稳定性-重复性

传感器动态和静态主要技术指标技术指标是表征一个产品性能优劣的客观依据。

看懂技术指标，有助于正确选型和使用该产品。

传感器的技术指标分为静态指标和动态指标两类。

静态指标主要考核被测静止不变条件下传感器的性能，具体包括分辨力、重复性、灵敏度、线性度、回程误差、阈值、蠕变、稳定性等。

动态指标主要考察被测量在快速变化条件下传感器的性能，主要包括频率响应和阶跃响应等。

由于传感器的技术指标众多，各种资料文献叙述角度不同，使得不同人有不同的理解，甚至产生误解和歧义。

为此，以下针对传感器的几个主要技术指标进行解读：1、分辨力与分辨率：定义：分辨力（ResoluTIon）是指传感器能够检测出的被测量的最小变化量。

分辨率（ResoluTIon）是指分辨力与满量程值之比。

解读1：分辨力是传感器的最基本的指标，它表征了传感器对被测量的分辨能力。

传感器的其他技术指标都是以分辨力作为最小单位来描述的。

对于具有数显功能的传感器以及仪器仪表，分辨力决定了测量结果显示的最小位数。

例如：电子数显卡尺的分辨力是0.01mm，其示指误差为±0.02mm。

解读2：分辨力是一个具有单位的绝对数值。

例如，某温度传感器的分辨力为0.1℃，某加速度传感器的分辨力是0.1g等。

解读3：分辨率是与分辨力相关而且极为相似的概念，都表征了传感器对被测量的分辨能力。

二者主要区别在于：分辨率是以百分数的形式表示传感器的分辨能力，它是相对数，没有量纲。

例如上述温度传感器的分辨力为0.1℃，满量程为500℃，则其分辨率为0.1/500=0.02%。

2、重复性：定义：传感器的重复性（Repeatability）是指在同一条件下、对同一被测量、沿着同一方向进行多次重复测量时，测量结果之间的差异程度。

也称重复误差、再现误差等。

解读1：传感器的重复性必须是在相同的条件下得到的多次测量结果之间的差异程度。

如果测量条件发生变化，测量结果之间的可比性消失，不能作为考核重复性的依据。

欢迎共阅1：计量标准的重复性、稳定性考核一、概述计量标准是准确度低于计量基准，用于检定或校准其他计量标准或者工作计量器具的计量器具，它处于国家量值传递（溯源）体系的中间环节，起承上启下的作用。

因此，计量标准在使用前必须依照JJF1033《计量标准考核规范》的要求，进行各项技术准备，使计量标准符合规范的要求并通过考核。

下面主要介绍计量标准的重复性、稳定性考核的内容。

二、计量标准的重复性考核果不大于新建计量标准时的重复性，则重复性符合要求；如果重复性试验结果大于新建计量标准时的重复性时，应按照新的重复性结果重新进行检定或校准结果的测量不确定度评定，并判断检定或校准结果的测量不确定度是否满足被检定或校准对象的需要。

4．《计量标准的重复性试验记录》参考格式及填写说明（1）《计量标准的重复性试验记录》参考格式申请考核单位原则上应当按照本参考格式填写。

如果本参考格式不适用，申请计量标准考核单位可以自行设计《计量标准的重复性试验记录》格式，但是不应少于参考格式规定的内容。

《计量标准的重复性试验记录》参考格式：的重复性试验记录953．核查标准的选择在计量标准稳定性的测量过程中还不可避免地会引入被测对象对稳定性测量的影响，为使这一影响尽可能地小，必须选择一稳定的测量对象来作为稳定性测量的核查标准。

核查标准的选择大体上可以按下述几种情况分别处理：（1）被检定或被校准的对象是实物量具。

在这种情况下可以选择一性能比较稳定的实物量具作为核查标准。

（2）计量标准仅由实物量具组成，而被检定或被校准的对象为非实物量具的测量仪器。

实物量具通常可以直接用来检定或校准非实物量具的测量仪器，并且实物量具的稳定性通常远优于非实物量具的测量仪器，因此在这种情况下可以不必进行稳定性考核。

但需画出计量标准器所提供的标准量值随时间变化的曲线，即计量标准器稳定性曲线图。

（3）计量标准器和被检定或被校准的对象均为非实物量具的测量仪器。

如果存在合适的比较稳定的对应于该参数的实物量具，可以用它作为核查标准来进行计量标准的稳定性考核。

品质控制中的稳定性与重复性分析在品质控制过程中，稳定性与重复性分析是关键步骤之一。

稳定性是指在一定时间内，同一产品或过程的性能是否能够保持在相对稳定的水平上，而重复性则是指在一定条件下，对同一产品或过程进行多次测试所得到的结果之间的变异程度。

稳定性与重复性分析是为了确保产品或过程在不同时间、不同地点以及不同操作者的条件下都能保持一致的品质水平。

通过分析稳定性与重复性，我们能够评估品质控制系统的有效性，及时发现问题并采取措施进行改进。

在进行稳定性与重复性分析时，首先需要选择合适的样本大小和样本时段。

样本大小应该足够大，以确保统计结果的准确性。

样本时段则需根据实际情况来确定，一般建议选择能够涵盖不同季节、不同批次或不同工作班次等变化的时段。

对于稳定性的分析，可以采用控制图的方法。

控制图是一种常用的品质控制工具，通过绘制出连续的抽样数据点并与控制限进行比较，可以判断过程的稳定性。

常见的控制图包括X-控制图、R-控制图和S-控制图。

在进行重复性分析时，可以使用方差分析（ANOVA）方法。

方差分析是一种统计方法，用于比较各个样本之间的变异程度是否显著。

通过方差分析可以确定重复性的水平以及是否存在显著差异。

除了使用统计方法进行稳定性与重复性分析外，还可以采用其他质量管理方法。

例如，可以选择合适的质量指标来进行监控和评估，比如平均值、标准差、偏倚度、峰度等。

还可以使用检验工具如假设检验、T检验等来进一步分析稳定性与重复性。

在执行稳定性与重复性分析时，需要注意一些注意事项。

对于样本的选择要具有代表性，确保样本能够反映整个产品或过程的品质水平。

需要严格按照检测方法和操作规程进行测试，确保数据的准确性和可靠性。

还需要定期进行数据的收集和分析，及时发现异常情况并采取相应的措施进行处理。

总而言之，稳定性与重复性分析是品质控制过程中不可或缺的环节。

通过有效的稳定性与重复性分析，我们可以评估品质控制系统的有效性，发现问题并采取措施进行改进，从而确保产品或过程的品质稳定。

电阻应变片选择原则电阻应变片是一种用于测量力和压力的传感器。

它的工作原理是利用金属电阻的电阻值随应变而变化的特性来测量和记录所受到的力或压力。

选择合适的电阻应变片对于确保测量的准确性和稳定性非常重要。

下面是选择电阻应变片时应注意的几个原则。

1.测量范围：电阻应变片的测量范围应与实际测量力或压力的范围相匹配。

如果超出了电阻应变片的测量范围，可能会发生线性关系失真或甚至损坏传感器的情况。

因此，在选择电阻应变片时必须确保其额定范围能够满足实际应用需求。

2.灵敏度和分辨率：灵敏度是指电阻应变片对于应变的反应能力。

通常情况下，灵敏度越高，测量结果越精确。

选择电阻应变片时，应考虑所需的测量精度和分辨率，并选择具有适当灵敏度的传感器。

3.环境适应性：电阻应变片的工作环境可能会受到温度、湿度、压力等因素的影响。

因此，在选择电阻应变片时，需要考虑传感器的环境适应性。

例如，对于高温环境下的应用，需要选择耐高温的电阻应变片。

4.机械适应性：电阻应变片通常需要与其他机械部件结合使用，例如弹簧、支撑板等。

因此，在选择电阻应变片时，需要考虑适应性和兼容性。

这包括尺寸、形状和连接方式等因素。

5.稳定性和重复性：电阻应变片的稳定性和重复性是指传感器在相同条件下测量结果的一致性。

稳定性和重复性越好，测量结果越可靠。

在选择电阻应变片时，应注意其稳定性和重复性的指标，并选择具有良好稳定性和重复性的传感器。

6.成本效益：成本效益是指传感器的性能与价格之间的关系。

在选择电阻应变片时，应综合考虑其性能和价格，并选择性能与价格相匹配的传感器，以获得最佳的成本效益。

除了以上的原则，还应注意选择具有良好品质和可靠供应商的电阻应变片。

这可以保证传感器的品质和售后服务，并降低因传感器质量问题引起的风险和损失。

综上所述，选择电阻应变片时应考虑其测量范围、灵敏度和分辨率、环境适应性、机械适应性、稳定性和重复性以及成本效益等因素。

同时，选择具有良好品质和可靠供应商的传感器也是非常重要的。

互换性测量中的重复性和稳定性互换性是指同一测量方法在不同实验条件下所得结果之间的一致性和可比性。

在实施互换性实验时，我们通常会关注两个关键指标，即重复性和稳定性。

一、重复性重复性指的是进行多次测量时，相同条件下所得结果之间的一致性。

它是评估测量方法的随机误差的重要指标。

重复性好，说明测量方法的随机误差较小，结果更加可靠。

实现重复性的关键在于控制实验条件的稳定性，使各次测量得到的数据受到的干扰尽量减小。

为此，我们可以采取以下措施：1. 确保测量设备的精度和准确性。

在进行互换性实验前，需要对测量设备进行校准，以确保其精度和准确性达到要求。

2. 选择合适的实验环境。

需要选择一个温度、湿度等环境条件稳定的实验场所，避免环境因素对实验结果产生干扰。

3. 控制实验流程的一致性。

在进行多次测量时，需要确保实验流程的一致性，避免实验过程中的人为因素对结果产生影响。

4. 增加测量次数。

通过增加测量次数，可以进一步减小随机误差的影响，提高重复性。

二、稳定性稳定性指的是测量结果在长时间内的变化情况。

它是评估测量方法的系统误差的重要指标。

稳定性好，说明测量方法的系统误差较小，结果更加准确。

为了提高测量方法的稳定性，我们可以采取以下措施：1. 建立稳定的实验条件。

在进行长时间测量时，需要保持实验条件的稳定性，避免外界因素对结果的干扰。

2. 进行周期性校准。

定期对测量设备进行校准，以确保其精度和准确性保持在可接受范围内。

3. 持续监测和记录。

在长时间测量过程中，需要持续监测和记录测量结果，及时发现和排除异常值，确保数据的准确性和可靠性。

4. 采用稳定的测量方法。

选择经过验证和稳定的测量方法，避免频繁更换方法导致结果的不一致性。

总结：重复性和稳定性是互换性测量中需要关注的重要指标。

通过控制实验条件的稳定性和持续监测和记录测量结果，我们可以提高测量方法的重复性和稳定性，从而获得更加可靠和准确的测量结果。

在实际应用中，我们应该根据不同的测量方法和实验条件，采取适当的措施来提高互换性实验的重复性和稳定性，以确保结果的可比性和一致性。

测量标准重复性和稳定性的评定方法张昌俊(北京特种车辆研究所,北京100072)摘　要　本文介绍了测量标准重复性和稳定性评定的常规方法,分析了这种方法的局限性,提出了几种新的评定方法。

关键词　测量标准　重复性　稳定性 在建立新的测量标准或者对测量标准申报考核前,需要对测量标准的重复性和稳定性进行评定。

根据C JB/J2749—96《建立测量标准技术报告的编写要求》被测量的重复性应好于测量标准合成不确定度的2/3,稳定性应好于测量标准合成标准不确定度。

在进行测量不确定度评定时,重复性还应作为不确定度的一个来源。

因此,正确评定测量标准的重复性和稳定性是一项重要工作。

C JB/J2749—96《建立测量标准技术报告的编写要求》推荐了一种评定测量标准重复性和稳定性的方法,即下文将介绍的被检测量器具法,但这种方法具有一定的局限性。

本文结合实际工作,针对不同类型的测量标准提出了不同的评定方法。

这些方法对其他测量标准重复性和稳定性的评定也具有一定的参考作用。

一、被检测量器具法11重复性:测量标准的重复性是指在相同测量条件下,测量标准对重复使用的被测量提供非常相近的示值的能力[2]。

选一稳定的被测量或被检测量器具,在短时间内重复测量n(n≥6)次,测得n个观测值x i,由式(1)计算实验标准偏差,用s(x)表示[3]。

s(x)=1n-1∑ni=1(x i- x)2(1)例如,为评定二等砝码标准装置的重复性,取一个50mg的F2等被检砝码在标准装置(50mg二等砝码、TC128天平)上短时间内重复测量10次,得到折算质量修正值如下:x i(mg):0103,0104,0104,0103,0104,0104, 0104,0103,0103,0104; x i=01036mg;s n(x)=010052mg。

21稳定性:测量标准的稳定性是指测量标准保持其计量特性持续恒定的能力[2]。

选一长期稳定性好的被测量或被检测测量器具,每隔一个月用测量标准重复观测,每次都测n 次(n≥6),分别计算测量平均值 x j,共测m(m≥4)个月,计算m个月平均值的平均值 x m,由公式(2)计算标准偏差,即为长期稳定性,用s m( x j)表示[3]。

测量系统分析报告MSA五性在制造业和质量控制领域，测量系统分析（Measurement System Analysis，简称 MSA）是一项至关重要的工作。

它有助于确定测量设备、方法和操作人员是否能够准确可靠地获取数据，从而保证产品质量和生产过程的稳定性。

MSA 通常包括五个特性的评估，即准确性、精确性、稳定性、重复性和再现性。

接下来，让我们详细了解一下这五个特性。

一、准确性（Accuracy）准确性是指测量结果与真实值之间的接近程度。

简单来说，就是测量是否正确。

如果一个测量系统的准确性差，那么即使测量结果很稳定和精确，也无法提供有价值的信息。

要评估测量系统的准确性，通常会使用偏倚（Bias）这个概念。

偏倚是测量值的平均值与参考值之间的差异。

例如，我们用一把尺子去测量一个标准长度为 10 厘米的物体，如果多次测量的平均值是 98 厘米，那么就存在－02 厘米的偏倚。

为了减少偏倚，提高准确性，我们需要对测量设备进行定期校准，确保其与标准值保持一致。

同时，操作人员的培训和正确的测量方法也对准确性有着重要的影响。

二、精确性（Precision）精确性反映的是测量结果的重复性和再现性。

重复性（Repeatability）指的是在相同条件下，由同一个操作人员使用同一测量设备对同一零件进行多次测量所得结果的一致性。

而再现性（Reproducibility）则是不同操作人员、不同测量设备或在不同环境条件下对同一零件进行测量所得结果的一致性。

如果一个测量系统的精确性好，那么无论谁来测量，或者在什么条件下测量，得到的结果都应该非常接近。

例如，在测量一个零件的尺寸时，如果同一个人多次测量的结果差异很小，或者不同的人测量的结果也很相近，那么这个测量系统的精确性就比较高。

为了提高精确性，我们需要选择合适的测量设备和测量方法，同时对操作人员进行充分的培训，减少人为因素的影响。

三、稳定性（Stability）稳定性是指测量系统在一段时间内保持其性能的能力。

陀螺仪检验方法陀螺仪是一种广泛应用于航空航天、导航系统、惯性导航等领域的传感器，用于测量角速度和角度变化。

它的工作原理是通过感应旋转的力矩来检测物体的转动。

由于其在各个领域的重要性，对陀螺仪的准确性和可靠性的检验显得尤为重要。

下面我们将介绍一些常见的陀螺仪的检验方法。

1.环境温度测试：陀螺仪的性能受环境温度变化的影响较大，因此在检验之前需要对其在不同温度下的性能进行测试。

一种常见的方法是将陀螺仪放置在恒温箱中，通过逐步提高温度或降低温度来模拟不同的工作温度，然后对陀螺仪的输出进行监测和记录，以评估其温度稳定性和性能。

2.角速度精度测试：陀螺仪的主要功能是测量角速度，因此角速度精度是其最重要的指标之一。

通常采用基准陀螺仪或精密加速度计作为参考，将待检验陀螺仪与参考仪器同时连接在同一测试平台上，并进行角速度输入。

通过比较待检验陀螺仪和参考仪器的输出，计算其误差，来评估陀螺仪的角速度精度。

3.初始校准误差测试：陀螺仪的初始校准误差是指在其初始启动时由于制造或安装原因引起的误差。

为了准确测量角度变化，陀螺仪的初始校准非常重要。

常见的测试方法是将陀螺仪安装在一个可以自由转动的平台上，然后对其进行起动和停止操作，并记录其输出值。

通过分析输出值的变化，可以评估陀螺仪的初始校准误差。

4.动态性能测试：陀螺仪在实际应用中往往需要承受各种复杂的运动和振动，在这些情况下，其动态性能是一个关键指标。

常见的方法是将陀螺仪安装在机械臂或转台上，通过控制机械臂或转台的运动来产生特定的加速度和角速度输入，然后记录陀螺仪的输出。

通过分析输出和输入之间的差异，可以评估陀螺仪的动态性能。

5.稳定性和重复性测试：陀螺仪的稳定性和重复性是指其在多次测量中输出值的一致性。

为了测试陀螺仪的稳定性和重复性，常见的方法是对同一角度或角速度进行多次测量，并计算其平均值和标准偏差。

通过分析平均值和标准偏差的变化，可以评估陀螺仪的稳定性和重复性。

综上所述，陀螺仪的检验方法包括环境温度测试、角速度精度测试、初始校准误差测试、动态性能测试以及稳定性和重复性测试。

一二三四五测量结果的重复性、复现性与测量器具的稳定性三者之间的区别 测量结果的重复性、测量结果的复现性、测量器具的稳定性是因概念和方法上的相似性，容易造成混淆，本文介绍三者在实际应用中的区别。

对测量时间要求的区别 表征测量结果的重复性，要求在重复条件下短时间内重复测量;表征测量器具的稳定性，则一般需要较长时间间隔，或者直接用计量特性变化到某个规定的量所经过的时间来表征;表征测量结果的复现性则通常按测量时间是否变化分为两种情况，一种是测量时间不变，其它条件变化;一种是测量时间变化，其它测量条件变化。

对测量过程控制要求的区别 表征测量结果的重复性要求测量过程中，相同条件而且连续测量;表征测量结果的复现性通常变化一种测量条件，其它测量条件不得改变;表征测量器具的稳定性，从概念上理解，是除测量时间间隔要求外，其它测量条件是不应改变的。

定量表示方式的区别 测量结果重复性，只有一组测量结果，用这组测量结果的实验标准偏差来表征测量结果的重复性，称为组内标准偏差。

测量结果复现性，则根据变化条件的不同有着数组测量结果，每一组要表示出变化的测量条件是什么，而且通常要对测量结果进行修正，每一组测量结果对应一个组间标准偏差。

测量器具稳定，一种是用计量特性变化到规定的量所需时间表示，一种是用规定时间后计量特性变化的量表示。

应用范围大小的区别 测量器具稳定性，只能用来表征测量器具的计量特性;测量结果重复性，既可用来检验测量器具的计量特性，也可检验被测量的变化情况(同一被测量不等于被测量一点都不改变)，还可以在已知被测量变化程度的情况下，检验测量人员的测量技能;同时还可以检验有计算机软件控制测量过程的测量器具，其软件性能是否稳定。

在计量工作中作用的区别 在计量检定和校准工作中，首先要明确测量的目的，是检验测量器具的计量特性，还是针对其他测量条件，如测量原理、测量程序、测量方法、测量人员技能、环境温湿度等的不同对测量结果的影响;其次在每次测量结果出来后，保持好原始记录，在一定时间后，用这些测量结果，根据测量条件的变化情况分成不同的数据组，运用数据统计分析技术，能够在减少工作量的情况下，反映出测量器具的计量特性、测量人员的技能、测量所采用的软件性能是否稳定可靠等，直接关系到测量结果可信度等诸多问题。

测量标准重复性和稳定性的评定方法张昌俊(北京特种车辆研究所,北京100072)摘　要　本文介绍了测量标准重复性和稳定性评定的常规方法,分析了这种方法的局限性,提出了几种新的评定方法。

关键词　测量标准　重复性　稳定性 在建立新的测量标准或者对测量标准申报考核前,需要对测量标准的重复性和稳定性进行评定。

根据C JB/J2749—96《建立测量标准技术报告的编写要求》被测量的重复性应好于测量标准合成不确定度的2/3,稳定性应好于测量标准合成标准不确定度。

在进行测量不确定度评定时,重复性还应作为不确定度的一个来源。

因此,正确评定测量标准的重复性和稳定性是一项重要工作。

C JB/J2749—96《建立测量标准技术报告的编写要求》推荐了一种评定测量标准重复性和稳定性的方法,即下文将介绍的被检测量器具法,但这种方法具有一定的局限性。

本文结合实际工作,针对不同类型的测量标准提出了不同的评定方法。

这些方法对其他测量标准重复性和稳定性的评定也具有一定的参考作用。

一、被检测量器具法11重复性:测量标准的重复性是指在相同测量条件下,测量标准对重复使用的被测量提供非常相近的示值的能力[2]。

选一稳定的被测量或被检测量器具,在短时间内重复测量n(n≥6)次,测得n个观测值x i,由式(1)计算实验标准偏差,用s(x)表示[3]。

s(x)=1n-1∑ni=1(x i- x)2(1)例如,为评定二等砝码标准装置的重复性,取一个50mg的F2等被检砝码在标准装置(50mg二等砝码、TC128天平)上短时间内重复测量10次,得到折算质量修正值如下:x i(mg):0103,0104,0104,0103,0104,0104, 0104,0103,0103,0104; x i=01036mg;s n(x)=010052mg。

21稳定性:测量标准的稳定性是指测量标准保持其计量特性持续恒定的能力[2]。

选一长期稳定性好的被测量或被检测测量器具,每隔一个月用测量标准重复观测,每次都测n 次(n≥6),分别计算测量平均值 x j,共测m(m≥4)个月,计算m个月平均值的平均值 x m,由公式(2)计算标准偏差,即为长期稳定性,用s m( x j)表示[3]。

建标技术报告中的重复性和稳定性考核建表中的重复性和稳定性考核数据的后延就是核查的数据，一直沿用下来的。

按照相关要求，建标报告中的数据应是最近的，如果你是复查考核，可以直接引用你核查的数据的，肯定不能是第一次建表时的数据。

由于要沿用为核查的数据，因此选点要选好！建标技术报告中的重复性和稳定性考核结果就是建标时的所做的数据，保持不变，永不改动，要终生存档，保存在该计量标准的“文件集”中，不得改动和销毁。

建标后，每年都应该对已建计量标准进行重复性和稳定性考核，每年的考核结果也应该存档，保存在该计量标准的“文件集”中。

以后复查考核所做重复性和稳定性试验可以用距离复查考核时间最近的一次重复性和稳定性考核结果为依据。

因此，在复查时所要提交的材料中相对于建标时的考核数据而言是另外给出的。

如果实在无法找到核查标准对已建计量标准进行稳定性考核，也可用历年计量标准向上送检的相邻两年检定结果之差作为该计量标准稳定性考核结果。

建标技术报告中的重复性和稳定性考核结果就是建标时的所做的数据，保持不变，永不改动，要终生存档，保存在该计量标准的“文件集”中，不得改动和销毁。

建标后，每年都应该对已建计量标准进行重复性和稳定性考核，每年的考核结果也应该存档，保存在该计量标准的“文件集”中。

以后复查考核所做重复性和稳定性试验可以用距离复查考核时间最近的一次重复性和稳定性考核结果为依据。

因此，在复查时所要提交的材料中相对于建标时的考核数据而言是另外给出的。

如果实在无法找到核查标准对已建计量标准进行稳定性考核，也可用历年计量标准向上送检的相邻两年检定结果之差作为该计量标准稳定性考核结果。

建标技术报告中的重复性和稳定性是有所做的时间的，那就是历史证据，那是不能改变的历史事实。

比如你的压力表技术报告，建标时间是在八几年的话，这就是历史事实了，当时的考核记录无法更改。

但时间像流水不停地前进，你每年必须对已建标准进行重复性和稳定性考核，每年的考核结果是有差异的。

拉曼光谱仪（Renishaw inVia）检定规程光谱稳定性与重复性repeatability，（重复性是考验仪器的最重要指标之一, 此检测条件与仪器设计无关）重复性：光栅动。

每次检测，光栅从0波数到最大波数移动，再回到检测位置（0波数）。

使用表面抛光的单晶硅，扫描范围：100 ~ 4500 cm-1，（不能采用光栅先回到-4000cm-1，再定位到0波数扫描的方式），重复不少于30次。

观测硅一阶峰中心位置重复性好于<= ±？cm-1 。

稳定性：光栅不动，（此试验较为容易），使用表面抛光的单晶硅，扫描范围：100 ~ 1000，重复不少于30次，观测硅一阶峰中心位置重复性好于<= ±？cm-1 。

仪器灵敏度：Sensitivity :一般性实验条件：检测硅三阶峰，（信噪比越高越好）检测条件为：激光输出功率约为20mw，波长514nm 或532nm ，狭缝宽度50微米, 曝光时间60秒，累加次数5次，（或曝光时间100秒，累加次数3次，）光栅刻线为大于等于1800刻线。

binning = 1，显微镜头为X50 或X100。

高分辨或共焦实验条件：检测硅三阶峰（信噪比越高越好）检测条件为：激光输出功率约为20mw，波长514nm 或532nm，狭缝宽度( Renishaw <= 20微米)；曝光时间60秒，累加次数5次，（或曝光时间100秒，累加次数3次，）光栅为大于等于1800刻线。

binning = 1，显微镜头为X50 或X100。

空间分辨率：Spatial resolution横向XY，样品为硅片锐利边缘。

纵向Z，样品为硅片。

检验标准：使用表面抛光的单晶硅做样品，采用100×物镜，垂直硅片断裂边做线Mapping，Mapping步长0.2um，记录硅520拉曼信号强度在扫描经过硅片边界过程的变化曲线，强度从最弱到最强变化经过的空间距离的一半为横向空间分辨率；对硅片表面进行深度序列扫描，扫描范围从表面以上10um到便面以下10um，步长为1um，记录硅520拉曼信号的强度变化，强度变化曲线的半高全宽（FWHM）为纵向空间分辨率。