的国内市场，扩大生产规模，提高公司效益
华东办事处
锐洁国外合作伙伴
应用案例
Market Case
公司研发生产的半导体晶圆搬运洁净机械手臂已成功实施运用在国内知名半导体芯片厂商生产线上，性能稳定、兼容性强，得到了客户的肯定和认可。
倒片机系统锐洁设计，生产的倒片机系统和EFEM模块已经实现了批量销售，并获得了客户一致认可。
主要客户包括国内著名半导体芯片生产厂家，
以及半导体设备生产厂商。
洁净机械手臂EFEM模块
市场前景
Market Prospect
北京锐洁机器人参加2015世界机器人大会，并在大会上发布了公司最近产品
：200mm半导体减薄硅片Sorter System。
Sorter System 新品发布会
王安顺市长亲临锐洁展台
Market Prospect
市场前景
2013年创业以来，通过创业团队的不断努力，以及在国家对高科技产业的大力扶持的良好环境下，锐洁在2015年实现了井喷式发展，公司研发生产的各种洁净机械手臂及半导体集成设备已实施运用，得到了客户的认可与支持，进一步提高扩大了市场范围。
预计2017年的中国半导体洁净机械手臂及相关设
备的市场容量会超过600亿RMB。
作为朝阳行业的我国半导体产业，未来10年的发展前景非常乐观。
市场前景
Market Prospect
未来锐洁的产品研发方向:
•针对半导体、液晶、LED行业的洁净机械手臂，包括大气洁净机械手臂和真空洁净机械手臂。
•
半导体产线所需的各种自动化设备，包括Sorter System和EFEM模块等。
