薄膜制备与表面分析(4)

金属铬原子层沉积简介金属铬原子层沉积是一种常用的金属薄膜制备方法，通过在基底表面逐层沉积铬原子来制备金属铬薄膜。

该技术具有高精度、高可控性和高均匀性的特点，被广泛应用于光学、电子、磁性和纳米科技等领域。

工艺步骤金属铬原子层沉积主要包括以下几个工艺步骤：1. 表面准备在进行金属铬原子层沉积之前，首先需要对基底表面进行准备。

这包括去除表面的杂质和氧化物，并保证表面的平整度和清洁度，以便于后续的沉积。

2. 基底激活为了增加金属铬原子与基底的粘附力，需要在基底表面进行激活处理。

常用的激活方法包括在基底表面吸附活化剂，如金属钴、铁等，以提高金属铬原子的粘附能力。

3. 原子层沉积金属铬原子层沉积采用物理气相沉积技术，常见的方法包括分子束外延、脉冲激光沉积、热蒸发等。

在沉积过程中，金属铬原子通过蒸发源或者离子束等途径被输运至基底表面，形成一层致密的金属薄膜。

沉积过程中的温度、沉积速率、沉积时间等参数需要进行精确控制，以获得所需的沉积层。

4. 表征和分析完成金属铬原子层沉积后，需要对薄膜进行表征和分析，以了解其结构、形貌和性能。

常用的表征方法包括扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）等。

应用领域金属铬原子层沉积在许多领域具有广泛应用的潜力，下面介绍其中几个主要应用领域：1. 光学薄膜金属铬原子层沉积可用于制备光学薄膜，如反射镜、金属光栅等。

通过精确控制沉积参数和层次厚度，可以实现对光的反射、透射和吸收的调控，进而实现对光的各种性质的控制。

2. 电子器件金属铬原子层沉积可用于制备微电子器件、传感器和集成电路等。

金属铬薄膜具有较高的电导率和磁导率，可用于导电线路、磁性元件等的制备，提高器件的性能和可靠性。

3. 纳米科技金属铬原子层沉积在纳米科技领域也有广泛应用。

通过控制沉积层的厚度、晶粒尺寸和形貌等参数，可以实现纳米级薄膜的制备，并用于纳米级器件、纳米结构和表面修饰等方面。

优势和挑战金属铬原子层沉积技术具有以下优势：•高精度和可控性：通过精确控制沉积参数，可以实现对金属铬薄膜的组分、厚度和结构的精确控制。

文献综述DLC薄膜的制备和检测技术综述学院光电学院学科光学工程学号1101210021姓名薛俊2013年6月18日前言20世纪70年代初,Aisenberg[1]和E.Gspenc[2]分别次采用离子束沉积技术(IBD)和碳气相离子束增强沉积(IBED)技术制备了绝缘碳膜，命名该膜为DLC[1]。

20世纪70年代末，前苏联研制的DLC膜的硬度已经达到15000(维氏硬度)[3]。

DLC薄膜具有生产工艺简单，性能优良等特点。

20世纪80年代中期，在世界范围内掀起了研究、制备、开发和应用DLC膜的热潮。

厚度为100μm、表面粗糙度<10nm的DLC膜己经被美国通用原子公司（GA）利用PECVD制造出来[3]。

我国在制备DLC膜研究、应用方面也去得了长足的进展，不过与发达国家相比，差距还是存在的。

现在DLC膜还有很多问题存在争议或尚未解决。

这也问题严重制约了DLC膜的研究发展，现在，随着DLC制备技术的日益完善以及社会对DLC膜的需求量的增加，DLC 膜的应用研究价值也日益凸显。

1 DLC薄膜概况1971年德国的Aisenberg 采用碳离子束首次制备出了具有金刚石特征的非晶态碳膜,由于所制备的薄膜具有与金刚石相似的优异性能,Aisenberg于1973年首次把它称之为类金刚石(DLC)膜[1]。

DLC膜有着和金刚石几乎一样的性质,如高硬度、耐磨损、高表面光洁度、高电阻率、优良的场发射性能,高透光率及化学惰性等,它的产品广泛应用在机械、电子、光学和生物医学等各个领域。

尤其在光学领域，该技术在光学薄膜制造及其应用方面, 突破了大面积、高均匀性、高透射比、抗激光兼容的红外减反射膜镀制关键技术, 并在军事和民用上得以应用。

DLC膜的沉积温度低、表面平滑,具有比金刚石膜更高的性价比,且在相当广泛的领域内可以代替金刚石膜,所以自80年代以来一直是研究的热点。

碳是类金刚石膜的主要成分。

碳元素有3种同素异形体，即金刚石、石墨和各种无定形碳。

氧化镍薄膜实验报告单
实验目的：
本实验旨在制备氧化镍薄膜，并研究其表面形貌和光学性质。

实验原理：
氧化镍（NiO）是一种重要的过渡金属氧化物，具有广泛的应用前景。

其薄膜可以通过不同方法制备，如化学溶液法、物理气相沉积法等。

本实验采用溶胶-凝胶法制备氧化镍薄膜。

实验步骤：
1. 准备氧化镍溶液。

将适量氧化镍前驱物溶解在适量有机溶剂中，并充分搅拌均匀，得到溶液。

2. 涂布氧化镍溶液。

将基底材料放置于自旋涂布仪中，设置合适的转速和涂布次数，在基底上均匀涂布氧化镍溶液。

3. 热处理薄膜。

将涂布好的基底材料放入烘箱中进行热处理，使溶液中的有机溶剂挥发，形成氧化镍薄膜。

4. 表征氧化镍薄膜。

对制备好的氧化镍薄膜进行表面形貌和光学性质的表征，如扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）等。

实验结果：
通过SEM观察，制备得到的氧化镍薄膜表面均匀且光滑，无明显的粗糙度。

XRD结果显示薄膜为立方晶相的氧化镍，与标准样品谱图一致。

讨论与分析：
制备成功的氧化镍薄膜具有良好的表面形貌和结晶性质。

这种
薄膜在光电子装置、储能材料等领域具有广泛应用前景。

结论：
本实验成功制备了氧化镍薄膜，并对其进行了表面形貌和结晶性质的研究。

实验结果表明制备得到的薄膜具有良好的表面形貌和结晶性质，适用于光电子装置、储能材料等领域应用。

β-NaYF4：Yb,Er复合丝素荧光薄膜的制备与表征祁宁;赵兵【摘要】采用高温热分解法合成β-NaYF4:Yb,Er纳米晶体,然后将丝素薄膜作为柔性基底材料与β-NaYF4:Yb,Er复合制备了一种丝素基荧光薄膜.使用透射电镜(TEM)、高分辨透射电镜(HRTEM)、X-射线衍射仪(XRD)、傅立叶红外光谱仪(FT-IR)、紫外可见分光光度计、荧光光谱仪对β-NaYF4:Yb,Er和丝素基荧光薄膜进行表征.结果表明:β-NaYF4:Yb,Er纳米晶体平均粒径35 nm,分散性良好,六方相,表面包覆油酸.β-NaYF4:Yb,Er纳米晶体质量浓度对丝素基荧光薄膜的透光率有重要影响,随β-NaYF4:Yb,Er质量浓度的提高,丝素基荧光薄膜的透光率不断减小.丝素基荧光薄膜在980 nm激光器激发下荧光光谱图中有3个发射峰,分别对应于Er3+离子2H1/2→4I15/2(520 nm)、4S3/2→4I15/2(540 nm)、4F9/2→4I15/2(660 nm)能级跃迁,其主要的发光机制是能量传递上转换.%β-NaYF4:Yb,Er nanocrystals were firstly prepared by thermal decomposition and then spin-coated on silk fibroin film substrate to obtain fluorescence silk fibroin film. β-NaYF4:Yb,Er nanocrystals and fluorescence silk fibroin film were characterized by transmission electron microscopy (TEM), high resolution transmission electron microscopy (HRTEM), X-ray diffraction (XRD), Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR), fluorescence spectra and optical transmittance spectra. It could be seen that the as-prepared β-NaYF4:Yb,Er nanocrystals with the average size of 35 nm were well dispersed, hexagonal-phase and coated with oleic acid. The concentration of β-NaYF4:Yb,Er nanocrystals had a major impact on transmittance of fluorescence silk fibroin film. The transmittance decreased withconce ntration increasing of β-NaYF4:Yb,Er nanocrystals. The UC emission spectrum of fluorescence silk fibroin film under 980 nm laser excitation showed three emissions located around 520, 540 and 660 nm, which arose from the 4f configuration transitions of Er3+ from 2H11/2 to 4I15/2, 4S3/2 to 4I15/2 and 4F9/2 to 4I15/2, respectively. The main upconversion luminescence mechanism was energy transfer upconversion (ETU).【期刊名称】《印染助剂》【年(卷),期】2017(034)008【总页数】5页(P15-19)【关键词】丝素;β-NaYF4:Yb,Er;纳米晶体;荧光;薄膜【作者】祁宁;赵兵【作者单位】苏州大学纺织与服装工程学院,江苏苏州 215000;现代丝绸国家工程实验室,江苏苏州 215000;苏州大学纺织与服装工程学院,江苏苏州 215000;现代丝绸国家工程实验室,江苏苏州 215000【正文语种】中文【中图分类】O484.4柔性发光薄膜在太阳能电池、显示器、LED、可植入设备中有重要的应用价值［1］。

制备高质量超导薄膜的常见方法和技巧超导材料是一种在低温下具有零电阻和完全磁场排斥的材料。

这些特性使得超导材料在许多领域具有广泛的应用，如能源传输、磁共振成像和量子计算等。

然而，要实现高质量的超导薄膜制备并不容易。

本文将介绍一些常见的方法和技巧，帮助科研人员制备高质量的超导薄膜。

1. 材料选择和准备超导薄膜的制备首先需要选择合适的超导材料。

常见的超导材料包括铜氧化物和铁基超导体等。

在选择材料时，需要考虑其超导临界温度、晶体结构和化学稳定性等因素。

此外，材料的纯度也非常重要。

通过精细的材料制备和纯化过程，可以提高薄膜的质量和性能。

2. 沉积技术超导薄膜的制备通常采用沉积技术，如物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和溶液法等。

不同的沉积技术具有各自的优缺点，科研人员可以根据实际需求选择合适的方法。

在沉积过程中，需要控制好温度、气氛和沉积速率等参数，以获得均匀且致密的薄膜。

3. 表面处理超导薄膜的表面处理对于提高其质量和性能非常重要。

常见的表面处理方法包括化学腐蚀、机械抛光和离子束刻蚀等。

这些方法可以去除表面的杂质和缺陷，提高薄膜的平整度和结晶性。

4. 退火处理退火是超导薄膜制备中的关键步骤之一。

通过退火处理，可以消除薄膜中的应力和缺陷，提高其结晶性和超导性能。

退火温度和时间需要根据具体材料和薄膜厚度进行优化。

此外，还可以采用快速热退火和激光退火等方法，以进一步改善薄膜的质量和性能。

5. 界面调控超导薄膜的界面性质对其性能具有重要影响。

科研人员可以通过界面调控技术，如界面工程和界面修饰等，来改变薄膜与基底之间的相互作用。

这些技术可以提高薄膜的结晶质量、界面结合强度和超导性能。

6. 表征和分析制备高质量超导薄膜后，需要对其进行表征和分析。

常用的表征方法包括X射线衍射、扫描电子显微镜和超导性能测试等。

这些方法可以揭示薄膜的结构、形貌和超导性能等重要信息，帮助科研人员评估薄膜的质量。

总结起来，制备高质量超导薄膜需要选择合适的材料、掌握适当的沉积技术、进行有效的表面处理、优化退火条件、调控界面性质，并进行全面的表征和分析。

第1篇一、实验目的本次实验旨在通过磁控溅射技术制备不同材料薄膜，研究其制备过程中的工艺参数对薄膜质量的影响，并对薄膜的表面形貌、晶体结构、成分及性能进行分析。

二、实验原理磁控溅射技术是一种物理气相沉积方法，通过将靶材加热至一定温度，使其表面产生自由电子，然后在电场的作用下，自由电子与气体分子发生碰撞，产生等离子体，等离子体中的离子和电子被加速并轰击靶材表面，使靶材表面原子蒸发并沉积在衬底上形成薄膜。

三、实验设备与材料1. 实验设备：- 磁控溅射系统- 扫描电子显微镜（SEM）- X射线衍射仪（XRD）- X射线光电子能谱仪（XPS）- 红外光谱仪（IR）- 薄膜厚度测量仪2. 实验材料：- 靶材：Al、TiO2、ZnO等- 衬底：玻璃、硅等- 氩气、氮气等惰性气体四、实验步骤1. 清洗衬底：使用丙酮、乙醇、蒸馏水等清洗剂对衬底进行清洗，并在烘箱中干燥。

2. 装置准备：将靶材安装在磁控溅射系统上，设置靶材与衬底的距离、溅射气压、溅射时间等参数。

3. 磁控溅射：启动磁控溅射系统，进行溅射实验，制备薄膜。

4. 薄膜性能测试：使用SEM、XRD、XPS、IR等设备对薄膜的表面形貌、晶体结构、成分及性能进行分析。

五、实验结果与分析1. 薄膜表面形貌：SEM结果表明，Al、TiO2、ZnO等薄膜表面均匀，无明显缺陷。

2. 晶体结构：XRD分析表明，薄膜具有良好的晶体结构，晶粒尺寸较小。

3. 成分分析：XPS结果表明，薄膜中各元素含量符合预期。

4. 薄膜性能：- 硬度：Al、TiO2、ZnO等薄膜的硬度较高，具有良好的耐磨性能。

- 导电性：Al薄膜具有良好的导电性，适用于电子器件。

- 介电性能：TiO2、ZnO等薄膜具有良好的介电性能，适用于电容器等器件。

六、实验讨论1. 溅射气压对薄膜质量的影响：溅射气压越高，薄膜密度越大，晶粒尺寸越小，但溅射气压过高会导致薄膜表面出现缺陷。

2. 溅射时间对薄膜质量的影响：溅射时间越长，薄膜厚度越大，但溅射时间过长会导致薄膜内部应力增大，影响薄膜性能。

浙江理工大学物理实验报告薄膜技术及应用姓名：刘彬学号：200920101017班级：应用化学物理实验室实验名称：Cu3N薄膜的制备组别：1 日期：2010年12月20日成绩一、实验目的1．熟悉磁控溅射法的原理及其操作。

2．了解Cu3N薄膜的晶体结构与其制备工艺参数之间关系。

二、实验试剂及仪器JGP560CC型磁控溅射仪三、实验原理磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar和新的电子；新电子飞向基片，Ar在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。

在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子会受到电场和磁场作用，产生E（电场）×B（磁场）所指的方向漂移，简称E×B漂移，其运动轨迹近似于一条摆线。

若为环形磁场，则电子就以近似摆线形式在靶表面做圆周运动，它们的运动路径不仅很长，而且被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内，并且在该区域中电离出大量的Ar 来轰击靶材，从而实现了高的沉积速率。

随着碰撞次数的增加，二次电子的能量消耗殆尽，逐渐远离靶表面，并在电场E的作用下最终沉积在基片上。

由于该电子的能量很低，传递给基片的能量很小，致使基片温升较低。

磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程。

入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程。

在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来。

四、实验过程：利用JGP560CC型磁控溅射仪，采用射频磁控溅射方法，按照表1中的工艺参数在玻璃基底上成功制备了Cu3N薄膜。

溅射时所用靶材为99.99%Cu靶，靶的直径为5cm，厚度2.5mm；靶和基片之间的距离为65mm；溅射所用气体是99.999%高纯氮气和氩气。

将基底在放入真空室之前，分别用丙酮和酒精超声波清洗，溅射前将真空室气压抽至2×10-5Pa，并通人氩气预溅射5min以清洗靶面；随后通入适量反应气体N2，两种气体的流量分别使用质量流量计控制，总气压为1 Pa。

光学薄膜的制备与应用光学薄膜是一种特殊的薄膜材料，它能够在光的传播过程中改变光的特性。

光学薄膜广泛应用于光学仪器、光电子器件、光纤通信等领域。

本文将介绍光学薄膜的制备方法以及其在不同领域的应用。

一、光学薄膜的制备方法光学薄膜的制备方法多种多样，常见的有物理气相沉积、化学气相沉积和溅射等。

其中，物理气相沉积是最常用的方法之一。

物理气相沉积是利用高能粒子轰击固体表面，使其原子或分子从固体表面脱离并沉积在基底上，形成薄膜。

这种方法制备的薄膜具有较高的质量和较好的光学性能。

化学气相沉积是利用化学反应在基底上生成薄膜。

这种方法可以控制薄膜的成分和结构，制备出具有特殊功能的薄膜。

溅射是利用离子轰击靶材，使其表面原子或分子脱离并沉积在基底上。

溅射方法可以制备出均匀且致密的薄膜，具有较好的光学性能。

二、光学薄膜在光学仪器中的应用光学薄膜在光学仪器中有着广泛的应用，例如镜片、透镜、滤光片等。

光学薄膜可以改变光的透射、反射和吸收特性，使得光学仪器具有更好的光学性能。

例如，利用光学薄膜可以制备出高反射率的镜片，使得光学仪器的光学系统具有更高的光学效率。

此外，光学薄膜还可以制备出具有特殊功能的光学元件，如可调谐滤光片、增透膜等。

可调谐滤光片可以根据需要调整滤光波长，广泛应用于光学成像、光谱分析等领域。

增透膜可以提高光学仪器的透过率，使得成像更加清晰。

三、光学薄膜在光电子器件中的应用光电子器件是利用光与电的相互作用来实现光信号的转换和处理的器件。

光学薄膜在光电子器件中起到关键作用。

例如，光学薄膜可以制备出高效率的光电二极管，用于光电转换。

光学薄膜还可以制备出高反射率的反射镜，用于光学放大器和激光器中。

此外，光学薄膜还可以制备出具有特殊功能的光电子器件，如光学波导、光学滤波器等。

光学波导可以将光信号引导到特定的方向，用于光通信和光传感器中。

光学滤波器可以选择性地透过或反射特定波长的光，用于光谱分析和光学成像。

四、光学薄膜在光纤通信中的应用光纤通信是一种利用光信号传输信息的通信方式。

ito薄膜磁控溅射制备工艺是一种常用的薄膜制备技术，其基本步骤包括：
1. 准备工作：在实验前，需要对设备和试剂进行准备。

设备包括磁控溅射仪、高温退火炉等，试剂包括ITO靶材（氧化铟锡）、金属银（Ag）、基底等。

需要确保基底和靶材的匹配，以及基底的清洁度。

2. 基底预处理：对玻璃基底进行表面处理，主要是除去油污和杂质，增加表面粗糙度，提高附着力和耐腐蚀性。

这一步骤可以使用丙酮等有机溶剂清洗。

3. 溅射过程：将准备好的ITO靶材安装在真空系统中，并通过控制系统抽真空，直至达到所需的真空度。

然后通入高纯氩气或氪气，启动磁控溅射仪，在一定的气压和溅射功率下进行溅射。

ITO靶材在氩气环境中被溅射出原子，沉积在基底上形成薄膜。

4. 薄膜退火处理：溅射完成后，需要对薄膜进行热处理。

将样品放入高温退火炉中，在一定的温度、时间和气氛条件下，对薄膜进行热处理，以提高薄膜的致密度、结晶度以及与玻璃基底的附着力。

5. 检测与分析：对薄膜进行性能检测和分析，包括膜层表面形貌、膜层厚度、光学性能、电学性能等。

可以通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、光谱仪等设备进行检测。

具体的制备工艺参数可能会因材料、设备、实验条件等因素的差异而有所不同。

此外，ito 薄膜磁控溅射制备工艺还包括不同的后处理工艺，如阻焊膜制备、图形刻蚀等，可根据具体应用需求选择合适的后处理工艺。

以上信息仅供参考，如果需要更多信息，建议咨询专业人士。

pld技术制备薄膜材料工艺流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。

文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor.I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!PLD技术在薄膜材料制备中的应用与工艺流程物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，简称PLD）是一种广泛应用于薄膜材料制备的先进技术。

第一章最可几速率：根据麦克斯韦速率分布规律，可以从理论上推得分子速率在m v 处有极大值，m v 称为最可几速率M RT M RT m kT 41.122==,Vm 速度分布 平均速度:M RT m RT m kT 59.188==ππ，分子运动平均距离 均方根速度:M RT M RT m kT 73.133==平均动能真空的划分：粗真空、低真空、高真空、超高真空。

真空计：利用低压强气体的热传导和压强有关； (热偶真空计)利用气体分子电离；（电离真空计）真空泵：机械泵、扩散泵、分子泵、罗茨泵机械泵：利用机械力压缩和排除气体扩散泵：利用被抽气体向蒸气流扩散的想象来实现排气作用分子泵：前级泵利用动量传输把排气口的气体分子带走获得真空。

平均自由程：每个分子在连续两次碰撞之间的路程称为自由程；其统计平均值成为平均自由程。

常用压强单位的换算 1Torr=133.322 Pa 1 Pa=7.5×10-3 Torr1 mba=100Pa 1atm=1.013*100000Pa真空区域的划分、真空计、各种真空泵粗真空 1×105 to 1×102 Pa 低真空 1×102 to 1×10-1 Pa 高真空 1×10-1 to 1×10-6 Pa 超高真空 <1×10-6 Pa旋转式机械真空泵油扩散泵复合分子泵属于气体传输泵，即通过气体吸入并排出真空泵从而达到排气的目的分子筛吸附泵钛升华泵溅射离子泵低温泵属于气体捕获泵，即通过各种吸气材料特有的吸气作用将被抽气体吸除，以达到所需真空。

不需要油作为介质，又称为无油泵绝对真空计：U 型压力计、压缩式真空计相对真空计：放电真空计、热传导真空计、电离真空计机械泵、扩散泵、分子泵的工作原理，真空计的工作原理第二章1.什么是饱和蒸气压？蒸发温度？饱和蒸气压：在一定温度下，真空室内蒸发物质的蒸气与固体或液体平衡过程中所表现出的压力蒸发温度：物质在饱和蒸气压为10-2托时的温度。

实验一磁控溅射法制备薄膜材料一、实验目的1.详细掌握磁控溅射制备薄膜的原理和实验程序；2、制备出一种金属膜, 如金属铜膜；3.测量制备金属膜的电学性能和光学性能；二、 4、掌握实验数据处理和分析方法, 并能利用 Origin 绘图软件对实验数据进行处理和分析。

三、实验仪器磁控溅射镀膜机一套、万用电表一架、紫外可见分光光度计一台；玻璃基片、金属铜靶、氩气等实验耗材。

四、实验原理1.磁控溅射镀膜原理（1）辉光放电溅射是建立在气体辉光放电的基础上, 辉光放电是只在真空度约为几帕的稀薄气体中, 两个电极之间加上电压时产生的一种气体放电现象。

辉光放电时, 两个电极间的电压和电流关系关系不能用简单的欧姆定律来描述, 以气压为1.33Pa 的 Ne 为例, 其关系如图 5 -1 所示。

图 5-1 气体直流辉光放电的形成当两个电极加上一个直流电压后, 由于宇宙射线产生的游离离子和电子有限,开始时只有很小的溅射电流。

随着电压的升高, 带电离子和电子获得足够能量, 与中性气体分子碰撞产生电离, 使电流逐步提高, 但是电压受到电源的高输出阻抗限制而为一常数, 该区域称为“汤姆森放电”区。

一旦产生了足够多的离子和电子后, 放电达到自持, 气体开始起辉, 出现电压降低。

进一步增加电源功率, 电压维持不变, 电流平稳增加, 该区称为“正常辉光放电”区。

当离子轰击覆盖了整个阴极表面后, 继续增加电源功率, 可同时提高放电区内的电压和电流密度, 形成均匀稳定的“异常辉光放电”, 这个放电区就是通常使用的溅射区域。

随后继续增加电压, 当电流密度增加到～0.1A/cm 2时, 电压开始急剧降低, 出现低电压大电流的弧光放电, 这在溅射中应力求避免。

（2）溅射通常溅射所用的工作气体是纯氩, 辉光放电时, 电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞, 电离出大量的氩离子和电子, 电子飞向基片。

氩离子在电场的作用下加速轰击靶材, 溅射出大量的靶材原子, 这些被溅射出来的原子具有一定的动能, 并会沿着一定的方向射向衬底, 从而被吸附在衬底上沉积成膜。