双轴电子自准直仪

第37卷，增刊红外与激光工程2008年4月V ol.37SupplementInfrared and Laser EngineeringApr.2008收稿日期：2008-03-09作者简介：甘俊红（5），女，江西丰城人,高级工程师，主要从事精密测量技术方面的研究。

j @63面阵CCD 在双轴自准直仪中的应用甘俊红，邹九贵，季国定（中国船舶工业集团公司第6354研究所，江西九江332000）摘要：介绍了一种高精度双轴自准直仪，它采用面阵CCD 器件作为光电传感器，利用自准直原理实现二维角度的测量。

对图像处理系统进行了重点阐述，采用直线拟合求十字线交点的方法保证了测量精度。

关键词：自准直仪；CCD ；图像处理中图分类号：TH741.14文献标识码：A文章编号：1007-2276(2008)增(几何量)-0060-03Application of sur face array CCD in twoaxis autocollimatorGAN Jun-hong,ZOU Jiu-gui,JI Guo-ding(The 6354Ins t itute of CSSC,Jiujiang 332000,China)Abstr act:A high accuracy two_axis autocollimator is introduced in this paper,which uses the surface array CCD com ponents as photoelectricy sensor,and two-axis angle by the theory of autocollimate are measured.In this paper,the system of image processing is explained in detail,and the method of matching straight line to get the point of cross line prom ise m easure accuracy.Key wor ds:Autocollimator;CCD;Image processing0引言自准直仪(又称自准直测微平行光管)是应用自准直原理测量小角度的检测仪器。

Ｋｅ ｏ ｄ ：ｒｃ ｉｎｍ ｃｉｉ ； ｉｒ—ｎ ｌ ｍ ａｕｅ ｎ ； ｕ ｄａｔ ｈｔｄｏｅ Ｑ Ｄ） ｉｇ ・ ｎ ｙｗ ｒ ｓ ｐｅ ｉｏ ａｈｎｎ ｍ ｃｏａｇｅ ｅｓｒｍｅｔ ｑ ａ ｒ ｏ ｉ （ Ｐ ；ｓ ｌ ｌ ｓ ｓ ｇ ｎｐ ｏ ｄ ｎ ｅｅ
０ 引 言
Ａ ｓ ａｔＡ ｓ ｇｅｌ ｓｍ ｃ —ｎ ｌ ｍ ａｕｅ ｅ ｔ ｙｔ ｗ ｉ ｓｄ Ｑ Ｄ ａ ｏｉｏ — ｎｉ ｅｉ ｎ ｏ ｕｅ ｉ ｂ ｔ ｃ： ｉ ｌ ｅ ｉ ｏａ ｇｅ ｅｓｒｍ ｎ ｓ ｍ， ｈｃ ｕｅ Ｐ ｐｓ ｉ ｓ ｎ ｄｖ ｅｉ ｉｔ ｄ ｃｄ ｉ ｔｓ ｒ ｎ —ｎ ｒ ｓ ｅ ｈ ｓ ｔｎ ｅ ｇ ｓ ｃ ｓ ｒ ｎ ｈ ｐ ｐ ｒ ｎｔｅｒ ｅｒ ， ｏ ｔ ｋｙｔ ｈ ｏ ｇ ｓ ｂｕ ｅｓｓ ｍ ｈ ｖ ｅｎａ ａ ｚｄｓｃ ｓａ ｏｔ ｔ ａ ｐｉ ｉｌ， ａｅ ．Ｉ ｓａｃ ｌｔ ｏ ｓ ｅ ｃｎ ｌ ｉ ｏ ｔｈ ｔ ａｅｂｅ ｎ ｌ ｅ ｈａ ｄｐｅ ｏ ｉ ｌ ｒ ｃ ｅ ｈ ｅ ｈ ｓ ｆｉ ｅ ｏｅａ ｔ ｙｅ ｙ ｕ ｄ ｐｃ ｎ ｐ ｔ ｐｉｎａ ｄｄ ｏｕｓ ｇｓｔｎ ｔ ａ ｄｖ ｅ ｌ ｅ ｈｔｅ ｃ ｉ ｄｔ ｔ ｎ ａｃｌｔ ｎａ ｄａ ａ ｓ ｅ ｅｓ ｉｔ ｈ ｏｔ ｎ ｅ ｃｓ ｎ ｔ ｇｏ ｏ ｉ ｌ ｅｉ ｓ ｉ ｏ ｌ ｔｃ ｅ ｃ ｒ ｄｃｌ ａｉ ｎ ｎ ｌ ｉｏ ｔ ａｉ ｌｙ ｅ ｏ ｆ ｉ ｅ ｉ ｆ ｐ ｃ ｃ ｋ ｐ ｏ ｅ ｒ ｅ ｏ ａ ｕ ｏ ｙｓ ｆ ｈ ｆ ｂ ｉ
的选择和离焦设 置 ， 小尺寸 的可行性分析计算等 ， 最后得 出设计出一种结构紧凑 。 体积小 ， 携带方便 ， 灵敏度 高 ， 可测量 微
小角度的测量 系统 的可行 性。同时通过实验得 出测量 系统大致的测量范围和测量精度 。图 ９ １ 参 １

9.1 9.2 9.3 9.4 9.5 9.6 二维可调反光镜（MD100） .............................9-1 直角转向棱镜（MP50） ....................................9-2 高精度转台（PT130） .......................................9-3 高精度升降台（PL100） ...................................9-4 金属多面棱体（MMS24） ................................9-5 高精度稳定台（ST6030） .................................9-5 V
系统灵敏度调整................................................4-19 处理软件详述....................................................4-20
5
测量技巧 ............................................................... 5-1
4
操作指南 ............................................................... 4-1
4.1 4.1.1 4.1.2 4.1.3 测量准备..............................................................4-1 安放自准直仪 ..............................................4-1 连接电源及数据线缆 ..................................4-1 驱动安装......................................................4-1 III

研润企业MC030-1401 双向精密自准直仪使用说明书上海研润光机科技有限公司目录1．概述 (3)1．1仪器的用途1．2仪器特点1．3工作条件2．技术特性 (3)2．1技术规格2．1仪器组成3．工作原理与结构特征 (4)3．1仪器的工作原理3．2仪器的结构特征3．3附件的组成3．4个单元结构之间的机电联系3．5辅助装置的功能结构及其工作原理4．使用、操作 (13)4．1使用前的准备和检查4．2找像与读数4．3水平面的直线度测量4．4垂直于水平面的测面的直线度测量4．5垂直面的直线度和垂直度测量4．6直线移动导轨运动误差的测量4．7平面度的测量4．8圆分度误差的测量4．9小角度误差测量5．故障分析与排除 (27)5．1光学零件发霉5．2光学零件生雾5．3附着物5．4分划线刻线脱色6．保养、维护 (28)6．1日常维护、保养6．2运行时的维护、保养6．3正常检修周期7．开箱及检查 (29)7．1开箱注意事项7．2开箱检查内容8．运输、贮存 (29)8．1吊装运输注意事项8．2贮存条件，贮存期限及注意事项9．验收项目、方法及数据 (29)1．概述1．1仪器的用途双向自准直仪是利用自准直法，对小角度范围内的微小角度变化进行测量的精密仪器。

仪器主体和平面反射镜联合使用，可测量工件的直线度，平板的平面度；与光学直角器，带磁反射镜联合使用，可测量垂直导轨的平直度和垂直度；与多面体联合使用，可测量度盘的圆分度误差。

本仪器特别适合与生产现场。

1．2仪器特点双向自准直仪具有原理、结构简单，体积小，精度高，使用方便，配以一定的附件后，能扩大使用范围的特点。

1．3工作条件工作室应保持清洁，无尘，无振动，电源为220V 50Hz交流电，室温20°±3℃，其温度变化每小时不超过1℃。

2．技术特性2．1技术规格工作距离----------------------------------------------------0-10米物镜焦距----------------------------------------------------400毫米物镜口径----------------------------------------------------42毫米目镜放大倍率------------------------------------------------17.5倍测微鼓轮分度值（每格相当于）线度值-----------------------------------------------L/200微米角度值--------------------------------------------1.03秒≈1秒此处L为反射镜基座有效长度（毫米）目镜分划板分度值（每格相当于）线度值----------------------------------------------100×L/200微米角度值----------------------------------------------100×1.03秒示值范围----------------------------------------------------1600格示值精度当测微鼓轮不超一圈时±（0.5+0.01n）格当测微鼓轮超过一圈时±（15+0.0015n）格n 为测微鼓轮的测量格数。

5 结束语
对 力标准机进行控制, 往往要对多达 30 路以上的 开关量信息进行监测, 并对 10 个以上的执行机构进行 开关控制。采用ST D 工业总线结构, 使得该静重式测力
( 上接第 20 页) 表 1 与穆勒 ELCOM AT 3000 比较结果 ( ″)
ELCO M A T 3000 显 示 本样机显示
( 6354 Inst it ut e of CS SC, Jiuj iang 332000, China)
Abstract: A hig h accur acy t wo -ax is aut ocollimat or is int roduced in this paper , w hich uses t he surf ace array CCD co mpo nents as phot oelect ricy sensor , and t w o-ax is angle by t he t heory of aut ocollimat e are m easur ed. T he measuring scope is ±300″, and the accuracy is ±0. 2″.
1 自准直原理
自准直仪是基于自准直原理, 通过光电瞄准对被 测件的角位移进行精密测量的仪器, 其测量原理如图 1 所示。
图 1 自准直测量原理图
当光源 4 发出的光线照明物镜 2 焦平面上分划板 3 的目标 O 时, 如果 O 点在物镜 2 光轴上, 那么由它发出 的光线通过物镜后, 成一束与光轴平行的平行光束射 向反射镜 1。当反射镜面垂直于光轴时, 光线仍按原路 返回, 经物镜后仍成像在分划板上O 处, 与原目标重合。 如果反射镜与光轴不垂直, 而是偏过一个小角度 , 当

中文操作手册MELOS 530订货号： 235 601关于我们北京宝御德科技有限公司在中国大陆地区独家代理并技术支持：德国Moller-Wedel Optical GmbH自准直仪、激光干涉仪、球径仪、测角仪、焦距/曲率半径/角度组合测量仪、相机镜头测试仪德国OEG GmbHMTF测试仪、手机镜头测试仪、FLATSCAN平面度扫描仪、表面张力仪激光干涉条纹分析软件、显微镜分析软件德国Mikroskop Technik Rathenow工业显微镜详细资料请访问中文网站，或直接垂询：北京宝御德科技有限公司地址：北京海淀区增光路27号增光佳苑2号楼1座2105室邮编：100037电话：***********/36传真：***********网站：Email:*********************目录1. 保证及有限责任________________________________________________________41.1 维护_____________________________________________________________________41.2 功能及损害的责任_________________________________________________________42. 介绍__________________________________________________________________53. 测量原理介绍__________________________________________________________63.1 一般说明_________________________________________________________________63.2 测量有效焦距_____________________________________________________________73.3 测量后焦距_______________________________________________________________83.4 测量曲率半径_____________________________________________________________93.5 平面角度的公差测量________________________________________________________ 94. 主要部件介绍_________________________________________________________11垂直支架、焦点模块及X－Y平台____________________________________124.1.1 4.14.1.2 42 智能控制器_______________________________________________________145. 组装_________________________________________________________________165.1 仪器的开箱及检验________________________________________________________165.2 仪器的组装______________________________________________________________166. 操作_________________________________________________________________176.1 菜单指引的控制器________________________________________________________176.1.1 模式_________________________________________________________________186.1.2 单位_________________________________________________________________196.1.3 公差_________________________________________________________________196.1.4 声音_________________________________________________________________206.1.5 语言_________________________________________________________________206.1.6 系统参数_____________________________________________________________206.2 测量模式的功能__________________________________________________________216.2.1 焦点测量模式的功能___________________________________________________216.2.2 后焦距测量模式的功能_________________________________________________226.2.3 曲率半径测量模式的功能_______________________________________________226.2.4 表格模式的功能_______________________________________________________236.3 RS-232 读数_____________________________________________________________236.3.1 协议的结构___________________________________________________________24针定义________________________________________________________276.3.2 RS-2327. 如何进行实际测量_____________________________________________________287.1 有效焦距的测量步骤______________________________________________________287.1.1 正有效焦距测量_______________________________________________________297.1.2 负有效焦距测量_______________________________________________________307.2 后焦距的测量步骤________________________________________________________307.2.1 正透镜的后焦距测量___________________________________________________307.2.2 负透镜的后焦距测量___________________________________________________317.3 曲率半径的测量步骤___________________________________________________317.4 测量平面角度_________________________________________________________337.4.1 测量平行平板_________________________________________________________ 34 7.4.2 测量90°棱镜的角度____________________________________________________ 357.4.3 借助棱镜系统测量光束的位移___________________________________________ 398. 技术数据_____________________________________________________________408.1 带测量准直仪的支架______________________________________________________408.2 焦点模块________________________________________________________________408.3 角度模块1（仅适用于组合4、5）__________________________________________408.4角度模块2（仅适用于组合4、5）___________________________________________418.5智能控制器（MELOS 530控制器）__________________________________________428.6电源插头_________________________________________________________________ 429. 维护和小心___________________________________________________________4310. 保证_________________________________________________________________43 附件一、重启控制器1. 保证及有限责任维护更改或维修必须仅可由MÖLLER-WEDEL OPTICAL GmbH明确授权的人员进行。

收 稿 日期 ：０ １— ４—１ 收修 改 稿 日期 ：０ １— ９— ５ ２１ ０ １ ２ １ ０ ０
第１ ２期
启动 自动测量程序
张 志利 等 ： 自动 自准 直经纬仪轴系精密伺服驱动 系统 全
１３ ０
Ｍ２、 Ｍ 然后经三极 管放 大 ， 生控制 Ｈ桥 的 ４个 信号 Ｍ３ 、 ４ ， 产
机。
【 Ｄ控制 ，ｅ ） ＞ｓ Ｐ Ｉ（ ｌ
主程 序 流程 图如 图 ５所示 。主要 完成 ｄＰＣ ０ ６ １Ａ 芯 ｓ Ｉ３ Ｆ ０ ２ 片的端 口配置 、 初始化控制 寄存器 、 配置 Ａ Ｄ转 换 和 Ｐ ／ ＷＭ波 、 初 始化 软件 中所 需控 制 变量 、 置 中断 服务优 先级 及 中断 源 设
后控制 电机转 动。位 置控制算法选用积分分 离式 Ｐ Ｉ Ｄ算法。 实验结果表 明： 加装 电机后 的电子 经纬仪在 实现 了轴 系 自 动
转动 的同时能保持 其原有测量精度 。
关 键 词 ： 置 伺 服 ；ｓＩ３ Ｆ ０ ２ 直 流 力 矩 电机 ； 子 经 纬 仪 位 ｄＰＣ ０ ６ １ Ａ； 电 中 图 分 类 号 ：Ｐ ６ Ｔ７１ 文 献 标 识 码 ： Ａ 文 章 编 号 ：０２—１４ （０ １ １ ００ ０ １０ ８ １ ２ １ ）２— １２— ３
ＭＩ Ｍ 、 ３ Ｍ 。其 电路 如图 ４所示 。其 中 是 经电荷泵 、２ Ｍ 、 ４
Ｉ
ｌ 一 一
控制计算 机采集 Ｉ
’
提 升 的 电压 ， 为 电机 电源 电压 。
图像预处理 Ｉ
图像分 割 ， 目标识别
ｌ经纬仪螺旋扫捂
Ｂ ＲＡＫ Ｅ
—垂碹 — — 、 — ／
０ 引 言

12
13 14 14 15 16 17 17 17 17 17 17 18 18 19 19 20 22 23 23
5、测量技巧
5.1、测量准备 5.1.1、通过激光快速找准附件或找像棱体找准自准直仪 5.1.2、测量步骤
24
24 24 25
6、技术数据
6.1、自准直测头 6.2、控制器 6.3、电源供应 6.4、红外遥控器 6.5、反射镜（需另外订购）
详细资料请访问： 光学检测中文网： 或直接垂询： 北京宝御德科技有限公司 地址：北京海淀区增光路 27 号增光佳苑 2 号楼 1 座 2105 室 邮编：100048 电话：010 68469835/36 传真：010 68467228 网站： Email: sales@
26
26 26 27 27 28 3
MÖLLER-WEDEL OPTICAL GmbH Rosengarten 10, D-22880 Wedel, Germany 6.6、选件 6.7、备件
中国独家代理及技术支持：北京宝御德科技有限公司 电话： 010 68469835/36 传真：68467228 sales@ 28 29
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MÖLLER-WEDEL OPTICAL Gmmany
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7、维护和小心 8、保修 9、自准直仪 PC 附件 10、备选附件（光学、机械）
10.1、自准直仪找像棱体（订货号：221 031） 10.2、激光快速找准附件（订货号：219 757） 10.3、双轴可调底座（订货号：223 056） 10.4、双轴可调底座（订货号：223 024） 10.5、反射镜 10.6、五面棱镜，带工装（订货号：221 015 及 221 018） 10.7、底座，用于带工装的五面棱镜（订货号：221 023） 10.8、底座，用于带工装的五面棱镜（订货号：221 024） 10.9、多面棱镜 附录 1、文本协议类型介绍 附录 2、角度测量符号约定 附录 3、重启控制器

图2-13为测量两端面A与B平行度的示意图。 两端面平行度的测量还可按图2-14所示。
2、两内表面平行度的测量 图2-15为测量两内表面的平行度示意图。
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图2-13 测量两端面平行度之一
1—平直度检查仪； 2—反射镜
两次读数之差，即为两端面的平行度误差。
32
图2-14 测量两端面平行度之二
1—平直度检查仪；2—反射镜
缺 点: 是结构比较复杂，亮度损失较大（介于前两者之 间）。
12
图2-5 双分划板型光学系统 1-物镜；2-指示分划板；3-立方直角棱镜；4-刻度分划板
若平面反射镜对光轴有偏转，将引起自准直像偏离十字 线，由测微机构测出其偏离量，即可得出反射镜对光轴的偏 转角。
13
第三节 HYQ—03型自准直仪
17
（二）测微原理
仪器的f物为400mm，测微螺杆12的螺距和固定分划 板9上刻线的分度间隔都是0.4mm，即测微螺杆每转一圈， 活动分划板10上的长刻线在固定分划板9的刻度上移动一 格，其对应的反射镜的倾角α为：
t

0.4

1
弧度
2f物 2400 2000
18
和测微螺杆12同轴相连的测微鼓轮13上有100格圆周 刻度，每格代表反射镜的倾角α为0.005/1000弧度。
图中1~4组成了测微目镜部件，测量前可松开定位螺钉 5，由于两锥孔在圆周上互成90o ，可使整个目镜头就可精 确地转过90o。
（三）体外反射镜结构 体外反射镜是仪器的重要组成部分。 如图2—10所示 调整三个调节螺钉6将反射镜调整到严格垂直于镜座面
的位置上。
21
图2-9 平直度检查仪结构
1-测微鼓轮；2-活动分划板；3-目镜；4-固定分划板；5-定位螺钉； 6-十字线分划板（带保护玻璃）；7-滤光片；8-光源；9-立方直角棱镜；

隹Isl^iSls V12021年第02期(总第218期)一种便携式光电自准直系统设计宋敏，陈尘，黄博(成都国信安信息产业基地有限公司，四川成都610041)摘要:采用面阵CCD工业相机接收光学系统图像,设计了一种便携式光电自准直系统，从系统组成、工作原理、硬件和软件分别阐述了设计的方案和实现方法。

通过FPGA和ARM嵌入式芯片实现了图像数据的采集、存储、计算并且利用液晶屏实时显示图像和坐标位置信息。

系统可进行绝对和相对测量，以及采集和保存双轴角位移信息。

实验结果表明，系统具有速度快、精度高、自动化、数字化强的特点，并且整体上便携,实用性强。

关键词:CCD;光电自准直仪;液晶显示屏中图分类号:TH712文献标识码:A文章编号：2096-9759(2021)02-0132-04Design of System for a Newly Portable Photoelectric AutocollimatorSong Min9Chen Chen,Huang Bo(Chengdu Guoxinan Information Industry Base Co.,Ltd,Chengdu Sichuan610041,China) Abstract：A newly portable autocollimator system is designed,which adopts matrix CCD industrial camera to receive the im­ages of optical system.The system composition,working principles,hardware and software of this design were interpreted.The embedded chips of FPGA and ARM acquire image,help store them and process the image data.And the TFT screens display the video image and processed result at real-time.The system can finish absolute and relative measurement,collect and save the de­flection angles of t wo-axis.The experiment result shows the system has the features of highly speed and precision,automatically, digitally,and strong portability and practicality.Key words：CCD;Photoelectric Autocollimator;TFT0引言在高精度瞄准、微小角度测量方面自准直仪因其特有的优势被广泛应用。

21位双通道旋转变压器解码及测试数据分析刘红伟;范永坤;何勇【摘要】设计了一种基于CPLD的21位分辨率双通道旋转变压器的解码及精度测量方案.通过CPLD对AD2S82A解码输出的两路并行16位数据进行读取、纠错、编码、输出,最后输出21位角度信号,这样整个测角系统就成为了主系统的一个外设.实验中搭建测试平台,用自准直仪和多面棱镜对该测角系统精度进行测量.结果表明,测角误差均方根值达到20″,经系统误差修正后整个系统测角误差均方根值达到9.46″.最后本文对测角系统的系统误差产生原因进行了分析.%A scheme of an angle measurement circuit for the two-speed resolver is designed, which includes the decoding and measurement of the precision. The 16-bits data of parallel communication of the two AD2S82A is read, corrected, and assembled by CPLD. According to the requirement of the main system, the CPLD completes the pretreatment of the data from the AD2S82A and outputs the parallel data of the angle information, the bits of which are up to 21-bits. With the CPLD, this angle measurement system becomes one single peripheral of the main system. A scheme of measurement test is carried out with collimator and prism in the laboratory. The results achieve the designed functions of the scheme completely and the error by Root Mean Square (RMS) of the single angle measurement circuit is 20 arcseconds, which reaches 9.46 arcseconds after correcting the systemic error with software. Lastly, the causations of the systemic error of the angle measurement circuit are indicated.【期刊名称】《光电工程》【年(卷),期】2012(039)011【总页数】7页(P144-150)【关键词】双通道旋转变压器;CPLD;自准直仪【作者】刘红伟;范永坤;何勇【作者单位】中国科学院光电技术研究所,成都610209;中国科学院光电技术研究所,成都610209;中国科学院光电技术研究所,成都610209【正文语种】中文【中图分类】TN14无刷旋转变压器承受高、低温，抗冲击和振动的能力要大大强于光电编码器，且采用环形变压器结构避免了电刷的使用，因此永磁交流伺服电动机的位置与速度传感元件多选用无刷旋转变压器[1]。

二维光电自准直仪操作手册鞍山光准科技有限公司鞍山光准科技有限公司二维光电自准直仪操作手册目录1保修及有限责任 (1)维护 (1)功能和损坏的责任 (1)附件 (1)安全说明 (1)2设计用途 (2)3功能描述 (3)3.1二维光电自准直仪简介 (3)3.1.1自准直原理 (3)3.1.2主要技术指标 (4)3.1.3自准直仪主要功能 (5)3.1.4自准直仪主要特点 (5)3.2部件描述 (6)3.2.1自准直测头 (6)3.2.2网络连接线和电源箱 (6)3.2.3电脑 (7)3.2.4二维摆角调整底座 (7)3.2.5反射镜 (7)3.2.6激光找像器 (7)4软件介绍 (8)4.1整体界面 (8)4.1.1控制区 (8)4.1.2 显示区 (9)4.2菜单栏 (10)5操作 (13)5.1单位 (13)5.2标定 (13)5.3绝对测量与相对测量 (14)5.4有效位数设置 (14)5.5实时采集和单帧采集 (15)5.6自动测量和手动测量 (16)5.7动态测量和单次测量 (16)5.8数据的保存和查看 (17)5.9量程扩展 (17)5.10刻度显示 (18)5.11公差显示 (18)6测量 (20)6.1直线度测量 (20)6.1.1准备 (20)6.1.2输入 (20)6.1.3采样 (21)6.1.4查看结果 (22)6.1.5生成word (24)6.2平面度测量 (25)6.2.1网格布点法平面度测量 (25)6.2.2对角线布点法平面度测量 (30)6.3平行度测量介绍 (34)6.4垂直度测量介绍 (34)7附录： (35)1保修及有限责任维护该光电自准直仪在更改或维护时只能使用鞍山光准科技有限公司提供的原装部件，并且只能由鞍山光准科技有限公司明确授权的人员进行。

功能和损坏的责任该光电自准直仪如因维护不当或者由非鞍山光准科技有限公司明确授权的人员进行更改导致的仪器不能正常运行，或得不到精确结果，鞍山光准科技有限公司不承担任何责任。

当编码器不按准确度等级进行分级时， 其分度误差、 测角重复性要求在制造厂家的产品 标准中规定，也可由用户根据需要确定。 6 校准条件
6.1 环境条件 校准时的温度计温度变化应满足表 2 的要求。被校准编码器与校准所用标准器具应有 足够的平衡温度时间，通常应不少于 2h。被校准编码器应在接通电源 10min 后开始校准。 表 2 校准时的温度及温度变化要求 准确度级别 校准时的温度要求/(℃) 温度变化/(℃/h) 1 2 3 4 5 6 7 6.2 校准用标准器 校准用标准器见表 3. 表 3 校准用标准器 序号 1 标准器 校准单位： 九江精密测试技术研究所检测和校准实验室 23 面棱体 双轴光电自准直仪 （AUTOMAT ULTRA-2040 主机） 证书编号：J 字第 20100082 号 器具编号：201059 校准单位：中国计量科学研究院 证书编号：CDjc2011-0993 出厂编号：186515722 20±2 ≤0.5
20±3
≤1
20±5
Hale Waihona Puke ≤1223 面体光电自准直仪 编码器实际检测图片
7 校准项目和校准方法 7.1 用多面棱体-自准直仪校准 将多面棱体安装在编码器转轴上，并使 多面棱体轴线与编码器旋转轴线重合，同轴 度误差应不大于 0.5mm， ；棱体各工作面与 被检编码器的轴线的平行度（塔差）不大于 30″； 安放自准直仪， 使自准直仪视轴垂直于多面棱体工作面并对准多面棱体第一工作面中
图 1 用多面棱体 -自准直仪校准编码器示意图 1—多面棱体；2—多面棱体调整架；3—被校准编码器；4—自准直仪 编码器各测点 ai 的误差值计算公式见下式：
ei=(c i-qi)
式中：ai————编码器第 i 测点示值， i=1,2，…，n；

研润企业MC030-1401 双向精密自准直仪使用说明书上海研润光机科技有限公司目录1．概述 (3)1．1仪器的用途1．2仪器特点1．3工作条件2．技术特性 (3)2．1技术规格2．1仪器组成3．工作原理与结构特征 (4)3．1仪器的工作原理3．2仪器的结构特征3．3附件的组成3．4个单元结构之间的机电联系3．5辅助装置的功能结构及其工作原理4．使用、操作 (13)4．1使用前的准备和检查4．2找像与读数4．3水平面的直线度测量4．4垂直于水平面的测面的直线度测量4．5垂直面的直线度和垂直度测量4．6直线移动导轨运动误差的测量4．7平面度的测量4．8圆分度误差的测量4．9小角度误差测量5．故障分析与排除 (27)5．1光学零件发霉5．2光学零件生雾5．3附着物5．4分划线刻线脱色6．保养、维护 (28)6．1日常维护、保养6．2运行时的维护、保养6．3正常检修周期7．开箱及检查 (29)7．1开箱注意事项7．2开箱检查内容8．运输、贮存 (29)8．1吊装运输注意事项8．2贮存条件，贮存期限及注意事项9．验收项目、方法及数据 (29)1．概述1．1仪器的用途双向自准直仪是利用自准直法，对小角度范围内的微小角度变化进行测量的精密仪器。

仪器主体和平面反射镜联合使用，可测量工件的直线度，平板的平面度；与光学直角器，带磁反射镜联合使用，可测量垂直导轨的平直度和垂直度；与多面体联合使用，可测量度盘的圆分度误差。

本仪器特别适合与生产现场。

1．2仪器特点双向自准直仪具有原理、结构简单，体积小，精度高，使用方便，配以一定的附件后，能扩大使用范围的特点。

1．3工作条件工作室应保持清洁，无尘，无振动，电源为220V 50Hz交流电，室温20°±3℃，其温度变化每小时不超过1℃。

2．技术特性2．1技术规格工作距离----------------------------------------------------0-10米物镜焦距----------------------------------------------------400毫米物镜口径----------------------------------------------------42毫米目镜放大倍率------------------------------------------------17.5倍测微鼓轮分度值（每格相当于）线度值-----------------------------------------------L/200微米角度值--------------------------------------------1.03秒≈1秒此处L为反射镜基座有效长度（毫米）目镜分划板分度值（每格相当于）线度值----------------------------------------------100×L/200微米角度值----------------------------------------------100×1.03秒示值范围----------------------------------------------------1600格示值精度当测微鼓轮不超一圈时±（0.5+0.01n）格当测微鼓轮超过一圈时±（15+0.0015n）格n 为测微鼓轮的测量格数。

双轴光电自准直仪安全操作及保养规程随着科技的发展，现代测量仪器的种类也越来越多，其中双轴光电自准直仪的使用逐渐增加。

本篇文档将介绍双轴光电自准直仪的安全操作及保养规程。

安全操作规程1.在使用双轴光电自准直仪之前，必须确保仪器完好无损，检查所有接口插头及接线是否牢固，是否适配、接口是否干净。

2.使用前请注意检查电源线是否有线芯裸露、是否破损或有机械损坏等情况。

如有发现请立即停止使用，并进行修复或更换。

3.双轴光电自准直仪使用时，应避免水、油或其他液体进入仪器内部，严禁在潮湿的环境中操作。

4.双轴光电自准直仪操作时必须穿戴合适的防静电服，防止静电干扰对仪器的影响。

5.在使用仪器过程中，避免将水、金属、化学药品等杂物接近、触摸或喷洒到仪器上，以避免引起短路、损坏或危险。

6.在施工及安全作业过程中，需要将双轴光电自准直仪放置在平稳的工作台面上，不得摆放在不平稳或较高的位置上，以免发生倾倒或掉落，导致损坏。

7.长时间连续使用时，请注意仪器表面及内部温度，确保仪器正常运行，以避免长时间使用对仪器产生热损伤。

8.在使用过程中如发现任何异常，请立即停止使用，并进行检查或更换配件，避免安全事故的发生。

保养规程1.在使用后，应先切断电源并等待仪器内部电源消失后再开始清理，避免因为不小心而导致电击或短路等危险。

2.清理仪器外壳时，应使用软布或刷子，避免使用含有重质、腐蚀性或过于粗糙的清洁剂，以免损坏仪器表面。

3.在维护过程中，应避免使用强酸、强碱等化学药品对仪器进行清洁，以免对仪器表面产生腐蚀或损伤。

4.定期检查仪器内部的连接器、接口及插头，检查其是否完好无损，接触是否良好，是否出现老化、老化及其它故障等情况，及时更换或维修。

5.经常性对仪器内部进行清理，避免灰尘或杂质等对仪器内部元器件的损坏.6.确保仪器整洁干燥，使用时需要避免将仪器放在多尘、多喧、多震的地方。

7.在维护保养过程中，应严格按照维护保养的规程来进行操作，并遵循相关的安全操作流程，严格执行操作人员的岗位职责，确保维修过程的安全性。

自准直仪光学系统设计周丹;向阳;高健【摘要】An novel high-precision intellectualized electronic digital display autocollimator for two-dimensional photometry was designed ,which could be used to measure small angles .The wavelength of the system was 670 nm .The foldback system was adopted in order to reach 1 m focal length and reduce the volume of the system .The position sensitive detector (PSD) was used as the optical receiver so that the accuracy of the instrument was increased and could meet the requirements that the measurement range was ± 6′and the accuracy was 0 .1″.The optical path system of the autocollimator was designed and optimized by Zemax .The emergent rays were parallel and the rays received by the determinand were homogeneous as shown in footprint diagram .These results can meet the needs of practical manufacture well .%设计一种能同时进行两维测量的、智能化的数显式自准直仪，该光学仪器可用来进行小角度测量。