变压器次级端
蓝色为低 压控制部分
输出给可控硅
380V交流电通过 熔断体输入变压
变压器
器初级端
4
扩散炉加热控制系统常见故障分析(一)
故障现象一
某一管,某一温区的 温度突然下降或者爬升缓慢
第一 第二 第三 第四 第五
检查设定 温度有无 异常,如果 有改正设 定温度
5
将炉体接线卸下,测
无电压,
量炉体内阻,有断丝
有电流,但是太小 (不在75A-100A 范围内)调整电阻, 直至电流正常
紧固温控仪 接线,问题仍 存,更换温控 仪
出电压,(正 常0-5V) YES
更换触发板
有电压,更换接触器
扩散炉加热控制系统常见故障分析(二)
故障现象二
某一管,某一温区的 温度突然上升很快,不受控制.
这类故障发生,,通常为可控硅 击穿,更换可控硅后正常
热电偶
测炉体 温度
温控仪
将实际温度和设定温度进行对 比根据温差输出触发电压0-5V
触发板
根据触发信号控制变 压器输出的加热电流
输出给炉体
可控硅
触发板根据温控仪 输出的触发电压值 给出相应输出信号 可控硅对加热电流 进行调节
按下加热开 (按纽)接触 器吸合,输 入380V交 流电给熔断 体
熔断体
加热炉体
3.调整大小
选择您要用到的图标单击右键选择“ 取消组 合”
右键单击您要使用的图标选择“填充 ”,选 择任意 颜色
拖动控制框调整大小
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所扩散炉温度加热控制分享
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