近期国外陶瓷-金属封接的技术进展

为 多注速 调管基 本 参数嘲 。
１ ０ＧＨｚ的范 围 ， 雷 达 、 子 战 、 讯 、 ０ 在 电 通 工业 加 热 、
医疗 设 备 、 能 物 理 、 间 探 测 和 科 学 研 究 等 方 面 取 高 空
表 １ 多注 速 调 管 基 本 参 数
一
些 更 高 峰 值 功 率 的 多 注 速 调 管 尚 处 于 设 计 阶
英 寸 ３ ０ ７ ０ 的 台 阶 。 目前 ６英 寸 ４ ７ 、 ０ ０Ａ、２ ０Ｖ ５ ０Ａ ８ ０ 超 大 功 率 晶 闸 管 的 研 制 成 功 并 投 人 生 产 ， ５ ０Ｖ 成
计 划研 制的 ２ ７注 ５ Ｗ 的 Ｌ波 段 多 注 速 调 管 。 ０Ｍ 进入 ２ １世 纪 以 来 ， 态 功 率 器 件 迅 速 发 展 ， 固 特
１ 实 验 报 告
以速调 管 、 行波 管 、 控管 、 磁 正交 场放 大器 、 管 返 波、 回旋器 件 等为代 表 的真空 电子 功率 器件 ， 近年 来
取 得 了 较 大 的 进 展 ， 频 率 已 经 覆 盖 了 １ＧＨｚ到 其
得 了广泛 的应 用Ⅲ 。
当今 真空 电子 器件 与固态 器件在 市场 上进 行着 激烈的竞争 ， 者 主要 优 势 在 于 高频 率 （ 前 ｆ≥ ３ Ｏ ＧＨｚ和 大 功率 （ 如 ，． ） 例 １ ３ＧＨｚ Ｐ≥ １ ， ０ＭＷ） 表 １ ，
。
真 空 电 子 材 料 、陶 瓷 金 属 封 接
・ 与 真 空 开ຫໍສະໝຸດ 关 管 用 陶 瓷 管 壳 专 辑
近 期 国 外 陶 瓷 一 属 封 接 的 技 术 进 展 金
高 陇桥
（ 京 真 空 电子 技 术 研 究 所 ， 京 １ ０ １ ） 北 北 ０ ０ ５
Ｓ ｍ ｅ Ｐｒ ｇ ｅ ｓ ｏ ｃ ｎｔＣｅ ａ ｉ ｏ Ｍ ｅ ａ ｅ ｌＴｅ ｈ ｌ ｇ ｒ ａ ｏ ｏ ｒ ｓ ｆＲｅ ｅ ｒ ｍ ｃ ｔ ｔ ｌＳ ａ ｃ ｎｏ ｏ ｙ Ａｂ ｏ ｄ
Ｃｒ ｅ ｓ ａｃ ） 在 研 制 的 输 出 功 率 在 ５ ～ ｌ ０ ｅ ｋ Ｒｅ ｅ ｒ ｈ 正 Ｏ ５
Ｍｗ 的 Ｘ波 段 多注 速 调 管 ， 日本 ＫＥ 正在 设 计 阶 Ｋ
段 的 １ ０ ＭＷ 、 波 段 多 注 速 调 管 ， 国 ＴＥＤ 公 司 ５ Ｘ 法
术 水平 连续迈 进 了 ３英 寸 ４ ０ ４英 寸 ５ ０ ５ ５ ０Ｖ， ５ ０Ｖ，
ｉ ｔ ｏ ｃ ｄ． Ｔ ｈｅ ｒ ｌ ｔｖ ｏｄ ｃ ｓ ｆｏｍ ｂｒ ａ ｒ ｎ ｌ ｚ ｄ． ｎ ｒ ｄｕ ｅ ｅ ａ ｉ ｅ ｐｒ ｕ ｔ ｒ ａ ｏ ｄ ａ ｅａ ａｙ ｅ
Ｋｅ ｙ ｗｏｒ ｓ ｄ ：Ｃｅ ａ ｃ ｔ ｔ ｌｓ ａ ，Ｔｅ ｈｎｏ ｏ ｙ ｐｒ ｇｒ ｓ ｒ ｍｉ ｏ ｍｅ ａ ｅ ｌ ｃ ｌ ｇ ｏ ｅ ｓ，Ｐｒ ｕｃ ｒ ｏｄ ｔ ｆｏｍ ｂｒ ａ ａ ｏ ｄ，Ａｎａｙｓｓ ｒ ｐ ｒ ｌ ｉ ｅ ｏ ｔ
功 地用 于特 高压直 流 输 电 ， 我 国 晶 闸管 的 研制 能 使
力 和生产 水平 站在 世界 的最 前列 。
别 是第三 代半 导体材 料 ， 宽禁 带 Ｇ Ｎ，ｉ ａ ＳＣ器件 突 破 了许 多高 压 技 术 ， 出功 率 在 ＵＨＦ ＶＨＦ到 Ｘ 波 输 ／
所 有这 些 军 工 、 民用高 新 技 术产 品都 涉 及 到高
Ｇ Ａ Ｏ ｎｇ ｑ ａ Ｌｏ ～ ｉ ｏ （ ｉｉ ｇＶａ ｕ ｍ ｅｔｏ ｉｓＲｅｅ ｒｈ Ｉ ｓｉｕ ｅ Ｂｅｊｎ ｃ ｕ Ｅｌｃｒ ｎｃ ｓａ ｃ ｎ ｔｔ ｔ ，Ｂｅｊｎ ０ ０ ５，Ｃ ｉａ ｉｉｇ １ ０ １ ｈｎ ）
Ａ ｂ ｔａ ｔ： ｅ ｐ ｅ ｅ ｎ ｏ ｅ ｖ ｅ ｏ ｏ ｅ ｓ ｏ ｅ ｅ ｅ ａ ｉ Ｏ ｍ ｅ ａ ｅ ｌｔ ｃ ｓｒ ｃ Ｗ ｒ ｓ ｎｔａ ｖ ｒ ｉ ｗ ｆｐｒ ｇｒ ｓ ｆｒ ｃ ｎｔｃ ｒ ｍ ｃ ｔ ｔ ｌｓ ａ ｅ ｈｎｏ ｏ ｂｒ ａ ． Ｓｐ — ｌ ｇｙ ａ ｏ ｄ ｅ
ｃａｌ ｉｌｙ，ｔ ｏ ｅ ，ｇ ａ ｌ ｒ，ｓ ｐ ｎｄ ｕｎ ｆ ｒ ｔ ｌ ｄｅ ｍ ｏｗｅ ｉ ｅ ａ ｉｉ ｏｍｐ ｉｉ ａ ｅ ｈｅ ｃ ｎｔ ｎｔ ｒ ｎｕ ａ ｈａ ｅ ａ ｉｏ ｍｉｙ ｏｆ ｍｏ ｙｂ ｎｕ ｐ ｒｎｇ ｍ ｔ ｌｚｎｇ ｃ ｏｓｔｏｎ ｒ
段 超 过 了 ３ （ １ ＿ 。 ＯＷ 图 ）３ ｊ 近 期 我 国 电 力 电 子 器 件 的 发 展 更 为 迅 速 ［ ，０ ４ ８ ］ 年 代 通 过 引 进 消 化 、 收 、 创 新 ， 国 晶 闸 管 的 技 吸 再 我
段 或 正 在 制 造 中 ， 中 包 括 美 国 Ｃ Ｒ（ ａａ ａａ 其 Ｃ Ｃ ｌｂ ｚｓ
摘 要 ： 文 叙 述 了近 期 国外 陶 瓷 一 属 封 接 技 术 的进 展 ， 别 是 有 关 Ｍｏ粉 的 有 关 特 性 ， 对 国外 典 型 产 品 作 了分 析 报 告 。 本 金 特 并 关 键 词 ：陶瓷 ～ 属 封 接 ； 术进 展 ； 金 技 国外 产 品 ； 析 报 告 分 中 图 分 类 号 ：Ｂ ５ Ｔ ７６ 文献标识码 ： Ａ 文 章 编 号 ：０ ２ ８ ３ （０ ０ ０ － ０ ４ － ０ １ ０ － ９ ５ ２ １ ）４ ０７ ４
２ ０－０ ０１ ４
粒度 和 Ａｌ 。 。 瓷平 均 晶粒 度 的比例 以 １： Ｏ ８为宜 ， 与 后来湖 南湘瓷科 艺公 司的试验结 果相一 致Ⅲ 。
表 ２ 某 些 钼锰 金 属 化 膏 组 成
≥ １ ｌ２ ０ ｘ
爵 雷 １ｘ１ ０
０ｌ
２
５
ｌ ０
频率 ／ Ｈ Ｇ ｚ