电池硅片检验作业指导书

XXXX 光伏科技有限公司
编号: WI-QA-009
版本: A
制定单位: 质量部
1目的
监测硅片质量，确保电池片质量稳定。

2范围
适用于本公司质量部对所有来料硅片质量的监视和测量。

3权责
电池部工艺人员负责制订硅片检验文件。

质量部负责来料硅片质量的控制。

4定义
无
5参考文件
无
6作业流程图
无
7作业内容
7.1检验。

7.1.1核对
对照送检单，核对硅片的来源、规格和数量，供方所提供的参数、如电阻率、厚度、对角线长、边长。

检查供方出具的材质报告（碳含量、氧含量、晶向及位错密度），如有不符，须先与采购部沟通，无误后进行检验
7.1.2外观检验
7.1.2.1用刀片划开封条，划时刀片不宜切入太深，刀尖深入不要超过5mm，防止划伤泡
沫盒内的硅片。

塑封好的硅片，用刀尖轻轻划开热缩膜四个角，然后撕开热缩膜
7.1.2.2抽出两边的隔版，观察盒内有没有碎片，如有则要及时清理碎片
7.1.2.3戴上PVC手套。

从盒内拿出100片硅片（不得超过100片），先把硅片并齐并拢
后观察硅片四边是否对齐平整,并用硅片模板进行对照，鉴别是否存在尺寸不对的现象，如不符合，则用游标卡尺测量，并及时记录于硅片外观检验原始记录表上
7.1.2.4再将100片硅片分出一部分使其旋转90度或180度，再并拢观察硅片间是否有
缝隙，如有则说明有线痕或是TTV超标的现象。

将缝隙处的硅片拿出来，用MS-203测硅片上不固定的数点厚度(硅片边缘5mm以内取点),根据厚度结果确定是否超标。

将线痕、TTV超标片区别放置。

再观察四个倒角是否能对齐，如有偏差，对照硅片模板进行鉴别，把倒角不一致硅片分开放置。

并在硅片外观检验原始记录表上分别记录数量
7.1.2.5观察硅片是否有翘曲现象，翘曲表现为硅片放在平面上成弧形或是一叠硅片并
拢后容易散开，如有，则要把硅片放在大理石平面上，用塞尺测量其翘曲度，将翘曲度超标片区别放置，在硅片外观检验原始记录表上记录数量
7.1.2.6逐片检验硅片，将碎片、缺角、崩边、裂纹、针孔、污物、微晶（特指多晶硅
片）等不合格品单独挑出，分别存放，并在硅片外观检验原始记录表上记录
7.1.2.7逐片计数该盒中合格片数量及各类不合格片数量，并核对总数与硅片外包装计
数是否一致，如有缺片的现象则必须记录相对应的盒号、箱号、晶体编号以及对方检验员号
7.1.2.8把硅片整理整齐，重新放入泡沫盒内，最后在硅片两侧放入泡沫垫板保护，盖
上泡沫盒，用封箱带把盒子封好，在泡沫盒的上方记录包装内的实际数量，下半部分盖上自己的检验工号或在合格证上写上检验工号
7.1.2.9按7.2.1.1-7.2.1.8步骤对所有硅片进行检验
7.1.2.10将所有检验完毕的硅片盒装箱后用封箱带封好后，在箱子右上角贴上绿色合格
标签纸，标明纸箱内硅片的规格、电阻率、厚度以及该箱检片后的实际数量（纸箱右上角空出贴合格证标签的位置,要求粘贴位置一致）
7.1.3厚度的检验
来料检验部门确定每批检验数量，使用MS-203检测。

每片测量5点，分别为硅片四周5mm处四点及硅片中心一点，在硅片厚度测试记录表上记录所测量的数据。

计算出所有记录的平均值，并以抽检厚度均值将片源分为四类，结果上报计划部门。

如测试结果与送检厚度误差较大，及时向采购部反馈
7.1.4导电类型检验
每箱中随机抽取5片已经过外观检验的硅片用P-N导电类型鉴别仪测试硅片的导电类型（P型、N型），填写于导电类型测试记录表上。

5片中有一片导电类型与送检类型不一致，则与该片晶体编号相同的片子均不合格
7.1.5电阻率测试
参照7.1.3抽检标准确定测试数量，使用MS-203测试厚度时同时测量电阻率。

将结果填写于硅片电阻率测试记录表内
7.1.6少子寿命测试
从不同晶体编号的盒子中抽出20片外观、厚度、导电类型及电阻率合格的硅片，质检员填写少子寿命试制单，经电池事业部主管和质量部人员签字确认后，交由质量部人员去生产中心试制测试
7.1.7批量试制
7.1.7.1质量部原材料检验员填写硅片试制跟踪单，将试制跟踪单交由电池事业部生产
主管、质量部主管、工艺中心签字后进行生产试制。

工艺中心负责试制工艺方案的确定及异常处理，质量部负责试制的全程跟踪与数据收集，生产中心负责全程的试制生产
7.1.7.2试制结束后，质量部将试制数据进行收集、处理，并及时将试制结果反馈至工
艺中心
7.1.8合格的判定
质量部根据硅片的检验结果，判定该批次来料是否合格，并及时将结果反馈至采购部、物料部及电池事业部工艺中心
7.1.9入库
7.1.9.1将各类检验结果汇总，填写“检验报告单”，按检验结果将片源分类，填写“硅
片检验入库数据清单”，交主管签字后，把入库单和坏片、合格片同时交给仓库，由仓库管理人员进行当场核对
7.1.9.2根据审批的检验报告单以及硅材料报检单，供货质量反馈单交至采购人员确认,
由采购人员负责对外沟通。

采购人员对不合格硅片做相对应的处理
7.2分类。

7.2.1一类片、二类片、三类片、不合格片、试验片
7.3检验标准
7.3.1一类片标准
7.3.2单晶不合格片标准
7.3.3试验片标准
所有来料试验片在试验前不能得到所有的检验信息，在统计时，所有来料试验片均作为试验片处理。

7.3.4注意事项
7.3.4.1硅片检验过程中，对角线规格及范围需按下表分类，并分别入库
7.3.4.2少子寿命试制值作为批量试制值的参考，如单晶少子寿命大于8µs，效率试制
合格，则合格；若单晶少子寿命小于8µs，效率合格，则需重新试制。

若试制结果仍不合格,则该批片子不合格。

多晶少子寿命为6µs。

7.3.4.3硅片检验结果只要其中一项达不到合格标准即为不合格；任意一项达到不合格
标准即判为不合格。

对于不合格信息，及时反馈采购部，由采购部门根据实际采
购情况确定是否办理不合格品评审
7.3.4.4所有来料批次均需进行批量试制,第一次试制结果合格,则判定合格,第一次不
合格,可视不合格程度进行第二次试制,第二次试制数量需放大到第一次的1.5倍以上。

第二次试制不合格,即判为不合格,第二次试制合格,则判定合格
7.3.4.5批量试制结果应在工艺稳定的条件下完成。

如有异常，需重新试制。

如因各类
原因导致跟踪错误，需重新跟踪。

工艺异常情况的判定由工艺中心负责，必要时可咨询相关技术专家、领导。

7.3.4.6由于测量仪器精度原因(±5µm)，文件中涉及TTV、线痕相关数据可在10µm范围
内波动
7.3.4.7同批次，不同电阻率，不同厚度的硅片应分别放置，分别检验，分别入库
7.3.4.8鉴于本文件抽样方法不能完全拦截不合格品，在生产过程中发现异常应及时处
理
8附件
附件1.硅片外观检验原始记录………………………………WIQA00901R1
附件2.硅片检验入库数据清单………………………………WIQA00902R1
附件3.硅片检验明细表………………………………………WIQA00903R1。