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Q H S E新疆大全新能源有限公司发布Q/DQXNY-WH-010[A/0]尾气回收车间806单元工艺操作规程2012-01-01批准 2012-01-01实施全球大业百年大全 Q/DQXNY-WH-010[A/0]全球大业百年大全 Q/DQXNY-WH-010[A/0]目录1 目的、范围、职责 (1)1.1目的 (1)1.2适用范围 (1)1.3职责 (1)2 工艺技术 (1)2.1装置概况 (1)2.2工艺指标 (4)2.3装置内外关系 (6)3 操作规定 (7)3.1定期操作规定 (7)3.2不定期操作规定 (13)3.3操作规定 (13)3.4产品与过程控制 (17)4 附表 (19)4.1物料物化特性表 (19)4.2有毒有害物质 (19)4.3腐蚀性物质 (20)4.4设备明细表 (20)4.5安全阀一览表 (22)4.6本装置联锁示意图 (24)尾气回收车间806单元工艺操作规程1 目的、范围、职责1.1 目的本操作规程主要为氢化尾气回收装置（806单元）的原始开车、日常操作及维护、短（长）期停车、紧急停车、停车后的再开车等操作提供依据。
为装置的安全生产、连续运行提供保障，为后续804单元提供足够的、纯度为99.9999%以上的H2，并将回收的氯硅烷送至罐区，为804装置乃至全厂的连续运行提供保障。
1.2 适用范围本操作规程主要适用于还原尾气回收装置（806单元）。
其中包括：冷凝系统、精馏系统及变压吸附系统。
1.3 职责尾气回收车间主任对本规程的实施负责。
尾气回收车间对本规程的编制、修订负责。
2 工艺技术2.1 装置概况A.装置简介1)设计能力设计能力：32吨/h；装置设计能力：处理反应尾气230400吨/年；回收H2 16842.86吨/年；回收氯硅烷216000吨/年；年运行时间：≥7200h。
2)装置特点本装置工艺特点主要有：工艺流程复杂、管线较多；自动化控制程度较高；动力消耗较高；三废少，环境污染小。
尾气回收系统设备安全操作规程
1 操作者必须熟悉本设备的结构、性能、传动系统、润滑部位及电气等基本知识和使用维护方法，操作者必须经考核合格后，方可进行操作。
2 系统设备处于故障状态严禁启动。
3 注意事项
3.1 检查系统各设备是否满足开车条件；
3.2 检查洗涤塔储水罐液位是否在液位计的2/3处；
3.3 检查机泵完好情况。
地脚螺栓紧固，接地线应完好，设备周围无杂物及人；
3.4 检查控制仪器，仪表是否完好，并打开压力表阀门；
3.5 换泵前，应按开车前准备工作进行全面检查；
3.6 机组长期停用或检修后，必须经检修人员检查，合格后方可送电开车。
4 应急处置
4.1 突然停电，关闭各水泵出口阀，按停车按钮，通知值班长。
单机突然停电，按开车步骤先开启备用泵，再按停机的停车电钮，关闭出口阀；
4.2 发现补充水断水，首先通知班长，适当关闭泵的出口阀，降低总管压力，维持生产。
维持不了生产时，经班长同意，停止机泵运行。
4.3 设备紧急事故，电机电流突然升高或降低（超定额值）、电机水泵有明显的异常声音或振动大、断轴、水泵出水管线断裂及大量漏水等应立即停止运行，关闭出口阀。
4.4 着火电机着火或电缆头处打火，立即按紧急停车按钮，切断电源，用二氧
化碳、干粉灭火器灭火。
行业资料：________ 回收车间岗位操作规程单位：______________________部门：______________________日期：______年_____月_____日第1 页共9 页回收车间岗位操作规程1、工艺流程由煤焦车间来的荒煤气约75-85℃，首先经气液分离器进行分离，焦油氨水等入机械化焦油氨水澄清槽进一步澄清分离，煤气入初冷器进行初步冷却，冷却后的煤气温度为：21℃，然后经电捕焦油器捕焦油后进入离心式鼓风机加压，送往后工序。
鼓风后煤气从脱硫塔下部进入，与塔顶喷洒的脱硫液逆流接触吸收煤气中的H2S，被吸收了H2S的焦炉煤气H2S含量不大于100mg/Nm3，脱硫后煤气送往氨回收工段。
脱硫后煤气进入新型陶瓷填料洗氨塔，用蒸氨废水，软水洗氨，洗氨后煤气中的氨含量降低到50mg/Nm3以下。
来自氨回收工段含苯的焦炉煤气，从洗苯塔底部入塔，与塔顶喷淋的循环洗油逆流接触，煤气中的苯被循环洗油吸收降至4g/Nm3以下，然后送出车间，供焦炉及电厂等用户使用。
各工序中产生的污水由产生点集中加压送往污水处理站，污水处理流程分预处理阶段，生化处理阶段和后处理阶段，采用厌氧好氧法处正是后的污水用于熄焦。
2、原材料特性2.1焦炉煤气的组成甲烷2328%烷烃24%氢气5660%氮气37%二氧化碳1.53.0%氧气0.30.8%一氧化碳58%2.2煤气中各种杂质的含量：第 2 页共 9 页苯2540克/Nm3萘1015克/Nm3氨712g/Nm3硫化氢310克/Nm3焦油80-120克/Nm3氧化氮0.2-0.7克/Nm3氰化氢1-2克/Nm32.3煤气净化外供的质量标准焦油及灰尘1000mg/Nm3硫化氢1000mg/Nm3氨500mg/Nm3萘400mg/Nm3苯4g/Nm3氧1%热值17.56MJ/Nm32.4焦炉煤气化产品产率焦油3.54.0%粗苯1%2.5煤气的性质无色、臭味、标准状态下密度0.460.50kg/Nm3着火点600650℃热值16.718.8MJ/Nm3爆炸范围5.630.4%自然点648℃回收转炉煤气的安全保证1概述转炉煤气的产生是间歇式的，集中在吹炼期，在吹炼期内的不同时期，其成分也不同，而且与回收设备的操作及煤气的回收条件有关。
车间废气处理操作规程一、目的和适合范围车间废气处理操作规程的目的是确保车间废气处理设备的正常运行和废气排放的合规性，保护环境和员工的健康。
本规程适合于所有车间废气处理设备的操作和维护。
二、术语和定义1. 废气处理设备：指用于处理车间产生的废气的设备，包括废气采集系统、废气净化设备等。
2. 废气排放标准：指国家和地方相关法规、标准规定的对废气排放的限制要求。
3. 操作人员：指负责废气处理设备操作和维护的员工。
三、操作要求1. 操作人员应熟悉废气处理设备的工作原理、操作方法和安全注意事项，并接受相关培训。
2. 在操作废气处理设备前，操作人员应检查设备的运行状态和安全装置是否正常。
3. 操作人员应按照操作程序挨次进行操作，严禁擅自更改操作参数或者关闭安全设备。
4. 在操作过程中，操作人员应密切观察废气处理设备的运行情况，如发现异常情况应及时报告并采取相应措施。
5. 操作人员应按照规定的操作时间和频率对废气处理设备进行巡检和维护，如发现故障应及时进行修复或者更换设备。
6. 操作人员应定期对废气处理设备进行清洁和保养，确保设备的正常运行。
7. 操作人员应按照废气排放标准要求进行废气监测，记录监测数据并及时上报。
8. 操作人员应遵守相关的安全操作规程，佩戴个人防护装备，确保自身安全。
四、紧急情况处理1. 在发生废气处理设备故障、泄漏或者其他紧急情况时，操作人员应即将采取紧急停机或者切断废气源，并向相关人员报告。
2. 在紧急情况处理过程中，操作人员应按照应急预案进行操作，确保人员安全和环境不受进一步伤害。
3. 在紧急情况处理完毕后，操作人员应对废气处理设备进行检修和维护，确保设备的正常运行。
五、记录和报告1. 操作人员应按照规定填写废气处理设备的操作记录，包括设备运行情况、维护记录、故障处理等。
2. 操作人员应按照规定上报废气监测数据和故障信息，以便进行数据分析和设备改进。
六、培训和考核1. 操作人员应接受相关培训，了解废气处理设备的操作方法和安全注意事项。
尾气回收单元工艺操作规程范围适用范围目的人员要生产规模主要设备主要原辅材料和能源动力消耗工作环境要求：工艺原理、工艺流程（图）工艺原理回收系统的尾气成分与其相应的性质简介工艺操作步骤开车前准备开车步骤正常操作停车步骤环境运行控制本岗位存在的环境因素本岗位需控制的环境因素运行控制职业健康安全运行控制本岗位存在的危险源本岗位需控制的危险源、范围适用范围本作业指导书规定了还原尾气通过冷却、洗涤、压缩、冷凝、吸收、脱吸、吸附等过程得以充分回收的工艺规范及环境运行和职业健康安全运行等控制要点。
目的目的是将还原尾气成分进行分离和充分回收、再次利用以达到降低成本，降低物耗，减少环境污染，保障职工职业健康安全。
第二章、资源、术语、标准、规模人员要求1、基础知识要求：上岗人员必须了解本岗位的原料和产品的物理化学性质；了解本岗位生产的基本原理；了解本岗位的安全、职业健康运行规则。
2、技能要求：⑴、上岗人员必须掌握本岗位的作业程序，严格按作业指导书进行操作；⑵、上岗人员必须了解本岗位的设备的基本构造及性能并懂得基本维护；术语1、吸收：是指利用气体混合物在液体中溶解度的差异而使气体中不同组分分离的操作。
2、再生：吸附剂使用一段时间后，吸附量达到饱和，将吸附剂中的杂质和水份除去使之复活，再次连续使用的过程。
3、吸附：在某些物质的界面上从周围介质中把能够降低界面张力的物质自动地聚集到自己的表面上来，使得这种物质在相表面上的浓度大于相内部的浓度，叫吸附。
4、脱吸（解吸）：将吸收得到的溶质气体从液体中取出来，这种是溶质从溶液里脱离过程成为脱吸（或解吸）。
三、主要原料质量标准1、氢气（按GB/T7445-1995执行）：H2纯度≥99.999%、O2≤5ppm、CO≤0.5ppm、CO2≤1.5ppm、CH4≤0.55ppm、露点≤－55℃。
2、氮气3、还原尾气：正常生产下的还原尾气，由还原尾气总管直接输入干法系统主要产品质量标准1、氢气回收H2纯度≥99.999%、O2≤5ppm、CO≤0.5ppm、CO2≤1.5ppm、CH4≤0.55ppm、露点≤－55℃；2、回收HCL质量要求：含量≥90%；3、氯硅烷回收率98%；4、回收氯硅烷的主要杂质含量要求：Fe≤150ppb、Al≤25ppb、B≤3ppb、P≤0.1ppb。
行业资料：________ 回收车间岗位操作规程单位：______________________部门：______________________日期：______年_____月_____日第1 页共9 页回收车间岗位操作规程1、工艺流程由煤焦车间来的荒煤气约75-85℃，首先经气液分离器进行分离，焦油氨水等入机械化焦油氨水澄清槽进一步澄清分离，煤气入初冷器进行初步冷却，冷却后的煤气温度为：21℃，然后经电捕焦油器捕焦油后进入离心式鼓风机加压，送往后工序。
鼓风后煤气从脱硫塔下部进入，与塔顶喷洒的脱硫液逆流接触吸收煤气中的H2S，被吸收了H2S的焦炉煤气H2S含量不大于100mg/Nm3，脱硫后煤气送往氨回收工段。
脱硫后煤气进入新型陶瓷填料洗氨塔，用蒸氨废水，软水洗氨，洗氨后煤气中的氨含量降低到50mg/Nm3以下。
来自氨回收工段含苯的焦炉煤气，从洗苯塔底部入塔，与塔顶喷淋的循环洗油逆流接触，煤气中的苯被循环洗油吸收降至4g/Nm3以下，然后送出车间，供焦炉及电厂等用户使用。
各工序中产生的污水由产生点集中加压送往污水处理站，污水处理流程分预处理阶段，生化处理阶段和后处理阶段，采用厌氧好氧法处正是后的污水用于熄焦。
2、原材料特性2.1焦炉煤气的组成甲烷2328%烷烃24%氢气5660%氮气37%二氧化碳1.53.0%氧气0.30.8%一氧化碳58%2.2煤气中各种杂质的含量：第 2 页共 9 页苯2540克/Nm3萘1015克/Nm3氨712g/Nm3硫化氢310克/Nm3焦油80-120克/Nm3氧化氮0.2-0.7克/Nm3氰化氢1-2克/Nm32.3煤气净化外供的质量标准焦油及灰尘1000mg/Nm3硫化氢1000mg/Nm3氨500mg/Nm3萘400mg/Nm3苯4g/Nm3氧1%热值17.56MJ/Nm32.4焦炉煤气化产品产率焦油3.54.0%粗苯1%2.5煤气的性质无色、臭味、标准状态下密度0.460.50kg/Nm3着火点600650℃热值16.718.8MJ/Nm3爆炸范围5.630.4%自然点648℃回收转炉煤气的安全保证1概述转炉煤气的产生是间歇式的，集中在吹炼期，在吹炼期内的不同时期，其成分也不同，而且与回收设备的操作及煤气的回收条件有关。
还原尾气回收氢压机组操作规程（版次：A/0版）文件编号：编制：日期：修订：日期：审核：日期：日期：批准：日期：受控状态：发布实施发布目录1．范围 (1)1.1 适用范围 (1)1.2 目的 (1)1.3 职责 (1)2．氢气压缩机（C501） (1)2.1氢气压缩机的工作原理 (1)2.1.1 氢压机的工作原理 (1)2.1.2 氢压机的工艺流程 (1)2.1.3 氢气压机压缩机的组成 (2)2.1.4 压缩机的工作过程 (3)2.2 主要工艺技术参数、生产规模和原辅材料消耗 (3)2.2.2 生产规模 (4)2.2.3 主要原辅材料和能源动力消耗 (4)2.3 压缩机日常操作 (4)2.3.1启动 (4)2.3.2正常运行 (5)2.3.3停车 (5)2.3.4 操作注意事项 (6)2.3.5 机组切换 (8)2.3.6 维护 (9)2.3.7 检修注意事项 (9)2.4 运行中常见问题及处理 (10)2.5 联锁报警表 (11)1．范围1.1 适用范围本规程适用于还原尾气回收的氢气压缩机开车、停车、常见事故及处理等操作过程。
1.2 目的规范操作，确保还原尾气回收装置连续、稳定、安全、高效运行。
1.3 职责还原尾气回收车间人员对本规程的实施负责。
2．氢气压缩机（C501）2.1氢气压缩机的工作原理2.1.1 氢压机的工作原理本压缩机原理系两级压缩，容积型往复活塞式无油氢气压缩机。
压缩机由电动机驱动当电动机驱动时，动力经三角皮带传动至曲轴，使曲轴旋转，再借助连杆、十字头和活塞杆把曲轴的旋转运动变为活塞的往复直线运动。
活塞、气缸、进排气阀构成压缩气体的气腔。
当活塞在气缸内作一次往复运动时，在盖侧和轴侧先后使气腔的容积发生由小到大，再由大到到小的变化，从而完成吸气-压缩-膨胀的工作循环，把气体从进气口（低压区）送到排气口（高压区）。
当活塞连续往复运动时，压缩机便重复上述工作循环。
2.1.2 氢压机的工艺流程循环氢由机前缓冲罐通过进气阀进入气缸，活塞的往复运动使气体在气缸内的体积发生变化，在压缩过程中，由于气缸内的容积的缩小，压缩的氢气通过排气阀的作用，经过排气管进入冷却器，然后在进入机后储气罐，最后排入HCL吸收塔。
尾气吸收岗位操作规程尾气吸收岗位操作规程1 主题内容本标准规定了尾气吸收塔操作要点及一般要求。
2 适用范围本规程适用于尾气吸收岗位操作的管理。
3 职责原料药二车间工艺员负责本操作规程的编写；生产车间及车间质量对本操作规程进行审核、监督执行；质量部批准，车间监控工负责实施该操作规程。
4．内容：4.1 操作前检查4.1.1首次检查管路连接情况，确保其完好。
4.1.2 检查电动机安装是否牢固，三角带松紧是否适度，如有异常，应先进行检修。
4.1.3 电气检查内容：电机接地线接好、电源线完整、开关完好。
4.1.4 检查各种泵是否好用，风机是否完好。
4.1.5 防化服齐全并佩戴正确。
4.4 操作方法及注意事项4.4.1 按要求配制好20%碱液，20%稀硫酸溶液。
4.4.2 将溶液加入各自的塔内，要求加入量达到刻度的85%~95%之间。
4.4.3 启动循环泵，吸收液在塔内循环流动。
4.4.4开启引风机，向塔内注入工艺尾气，尾气中有害物质在塔内得到处理。
4.4.5 尾气吸收塔进入运行状态，在运动过程中，操作人员应密切注意吸收液的PH值的变化情况，每小时记录一次，操作人员应确保相应吸收塔的PH在10以上或3以下。
4.5 操作注意事项4.5.1 在运行过程中，操作人员应与车间关管理人员保持联系，及时掌握生产情况，以便做出相应的调整。
4.5.2 循环液每班间歇排放至废水池，由废水处理站进行生化处理，最终达到标准排放。
4.5.3 车间尾气预处理塔吸收液为酸和碱，在运行的过程中，吸收液的浓度随时间推移会不断降低，当吸收液浓度降到接近中性时，应及时补加。
4.6 安全防火和劳动保护：4.6.1 严格按尾气吸收岗位操作规程操作，定期对职工进行安全教育，不断提高安全生产常识。
4.6.2 设备应密封良好，使用前检查电源接地是否牢固；设备出现故障，先切断电源再予以维修。
4.6.3 应配置灭火器材，操作人员应掌握灭火器材使用方法，操作时，注意轻拿轻放，不产生静电及明火火源，投料时，操作人员应按规定（工艺规程中劳动保护相关规定）佩戴相应防护措施。
尾气回收岗位操作规程1、岗位名称：尾气回收岗位任务1、以隔膜式压缩机为动力，将尾气压缩、冷凝、回收尾气中的三氯氢硅和四氯化硅；尾气经过缓冲，返回氯化氢岗位。
任务2、根据精馏提纯的温度上限控制指标，以凉水手段和加水手段调节水温符合工艺要求，同时保证供给氯化氢合成岗位和三氯氢硅合成岗位足够压力的循环热水。
运行作业严密的执行操作规程。
保证生产运行安全稳定。
任务3、及时清理污水池的悬浮物，合理控制污水水位。
管辖范围：本岗位的全部主体设施及其辅助设施和应急救援设施，自三氯氢硅合成冷凝器出口法兰至氢气混合器的进口法兰；热水循环系统的热水罐和热水泵。
2、岗位定员及分工：本岗位定员3人，分别三班轮流；每班1人，负责生产运行全过程的操作和设备保养维护。
设备检维修由维修保全岗位负责。
3、岗位在生产过程中的地位和作用：本岗位是生产过程的纽带，隔膜式压缩机的正常运行是生产平稳的关键。
保证循环热水的正常供给，对生产的稳定起着重要作用。
4、尾气回收岗位工艺指标1、尾气收集罐压力65~ 90 KPa；2、尾气缓冲罐压力≤0.5MPa；3、压缩机进气压力50 ～85KPa；4、压缩机出口压力0.45～0.55MPa；5、润滑油压力高于气压10～15%；6. 热水罐液位2/3~3/4处、热水温度≤97℃、PH8~97.污水池无悬浮物积存，中和池无沉淀物；8.污水池水循环时PH8~10。
5、工艺操作方法5.1本岗位是将来自三氯氢硅合成岗位的尾气经过压缩机加压，回收尾气中的三氯氢硅和四氯化硅后，尾气得到重复利用。
5.2热水循环系统回收了化学反应的低位能、以循环热水形势为能量供物料加热，满足实施的能量需求。
5.3本岗位的开车是在检查确认系统达到完好状态、具备开车的条件下，经过试压合格后，先以氮气为置换介质对系统置换，然后以尾气为介质置换彻底系统中的氮气，开启压缩机并调节有关压力符合工艺要求，转入正常生产运行。
5.4热水系统的运转是先将软化水加入到罐液位的规定值，开启热水泵使水循环，换热后的热水回到高温热水罐，由高温热水泵供给精馏提纯使用。
车间废气处理操作规程(总3页)--本页仅作为文档封面，使用时请直接删除即可----内页可以根据需求调整合适字体及大小--废气处理操作规程一、废气污染源我部门所处理的废气主要来自硅料处理车间、电池车间。
具体来说：硅料处理车间的酸清洗工序、酸浸泡工序、碱腐蚀工序产生的废气；电池车间刻蚀工序、制绒工序、扩散工序以及印刷工序产生的废气。
根据废气的种类和性质采取不同的处理方法。
由于车间废气主要为酸性气体，所以主要采取的方法为碱液喷淋法和吸附剂吸附法。
二、废气处理工艺流程对于电池车间刻蚀、制绒工序产生的废气主要污染物为NOx 和HF 气体；硅料处理车间酸浸泡工序主要的废气污染物为NOx ，处理工艺流程如下：电池车间225MW 扩散工序产生的废气主要是CL 2,处理工艺流程电池车间175MW 扩散工序产生的废气主要是CL 2,处理工艺流程如下：达标排放 达标排放达标排放制绒工序产生的废气污染物为NOx ，采用两级喷淋加一级吸附，处理工艺流程如下：三、操作规程1、净化系统在调整完毕后，应将调节阀门加以固定，运行中不得随意改动。
当一个系统中连接有几个排气点时，若某一排气点的工艺设备停止运行，该排气罩也不宜关闭，以免改变其他排气罩的排放量。
2、应按规定的工艺设备和净化设备之间的开车、停车顺序启闭设备。
为防止电动机启动时过载，特别是对于高温烟气净化系统，可调节总阀门开度，在减小风量情况下启动。
3、运行时应记好运行日志。
日志内容包括换班时间与交接班情况，当班时间内设备运行情况，各种设备的停车时间及其原因等。
当设备发生故障时，应详细记载发生故障的原因、情况及对检修的参考意见等。
4、应加强设备的日常维护。
日常维护的主要任务是消除设备、管道、排气罩、清扫孔、观察孔、排灰阀等处的漏风。
调节好系统的排液量、风量和风压。
5、每月定期清除管道内和设备内的积尘等沉积物。
6、设备底部水池有液位标记，使用前务必按液位标记注入吸收液。
使用过程中应注意补充吸收液。
Q H S E新疆大全新能源有限公司发布Q/DQXNY-WH-010[A/0]尾气回收车间806单元工艺操作规程2012-01-01批准 2012-01-01实施全球大业百年大全 Q/DQXNY-WH-010[A/0]全球大业百年大全 Q/DQXNY-WH-010[A/0]目录1 目的、范围、职责 (1)1.1目的 (1)1.2适用范围 (1)1.3职责 (1)2 工艺技术 (1)2.1装置概况 (1)2.2工艺指标 (4)2.3装置内外关系 (6)3 操作规定 (7)3.1定期操作规定 (7)3.2不定期操作规定 (13)3.3操作规定 (13)3.4产品与过程控制 (17)4 附表 (19)4.1物料物化特性表 (19)4.2有毒有害物质 (19)4.3腐蚀性物质 (20)4.4设备明细表 (20)4.5安全阀一览表 (22)4.6本装置联锁示意图 (24)尾气回收车间806单元工艺操作规程1 目的、范围、职责1.1 目的本操作规程主要为氢化尾气回收装置（806单元）的原始开车、日常操作及维护、短（长）期停车、紧急停车、停车后的再开车等操作提供依据。
为装置的安全生产、连续运行提供保障，为后续804单元提供足够的、纯度为99.9999%以上的H2，并将回收的氯硅烷送至罐区，为804装置乃至全厂的连续运行提供保障。
1.2 适用范围本操作规程主要适用于还原尾气回收装置（806单元）。
其中包括：冷凝系统、精馏系统及变压吸附系统。
1.3 职责尾气回收车间主任对本规程的实施负责。
尾气回收车间对本规程的编制、修订负责。
2 工艺技术2.1 装置概况A.装置简介1)设计能力设计能力：32吨/h；装置设计能力：处理反应尾气230400吨/年；回收H2 16842.86吨/年；回收氯硅烷216000吨/年；年运行时间：≥7200h。
2)装置特点本装置工艺特点主要有：工艺流程复杂、管线较多；自动化控制程度较高；动力消耗较高；三废少，环境污染小。
3)原料及产品原料：反应尾气；产品：氢气，氯硅烷；B.工艺原理利用氯硅烷、氢气、HCL冷凝点的差异经E0601循环水换热、E0602物料自身换热、E0603乙二醇及E0604氟利昂换热后将绝大多数氯硅烷冷凝成液体，用P0601泵输送至精馏塔T0603；未被冷凝的气态物料经压缩机C0601加压后送至吸收塔T0602，利用氢气、HCL在高压、低温氯硅烷液体中的溶解度特性不同将氢气及HCL进行初步分离；富含HCL的氯硅烷液体在精馏塔中将HCL解析后送至三氯氢硅合成装置，多余的氯硅烷则送至罐区；吸收塔塔顶出来的氢气（含少量氯化氢、氯硅烷）经吸附塔变压吸附后，吸附塔顶部纯净的氢气送至804单元，被活性炭吸附的氯化氢及氯硅烷则被反吹氢气被送至氢化再生系统，经膜压机C0902加压后回收利用。
C.工艺流程说明1)尾气冷凝系统反应尾气首先通过E0601、E0602、E0603、E0604将来自804单元的反应尾气进行冷凝分离，得到液相的氯硅烷混合物（富含HCL）、气相的HCL和H2。
冷凝的氯硅烷收集于氯硅烷分离罐(V0601)中，再由P0601送至E0608加热后进入HCL精馏塔(T0603)以去除其中HCL和H2，最后送至氯硅烷罐区以备后续操作，气体（含HCL、H2及少量氯硅烷）通过放空气压缩机(C0601AB)压缩升压到1.45Mpa.G左右，以保证足够的压力进行后续操作。
2)解析系统从压缩系统出来的混合气体经过E0605换热后进入HCL吸收塔(T0602)，在-42℃下用氯硅烷液体对混合气体中的HCL进行吸收，大部分HCL被氯硅烷吸收。
富含HCL的氯硅烷液体经换热器E0606及E0608加热后进入HCL精馏塔(T0603)进行分离，塔顶得到含DCS及TCS的HCL混合物，经E0611冷凝为液态进入V0605，部分液态混合物满足精馏塔回流，，V0605中的不凝气相（含HCL、H2及其他少量杂质）送至氢化系统V0902回收利用。
3)变压吸附系统由吸收塔顶部出来的氢气（含少量HCl和氯硅烷）需要通过氢气吸附塔(T0604ABCDEF)去除。
装置设有6个氢气吸附塔，分成两组同时运行，每组吸附塔中一塔处于吸附过程，一塔处于加热解吸过程，一塔处于冷却过程，三个塔操作循环周期约为5小时。
对于单个塔而言，其操作过程为：吸附、减压加热、加热吹扫、回压冷却、冷却、下一次吸附。
其流程简述如下（T0604A为例）：a.吸附过程：气体从氢气吸附塔（T0604A）的塔底进入正处于吸附状态的吸附塔内，在活性炭吸附剂的选择吸附下，其中的HCL和氯硅烷等组分被吸附下来，未被吸附的氢气（纯度可达到99.9999%）从塔顶经过滤器（F0601A）后送入804单元。
当被吸附杂质的传质区前沿(称为吸附前沿)到达床层出口预留段时，关掉该吸附塔的进气阀（06KV0503A）和氢气出口阀（06KV0505A），停止吸附。
吸附床开始转入再生过程。
b.减压加热过程：在吸附过程结束后，打开吹扫出口阀（06KV0504A），关闭冷水进口阀（06KV0502A），打开热水进口阀（06KV0501A）和冷水出口阀（06KV0508A），吸附塔内气体逆着吸附方向进行减压，同时通过热水加热使被吸附的气体减压解吸出来的过程。
装置中该气体从塔的底部经压力调节阀（06PIC0503A）调解后平稳地进入二次压缩系统。
当吸附塔压力（06PT0502A）小于0.1Mpa.G时，吸附塔（T0604A）进入加热吹扫过程。
c.加热吹扫过程：在减压加热过程结束后，关闭冷水出口阀（06KV0508A），打开吹扫进口阀（06KV0506A）和热水出口阀（06KV0507A），用氢气经吸附塔热水间接加热冲洗吸附剂床层，将吸附在吸附剂上的HCL和氯硅烷完全解吸出来，使吸附剂得到再生的过程。
当吸附塔底部温度（06TI0502A）大于120℃时可认加热吹扫完成，吸附塔（T0604A）进入回压冷却过程。
d.回压冷却过程：为了使吸附塔可以平稳地切换至下一次吸附并保证产品纯度在这一过程中不发生波动，需要将吸附塔压力升至吸附压力，以保证产品升压过程的充分和减少对吸附压力波动的影响。
当加热吹扫过程完成后，关闭吹扫出口阀（06KV0504A）和热水进口阀（06KV0501A），打开冷水进口阀（06KV0502A），当06PDI0502A小于0.06Mpa.G时，回压冷却过程完成，吸附塔（T0604A）进入冷却过程。
e.冷却过程：关闭热水出口阀（06KV0507A），打开冷水出口阀（06KV0508A），利用氢气经吸附塔冷水间接冷却对吸附塔自上而下进行吹冷，当吸附塔内温度(06TI0502A) 小于50℃时冷却过程完成。
经这一过程后吸附塔便完成了一个完整的“吸附—再生”循环，又为下一次吸附做好了准备。
三个吸附塔交替进行以上的吸附、再生操作(始终有1个吸附塔处于吸附状态)即可实现氢气与HCL和氯硅烷的连续分离与净化目的。
当吸附塔吸附达到饱和状态后需用氢气吹扫，以使此吸附塔具备再次吸附的能力。
吹扫得到的尾气主要成分为氢气，此外还含有少量氯硅烷和HCL。
该混合气体送至氢化再生系统经过管壳式换热器冷凝，不凝气体送入再生气压缩机(C0902ABCD)进行压缩，最终返回压缩机前缓冲罐(V0902)，再进入放空气压缩机(C0901AB)回收利用；经R22冷凝得到的—40℃的液态氯硅烷通过回收氯硅烷泵(P0604AB)送至802单元。
在此系统中吸附塔的泄压气体及部分的反吹气体外排，已降低系统内的杂质气体。
D.工艺流程图P 0601氯硅烷输送泵2.2 工艺指标 A. 2.2.1 原材料指标原料质量指标B. 主要产品质量指标产品质量指标C. 装置公用工程指标公用工程指标D.主要原材料、能量消耗、经济技术指标1)全装置物料平衡表物料平衡表2)公用工程消耗表公用工程消耗表E.控制参数2.3 装置内外关系A.进本装置的介质1)来自804单元的反应尾气；2)来至公用工程的循环水、乙二醇、氮气、新鲜氢气、冷冻水、新鲜水等；3)来自天富电厂的蒸汽及电；B.从本装置出去的介质1)主要产品：氢气及氯硅烷；2)公用介质：循环水回水、乙二醇回、及蒸汽冷凝水回；3 操作规定3.1 定期操作规定A.系统管线操作规程概况说明：本装置单元分为冷凝系统、解析系统及变压吸附系统。
1)冷凝系统•装置使用本系统时，先从反应尾气总管至压缩系统开始检查管线阀门是否连通、放空及导淋是否关闭，确定V0603至E0605手阀是否关闭。
•系统开车完成，所有参数调整合格后，则可联系804单元使用氢气及输送反应尾气。
•长期停用后系统应置换干净，当第一次使用时应氮气及氢气置换取样合格后方可使用。
•系统气体取样分析合格后，反应尾气进入系统后，应缓慢调节系统压力及温度，每1小时巡检一次系统压力及温度，发现异常及时联系处理。
2)解析系统•接到系统准备处理尾气时，应先导通系统流程并置换合格。
•确认系统所需TET量已准备完成。
•启动氢压机建立系统气相循环。
•当氢压机出口压力调整好后启动精馏塔塔底循环泵建立液相循环。
•启动螺杆机供给系统冷量。
•系统温度及压力调整。
3)变压吸附系统•吸附塔装入活性炭并干燥。
•检系统氮气及氢气置换。
•启动热水泵及冷水泵系统进入顺控状态。
•前系统汽液相建立循环后可与吸附系统连通，调节系统压力确保供给还原氢化车间氢气压力。
•可以正常处理氢气。
B.装置的工艺类日常操作1)吸附塔T0604备用流程：•导通吸附塔干燥流程（以T0604A为例）[ I ]—关闭吸附塔进口开关阀06KV0503A；[ I ]—关闭吸附塔出口开关阀06KV0505A；[ P ]—全开吸附塔进口最低点导淋；( M ) —确认吸附塔T0604A物料干燥流程已打通；[ P ]—将氮气软管连至T0604再生气进口放空阀，扎牢；•水系统投用（M）—确认吸附塔水系统已清洗完成；（M）—确认吸附塔水系统工艺流程已导通；[ P ]—水系统充液，V0604液位保持在80%左右；[ P ]—打开蒸汽进V0604的手阀，其开度控制在60%左右；[ I ]—将调节阀06FV0603缓慢开至60%（5%—10%—20%—40%—60%）•氮气干燥[ P ]—连通氮气软管；[ I ]—打开热水进口开关阀06KV0501A；[ I ]—打开热水出口开关阀06KV0507A；（M）—确认热水管线已连通；[ P ]—按《离心泵操作规程》启P0603C，调节泵出口调节阀开度将泵出口流量控制在40Nm3/h左右；[ I ]—调节蒸汽调节阀06FV0603的开度，将E0612出口热水温度控制在185℃左右；[ I ]—当吸附塔下塔温度06TT0502A的温度在130℃左右，吸附塔最低点放空口流出的氮气无水汽流出时通知分析取样测流出氮气的露点及氧含量；•T0604A吸附塔冷却[ I ]—关闭热水进口开关阀06KV0501A；[ I ]—关闭热水出口开关阀06KV0507A；[ P ]—按照《离心泵操作规程》停热水泵；[ I ]—打开冷水管线进口开关阀06KV0502A；[ I ]—打开冷水管线出口开关阀06KV0508A；（M）—确认冷水管线已连通；[ P ]—按照《离心泵操作规程》启冷水泵P0603A，调节泵出口手阀将进吸附塔冷水流量控制在40Nm3/h左右；[ I ]—当吸附塔T0604A下塔温度06TT0502A被冷却至50℃时表示冷却结束；[ I ]—通知分析再次取样；•氢气置换[ I ]—打开吸附塔再生气出口开关阀06KV0504A；[ I ]—打开吸附塔再生气进口开关阀06KV0506A；[ I ]—将调节阀06PV0503A全开；[ P ]—关闭吸附塔最低点放空阀；[ P ]—关闭进吸附塔氮气软管的前后手阀；[ P ]—关闭再生气进E0614的手阀，打开再生气至VTH管线的手阀；[ P ]—全开外管氢气至吸附塔T0604A的球阀，利用闸阀将反吹氢气流量调至100Nm3/h 左右；[ I ]—通知分析在06PV0503A前导淋口取样分析置换气中的氧含量及露点；•吸附塔充压备用[ I ]—关闭调节阀06PV0503A；[ P ]—当吸附塔T0604A的压力达到0.8Mpa.G(G)时，关闭反吹氢气闸阀；（M）—吸附塔T0604A备用，按照上述步骤依次使吸附塔T0604B/C/D/E/F/G达到备用状态；2)系统氢气充压•充压前的准备工作（M）—确认冷凝、压缩、吸收、精馏及HCL加热系统已连通；[ P ]—关闭F0601至E0601手阀；[ P ]—关闭V0603至V0601手阀；[ P ]—关闭V0605至V0602及E0607手阀；[ P ]—关闭C0602至V0602手阀；[ I ]—全开V0603至E0602调节阀06PV0201；[ P ]—关闭还原向氢化补氢手阀；[ P ]—关闭E0605至T0604手阀；[ P ]—关闭P0602至罐区手阀；[ P ]—关闭V0605至V0602手阀；•系统氢气充压[ P ]—全开外管氢气至V0603手阀；[ I ]—将外管氢气向V0602补氢调节阀06PV0506B全开；[ I ]—当HCL加热系统压力达到0.2Mpa.G(G)时，关闭06LV0402；[ P]—当吸收及精馏系统压力达到0.2Mpa.G(G)时，关闭V0603至E0605手阀；[ I ]—当冷凝及压缩系统压力达到0.6Mpa.G(G)时关闭调节阀06PV0506B；[ P ]—关闭外管氢气至V0603手阀；3) 3 T0602及T0603充液•导通充液流程（M）—确认P0601至T0603液位调节阀LV0101已关闭；[ P ]—打开P0601至罐区手阀，共2个；[ P ]—打开P0601至T0603手阀；[ P ]—打开E0608至T0603手阀；（I ）—确认调节阀06LV0301全开；（P）—打开调节阀前后阀，确认副线阀关闭；（I ）—确认调节阀06FV0301全开；[ P ]—打开P0602回流管线手阀；（M ）—确认吸收及精馏系统已连通并具备罐区送液条件；•T0602及T0603充液[ I ]—联系罐区送液，随时观察T0602及T0603的液位，当两塔液位在80%左右充液完成；•吸收及精馏系统检漏[ P ]—充液完成后，吸收及精馏系统所有法兰、焊缝、阀门及仪表检漏；4)建立系统平衡•建立循环前的准备工作[ I ]—关闭调节阀06LV0301；[ I ]—关闭调节阀06FV0301；[ P ]—缓慢打开V0603至T0602的手阀；[ P ]—打开外管氢气至V0603的手阀补氢，直至压缩系统压力达0.6Mpa.G(G)左右；（M ）—确认冷凝、压缩及吸收系统阀门已连通，处于正常的工艺流程；•启动C0601建立系统气相循环（I ）—确认V0603至E0602调节阀06PV0201全开；[ P ]—按照《氢压机操作规程》启动氢压机；[ I ]—缓慢调节06PV0201的开度将C0601出口压力控制在0.8Mpa.G(G)左右；•启动冷冻机RF0601A（M ）—确认螺杆机已具备启动条件；[ P ]—按照《螺杆机操作规程》启动RF0601A；[ I ]—螺杆机启动后，缓慢将再沸器E0610调节阀06FV0402开至10%左右（5%—10%）；[ P ]—检查各蒸发器的手阀处于正常的连通状态；[ I ]—将调节阀06FV0403开至100%；[ I ]—将E0611的供液调节阀06LV0403开至5%，依据06TI0412的温度调节氟利昂调节阀的开度；•系统液相建立循环（M ）—确认P0602A具备启动条件；[ P ] —按照《屏蔽泵操作规程》启动P0602A；[ I ] —将06LV0301开至30%左右，依据两塔的液位逐渐调节06FV0301的开度，直至两塔液位趋于平衡；[ I ] —依据06TT0304A将E0607氟利昂供液调节阀06LV0302的开度逐渐调大，直至06TT0304A的温度降至—38℃左右；•系统检漏[ P ]—当系统气、液建立平衡后，进行全面巡查、检漏；5)系统升压•升压前的准备工作（M ）—确认冷凝、压缩、吸收已连通；（P ）—确认吸附塔（T0604ABC）、(T0604DEF)已冲压备用；（P ）—确认F0601前后手阀打开；[ I ] —打开开关阀06KV0503A；[ I ] —打开开关阀06KV0505A；[ I ] —将调节阀06PV0505手动全开；（P ）—确认F0601至E0601手阀关闭；（P ）—确认自力式调节阀PCV0501后手阀全开；（P ）—确认吸附塔出口至氢化系统的手阀关闭；[ I ]—手动关闭调节阀06PV0506C；（I ）—确认调节阀06LV0402关闭•压缩系统升压[ I ]—将调节阀06PV0506A投自动，设定值定为0.8Mpa.G(G)左右；[ I ]—将调节阀06PICA0201设定值设定为0.52Mpa.G(G)并投自动；[ I ]—将外观补氢调节阀06PV0506B投自动；[ P ]—缓慢打开E0605至T0604的手阀；[ I ]—将调节阀06PV0506A的设定值由0.8Mpa.G(G)逐渐提至1、2Mpa.G(G)左右；[ I ]—依据06TIA0105的温度将E0604氟利昂供液调节阀的开度逐渐开大，直至06TIA0105的温度在—30℃左右；•精馏系统升压[ I ]—将蒸汽流量调节阀06FV0402开度由10%逐渐开大，直至精馏塔T0603塔釜温度升至130℃左右；[ I ]—将调节阀06PV0401压力设定至0.9Mpa.G(G)并投自动；（I ）—确认调节阀06LV0402关闭；[ I ]—设定液位远传06LIC—0403到设定值；[ I ]—依据06TT0402逐渐将调节阀06LV0403调大；[ I ]—逐步将压力和温度调到设定值；•低温系统检漏并冷紧[ P ]—系统全面检漏并对低温系统进行冷紧；•高温系统热紧[ P ]—精馏塔塔釜温度升至138℃左右对高温系统进行全面热紧；6)系统调整并接收尾气•参数调整[ I ]—逐步建立精馏塔的温度曲线；[ I ]—利用调节阀06PV0401控制精馏塔压力稳定。
