氦质谱检漏仪操作规程

Revision修订号：1Procedure For Helium Leak Test氦检漏程序Page页码：1 of 41General概述This specification covers the procedure of helium leak test.本规程规定了氦检漏的操作规程。

2Notes注意事项2.1Helium is lighter than air and can cause choking. The operator should pay attention to self-protection.氦气比空气轻且能令人窒息，操作人员应注意自我防护。

2.2The test site should be dry, lightful, with no airflow or electromagnetic disturbances.试验场地应干燥，光线明亮，无明显的气流和电磁场等外界干扰。

2.3The test site environmental humidity should be less than 75%; the test site environmental temperature shallnot be lower than 15.6 ℃ when the equipment needs to be vacuumed.试验场地环境湿度应＜75%，待设备需抽真空时，试验场地环境温度不低于15.6℃。

2.4All of the components shall be verified that they can withstand the pressure, vacuum or heating during thetest.应确认待检设备的所有组件可承受试验过程的增压、保压、真空或加热干燥。

2.5Helium leak test to be carried out prior to hydro-test.氦检漏应在设备耐压试验前进行。

氦气检漏仪的使用方法氦气检漏仪，是一种常用的检测腐蚀、泄漏、堵塞等问题的专业设备。

它不仅可以用于各种类型的管道、气体罐、化学反应器等设备的检测，也可以用于检测制冷设备、真空系统、气压设备等。

正确使用氦气检漏仪能够帮助工程师、技术员快速地址各种问题，提高生产效率和安全性。

下面，将为大家介绍氦气检漏仪的使用方法，帮助大家更好地进行氦气检漏工作。

一、准备工作1、检查仪器在使用检漏仪之前，需要对仪器进行检查，确认其是否操作正常。

主要检查以下几个部分：(1) 电源是否正常。

(3) 漏探是否插入正确位置。

(4) 外露部分是否出现磨损、老化等情况。

2、准备氦气氦气一般需要在专业厂家购买，推荐使用纯度高于99.99%的氦气。

在使用前，需要检查氦气瓶的压力是否正常，有无泄漏等情况。

3、准备管道需要将待检测的管道进行准备，包括多个方面：(1) 取下管道上的盖子等遮挡物。

(2) 擦拭管道表面的灰尘、油污等杂质。

(3) 检查各个连接口是否紧密，有无松动。

(4) 在管道上确定好检测点，标记好以便操作人员查找。

二、使用步骤1、将氦气接入漏探装置将高纯度氦气连接至漏探装置的进气口，确保氦气源的正常压力。

通常，氦气缸的输出压力为6.5公斤/平方厘米，需要根据实际情况进行调整。

2、连接漏探和检漏仪将漏探和检漏仪连接好，并确认连接口是否稳固，不会造成泄漏。

3、开启检漏仪将检漏仪开启，并选择相应的氦气流量和检测灵敏度。

通常情况下，氦气流量需要根据应用场合的管道直径、长度、漏点大小等因素调整。

4、开始检测在漏探装置内产生氦气气体，然后将漏探移动至管道上的检测点，当气体从管道漏出或通过管道壁漏出时，就会被漏探检测到。

此时，检漏仪会发出响声或者闪烁指示灯，提示检测到管道漏点位置。

5、确定漏点位置在检测到漏点后，需要在管道上进行标记，以便进行维修或更换等操作。

6、结束检测在检测完毕后，需要关闭氦气的进气口。

断开氦气源和漏探装置的连接，并将仪器放回原位置。

氦质谱检漏试验是一种常用的无损检测方法，主要用于检测设备或容器的密封性能。

其基本原理是通过氦气的渗透或压力差，检测设备或容器的漏气情况，从而判断其密封性能的好坏。

氦质谱检漏试验方法一般包括以下几个步骤：
1.准备测试设备：将待检设备或容器进行清洗和干燥处理，确保表面干净无油污和杂质。

2.安装氦质谱检漏仪：将氦质谱检漏仪安装到测试设备上，并连接好气源和检漏探头。

3.进行氦质谱检漏测试：在测试设备的接口处注入氦气，并通过检漏探头监测氦气泄漏的情况。

氦气泄漏的情况可以通过氦质谱检漏仪的显示屏或声音提示来判断。

4.分析测试结果：根据测试结果，判断设备或容器的密封性能是否符合要求，并确定是否存在漏气问题。

需要注意的是，氦质谱检漏试验需要在无风的环境下进行，以避免氦气的外泄。

同时，氦质谱检漏试验也不能完全替代其他检漏方法，应根据实际情况选择合适的检测方法。

氦质谱检漏仪操作规程一、仪器准备1.确认氦质谱检漏仪的各个部件是否完好并连接良好，包括样品室、氦质谱仪、真空泵等。

2.检查氦气供应，确保氦气的储罐或瓶体已经安装好，并且压力稳定。

3.检查真空泵的状态，确认真空泵已经安装好并连接到氦质谱检漏仪上，并连接好电源。

4.确保仪器的电源线已经接通，并开启电源。

二、仪器操作顺序1.打开氦质谱检漏仪的电源开关，待仪器启动后，将仪器调至待机状态，等待稳定。

2.打开真空泵电源开关，将真空泵开始抽空样品室。

观察真空泵的压力表，确保真空泵的抽空状态良好。

3.打开氦气供应开关，将氦气注入样品室，以提高样品室的压力。

观察氦气的进入情况，并通过泄漏口校正阀门进行调整。

4.将样品室的压力调至所需的工作压力范围内（通常为0.1至1000毫巴），并通过仪表读数进行确认。

5.打开氦质谱仪的工作开关，选择所需的工作模式和参数，如质谱仪的检测灵敏度、扫描范围等。

确保质谱仪处于正常工作状态。

6.根据需要，调整质谱仪的检漏灵敏度，以便检测到所需的泄漏量。

根据仪器的使用说明进行操作。

7.打开泄漏校正阀门，将氦气泄漏到所需的被测目标上，确保样品室的氦气泄漏量符合检测要求。

三、数据记录与分析1.在仪器的工作过程中，及时记录所检测的泄漏目标、泄漏位置等相关信息。

2.根据需要，记录氦质谱仪的检测结果，包括泄漏的大小、位置和泄漏速率等。

3.对于检测到的泄漏，进行合理的分析和评估，确定泄漏的性质、原因和危害程度，并采取相应的处理措施。

4.对于检测结果的分析和报告，及时向相关人员进行传达，确保泄漏问题得到及时解决。

四、仪器维护1.在使用氦质谱检漏仪之前，对仪器进行必要的清洁和维护，以确保仪器的正常运行。

2.定期检查仪器的电源线、氦气供应线、真空泵连接线等是否有松动或损伤，及时进行维修或更换。

3.定期校准仪器的检漏灵敏度，确保其准确性和可靠性。

4.清洁氦质谱检漏仪的各个部件，防止灰尘和杂质的积累影响仪器的检测性能。

SFJ-261氦质谱检漏仪安全操作规程
一、目的
通过了解设备工作原理、技术参数、使用操作步骤、HSE提示与注意事项同、常见故障处理。

以保障设备和人员的安全及正常运行。

二、适用范围
本规程适用于公司SFJ-261氦质谱检漏仪
三、工作原理
氦质谱检漏仪是根据光谱学原理，用氢气作探索气体制成的气密性监测仪器。

四、技术参数
五、使用操作步骤
1、启动
2、参数设定
3、音量设定
4、标漏的设定
5、滤波方式设定
6、检漏模式
7、校零模式 8、机器因素
9、单位设定 10、通讯设定
11、输出设定 12、时间设定
六、HSE提示，注意事项
1、使用仪器确保仪器可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用。

2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要良好通风，以氦气干扰。

3、启动时最好不要让检漏口与大气直通，建议使用专用堵头堵住。

七、常见事故处理。

氨质谱检漏仪使用说明检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10* （毫升/秒）至lj 2X1 O'10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升）,它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、 测试接口、真空和漏率以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型）图1检漏仪真空系统结构图（分子泵型）指示， TC1V3-n-V6检漏仪开启后，VK V2 . V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。

如果按下u VENT"键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。

分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X104TORR以上，才能给离子源灯丝加热。

检漏仪工作原理]<■（2340高斯）图2检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氨气时，总有部分氨原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。

质谱1%管是检漏仪核心组成部分，参见上图2,在电场和磁场作用下，灯丝 发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进 入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子 会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量 与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的 粒子偏转半径大，只有氮离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经 放大后，检漏仪报警。

三、控制和指示器功能说明： 序号 控制、指示器功能Vent Start Hold 和Test 按检漏仪开关时，控制各个阀的 钮 动作顺序显示测试口压力，单位millitorr 显示漏率，单位std cc/sec （标 准立方厘米每秒）,超过或低 于测 量量程，分别由上下端两 个发光二极管（LED ）“over 55和 “under 乃显示。

随“range 55 和 tfiHi-Lo Sensitivity ”档位选择不 同， X 10指数窗口将显示4、5、6、2 Pressure （压力指示）3 Leak rate （漏率指示）Coarse zero （粗调）Fil. Selector （灯丝选择）Fil. On - Off （灯丝开关）EMIS （发射控制）AUDIO （声音调节）CAL.（校准控制）漏率显示粗调二位开关选择灯丝1或灯丝2开关离子源灯丝通过改变灯丝电流来调节离子源电子发射调节检漏仪板警声音Range （量程选择）Zero （调零）FIL （灯丝指示）Hi vac ok （真空度ok ）Main power （主电源）Focus （聚焦）ION （离子源控制）Residual background （残余本底）量程选择共四个档位。

氦质谱检漏仪操作规程氦质谱检漏仪操作规程一、检漏仪的常见故障及解决方法1. 漏气检测灵敏度低：检查氦气输送管道是否有泄漏，检查检漏仪保护罩是否安装正确，调整检漏仪探头的距离和角度。

2. 漏气检测结果不准确：检查检漏仪背景读数，并进行零点校准，检查漏气点的位置和状态，并使用带有氦气充装的喷嘴重新检测。

3. 检漏仪电源不工作：检查电源插头是否正确插入，检查电池是否安装正确并充电。

二、检漏仪的基本操作步骤1. 准备工作：将漏气检测仪连接到氦气供应系统，并将氦气气瓶连接到检漏仪上。

确保电源正常工作并充电。

2. 打开电源：按下电源按钮，检漏仪将开始初始化并显示相关信息。

3. 调节检测灵敏度：根据需要，通过调节检漏仪的灵敏度按钮来调整检测灵敏度。

通常，灵敏度越高，检测结果越准确，但也容易产生误报。

4. 零点校准：在开始检测之前，需要进行零点校准。

将检漏仪放在一个无气体泄漏的环境中，按下零点校准按钮进行校准。

5. 检测漏气点：将检漏仪探头靠近怀疑泄漏的部位，检测仪将开始收集氦气并进行分析。

过程中需要保持探头和被检测区域的距离适当，通常为5-10厘米。

6. 分析检测结果：检漏仪将显示漏气点的读数，并根据设定的报警值发出警报。

如果不确定结果，可以反复检测或调整探头位置。

7. 关闭电源：检测结束后，按下电源按钮关闭检漏仪，并将氦气源关闭。

三、检漏仪的安全使用注意事项1. 禁止将氦气直接吸入：氦气是惰性气体，但高浓度的氦气对人体有害。

在操作时应注意不要将氦气直接吸入，尽量避免长时间暴露在氦气环境中。

2. 避免氦气泄漏：在连接氦气供应系统时，要确保连接处紧固，避免氦气泄漏。

在检测过程中，检漏仪背景读数应为零，否则可能存在氦气泄漏，需要重新检查连接处。

3. 防止电源故障：在使用检漏仪时，应定期检查电源插头和电池的状态，确保电源正常工作。

在使用过程中，尽量避免电源过载或短路等故障。

4. 妥善保管和维护：使用完毕后，应将检漏仪存放在干燥、通风的地方，避免受潮或暴露在高温环境中。

氦质谱检漏操作规程氦质谱检漏是一种常用的高精度气体泄漏检测方法，广泛应用于各个行业的设备、管道、容器的泄漏检测。

一、操作前准备：1. 确定检测对象：确定需要检测的设备、管道或容器，并明确泄漏的位置；2. 准备仪器设备：确保氦质谱仪及其配套的氦气源、真空系统、探头等设备良好运行；3. 清洁检测对象：清除检测对象表面的油污、尘垢等物质，以免干扰检测结果。

二、操作步骤：1. 准备样品室：将需要检测的设备、管道或容器连接到氦质谱仪的样品室，保证连接口密封可靠；2. 真空抽气：打开氦质谱仪的真空系统，将检测对象及样品室内部的气体抽至真空状态，通常要求达到10^-6 Pa以下的真空度；3. 确定扫描范围：根据需要检测的泄漏位置，设置氦质谱仪的扫描范围和扫描速度，以确保能够准确检测到泄漏气体的存在；4. 进行泄漏检测：打开氦气源，将氦气加入到样品室中，同时打开氦质谱仪的检测模式，并开始进行扫描；5. 分析检测结果：根据氦质谱仪的显示结果，观察并记录泄漏信号的强度、大小和位置，以确定泄漏的具体位置；6. 确认泄漏位置：根据检测结果，排除可能的干扰因素，确定泄漏的具体位置；7. 停止泄漏检测：关闭氦气源和氦质谱仪的检测模式；8. 检修和修复：根据泄漏位置和检测结果，对泄漏位置进行维修和修复，确保设备、管道或容器的正常使用。

三、操作注意事项：1. 操作人员必须熟悉氦质谱仪的使用方法和操作规程；2. 操作过程中要注意安全，防止氦气泄漏造成爆炸危险；3. 对于高真空设备，要确保真空度达到要求后再进行泄漏检测，以免影响检测结果；4. 检测过程中要及时记录检测结果，并留下必要的检测记录和报告；5. 对于大型设备、管道或容器，可以采用分段泄漏检测的方式，以提高检测效率和准确性；6. 检测后要对设备、管道或容器进行清洁和维护，确保其正常运行。

氦质谱检漏是一种高精度、高灵敏度的泄漏检测方法，能够快速准确地定位泄漏点，提高设备、管道或容器的安全性，减少环境污染和人身伤害风险。

被检件漏孔检漏方法介绍压力容器氦质谱检漏法介绍一、概述检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。

采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。

根据不同的检漏目的，基本上有吸入法、喷吹法、背压法、真空箱法等几种常用检漏方法：1、吸入法——确定漏孔位置又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。

检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。

吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。

2、喷吹法——确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。

当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。

下图是喷吹法原理示意图。

喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不吸枪检漏仪装有氦气的压力容器装有氦气的压力容器喷枪被检件漏孔检漏仪易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。

3、 背压法——测总漏率电子元器件进行气密性检测时常用背压法。

检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。

若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。

用这种方法测得的漏率也是总漏率。

图1－7为背压法检漏示意图。

4、 真空箱法真空箱法是一种比较复杂的方法。

检漏时先将工件如上图放入真空箱中，关闭V1、V2，打开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空，如果可以在规定时间内抽到规定的真空度，说明被检工件没有大漏，反之有大漏则需要将工件拿下来检大漏。

氦质谱检漏仪安全操作及保养规程1. 引言氦质谱检漏仪是一种用于检测气体或气体混合物中微小的泄漏的仪器。

其检测灵敏度高、检测速度快，广泛应用于石油化工、航空航天、电力、制药等行业。

为确保氦质谱检漏仪的正常使用，保障操作人员的安全，延长仪器的使用寿命，制定本规程。

2. 安全操作规程2.1 前期准备操作人员应在进行检测前对仪器进行预热、泄漏检查和验气，确保仪器在良好的工作状态下。

2.2 操作流程1.打开检漏仪电源，等待仪器自检结束；2.准备好需要检测的气源，并连接到检测仪仪器端口；3.按照仪器指示操作，进行检测；4.完成检测后，关闭气源和仪器电源；5.拆卸各个管路和接头，清洗仪器和配件。

2.3 安全注意事项1.操作人员应始终保持注意力集中，防止发生意外；2.在操作过程中，必须戴上适当的防护手套和眼镜；3.在连接气源和检测仪仪器端口前，要确保气源中没有易燃易爆气体，并确认气源的压力不超过仪器的额定压力；4.操作人员不得将手指或其他物体接近检测仪仪器端口；5.使用过程中如发现仪器异常，应立即停止操作，并通知专业维修人员；3. 保养规程3.1 保养周期氦质谱检漏仪的保养周期为半年一次。

3.2 保养流程1.对仪器表面进行清洁；2.检查各个管路和接头，并使用光伏夜视镜检查能否看到泄漏；3.检查并更换仪器中的过滤器，确保其在工作性能范围内；4.对氦质谱检漏仪进行校准，保证其检测精确度。

3.3 保养注意事项1.在进行维修和保养前，必须先关闭气源和电源；2.维修和保养时，必须使用专业工具，防止人为损坏仪器；3.不得将任何液体或紫外线照射到氦质谱检漏仪的窗口处，以免损坏仪器；4.定期更换仪器中的过滤器，并确保新过滤器的性能符合要求。

4. 结论氦质谱检漏仪广泛应用于工业生产中，是保障生产安全的重要工具。

但仪器本身具有一定的风险性，因此在使用和保养过程中必须遵守相关规定，才能保障仪器的正常工作和操作人员的安全。

该规程应成为仪器使用和保养的标准流程，严格执行，以延长仪器的使用寿命、提高工作效率和检测精度。

氦质谱检漏仪操作规程一、前言二、设备准备1.检查氦质谱检漏仪是否完好无损，确认所有部位都连接牢固。

2.准备空气压缩机并将其连接到氦质谱检漏仪上。

3.确保氦气瓶和氮气瓶都充足，并将其连接到氦质谱检漏仪上。

三、操作步骤1.打开氦气瓶和氮气瓶的气阀，并逐步调整其压力，将压力控制在设备要求的范围内。

2.检查氦质谱检漏仪的电源是否正常，并将其接通。

3.打开气源系统，确保氦气和氮气顺利进入系统。

4.启动空气压缩机，使其通过高强度过滤器将气体吹洗，保持系统清洁。

5.将被测设备与氦质谱检漏仪连接，确保连接口密封良好。

6.打开氦质谱检漏仪的控制面板，选择合适的检漏模式和参数。

四、操作注意事项1.在操作整个过程中，必须随时注意保持设备和周围环境的安全。

2.在操作前必须穿戴好相关的个人防护设备。

3.在操作过程中，不得随意拆卸或更换任何设备部件。

4.操作人员应该保持专注，避免分心或麻痹大意。

5.使用氦质谱检漏仪时，应避免将火焰和高温物体接近其表面。

6.任何发现的异常情况都必须及时向相关部门汇报。

五、事故处理和紧急措施1.若发现气体漏洞，应立即停止使用氦质谱检漏仪，关闭所有操作开关，并迅速离开现场。

2.在紧急情况下，应立即关闭氦气和氮气的气阀，并迅速通知紧急人员。

3.若发生火灾等危险情况，应按照紧急预案执行相应的措施。

六、设备维护1.定期对氦质谱检漏仪进行检修和清洁，确保其正常运行。

2.不定期更换氦气和氮气瓶，确保其充足。

3.定期对氦质谱检漏仪进行校准，确保其准确性和可靠性。

七、结语氦质谱检漏仪是一种精确的仪器，可以用于检测和定位气体漏洞。

遵循以上操作规程，保证了氦质谱检漏仪的正常使用和操作安全，有助于提高工作效率和保护人员的安全。

同时，合理维护和定期校准氦质谱检漏仪，可保证其长久的使用寿命和准确性。

ZQJ-230D氦质谱检漏仪企业通过ISO 9001质量管理体系认证ZQJ-230D型氦质谱检漏仪使用说明书目录第一部分仪器介绍1.1外观尺寸.................................................1-1 1.2仪器结构.................................................1-11.2.1 质谱室..............................................1-31.2.1.1 离子源.........................................1-31.2.1.2 磁分析器.......................................1-41.2.1.3 接收极与前置放大器.............................1-41.2.1.4 全离子检测极...................................1-41.2.2 真空系统............................................1-51.2.2.1 机械泵.........................................1-51.2.2.2 涡轮分子泵.....................................1-61.2.2.3 组合阀.........................................1-71.2.2.4真空测量.......................................1-81.2.3 电气系统............................................1-81.2.3.1 电子机柜.......................................1-81.2.3.2 操作台板......................................1-101.2.3.3 电磁阀电源箱..................................1-121.3 仪器主要性能参数.......................................1-131.4 仪器使用环境条件.......................................1-131.5 仪器成套性.............................................1-14 第二部分使用方法.....................................2-12.1 开箱...................................................2-12.2 操作前准备.............................................2-12.3 安装...................................................2-22.4 操作...................................................2-22.4.1 首次开机..........................................2-22.4.2 氦峰调试与漏率校准................................2-32.4.3 喷吹法检漏........................................2-62.4.3.1 正常检漏操作(≤10Pa........................2-62.4.3.2 高压检漏操作(10~20Pa......................2-72.4.3.3 延长预抽时间..................................2-72.4.3.4 超高压检漏(>20Pa...........................2-82.4.4 吸枪检漏...........................................2-82.5 停机....................................................2-92.5.1 维持备用..........................................2-92.5.2 完全停机.........................................2-10 第三部分维护.......................................3-13.1 漏率校准...............................................3-13.2 真空维护与清洗.........................................3-1 目录III3.2.1 机械泵油面观测.....................................3-1 3.2.2 更换机械泵油.......................................3-1 3.2.3 分子泵加注润滑油...................................3-2 3.2.4 清洗分子泵.........................................3-23.2.5 清洗质谱室.........................................3-23.2.6 更换离子源........................................3-113.2.7 清洗组合阀........................................3-123.3 电子部件调整...........................................3-13 3.3.1 发射调节..........................................3-133.3.2 离子源电压校正....................................3-13 3.3.3 热偶规管调整......................................3-14 3.3.4 过压保护调节......................................3-14 3.3.5 分子泵启动设置....................................3-15 3.3.6 漏率显示放大器调整................................3-15 3.3.7 检查前置放大器供电................................3-15 3.4 检验氦本底.............................................3-163.5 仪器泄漏自检...........................................3-16 第四部分常见故障及处理.............................4-14.1 正常运转与故障判断.....................................4-14.2 故障检查与排除.........................................4-3 附录A ZQJ-230D氦质谱检漏仪的工作原理...............A-1A.1 质谱原理.................................................A-1A.2 真空系统原理.............................................A-2A.3 电子学线路的原理.........................................A-5 附录B 氦质谱检漏仪的检漏方式和检漏方法..............B-1B.1 检漏方式................................................B-1B.2 检漏方法................................................B-2B.2.1 喷吹法--确定漏孔位置..............................B-2B.2.2 吸入法——确定漏孔位置..............................B-2B.2.3 钟罩法——测总漏率..................................B-3B.2.4 背压法——测总漏率..................................B-3 附录C 压强和漏率单位换算IV目录KYKY ZQJ-230D 氦质谱检漏仪第一部分仪器介绍 1-1第一部分仪器介绍ZQJ -230D 型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的完整仪器。

氦气检漏仪的使用方法氦气检漏仪是一种广泛应用于各个领域的检漏工具，它具有高灵敏度、易于操作等特点。

下面我们来详细了解一下氦气检漏仪的使用方法：1. 准备工作在使用氦气检漏仪之前，需要准备好以下工具和设备：- 氦气瓶：存放氦气的容器，氦气检漏仪通常都需要使用高纯度的氦气；- 氦气检漏仪：检测气体泄漏的仪器；- 真空泵：用于制造真空环境的设备，检测和定位泄漏时需要使用；- 气密密封装置：用于固定测试物件，保证测试过程的可靠性；在准备好上述工具和设备后，需要将氦气瓶与气密密封装置连接起来，并将气密密封装置放置于需要检测的物件上方。

2. 调试仪器连接好氦气瓶后，需要对检漏仪进行调试。

首先需要将检漏仪调到合适的灵敏度，通常情况下可以选择低灵敏度进行测试。

接着，需要设置氦气压力和泵速，压力和泵速设置需要根据不同的测试场合进行调整，以达到最佳的检测效果。

3. 开始检漏当调试完成之后，就可以进行检漏操作了。

首先需要将测试物件封闭和密封，保证测试结果的准确性。

然后，打开氦气瓶，使氦气进入到测试物件中，同时打开真空泵，制造真空环境。

在测试过程中，需要保持测试物件密封，避免氦气外泄。

当检测到氦气外泄时，检测仪器就会报警，提示外泄的位置。

此时可以根据报警信号的强度来确定外泄的严重程度，并用手持探测器进行进一步的定位。

4. 维护工作在使用氦气检漏仪时，需要注意以下几点：- 氦气瓶和气密密封装置需要保持清洁干净，以免影响测试结果；- 检漏仪器需要定期校准并维护，以确保其检测精度；- 检测时需要注意安全，以免因氦气泄漏造成安全事故；- 检测结束后，需要关闭氦气瓶和真空泵，取下气密密封装置并将测试物件清洗干净。

氦气检漏仪是一种高效、可靠的检漏工具，可以广泛应用于液压系统、冷库、制冷空调、真空设备等领域中。

正确使用氦气检漏仪不仅可以保证测试结果的准确性，还能有效提高工作效率和生产质量。

氮质谱检漏仪（逬口）
日常保养（一级保养）： 作业前
检查机器设备表面是否有杂物,电源插座连接口、检漏口连接是否完好
打开电源,启动并按项目检测要求设备相关的检测参数
每周一次，进行设备的自检，并在机器内部保存相关的自检数据 作业中
操作人员要求时刻注意检漏仪的运转情况,发现故障立即停机。

首先进行自我排查,根据出错的故障代码寻找错误点,并根据错误代码提示进行故障排 除，如不能解决，则报修。

作业结頑
将借口脱卸，盖上防尘盖，存放到指定地点。

清洁设备表面的灰尘（用干布擦拭,绝不允许出现湿布）,打扫作业场所。

设备清理完毕后，盖好公司配给的防尘盖,防止灰尘进入机器内部 二级保养（周末或节假日前）
打开机盖,用干燥的压缩空气进行机内灰尘清理，保障机器设备的散热与绝缘性能（本 司产生的粉尘含铁，进入机器内部容易引起故障。

对真空管路清洗,更换Prina P1\P2灯丝，保障机器设备本身的检测精度。

拆卸分子泵，更换轴承、油棉、密封件等易损件，对分子泵进行内部清洗，矫正。

保 养完毕后进行12小时抽真空，分子泵真空性能测试。

阀组的清洗与密封件的更换,防止阀组泄露,影响检测精度。

1
1.1 1.1.1 1.1.2 1.1.3 1.2 1.
2.1
1.2.2 1.3 13.1 1.3.2
1.3.3 2
2.1
2.2 23
2.4。

氦质谱检漏仪操作规程《氦质谱检漏仪操作规程》一、引言氦质谱检漏仪是一种专业用于检测密闭容器和管道系统泄漏的仪器。

它利用氦气作为探测气体，通过质谱分析技术来检测微小泄漏。

正确的操作规程能够确保检测的准确性和可靠性，提高工作效率。

二、操作规程1. 准备工作：检测前需要确认被检测系统已断开氦气供应，并且处于密闭状态。

检测仪器也需要连接好电源和氦气供应管路。

同时，在进行实际操作之前，需要对界面软件进行启动和设置。

2. 仪器校准：启动检测仪器后，需要进行系统的自动校准，确保各项参数的正常工作。

包括氦气流量、真空泵运转状态、质谱仪的灵敏度等。

同时还需要对氦气的纯度进行测试，并记录相关数据。

3. 检测操作：将检测仪器放置在被检测系统附近，打开氦气供应阀门，开始充入氦气。

在氦气充入的过程中，观察质谱仪的数据显示，一旦出现氦气浓度异常升高的现象，即可判定系统存在泄漏。

并且质谱仪会自动记录并报警。

4. 结果分析：当检测结束后，需要对检测仪器的数据进行分析。

包括泄漏位置、泄漏程度等情况。

同时也需要对数据进行记录和存档。

5. 整理仪器：检测完成后，及时关闭氦气供应管路，关闭仪器电源，并对仪器进行整理清洁。

同时还需要进行定期的维护和保养。

三、注意事项1. 操作人员需要经过专业培训，并严格按照操作规程进行操作。

2. 在使用时，需要对仪器进行定期的校准。

3. 在检测过程中需要保持现场通风良好，避免仪器受到污染。

4. 检测仪器需放置在平稳的工作台上，避免因振动引起误差。

通过严格按照《氦质谱检漏仪操作规程》进行操作，能够有效提高检测的准确性和可靠性，保障设备和系统的正常运行。