洁净区尘埃粒子测试规程
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洁净区尘埃粒子测试规程
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1 目的
对洁净区的尘埃粒子进行测试,确保其符合相关规定要求。
2 范围
本规程适用于洁净区的尘埃粒子测试。
3 职责
3.1实验室检验员负责对洁净区的尘埃粒子进行测试并予以记录。
3.2品管部主管负责对测试结果进行审核。
4 内容
4.1 测试方法
4.1.1本测试方法采用计数浓度法,即通过测定洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮
粒子数,来评定洁净区的悬浮粒子洁净度等级。
4.1.2仪器:用于粒径大于或等于0.5μm的悬浮粒子计数器(如:CLJ—01D型尘埃粒子计数器)。
4.2测试规则
4.2.1.测试条件
4.2.1.1温度和湿度:洁净区的温度和相对湿度与其生产及工艺要求相适应(温度控制在18℃~28℃,
相对湿度控制在50%~65%之间为宜)。
4.2.1.2压差:空气洁净度不同的洁净区之间的压差应≥5Pa,空气洁净度级别要求高的洁净区对相邻的
空气洁净度洁净级别低的洁净区一般要求呈相对正压。
4.2.2测试状态
4.2.2.1静态测试:洁净区净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,洁净区没有生产
人员的情况下进行的测试,测试时,室内测试人员不得多2人。
4.2.2.2动态测试是洁净区已处于正常生产状态下进行的测试。
4.2.3测试时间
4.2.3.1对单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始。
4.2.3.2对非单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30 min后开始。
4.2.4尘埃粒子计数
4.2.4.1采样点数目及其布置
尘埃粒子洁净度监测的采样点数目及其布置见表1、图1。
表1 最少采样点数目
面积m
2
洁 净 度 级 别
100 10000 100000
<10 2-3 2 2
≥10~<20 4 2 2