H2C2O4

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瓶 中 , 容 得 0 3 4 l L 的 Li ( 定 、 1 mo/ Nb OR) 溶 液 . 在 干 燥 器 中 保 放 存待用。
l 引 言
铌 酸锂是 一种重 要 的铁 电材料 , 拥 有优 良的压 电、 光 、 它 电 声 光 、 电 、 折 变 和 非 线 性 光 学 性 质 等 一 系 列 特 殊 性 质 . 于 热 光 由
( . 饶 师 范 学 院 化 学 系 ,江 西 上 饶 3 4 0 ;2 1上 3 0 1 .硅 材 料 科 学 国 家 重 点 实 验 室 ,浙 江 大 学 材 料 系 ,浙 江 杭 州 3 0 2 ) 1 0 7
摘 要: 研 究 了 分 别 以 H2 04、HNO3 C2 、HCOOH 和
这 些 特 性 , 酸 锂 目前 已 被 广 泛 应 用 于 光 导 、 调 制 器 、 开 关 、 铌 光 光
非 挥 发 存 储 器 、 表 面 波 和 二 次 谐 波 发 生 器 等 器 件 。 随 着 薄 膜 声 制备 技 术 的 日益 发 展 . 铌 酸 锂 薄 膜 制 造 器 件 或 装 置 前 途 看 好 . 用 尤 其 是 应 用 在 光 电 子 工 业 和 微 电子 工 业 。若 将 铌 酸 锂 薄膜 与 当 今 的 半 导 体 技 术 融 合 , 仅 能 使 上 述 器 件 或 装 置 微 型 化 . 且 还 不 而 能 制 得 集 成 化 光 学 装 置 ( 对 全 光 学 网 络 意 义 重 大 ) 减 少 光 学 这 , 损失 . 终使工 业成本 降 低¨ 。 最 ] 目前 , i Oa 膜 的 制 备 方 法 有 很 多 . 如 : 射 法 、 子 LNb 薄 诸 溅 分 束 外 延 法 和 化 学 气 相 沉 积 法 等 , 是 , 这 些 方 法 制 备 铌 酸 锂 薄 但 用 膜不但 仪器 设备 复 杂 , 且 难 以控 制 铌 酸锂 薄膜 的化 学 组 成 。 而
L Nb ] i ( 为 多 晶 . HNOs相 比 . H2 2) 与 以 C( 作 稳 定 荆 制 备 的 L Nb ) 膜 形 貌 较 差 。 i ( 薄 关 键 词 : 铌 酸 锂 ; 膜 ; o— e 法 ; 2 2 4 薄 s l l H O g C
中 图 分 类 号 : TQO O 4 5 . 文献 标识 码 : A
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文 章 编 号 :0 19 3 (0 2 0 —5 40 i 0 —7 1 2 0 ) 50 2 —2

H CO 稳 定 剂 对 S l l 制 备 L Nb 薄 膜 的 影 响 o— Ge 法 i Os
张 一 兵 翁 文 剑 。 杜 丕 一 。 沈 鸽 。 韩 高 荣。 叶 志 镇 。 , , , , ,
C C )) 作 稳 定 荆 的 L Nb ) 薄 膜 先 驱 液 的 稳 定 性 . 现 Ha ((H i ( 发
H2 (4作 稳 定 荆 的 先 驱 液 的 稳 定 性 最 好 ; s l e C2 ) 用 o— l法 在 s g i
2 实 验
在 干燥惰 气 保 护 下 的 手 套 箱 中 分 别 称 取 等 摩 尔 的 LO iC
( 1 ) 板 上 用 提 拉 法 拉 膜 . 拉 速 度 为 6 3 m/ n 干 燥 ( 10基 提 . c mi 、 约 1 0 ) 0 n. 处 理 ( 度 分 别 为 1 0 、 0 ℃ 、 0 ℃ 、 0 ℃ 、 0 ℃ 1 mi 热 温 0 ℃ 20 30 40 5 0 、 0 ℃ 、 5 ℃ ) 0 n后 . 拉 第 二 层 . 拉 l 0 ℃ 6 0 6 0 1 mi 再 共 O层 。
CH C OOH( 海 试 剂 总 厂 ) 醇 溶 液 . 分 混 合 均 匀 后 密 闭 静 上 乙 充 置 , 察它 们 的稳定 存放 时 间 。 观 移 取 一 定 量 的 LNb (R 。 液 , 入 合 适 体 积 的 上 述 某 种 | () ) 溶 加 酸 的 乙 醇 溶 液 , 拌 并 静 置 一 定 时 间 后 . 清 洗 处 理 过 的 s 搅 在 i
( CH§ § 9 . R. d ih 和 Nb O Et 5 9 .9 , R. te ) )(7 A Al rc ) ( )( 9 9 A S rm
( 1 ) 板 上 制 备 了 以 H2 ( 作 稳 定 剂 的 LNb 薄 膜 , 对 10 基 C2) i O 并 LNb) 膜 进 行 了 I X i ( 。薄 R、 RD 和 S M 表 征 . 果 表 明 . 成 的 E 结 生
移 取 等 量 的 上 述 L Nb OR) 溶 液 . 别 加 入 l 0 lL i ( 分 、 mo/
H2 。 AR. 海 兴 塔 化 工 厂 ) 醇 溶 液 、 CO ( 上 乙 HNO AR, 江 兰 ( 浙 溪 试 剂 厂 ) 醇 溶 液 、HCO ) ( 海 试 剂 总 厂 ) 醇 溶 液 和 乙 (H 上 乙
溶 于无水 乙醇 ( AR. 州 长 征 化 工 厂 ) . 合 溶 液 在 7 ‘ 拌 杭 中 混 8C搅
下 回 流 2 h 得 铌 锂 双 金 属 有 机 醇 盐 I Nb OR) 将 此 溶 液 转 4 , ( i 。
至 一 容 量 瓶 中 . 涤 烧 瓶 等 相 关 容 器 数 次 后 的 洗 涤 液 并 人 容 量 洗
相 比 之 下 , 胶 一 胶 法 (o— e) 一 个 引 人 注 目 的 制 造 铌 酸 锂 溶 凝 sl 1是 g
对 制 得 的 铌 酸 锂 薄 膜 分 别 进 行 红 外 (R) 谱 ( aa I 光 Avtr 30 、 射 线 衍 射 ( 6) x XRD. X 9 ) 扫 描 电 镜 ( E 、 S D-8 及 S M J M一 6 0 F、E ) 分 析 表 征 , 以 评 估 薄 膜 的 质 量 ( 铌 酸 锂 的 结 3 0 J OL 等 用 如 晶 、 相 、 向 和 形 貌 等 ) 晶 定 。