洁净室测试方案
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IVO A11 CLEANROOM PACKAGECLEANROOM PERFORMANCE TESTS
CONTENT
1. CLEANROOM LAYOUT AND REQUIREMENT 2. CLEANROOM PERFORMANCE TEST ITEM
3. CERTIFICATION OF CLEANROOM PERFORMANCE
A. AIR FLOW VELOCITY&VOLUME TEST
B. FILTER LEAKAGE TEST
C. AIR BORNE PARTICLE COUNT TEST
D. ILLUMINATION TEST
E. NOISE LEVEL TEST
F. ROOM PRESSURIZATION TEST
G. TEMPERATURE AND HUMIDITY TEST
4. REFERENCE
2. Certification of Cleanroom Performance Test Item
No.
Test Item
ISO 1.5
Class 10
at 0.1μm
ISO 5
Class 100
at 0.5μm
ISO 6
Class 1K
at 0.5μm
1
2
3
1
2
3
1
2
3
A
Air Flow Velocity Test
○
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○
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B
Filter Leakage Test
○
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C
Air Borne Particle Count Test
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D
Illumination Test
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E
Noise Level Test
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F
Room Pressurization Test
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G
Temperature And Humidity Test
○
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○
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REMARKS: 1. 1.As Built ;
2:At-Rest ;
3:Operating
2. ○:L&K Guarantee.
△: For Reference Only.
╳: No Include.
3. CERTIFICATION OF CLEANROOM PERFORMANCE
(A). AIR FLOW VELOCITY TEST
A. 测试仪器：
1. 测量风速及压力组
MAKER: SHORTRIDGE INSTRUMENT INC.
MODEL: ADM-870C
ACCURACY：±3﹪ 2. 测量风量组
MAKER: SHORTRIDGE INSTRUMENT INC.
MODEL: FLOWHOOD
B. 测试步骤：
(1) 每块 Filter 测试 9 点风速。
(2) 测试点置于 Filter 下方不约 6 吋(15cm)处量测。
(3) 计算每片 Filter 量测值之平均风速。
C. 测试点：
每一 Filter 之出风表面均需测试。
D.记录：
记录于表格。
E. 验收标准：
每一 FILTER 之风速需符合下列条件：
每只 Filter 平均风速：0.35m/s ± 20% (0.28-0.42m/s) 90%单点量测值：0.35m/s ± 20% (0.28-0.42m/s)
1.1200mm×1200mm 风量为 0.432CMM。
2.1200mm×900mm 风量为 0.324CMM。
3.1200mm×600mm 风量为 0.216CMM。
(B). FILTER LEAKAGE TEST
A.测试仪器 :
1. PARTICLE COUNTER
MAKER：PMS
MODEL NO：LASAIR-110
SPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFM
PARTICLE SIZE：0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 0.7, 1.0μm
2. PARTICLE COUNTER
MAKER：PMS
MODEL NO：LASAIRⅡ-310A
SPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFM
PARTICLE SIZE：0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10, 25μm 3. AEROSOL GENERATOR
MAKER：PALAS
MODEL NO：AGF 2.0IP 4. AEROSOL DILUTER
MAKER：PALAS
MODEL NO：VKL-100S
B. 测试步骤：
(1) 启动被测漏之 FFU，利用 Particle Counter 之采样器置于 Filter 下
约 2.5-3.0 公分左右，以不超过 10FPM(0.05M/S)之速率沿着
ULPA 之表面做有规律扫描。 (2) 采样器扫描进行中，需同时观察 Particle Counter 之仪表显示值，
当侦测到瞬间有 4 个以上之 Particle 时，则改以 1 FPM 之速率重
新探测，以确定是否有泄漏及泄漏之正确位置。
(3) ULPA 是否有泄漏是以 Particle Count 所侦测到之数据，经三次重
新扫描均超过规范时为研判之依据，停在一定点测时不可有连续
泄漏之发生。
(4) 如 Filter 上方之环境条件低于要求浓度时，则以 Aerosol Generator
增加其浓度，DEHS 与纯 IPA 以 1:9 混合产生之 Particle 使用于
Filter。
C. 测试点：每一 Filter 之出风表面均需测试。
1.尺寸为 1200mm×1200mm 测试时间为 4 分 50 秒。
2.尺寸为 1200mm×900mm 测试时间为 3 分 45 秒。
3.尺寸为 1200mm×600mm 测试时间为 2 分 30 秒。
4.尺寸为 600mm×600mm 测试时间为 1 分 15 秒。
D.记录：
记录于表格，需记录泄漏之正确位置。
E. 验收标准：
(1) 每一片 Filter 均不得有泄漏，有泄漏应更新或修补后重新量测。 (2) 每一片 Filter 之单点修补尺寸不得大于 Filter 表面积之 3%。 (3) 每一片 Filter 之修补面积不得大于 Filter 表面积之 5%。 (4) 每一片 Filter 之修补不得超过 2 点。 (5) 每一片 Filter 之量测数据，
1.尺寸为 1200mm×1200mm 总和不得大于 45 颗。
2.尺寸为 1200mm×900mm 总和不得大于 45 颗。
3.尺寸为 1200mm×600mm 总和不得大于 30
颗。
(C). AIR BORNE PARTICLE COUNT TEST
A.测试仪器：
1. PARTICLE COUNTER
MAKER：PMS
MODEL NO：LASAIR-110
SPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFM
PARTICLE SIZE：0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 0.7, 1.0μm 2. PARTICLE COUNTER
MAKER：PMS
MODEL NO：LASAIRⅡ-310A
SPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFM
PARTICLE SIZE：0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10, 25μm
B. 测试步骤：
(1) 确认洁净室内所有相关之工程
(通风系统、照明系统、过滤系统、天花板、地板、墙板)
均已完成，且已正常运转。
(2) 确认测试点之数量及位置。 1. Class 10:每 2.3m2 取一测量点测量。 2. Class 100：每 4m2 取一测量点测量。 3. Class 1000:每 9m2 取一测量点测量。 4. Class 10000:每 16m2 取一测量点测量。 (3) 每点测试时间 2×1 分钟。 (4) 每一房间至少量测二点。 (5) 测量点距离高架地板或地板 1.2M-1.5M 高处。
C. 测试点：
测试点依测点位置布置图。
