金属化铝膜蒸镀原理及特性IC工艺技术
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数字电路蒸镀方法
数字电路蒸镀方法是指通过蒸镀技术将金属材料蒸发到半导体片上的方法,用于制作电子器件中的导线、电极等部分。
数字电路蒸镀方法的具体步骤如下:
1. 准备工作:清洁半导体片表面,以确保蒸镀层与半导体片的封装层之间有良好的附着力。
2. 蒸镀材料准备:将所需的金属材料加热至蒸发温度,使其变为气态。
常用的金属材料有铝、铜、银等。
3. 蒸镀过程:将半导体片放置于真空腔室中,使蒸发的金属材料沉积在半导体片表面。
蒸镀时间和温度需根据具体要求进行控制,以确保蒸镀层的均匀性和厚度。
4. 后处理:将蒸镀后的半导体片进行清洗和光刻等工艺步骤,以形成所需的电路结构。
总的来说,数字电路蒸镀方法是通过将金属材料从固态到气态再沉积到半导体表面的方式,实现在半导体器件中制作导线、电极等功能结构的过程。
铝蒸镀参数1. 简介铝蒸镀是一种常用的表面处理技术,用于给物体表面镀上一层铝膜,以提高其外观和性能。
铝蒸镀参数是指在铝蒸镀过程中需要控制和调节的一些关键参数,包括蒸镀温度、蒸镀压力、蒸镀速度等。
本文将详细介绍铝蒸镀参数的相关内容。
2. 蒸镀温度蒸镀温度是指在铝蒸镀过程中需要控制的温度参数。
蒸镀温度的选择对于获得良好的蒸镀效果至关重要。
通常情况下,铝蒸镀温度范围为500°C至600°C,具体的温度取决于被镀物体的材料和尺寸。
蒸镀温度的选择应考虑以下几个因素: - 铝的蒸发温度:铝的蒸发温度约为2467°C,因此蒸镀温度要高于铝的蒸发温度,以确保铝能够充分蒸发并沉积在被镀物体上。
- 被镀物体的材料和耐热性:不同材料的耐热性不同,蒸镀温度应根据被镀物体的材料来选择,以避免被镀物体因温度过高而变形或损坏。
- 蒸镀速度:蒸镀温度的选择还应考虑蒸镀速度,通常情况下,蒸镀温度越高,蒸镀速度越快。
3. 蒸镀压力蒸镀压力是指在铝蒸镀过程中需要控制的气体压力参数。
蒸镀压力的选择对于获得均匀的蒸镀效果非常重要。
通常情况下,蒸镀压力范围为10-4至10-6 Torr。
蒸镀压力的选择应考虑以下几个因素: - 蒸镀速度:蒸镀压力的选择应与蒸镀速度相匹配,以确保蒸镀过程稳定。
- 被镀物体的形状和尺寸:不同形状和尺寸的被镀物体对蒸镀压力的要求也不同,蒸镀压力应根据被镀物体的形状和尺寸来选择,以确保蒸镀效果均匀。
- 蒸镀物体的材料:不同材料对蒸镀压力的要求也不同,蒸镀压力应根据蒸镀物体的材料来选择,以确保蒸镀效果良好。
4. 蒸镀速度蒸镀速度是指在铝蒸镀过程中铝膜在被镀物体上的沉积速度。
蒸镀速度的选择对于获得所需的铝膜厚度非常重要。
通常情况下,蒸镀速度范围为10至100 Å/mi n。
蒸镀速度的选择应考虑以下几个因素: - 蒸镀温度和蒸镀压力:蒸镀速度与蒸镀温度和蒸镀压力密切相关,蒸镀温度和蒸镀压力的选择应与蒸镀速度相匹配,以确保蒸镀过程稳定。
真空蒸镀金属薄膜工艺一、概述真空蒸镀金属薄膜是在真空条件下,将金属蒸镀在薄膜基材的表面而形成复合薄膜的一种新工艺。
被镀金属材料可以是金、银、铜、锌、铬、铝等,其中用的最多的是铝。
在塑料薄膜或纸张表面(单面或双面)镀上一层极薄的金属铝即成为镀铝薄膜,它广泛地用来代替铝箔复合材料如铝箔/塑料、铝箔/纸等使用。
镀铝薄膜与铝箔复合材料相比具有以下特点:(1)大大减少了用铝量,节省了能源和材料,降低了成本,复合用铝箔厚度多为7~8pm,而镀铝薄膜的铝层厚度约为0.05nm左右,其耗铝量约为铝箔的1/140~1/180,且生产速度可高达450m/min。
(2)具有优良的耐折性和良好的韧性,很少出现针孔和裂口,无揉曲龟裂现象,因此对气体、水蒸汽、气味、光线等的阻隔性提高。
(3)具有极佳的金属光泽,光反射率可达97%;且可以通过涂料处理形成彩色膜,其装潢效果是铝箔所不及的。
(4)可采用屏蔽式进行部分镀铝,以获得任意图案或透明窗口,能看到内装物。
(5)镀铝层导电性能好,能消除静电效应;其封口性能好,尤其包装粉末状产品时,不会污染封口部分,保证了包装的密封性能。
(6)对印刷、复合等后加工具有良好的适应性。
由于以上特点,使镀铝薄膜成为一种性能优良、经济美观的新型复合薄膜,在许多方面已取代了铝箔复合材料。
主要用于风味食品、农产品的真空包装,以及药品、化妆品、香烟的包装。
另外,镀铝薄膜也大量用作印刷中的烫金材料和商标标签材料等。
二、镀膜基材镀铝薄膜的基材主要是塑料薄膜和纸张。
真空蒸镀工艺对被镀基材有以下几点要求:(1)耐热性好,基材必须能耐受蒸发源的辐射热和蒸发物的冷凝潜热。
(2)从薄膜基材上产生的挥发性物质要少;对吸湿性大的基材,在镀膜前理。
(3)基材应具有一定的强度和表面平滑度。
(4)对蒸镀层的粘接性良好;对于PP、PE等非极性材料,蒸镀前应进行表面处理、以提高与镀层的粘接性。
常用的薄膜基材有:BOPET、BONY、BOPP、PE、PVC等塑料薄膜和纸张类。
真空镀铝薄膜概述及工艺一、概述真空蒸镀金属薄膜是在高真空(10-4mba以上)条件下,以电阻、高频或电子束加热使金属熔融气化,在薄膜基材的表面附着而形成复合薄膜的一种工艺。
被镀金属材料可以是金、银、铜、锌、铬、铝等,其中用的最多的是铝。
在塑料薄膜或纸张表面镀上一层极薄的金属铝即成为镀铝薄膜或镀铝纸。
用于包装上的真空镀铝薄膜具有以下特点:(1)和铝箔相比大大减少了铝的用量,节省了能源和材料,降低了成本。
复合用铝箔厚度多为7~9um,而镀铝薄膜的铝层厚度约为400Å(0.04um)左右,其耗铝量约为铝箔的1/200,且生产速度可高达700m/min。
(2)具有优良的耐折性和良好的韧性,很少出现针孔和裂口,无揉曲龟裂现象,对气体、水蒸汽、气味、光线等的阻隔性提高。
(3)具有极佳的金属光泽,光反射率可达97%;且可以通过涂料处理形成彩色膜,其装潢效果是铝箔所不及的。
(4)可采用屏蔽或洗脱进行部分镀铝,以获得任意图案或透明窗口,能看到包装的内容物。
(5)镀铝层导电性能好,能消除静电效应,尤其包装粉末状产品时,不会污染封口部分,保证了包装的密封性能。
(6)对印刷、复合等后加工具有良好的适应性。
由于以上特点,使镀铝薄膜成为一种性能优良、经济美观的新型复合薄膜,在许多方面已取代了铝箔复合材料。
主要用于风味食品、日用品、农产品、药品、化妆品以及香烟的包装。
黄山永新股份有限公司生产真空镀铝薄膜已有10多年的历史,主要产品有VMPET、VMCPP、VMBOPP、VMBOPA、VMPE、VMPVC以及彩虹膜、激光防伪膜、网布等。
2002年公司与英国REXAM公司进行技术合作,将其CAMPLUS技术运用在镀铝工艺中,大幅度提高了真空镀铝薄膜的铝层牢度、阻隔性能,现已大量替代铝箔应用在奶粉、药品等包装领域。
二、真空蒸镀原理将卷筒状的待镀薄膜基材装在真空蒸镀机的放卷站上,将薄膜穿过冷却辊(蒸镀辊)卷绕在收卷站上,用真空泵抽真空,使蒸镀室中的真空度达到4×10-4mba以上,加热蒸发舟使高纯度的铝丝在1300℃~1400℃的温度下融化并蒸发成气态铝。
溅射和蒸镀
溅射和蒸镀是两种常见的金属薄膜制备方法,它们在技术原理、应用范围和薄膜性能上存在一些差异。
技术原理:溅射是一种物理气相沉积(PVD)技术,通过将金属靶材置于离子气体中,施加高电压使离子气体轰击靶材表面,使其释放出金属离子并沉积在基材表面形成薄膜。
而蒸镀是一种热蒸发技术,通过加热金属原料,使其在真空环境中蒸发并沉积在基材表面形成薄膜。
应用范围:溅射可以用于制备很多金属材料的薄膜,并且可以精确控制膜层厚度和成分,因此被广泛应用于工业生产中。
而蒸镀则更适用于制备较轻的金属材料薄膜,如铝、镁等,但在制备较重金属材料时可能会受到限制。
薄膜性能:溅射制备的薄膜具有较高的致密度和附着性,同时其表面粗糙度也较低。
而蒸镀制备的薄膜则具有较低的表面粗糙度,但附着性和致密度相对较差。
总的来说,溅射和蒸镀都是制备金属薄膜的有效方法,但它们的技术原理、应用范围和薄膜性能存在差异。
选择哪种方法取决于具体的应用需求和实验条件。
蒸镀机原理和基本工作流程
蒸镀机是一种常用于表面处理的设备,其原理主要是利用高温蒸汽将金属或其他物质蒸发成气体,然后沉积在待处理物体表面,形成一层均匀的薄膜。
蒸镀机在电子、光学、玻璃等工业领域有着广泛的应用。
蒸镀机的基本工作流程可以分为以下几个步骤:真空抽气、加热蒸发、沉积镀膜、冷却凝固和排气释放。
首先是真空抽气阶段,蒸镀机在工作前需要将工作室内部抽成真空状态,以确保蒸发材料能够自由蒸发并沉积在待处理物体表面。
然后是加热蒸发阶段,将蒸发源加热至一定温度,使其蒸发成蒸气。
蒸发源可以是金属块、合金丝等,根据需要选择不同的蒸发源材料。
接下来是沉积镀膜阶段,蒸发的金属蒸汽在真空室内沉积在待处理物体表面,形成一层均匀的薄膜。
冷却凝固阶段是为了使沉积在表面的薄膜迅速冷却凝固,从而保证薄膜的质量和稳定性。
最后是排气释放阶段,将真空室内的残余气体排出,释放压力,完成整个蒸镀过程。
蒸镀机的原理是利用热蒸发的方法,在真空环境下将金属或其他物质蒸发成气体,然后沉积在待处理物体表面。
蒸镀技术可以实现金属镀膜、陶瓷镀膜、光学薄膜等多种功能性镀膜,提高材料的表面硬度、耐磨性、光学性能等。
蒸镀机的基本工作流程是依靠真空技术和热蒸发技术实现的,通过不断优化和改进设备结构和工艺参数,可以实现更高效、更稳定的蒸镀过程,满足不同行业的表面处理需求。
在未来,随着材料科学和工艺技术的不断发展,蒸镀技术将在更多领域展现出其独特的优势和应用前景。