一些常见薄膜和基底不同波长下的折射率和消光系数
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颜色与折射率反射率的关系页数:2
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折射率页数:8
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TiO2薄膜
TiO2薄膜在λ＝640nm 处的光学常数与基底温度间的函数关系见表4-8。
表4-8 TiO2薄膜在波长λ=640nm处的光学常数(膜厚d,折射率nf,消光系数k)与基底温度间Ts的函数关系基底温度/℃d=140nm d=280nm 基底温度/℃d=140nm d=280nm n k n k n k n k室温 2.21 0.003 2.21 0.001 175 2.25 0.021 2.31 0.003 100 2.22 0.007 2.26 0.002 250 2.31 0.012 2.45 0.004通过对Ti2O3、Ti3O5和TiO2蒸气的质谱研究表明，其蒸气是由不同的原子或分子组成的。
在初始膜料为TiO的蒸气相中，检测到了近似相等的Ti和TiO 的原子和分子，而不存在TiO2分子。
当大量蒸发TiO初始膜料时，其蒸气中Ti 原子随之减少。
通过蒸发舟残余膜料氧含量富有位置的分析表明，其固态相是TiO、Ti2O3或只是Ti2O3。
在以Ti2O3 作为初始膜料时，在其蒸气中检测出Ti、TiO 和TiO2的分子。
Ti2O3初次（2次以下）锅底料岐化主要反应为：Ti2O3 真空高温 TiO+ TiO2，岐化反应平衡压力p（Pa）与温度T(K)的关系式为：㏒（pTiOpTiO2）= 32.77- 65357T-1 –0.00132TTi2O3岐化反应平衡压力计算值符合表4-9。
表4-9 不同温度TiO2歧化反应平衡压力/Pa平衡压力名称t/ºC2000 2200 2400 2600 2800 3000 3200P总 20.482 160 807 3471 13114 37772 101880 PTiO 0.532 8.645 89.11 611 2740 12236 39235 PTiO2 19.95 142 718 2873 10374 25536 61845当重复3次蒸镀锅底料在蒸发源温度为1921℃ 时，其蒸气中各种成分的重量比例为：Ti+：TiO+：TiO2+＝600：1460：17 ，而蒸发舟中残余膜料是Ti2O3和Ti3O5。
所有分类光学薄膜
• 周期性多层膜
偶数层周期性多层膜
M S (M1M 2 )S uS1(x)M uS2 (x)I
uS1(x)m11 uS2
uS 1(x)m21
(x)
uS 1 ( x)m12
uS 1(x)m22
uS
2
(
x)
奇数层
M S M1 (M1M 2 )S M1
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薄膜光学特性计算
• 周期性多层膜
2 (m11 m22 ) 1 0 由凯莱 哈密顿定理，任何方阵都满足它自己的特征方程
M 2 (m11 m22 )M I 0
I
1 0
0 1
为单位矩阵
第25页/共33页
薄膜光学特性计算
• 矩阵理论
M 2 (m11 m22 )M I 0 令X (m11 m22 ) / 2 M 2 2XM I
X
cos(1
2 ) r122 cos(1
1 r122
2)
用M 乘上式两边
M 3 2XM 2 M 2X (2XM I ) M (4X 2 1)M 2XI
M 4 (4X 2 1)M 2 2XM (4X 2 1)(2XM I ) 2XM
(8X 3 4X )M (4 X 2 1)I
sin(n 2) 2sin(n 1) cos sin n
得递推公式
uN 1(x) 2xuN (x) uN 1(x) 可算出
u0 (x) 1，u1(x) 2x u2 (x) 4x2 1 u3 (x) 8x3 4x u4 (x) 16x4 12x2 1
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薄膜光学特性计算
c2
2 E t 2
4
c2
E t
2 E x2
TiO2薄膜
TiO2薄膜在λ＝640nm 处的光学常数与基底温度间的函数关系见表4-8。
表4-8 TiO2薄膜在波长λ=640nm处的光学常数(膜厚d,折射率nf,消光系数k)与基底温度间Ts的函数关系基底温度/℃d=140nm d=280nm 基底温度/℃d=140nm d=280nm n k n k n k n k室温 2.21 0.003 2.21 0.001 175 2.25 0.021 2.31 0.003 100 2.22 0.007 2.26 0.002 250 2.31 0.012 2.45 0.004通过对Ti2O3、Ti3O5和TiO2蒸气的质谱研究表明，其蒸气是由不同的原子或分子组成的。
在初始膜料为TiO的蒸气相中，检测到了近似相等的Ti和TiO 的原子和分子，而不存在TiO2分子。
当大量蒸发TiO初始膜料时，其蒸气中Ti 原子随之减少。
通过蒸发舟残余膜料氧含量富有位置的分析表明，其固态相是TiO、Ti2O3或只是Ti2O3。
在以Ti2O3 作为初始膜料时，在其蒸气中检测出Ti、TiO 和TiO2的分子。
Ti2O3初次（2次以下）锅底料岐化主要反应为：Ti2O3 真空高温 TiO+ TiO2，岐化反应平衡压力p（Pa）与温度T(K)的关系式为：㏒（pTiOpTiO2）= 32.77- 65357T-1 –0.00132TTi2O3岐化反应平衡压力计算值符合表4-9。
表4-9 不同温度TiO2歧化反应平衡压力/Pa平衡压力名称t/ºC2000 2200 2400 2600 2800 3000 3200P总 20.482 160 807 3471 13114 37772 101880 PTiO 0.532 8.645 89.11 611 2740 12236 39235 PTiO2 19.95 142 718 2873 10374 25536 61845当重复3次蒸镀锅底料在蒸发源温度为1921℃ 时，其蒸气中各种成分的重量比例为：Ti+：TiO+：TiO2+＝600：1460：17 ，而蒸发舟中残余膜料是Ti2O3和Ti3O5。
常用物质折射率表
常用物质折射率表折射率光学介质的一个基本参量。
即光在真空中的速度c与在介质中的相速v之比真空的折射率等于1，两种介质的折射率之比称为相对折射率。
例如，第一介质的折射率为n1，第二介质的折射率为n2，则n21＝n2／n1称为第二介质对第一介质的相对折射率。
某介质的折射率也是该介质对真空的相对折射率。
于是折射定律可写成如下形式n1sinθi＝n2sinθt两种介质进行比较时，折射率较大的称光密介质，折射率较小的称光疏介质。
折射率与介质的电磁性质密切相关。
根据电磁理论，，εr和μr分别为介质的相对电容率和相对磁导率。
折射率还与波长有关，称色散现象。
手册中提供的折射率数据是对某一特定波长而言的（通常是对钠黄光，波长为5893埃）。
气体折射率还与温度和压强有关。
空气折射率对各种波长的光都非常接近于1，例如空气在20℃，760毫米汞高时的折射率为1.00027。
在工程光学中常把空气折射率当作1，而其他介质的折射率就是对空气的相对折射率。
介质的折射率通常由实验测定，有多种测量方法。
对固体介质，常用最小偏向角法或自准直法；液体介质常用临界角法（阿贝折射仪）；气体介质则用精密度更高的干涉法（瑞利干涉仪）。
常用物体折射率表常用物体折射率表常用物体折射率表材质IOR 值空气 1.0003液体二氧化碳 1.200冰 1.309水(20度) 1.333丙酮 1.360普通酒精 1.36030% 的糖溶液 1.380酒精 1.329面粉 1.434溶化的石英 1.460Calspar2 1.48680% 的糖溶液 1.490玻璃 1.500玻璃，锌冠 1.517玻璃，冠 1.520氯化钠 1.530氯化钠（盐）1 1.544聚苯乙烯 1.550石英 2 1.553翡翠 1.570轻火石玻璃 1.575天青石 1.610黄晶 1.610二硫化碳 1.630石英 1 1.644氯化钠（盐）2 1.644重火石玻璃 1.650二碘甲烷 1.740红宝石 1.770兰宝石 1.770特重火石玻璃 1.890水晶 2.000钻石 2.417氧化铬 2.705氧化铜 2.705非晶硒 2.920碘晶体 3.340常用晶体及光学玻璃折射率表物质名称分子式或符号折射率熔凝石英SiO2 1.45843氯化钠NaCl 1.54427氯化钾KCl 1.49044萤石CaF2 1.43381冕牌玻璃K6 1.51110K8 1.51590K9 1.51630重冕玻璃ZK6 1.61263ZK8 1.61400钡冕玻璃BaK2 1.53988火石玻璃F1 1.60328钡火石玻璃BaF8 1.62590重火石玻璃ZF1 1.64752ZF5 1.73977ZF6 1.75496液体折射率表物质名称分子式密度温度℃折射率丙醇CH3COCH3 0.791 20 1.3593甲CH3OH 0.794 20 1.3290乙C2H5OH 0.800 20 1.3618苯C6H6 1.880 20 1.5012二硫化碳CS2 1.263 20 1.6276四氯化碳CCl4 1.591 20 1.4607三氯甲烷CHCl3 1.489 20 1.4467乙醚C2H5?0?C2H5 0.715 20 1.3538 甘油C3H8O3 1.260 20 1.4730松节油0.87 20.7 1.4721橄榄油0.92 0 1.4763水H2O 1.00 20 1.3330晶体的折射率no和ne表物质名称分子式no ne冰H20 1.313 1.309氟化镁MgF2 1.378 1.390石英Si02 1.544 1.553氯化镁MgO?H2O 1.559 1.580锆石ZrO2?SiO2 1.923 1.968硫化锌ZnS 2.356 2.378方解石CaO?CO2 1.658 1.486钙黄长石2Ca0?Al203?SiO2 1.669 1.658菱镁矿ZnO?CO2 1.700 1.509刚石Al2O3 1.768 1.760淡红银矿3Ag2S?AS2S3 2.979 2.711注：no、ne分别是晶体双折射现象中的“寻常光”的折射率和“非常光”的折射率。
薄膜光学特性计算
薄膜光学特性计算薄膜光学特性的计算首先需要建立薄膜的折射率模型。
薄膜的折射率是指光线在薄膜中传播时光速相对于真空中的光速的比值，它与薄膜材料的性质和波长有关。
常用的折射率模型有Cauchy方程和Sellmeier方程等。
Cauchy方程是描述物质的折射率与波长的关系的经验公式。
它的表达式为：n(λ) = A + B/λ^2 + C/λ^4 + ...，其中n(λ)是波长为λ时的折射率，A、B、C等是与材料特性相关的常数。
Sellmeier方程是一种更加精确的薄膜折射率模型，适用于描述介质的色散性质。
Sellmeier方程的一般形式为：n(λ) = √(1 + ∑(B_iλ^2)/(λ^2 - C_i^2))，其中n(λ)同样是波长为λ时的折射率，B_i和C_i是与材料特性相关的常数。
在获得薄膜的折射率模型后，可以通过Fresnel方程来计算薄膜的反射和透射光的特性。
Fresnel方程是描述光线通过两个介质界面时的反射和透射光强之间关系的公式。
对于垂直入射的单色光，Fresnel方程可以表示为：r = (n1cosθ1 - n2cosθ2) / (n1cosθ1 + n2cosθ2)；t = 2n1cosθ1 / (n1cosθ1 + n2cosθ2)其中r和t分别表示反射和透射的光强，n1和n2分别为两个介质的折射率，θ1和θ2分别为入射角和折射角。
最后，可以通过多次反射和透射计算得到薄膜的总反射和总透射光强。
根据能量守恒定律，总反射和总透射光强之和应等于入射光强。
除了反射和透射，薄膜的吸收也是光学特性中的重要参数。
吸收是指入射光被材料吸收转化为其他形式的能量。
吸收与薄膜的材料和厚度有关，可以通过吸收系数来描述。
吸收系数与入射光波长和薄膜折射率的关系可以通过光学吸收谱进行研究和计算。
综上所述，薄膜光学特性的计算是通过建立薄膜的折射率模型，运用Fresnel方程计算反射和透射的光强，进而得到薄膜的总反射和总透射光强，以及通过吸收系数计算薄膜的吸收特性。
常见物质折射率表
常见物质折射率表常用物体折射率表[绝对折射率]:光从真空射入介质发生折射时，入射角i与折射角r的正弦之比n叫做介质的“绝对折射率”，简称“折射率”。
它表示光在介质中传播时，介质对光的一种特征。
[公式]:n=sin i/sin r=c/v由于光在真空中传播的速度最大，故其他媒质的折射率都大于1。
同一媒质对不同波长的光，具有不同的折射率；在对可见光为透明的媒质内，折射率常随波长的减小而增大，即红光的折射率最小，紫光的折射率最大。
通常所说某物体的折射率数值多少（例如水为1.33，水晶为1.55，金刚石为2.42，玻璃按成分不同而为1.5～1.9），是指对钠黄光（波长5893×10^-10米）而言。
[相对折射率]:光从介质1射入介质2发生折射时，入射角θ1与折射角θ2的正弦之比n21叫做介质2相对介质1的折射率，即“相对折射率”。
因此，“绝对折射率”可以看作介质相对真空的折射率。
它是表示在两种（各向同性）介质中光速比值的物理量。
[公式]:n21=sinθ1/sinθ2=n2/n1=v1/v2光学介质的一个基本参量。
即光在真空中的速度c与在介质中的相速v之比真空的折射率等于1，两种介质的折射率之比称为相对折射率。
例如，第一介质的折射率为n1，第二介质的折射率为n2，则n21＝n2／n1称为第二介质对第一介质的相对折射率。
某介质的折射率也是该介质对真空的相对折射率。
于是折射定律可写成如下形式. n1sinθi＝n2sinθt两种介质进行比较时，折射率较大的称光密介质，折射率较小的称光疏介质。
折射率与介质的电磁性质密切相关。
根据电磁理论,εr和μr分别为介质的相对电容率和相对磁导率。
折射率还与波长有关，称色散现象。
手册中提供的折射率数据是对某一特定波长而言的（通常是对钠黄光，波长为5893埃）。
气体折射率还与温度和压强有关。
空气折射率对各种波长的光都非常接近于1，例如空气在20℃，760毫米汞高时的折射率为1.00027。
椭偏光法测量薄膜的折射率和厚度
椭偏光法测量薄膜的折射 率和厚度
• 引言 • 椭偏光法的基本原理 • 椭偏光法测量薄膜的折射率 • 椭偏光法测量薄膜的厚度 • 实验结果与分析 • 结论与展望
01
引言
椭偏光法的简介
椭偏光法是一种光学测量技术，通过 测量光在薄膜表面反射后的偏振状态 变化，可以推导出薄膜的折射率、消 光系数和厚度等物理参数。
06
结论与展望
椭偏光法测量薄膜ห้องสมุดไป่ตู้优缺点
精度高
椭偏光法能够以高精度测量薄膜的折射 率和厚度，误差范围通常在纳米级别。
VS
非侵入性
椭偏光法不需要直接接触样品，不会对薄 膜造成损伤或污染。
椭偏光法测量薄膜的优缺点
• 适用范围广：椭偏光法适用于各种类型的薄膜材料，包括 光学薄膜、金属薄膜、半导体薄膜等。
电场矢量在垂直于传播方向的平面上 振动，其振幅和方向随时间变化，形 成椭圆轨迹。
椭偏光在传播过程中，其偏振状态会 受到周围介质的影响，如折射、反射 和散射等。
椭偏光的形成
当自然光通过特定波片时，波片内的 晶体对光波产生双折射效应，导致光 波的偏振状态发生变化，形成椭偏光。
薄膜对椭偏光的影响
01
反射和透射
如入射角、波长等实验参数的选择也会影响测量结果。
厚度测量的精度与误差分析
01
02
03
04
1. 选择稳定的光源和性 能良好的光学元件。
2. 对薄膜表面进行抛光 或清洁，减小表面粗糙 度。
3. 优化实验参数，如选 择合适的入射角和波长。
4. 进行多次测量并取平 均值，以减小随机误差 的影响。
05
实验结果与分析
当椭偏光照射到薄膜表面时，部分光波被反射，部分光波穿透薄膜并继
• 引言 • 椭偏光法的基本原理 • 椭偏光法测量薄膜的折射率 • 椭偏光法测量薄膜的厚度 • 实验结果与分析 • 结论与展望
01
引言
椭偏光法的简介
椭偏光法是一种光学测量技术，通过 测量光在薄膜表面反射后的偏振状态 变化，可以推导出薄膜的折射率、消 光系数和厚度等物理参数。
06
结论与展望
椭偏光法测量薄膜ห้องสมุดไป่ตู้优缺点
精度高
椭偏光法能够以高精度测量薄膜的折射 率和厚度，误差范围通常在纳米级别。
VS
非侵入性
椭偏光法不需要直接接触样品，不会对薄 膜造成损伤或污染。
椭偏光法测量薄膜的优缺点
• 适用范围广：椭偏光法适用于各种类型的薄膜材料，包括 光学薄膜、金属薄膜、半导体薄膜等。
电场矢量在垂直于传播方向的平面上 振动，其振幅和方向随时间变化，形 成椭圆轨迹。
椭偏光在传播过程中，其偏振状态会 受到周围介质的影响，如折射、反射 和散射等。
椭偏光的形成
当自然光通过特定波片时，波片内的 晶体对光波产生双折射效应，导致光 波的偏振状态发生变化，形成椭偏光。
薄膜对椭偏光的影响
01
反射和透射
如入射角、波长等实验参数的选择也会影响测量结果。
厚度测量的精度与误差分析
01
02
03
04
1. 选择稳定的光源和性 能良好的光学元件。
2. 对薄膜表面进行抛光 或清洁，减小表面粗糙 度。
3. 优化实验参数，如选 择合适的入射角和波长。
4. 进行多次测量并取平 均值，以减小随机误差 的影响。
05
实验结果与分析
当椭偏光照射到薄膜表面时，部分光波被反射，部分光波穿透薄膜并继
物质的折射率和消光系数
物质的折射率和消光系数
无衰减时固体中传播的光波----平面电磁波：
E=E0*exp(-i*(wt-kx))，其中波矢k=w/v=n*w/c2、有衰减时波矢k 是复波矢kc=w/c*nc=w/c*(n+i*ka)=k+i*(ar/2),
Filmetrics 在几秒钟内测量200nm 到1700nm 之间折射率消光系数，并且是一键搞定。
大多数情况下，我们的准确性比复杂昂贵的椭偏仪好得多, 尤其在有薄膜吸收和透明基板的情况下，比如氮化硅膜，铟锡氧化膜一类的材料。
Filmetrics 还提供折射率测量服务。
如果您需要查找某个材料的折射率，请点击折射率数据库。
测量范例
Filmetrics测量仪器（特别是我们的F10-RT和F10-RTA系统）非常适合快速测量具有挑战性的材料。
测量人无需具备丰富的专业知识，FILMeasure软件可以为您提供复杂的光学常数。
此案例中，精美石英上单层膜MEH-PPV的反射和透射光谱被用来拟合得出薄膜的厚度，折射率n和消光系数k。
三维Bridge Lorentzian模型被成功地应用在此案例中。
除此以外，FILMeasure还提供丰富的光学模型库。
我们的用户控制的算法可快速获得正确的结果。
常见薄膜材料参数
2.38(4μ)
A=5.654,B=0.0565
F 1
Dy2O3
2340
E
2.0(0.29μ,350℃)
1.91(0.55μ,350℃)
0.28~
FH 1
Eu2O3
2050
E
1.88(0.7μ,350℃)
0.3~
FH 1
Fe2O3
1565
E
5.1
2.72(0.55μ)
0.11(0.55μ)
0.8~
M 1
A=4.2446,B=0.13158
8×10-3(0.3μ)
1×10-3(0.6μ)
0.35~10
无定形
FH,▲,1
ThF4
1100
B(Ta,Mo)
6.32
1.5(0.55μ,35℃)
1.35(10.6μ)
5×10-4(0.5μ)
2×10-3(1μ)
1×10-4(10.6μ)
0.2~15
无定形
M,▲▲ ▲，T,1
1.62(0.55μ,300℃)
2.3×10-3(0.515μ)
8×10-3(1.06μ)
0.2~8
无定形
p=1.0
H,▲▲▲,1
AlF3
900
B
1.38(0.55μ)
0.2~>30
无定形
P=0.64(35℃)
S T小
Bi2O3
860
P(Pt)
8.3
2.45(0.55μ)
0.4~
FH 1
BiF3
727
9×10-6(0.5μ)
6×10-6(1μ)
0.11~6
结晶
P=0.72(30℃)
A=5.654,B=0.0565
F 1
Dy2O3
2340
E
2.0(0.29μ,350℃)
1.91(0.55μ,350℃)
0.28~
FH 1
Eu2O3
2050
E
1.88(0.7μ,350℃)
0.3~
FH 1
Fe2O3
1565
E
5.1
2.72(0.55μ)
0.11(0.55μ)
0.8~
M 1
A=4.2446,B=0.13158
8×10-3(0.3μ)
1×10-3(0.6μ)
0.35~10
无定形
FH,▲,1
ThF4
1100
B(Ta,Mo)
6.32
1.5(0.55μ,35℃)
1.35(10.6μ)
5×10-4(0.5μ)
2×10-3(1μ)
1×10-4(10.6μ)
0.2~15
无定形
M,▲▲ ▲，T,1
1.62(0.55μ,300℃)
2.3×10-3(0.515μ)
8×10-3(1.06μ)
0.2~8
无定形
p=1.0
H,▲▲▲,1
AlF3
900
B
1.38(0.55μ)
0.2~>30
无定形
P=0.64(35℃)
S T小
Bi2O3
860
P(Pt)
8.3
2.45(0.55μ)
0.4~
FH 1
BiF3
727
9×10-6(0.5μ)
6×10-6(1μ)
0.11~6
结晶
P=0.72(30℃)
薄膜材料折射率数据
k, where The exctinction coefficient is related to the absorption coefficient by 0is the extinction coefficient, and 0 is the wavelength in vacuum.Wavelength (nm)370 1.51259870 1.48471880 1.48457890 1.48444900 1.48432910 1.48419920 1.48407930 1.48396940 1.48385950 1.48374960 1.48363970 1.48353980 1.48343990 1.483331000 1.483241010 1.483151020 1.483061030 1.482981040 1.482891050 1.482811060 1.482731070 1.482661080 1.482581090 1.482511100 1.48244Ag (Silver) (note that there are two consecutive sets of data)Wavelength (nm) Refractive index n (-)210.1356 1.19213.7586 1.21217.5088 1.23221.3929 1.25225.4182 1.26229.5926 1.27233.9245 1.28238.4231 1.28243.098 1.3247.96 1.31253.0204 1.32258.2917 1.34263.7872 1.36269.5217 1.38275.5111 1.41281.7727 1.41288.3256 1.4295.1905 1.38302.3902 1.32309.95 1.15317.8974 .91326.2632 .44335.0811 .13344.3889 .13354.2285 .1364.6471 .08375.697 .06387.4375 .05399.9355 .05413.2667 .05427.5172 .04442.7857 .04459.1852 .04© E. F. Schubert, 2004 2476.8461 .05495.92 .05516.5833 .05539.0435 .06563.5454 .06590.3809 .05619.9 .06652.5263 .05688.7778 .04729.2941 .03774.875 .03826.5333 .04885.5714 .04953.6923 .041033.167 .041127.091 .051239.8 .1Wavelength (nm) Extinction coefficient k (-)206.63333 1.31210.13559 1.32213.75862 1.33217.50877 1.338221.39285 1.342225.41818 1.343229.59259 1.352233.92452 1.362238.42307 1.37243.09803 1.379247.96 1.388253.0204 1.393258.29166 1.391263.78723 1.384269.52173 1.37275.51111 1.335281.77272 1.289288.32558 1.221295.19047 1.107302.39024 0.913309.94999 0.642317.89743 0.412326.26315 0.591335.08107 0.94344.38888 1.191354.22856 1.419364.64705 1.605375.69696 1.78387.43749 1.944399.93548 2.104413.26666 2.275427.51723 2.432442.78571 2.58459.18518 2.744476.84614 2.92495.91999 3.093516.58332 3.284539.04347 3.498563.54544 3.709590.38094 3.929619.89999 4.177© E. F. Schubert, 2004 3652.5263 4.43688.77776 4.714729.2941 5.034774.87499 5.381826.53332 5.772885.57141 6.26953.69229 6.7691033.16665 7.3691127.09089 8.1181239.79998 9.001Ag (Silver)Data from “Handbook of Optical Constant of Solids” by Edward Palik (1985)Measurements of the reflectivity of evaporated Ag films by Hong Luo and Yun-Li Li revealed that the Palik data gave the best agreement with experimental results.Wavelength (nm) Refractive Index n (-)206.6 1.125213.8 1.173221.4 1.208229.6 1.238238.4 1.265248.0 1.298253.0 1.320258.3 1.343263.8 1.372269.5 1.404275.5 1.441281.8 1.476288.3 1.502295.2 1.519298.8 1.522302.4 1.496306.1 1.432310.0 1.323311.5 1.246313.9 1.149315.5 1.044317.9 0.932319.5 0.815322.0 0.708323.7 0.616326.3 0.526330.6 0.371332.4 0.321335.1 0.294339.7 0.259344.4 0.238354.2 0.209364.7 0.186375.7 0.200387.5 0.192400.0 0.173413.3 0.173427.5 0.160442.8 0.157459.2 0.144476.9 0.132495.9 0.130516.6 0.130539.1 0.129© E. F. Schubert, 2004 4688.8 0.140729.3 0.148774.9 0.143826.6 0.145885.6 0.163953.7 0.1981033 0.2261127 0.2511240 0.329Wavelength (nm) Refractive Index k (-)206.6 1.27213.8 1.29221.4 1.30229.6 1.31238.4 1.33248.0 1.35253.0 1.35258.3 1.35263.8 1.35269.5 1.33275.5 1.31281.8 1.26288.3 1.19295.2 1.08298.8 0.992302.4 0.882306.1 0.766310.0 0.647311.5 0.586313.9 0.540315.5 0.514317.9 0.504319.5 0.526322.0 0.565323.7 0.609326.3 0.663330.6 0.813332.4 0.902335.1 0.986339.7 1.12344.4 1.24354.2 1.44364.7 1.61375.7 1.67387.5 1.81400.0 1.95413.3 2.11427.5 2.26442.8 2.40459.2 2.56476.9 2.72495.9 2.88516.6 3.07539.1 3.25563.6 3.45© E. F. Schubert, 2004 5729.3 1.74774.9 5.09826.6 5.50885.6 5.95953.7 6.431033 6.991127 7.671240 8.49Al (Aluminum)Wavelength (nm) Refractive index n (-)364.6471 .407375.697 .432387.4375 .46399.9355 .49413.2667 .523427.5172 .558442.7857 .598459.1852 .644476.8461 .695495.92 .755516.5833 .826539.0435 .912563.5454 1.02590.3809 1.15619.9 1.3652.5263 1.49688.7778 1.74729.2941 2.14774.875 2.63826.5333 2.74885.5714 2.24953.6923 1.471033.167 1.261127.091 1.21239.8 1.211377.556 1.261549.75 1.441771.143 1.77Wavelength (nm) Extinction coefficient k (-)364.65 4.43375.70 4.56387.44 4.71399.94 4.86413.27 5.02427.52 5.2442.79 5.38459.19 5.28476.85 5.8495.92 6.03516.58 6.28539.04 6.55563.55 6.85590.38 7.15© E. F. Schubert, 2004 6774.87 8.6826.53 8.31885.57 8.21953.69 8.951033.17 121127.09 11.21239.80 12.51377.56 141549.75 161771.14 18.3Al10Ga90As (AlGaAs)Wavelength (nm) Refractive index n (-)206.7 1.311210.2 1.318213.8 1.330217.5 1.345221.4 1.371225.5 1.408229.6 1.459234.0 1.531238.5 1.634243.1 1.819248.0 2.207253.1 2.772258.3 3.267263.8 3.611270.0 3.829275.6 4.010281.8 4.017288.4 3.922295.2 3.801302.4 3.697310 3.618317.9 3.566326.3 3.537335.1 3.532344.4 3.552354.3 3.601364.7 3.690375.8 3.864387.5 4.253400 4.460413.3 4.838427.6 4.968442.9 4.725459.3 4.518476.9 4.353496 4.220516.7 4.111539.1 4.018563.6 3.940590.5 3.876620.0 3.820652.6 3.775688.9 3.716© E. F. Schubert, 2004 7885.7 3.530953.8 3.4841033.3 3.4521127.3 3.4281240 3.4101377.8 3.3951550 3.3831771.4 3.3742066.7 3.366Wavelength (nm) Extinction coefficient k (-)206.7 2.457210.2 2.538213.8 2.608217.5 2.698221.4 2.800225.5 2.921229.6 3.059234.0 3.223238.5 3.433243.1 3.704248.0 3.983253.1 4.036258.3 3.846263.8 3.536270.0 3.229275.6 2.876281.8 2.507288.4 2.240295.2 2.074302.4 1.983310 1.937317.9 1.920326.3 1.924335.1 1.945344.4 1.979354.3 2.030364.7 2.100375.8 2.203387.5 2.187400 1.949413.3 1.836427.6 1.126442.9 0.763459.3 0.575476.9 0.462496 0.382516.7 0.320539.1 0.276563.6 0.237590.5 0.199620.0 0.171652.6 0.127688.9 0.099729.4 0.082775.0 0.059826.7 0© E. F. Schubert, 2004 8885.7 0953.8 01033.3 01127.3 01240 01377.8 01550 01771.4 02066.7 0Al20Ga80As (AlGaAs)Wavelength (nm) Refractive index n (-)206.7 1.333210.2 1.339213.8 1.349217.5 1.366221.4 1.393225.5 1.433229.6 1.490234.0 1.567238.5 1.677243.1 1.860248.0 2.210253.1 2.734258.3 3.238263.8 3.638270.0 3.924275.6 4.053281.8 4.018288.4 3.911295.2 3.795302.4 3.701310 3.633317.9 3.588326.3 3.568335.1 3.572344.4 3.602354.3 3.668364.7 3.792375.8 4.084387.5 4.379400 4.607413.3 4.943427.6 4.757442.9 4.547459.3 4.375476.9 4.235496 4.118516.7 4.022539.1 3.940563.6 3.871590.5 3.815620.0 3.759652.6 3.700688.9 3.662729.4 3.635775.0 3.536826.7 3.457885.7 3.465© E. F. Schubert, 2004 9953.8 3.4291033.3 3.4011127.3 3.3791240 3.3611377.8 3.3461550 3.3341771.4 3.3242066.7 3.316Wavelength (nm) Extinction coefficient k (-)206.7 2.457210.2 2.531213.8 2.600217.5 2.688221.4 2.794225.5 2.912229.6 3.049234.0 3.208238.5 3.407243.1 3.654248.0 3.914253.1 3.997258.3 3.867263.8 3.575270.0 3.223275.6 2.803281.8 2.449288.4 2.206295.2 2.059302.4 1.976310 1.933317.9 1.917326.3 1.922335.1 1.942344.4 1.979354.3 2.034364.7 2.115375.8 2.180387.5 1.978400 1.857413.3 1.322427.6 0.865442.9 0.636459.3 0.500476.9 0.409496 0.341516.7 0.288539.1 0.242563.6 0.202590.5 0.165620.0 0.118652.6 0.094688.9 0.082729.4 0.020775.0 0.002826.7 0885.7 0953.8 01033.3 01127.3 0© E. F. Schubert, 2004 101377.8 01550 01771.4 02066.7 0Al2O3 (Alumina)Wavelength (nm) Refractive index n (-)260 1.824280 1.815300 1.808320 1.802340 1.797360 1.793380 1.789400 1.786420 1.784440 1.781460 1.779480 1.777500 1.775520 1.774540 1.772560 1.771580 1.77600 1.768620 1.767640 1.766660 1.765680 1.765700 1.764720 1.763740 1.762760 1.762780 1.761800 1.76820 1.76840 1.759860 1.759880 1.758900 1.7581033 1.755Wavelength (nm) Extinction coefficient k (-)260 0280 0300 0320 0340 0360 0380 0400 0420 0440 0460 0480 0500 0520 0540 0© E. F. Schubert, 2004 11580 0600 0620 0640 0660 0680 0700 0720 0740 0760 0780 0800 0820 0840 0860 0880 0900 01033 0Al30Ga70N (AlGaN)Wavelength (nm) Refractive index n (-)310.0 2.557354.29 2.36413.33 2.27496.0 2.22620.0 2.18826.67 2.1561240.0 2.14Wavelength (nm) Extinction coefficient k (-)225.45 0.4126248.0 0.345275.56 0.289310.0 0.007354.29 0413.33 0496.0 0620.0 0826.67 01240.0 0Al32Ga68As (AlGaAs)Wavelength (nm) Refractive index n (-)206.7 1.347210.2 1.338213.8 1.352217.5 1.367221.4 1.393225.5 1.437229.6 1.497234.0 1.581238.5 1.696243.1 1.878248.0 2.198253.1 2.684258.3 3.196263.8 3.669© E. F. Schubert, 2004 12288.4 3.883295.2 3.772302.4 3.686310 3.625317.9 3.588326.3 3.575335.1 3.589344.4 3.633354.3 3.724364.7 3.922375.8 4.246387.5 4.456400 4.825413.3 4.781427.6 4.582442.9 4.404459.3 4.258476.9 4.135496 4.032516.7 3.945539.1 3.872563.6 3.815590.5 3.750620.0 3.690652.6 3.650688.9 3.592729.4 3.509775.0 3.456826.7 3.404885.7 3.394953.8 3.3631033.3 3.3381127.3 3.3171240 3.3001377.8 3.2851550 3.2731771.4 3.2632066.7 3.254Wavelength (nm) Extinction coefficient k (-)206.7 2.443210.2 2.502213.8 2.577217.5 2.669221.4 2.776225.5 2.893229.6 3.030234.0 3.187238.5 3.376243.1 3.604248.0 3.845253.1 3.957258.3 3.881263.8 3.617270.0 3.177275.6 2.733281.8 2.393© E. F. Schubert, 2004 13310 1.927317.9 1.914326.3 1.921335.1 1.946344.4 1.988354.3 2.054364.7 2.134375.8 2.041387.5 1.879400 1.558413.3 1.012427.6 0.722442.9 0.556459.3 0.446476.9 0.367496 0.305516.7 0.258539.1 0.227563.6 0.202590.5 0.167620.0 0.145652.6 0.111688.9 0.008729.4 0775.0 0826.7 0885.7 0953.8 01033.3 01127.3 01240 01377.8 01550 01771.4 02066.7 0Al42Ga58As (AlGaAs)Wavelength (nm) Refractive index n (-)206.7 1.353210.2 1.350213.8 1.357217.5 1.377221.4 1.406225.5 1.456229.6 1.523234.0 1.613238.5 1.740243.1 1.926248.0 2.234253.1 2.695258.3 3.200263.8 3.733270.0 4.054275.6 4.103281.8 4.014288.4 3.897295.2 3.794© E. F. 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Schubert, 2004 15364.7 2.042375.8 1.870387.5 1.640400 1.119413.3 0.786427.6 0.596442.9 0.472459.3 0.385476.9 0.319496 0.268516.7 0.219539.1 0.178563.6 0.134590.5 0.100620.0 0.059652.6 0.003688.9 0729.4 0775.0 0826.7 0885.7 0953.8 01033.3 01127.3 01240 01377.8 01550 01771.4 02066.7 0Al49Ga51As (AlGaAs)Wavelength (nm) Refractive index n (-)206.7 1.366210.2 1.363213.8 1.364217.5 1.379221.4 1.412225.5 1.462229.6 1.532234.0 1.632238.5 1.763243.1 1.951248.0 2.250253.1 2.686258.3 3.187263.8 3.731270.0 4.072275.6 4.107281.8 4.009288.4 3.894295.2 3.798302.4 3.730310 3.688317.9 3.671326.3 3.680335.1 3.724© E. F. 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Schubert, 2004 17400 .926413.3 .684427.6 .534442.9 .429459.3 .355476.9 .292496 .245516.7 .205539.1 .164563.6 .133590.5 .088620 .002652.6 0688.9 0729.4 0775 0826.7 0885.7 0953.8 01033.3 01127.3 01240 01377.8 01550 01771.4 02066.7 0Al59Ga41As (AlGaAs)Wavelength (nm) Refractive index n (-)206.7 1.385210.2 1.370213.8 1.370217.5 1.389221.4 1.422225.5 1.475229.6 1.553234.0 1.661238.5 1.805243.1 2.007248.0 2.304253.1 2.740258.3 3.221263.8 3.762270.0 4.120275.6 4.127281.8 4.015288.4 3.903295.2 3.815302.4 3.758310 3.729317.9 3.725326.3 3.750335.1 3.822344.4 3.977354.3 4.224364.7 4.429375.8 4.665387.5 4.649© E. F. 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Schubert, 2004 23652.6 0688.9 0729.4 0775.0 0826.7 0885.7 0953.8 01033.3 01127.3 01240 01377.8 01550 01771.4 02066.7 0Al90Ga10As (AlGaAs)Wavelength (nm) Refractive index n (-)459.3 3.807476.9 3.637496 3.524516.7 3.438539.1 3.369563.6 3.312590.5 3.263620.0 3.221652.6 3.183688.9 3.151729.4 3.122775.0 3.096826.7 3.073885.7 3.052953.8 3.0331033.3 3.0171127.3 3.0021240 2.9891377.8 2.9771550 2.9671771.4 2.9592066.7 2.951Wavelength (nm) Extinction coefficient k (-)459.3 0476.9 0496 0516.7 0539.1 0563.6 0590.5 0620.0 0652.6 0688.9 0729.4 0775.0 0826.7 0885.7 0953.8 01033.3 01127.3 01240 0© E. F. 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F. 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F. 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F. Schubert, 2004 30。