带有侧面导向支撑传输结构和圆角载盘的连续式水平溅镀机的传输结构

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实用新型名称
带有侧面导向支撑传输结构和圆角载盘的连续式水平溅镀机的传输结构

摘要
本实用新型公开了一种带有侧面导向支撑传输结构的连续式水平溅镀机和圆角载盘的
传输结构,涉及溅镀机传输结构技术领域。包括传输马达﹑侧面导向支撑﹑侧面导向轴承﹑
传输胶轮﹑传输链条﹑传输主轴﹑传输支架和传输圆角载盘。所述传输胶轮固定在传输支架
上,并由传输链条相互按顺序连接,由传输马达转动带动主传输轴,从而带动链条达到传输
载盘,并由两侧导向轴承和导向支撑来维持载盘在固定的轨道上传输。所述侧面导向支撑为
内空长条形结构,由不锈钢材质制成。本实用新型解决了现有技术中侧面导向轴承因在溅镀
腔被长时间溅镀,溅镀粉尘进到轴承里使轴承转动不灵,甚至卡死和直角载盘跑偏卡在侧面
导向轴承之间而造成卡住载盘的问题。侧面导向支撑为内空结构,传输轴承安装在里面只露
出5mm外径大大减少了溅镀粉尘的进入,另两侧有侧面导向支撑的连接使圆角载盘即使跑
偏也不会卡在两传输轴承之间,降低了溅镀腔的传动故障率并节约了大量的劳动力与生产成
本。

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1. 一种带有侧面导向支撑传输结构的连续式水平溅镀机和圆角载盘的传输结构,包括传输
马达﹑侧面导向支撑﹑侧面导向轴承﹑传输胶轮﹑传输链条﹑传输支架和传输载盘相
互按顺序连接,其特征在于两侧导向支撑会很好的保护侧面导向轴承和维持载盘在固定
的轨道上传输。
2. 根据权利要求1所述的一种带有侧面导向支撑传输结构的连续式水平溅镀机和圆角载盘
的传输结构,其特征在于:所述侧面导向支撑为内空长条形结构,由不锈钢材质制成,
直角载盘改为圆角设计。

权 利 要 求 书
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带有侧面导向支撑和圆角载盘的连续式水平溅镀机传输结构

技术领域
[0001] 本实用新型涉及溅镀机传输结构技术领域 ,特别是涉及一种侧面有导向支撑的连
续式水平溅镀机和圆角载盘的传输结构。

背景技术
[0002] 连续式水平溅镀机是一种在高真空条件下,利用气体放电产生的荷能离子在电场
的作用下高速轰击阴极靶材,使靶材原子和分子逸出而沉积到基片上形成薄膜的机器,传
输马达带动链条转动从而带动传输导轮使载盘前进的传输方式被广泛应用,如图1 和2所
示,目前连续式水平溅镀机所使用的这种传输方式,在长时间的传输过程中经常会出现载
盘传动受阻和卡在两侧导向轴承之间的设备故障,造成生产停止,使维护成本提高,如果
不能及时处理,会浪费大量的人力和物力,最终造成生产成本的提高。

使用新型内容
[0003] 为了解决现有技术中正常生产时载盘在传输过程中发生跑偏而卡住载盘而使生产
停止的问题,本实用新型提供了在传输侧面增加侧面导向支撑和圆角载盘的传输结构。
[0004] 本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是:在传输侧面增加侧面导向支撑
结构,此结构为内空结构,传输轴承安装在里面只露出5mm外径大大减少了溅镀粉尘进
入侧面导向轴承,很好的保护了侧面导向轴承,另此侧面支撑把各导向轴承连接起来使两
侧一直保证在水平线上,另传输载盘的四个直角改为圆角设计,所以即使载盘跑偏也只会
接触到侧面导向支撑,由于角度很小不会造成载盘卡在其传动处,能有效的降低溅镀腔的
传动故障率,提高了机台的稼动率并节约了大量的劳动力与生产成本。
[0005] 本实用新型的有益效果是:本实用新型在连续式水平溅镀机传输侧面增加导向支
撑传输结构和圆角载盘使传输载盘跑偏的角度控制在很小的范围内不会造成载盘卡在其传
动处,能有效的降低溅镀腔的传动故障率,提高了机台的稼动率并节约了大量的劳动力与
生产成本。

附图说明
[0006] 图1和图2是现有技术连续式水平溅镀机传输结构示意图
[0007] 图3和图4是本实用新型连续式水平溅镀机传输结构示意图

具体实施方式
[0008] 下面结合附图对本实用新型做进一步的描述。
[0009] 如图3和图4是一种带有侧面导向支撑传输结构的连续式水平溅镀机和圆角载盘
的传输结构,包括传输马达1﹑侧面导向支撑2﹑侧面导向轴承3﹑传输胶轮4﹑传输链条
5﹑传输主轴6﹑传输支架7和传输圆角载盘8 ,所述传输胶轮4固定在传输主轴6和传输
支架7上,并由传输链条5相互按顺序连接,由传输马达1转动带动传输主轴6,从而带
动传输链条5转动传输胶轮4达到传输圆角载盘8的方式,并由两侧导向轴承3和侧面导
向支撑2来维持载盘在固定的轨道上传输,此侧面导向支撑2结构为内空结构,侧面导向

说 明 书
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轴承3安装在里面只露出5mm外径大大减少了溅镀粉尘进入侧面导向轴承3,很好的保护
了侧面导向轴承3,另此侧面支撑2把各侧面导向轴承3连接起来使两侧一直保证在水平
线上此种设计很好的控制住传输圆角载盘8跑偏的角度使其角度很小,确保不会造成传输
圆角载盘8卡在其传动处 。
[0010] 显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的特点。本行业技
术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是
说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各
种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保
护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

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图1
图2

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说 明 书 附 图
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说 明 书 附 图
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