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芯片倒装技术及芯片封装技术

芯片倒装技术及芯片封装技术
芯片倒装技术及芯片封装技术

芯片倒装技术及芯片封装技术

引言世纪90年代以来,移动电话、个人数字助手(PDA)、数码相机等消费类电子产品的体积越来越小,工作速度越来越快,智能化程度越来越高。这些日新月异的变化为电子封装与组装技术带来了很多挑战和机遇。材料、设备机能与工艺控制能力的改进使越来越多的EMS 公司可以跳过尺度的表面安装技术(SMT)直接进入提高前辈的组装技术领域,包括倒装芯片等。因为越来越多的产品设计需要不断减小体积,进步工作速度,增加功能,因此可以预计,倒装芯片技术的应用范围将不断扩大,终极会取代SMT当前的地位,成为一种尺度的封装技术。

多年以来,半导体封装公司与EMS公司一直在通力进行,在施展各自特长的同时又介入对方领域的技术业务,力争使自己的技术能力更加完善和全面。在半导体产业需求日益增加的环境下,越来越多的公司开始提供\\\"完整的解决方案\\\"。这种趋同性是人们所期望看到的,但同时双方都会面对一定的挑战。

例如,以倒装芯片BGA或系统封装模块为例,跟着采用提高前辈技术制造而成的产品的类型由板组装方式向元件组装方式的转变,以往好像不太重要的诸多因素都将施展至关重要的作用。互连应力不同了,材料的不兼容性增加了,工艺流程也不一样了。不论你的新产品类型是否需要倒装芯片技术,不论你是否以为采用倒装芯片的时间合适与否,理解倒装芯片技术所存在的诸多挑战都是十分重要的。

倒装芯片技术倒装芯片技术\\\",这一名词包括很多不同的方法。每一种方法都有很多不同之处,且应用也有所不同。例如,就电路板或基板类型的选择而言,不管它是有机材料、陶瓷材料仍是柔性材料,都决定着组装材料(凸点类型、焊剂、底部填充材料等)的选择,而且在一定程度上还决定着所需设备的选择。在目前的情况下,每个公司都必需决定采用哪一种技术,选购哪一类工艺部件,为知足未来产品的需要进行哪一些研究与开发,同时还需要考虑如何将资本投资和运作本钱降至最低额。

在SMT环境中最常用、最合适的方法是焊膏倒装芯片组装工艺。即使如斯,为了确保可制造性、可靠性并达到本钱目标也应考虑到该技术的很多变化。目前广泛采用的倒装芯片方法主要是根据互连结构而确定的。如,和婉凸点技术的实现要采用镀金的导电聚合物或聚合物/弹性体凸点。

焊柱凸点技术的实现要采用焊球键合(主要采用金线)或电镀技术,然后用导电的各向同性粘接剂完成组装。工艺中不能对集成电路(1C)键合点造成影响。在这种情况下就需要使用各向异性导电膜。焊膏凸点技术包括蒸发、电镀、化学镀、模版印刷、喷注等。因此,互连的选择就决定了所需的键合技术。通常,可选择的键合技术主要包括:再流键合、热超声键合、热压键合和瞬态液相键合等。

上述各种技术都有利也有弊,通常都受应用而驱动。但就尺度SMT工艺使用而言,焊膏倒装芯片组装工艺是最常见的,且已证实完全适合焊膏倒装芯片组装技术传统的焊膏倒装芯片组装工艺流程包括:涂焊剂、布芯片、焊膏再流与底部填充等。但为了桷保成功而可靠的倒装芯片组装还必需留意其它事项。通常,成功始于设计。

首要的设计考虑包括焊料凸点和下凸点结构,其目的是将互连和IC键合点上的应力降至最低。假如互连设计适当的话,已知的可靠性模型可猜测出焊膏上将要泛起的题目。对IC 键合点结构、钝化、聚酰亚胺启齿以及下凸点治金(UBM)结构进行公道的设计即可实现这一目的。钝化启齿的设计必需达到下列目的:降低电流密度;减小集中应力的面积;进步电迁移的寿命;最大限度地增大UBM和焊料凸点的断面面积。

凸点位置布局是另一项设计考虑,焊料凸点的位置尽可能的对称,识别定向特征(去掉一个边角凸点)是个例外。布局设计还必需考虑顺流切片操纵不会受到任何干扰。在IC的有

源区上布置焊料凸点还取决于IC电路的电机能和敏捷度。除此之外,还有其它的IC设计考虑,但晶片凸点制作公司拥有专门的IC焊点与布局设计准则来保证凸点的可靠性,从而可确保互连的可靠性。

主要的板设计考虑包括金属焊点的尺寸与相关的焊料掩模启齿。首先,必需最大限度地增加板焊点位置的润湿面积以形成较强的结合点。但必需留意板上润湿面积的大小应与UBM 的直径相匹配。这有助于形成对称的互连,并可避免互连一真个应力高于另一端,即应力不均衡题目。实际上,设计时,通常会采用使板的焊点直径略大于UBM直径的方法,目的是将接合应力集中在电路板一端,而不是较弱的IC上。对焊膏掩模启齿进行适当的设计可以控制板焊点位置上的润湿面积。

既可采用焊膏掩模设计也可采用无焊膏掩模设计,但将这两种方法结合起来的设计是最可靠的设计手段。在相关的电路板图形上使用矩形启齿并将焊膏掩模的清楚度也考虑在内即可设计出恰当的板焊点位置。假如设计不公道,一旦组装环境发生变化或机械因数有所改变,IC就会泛起焊膏疲惫断裂。采用底部填料的方法的确能够极大地进步倒装芯片元件互连的可靠性,但假如不严格遵循设计准则的话仍是不可避免地会产生同样的失效机理。

晶片的凸点制作/切片焊料凸点的作用是充当IC与电路板之间的机械互连、电互连、有时还起到热互连的作用。在典型的倒装芯片器件中,互连由UBM和焊料凸点本身构成。UBM 搭接在晶片钝化层上,以保护电路不受外部环境的影响。实际上,UBM充当着凸点的基底。它具有极佳的与晶片金属和钝化材料的粘接机能,充当着焊膏与IC键合金属之间的焊膏扩散层,同时还为焊膏提供氧化势垒润湿表面。UBM叠层对降低IC焊点下方的应力具有十分重要的作用。

如前所述,焊料凸点制作技术的种类良多。采用蒸发的方法需要在晶片表面上溅射势垒金属(采用掩模或用光刻作为辅助手段)形成UMB,然后蒸发Sn和Pb形成焊料。在随后的工艺中对Sn和Pb焊料进行再流,形成球形凸点。这一技术非常合用于采用耐高温陶瓷基板的含铅量较高的凸点(相对易熔焊料凸点而言)。但对有机电路板上的SMT应用而言,IC上的高铅焊料凸点还需要采用易熔焊料来形成互连。

低本钱的凸点制作技术,如电镀或模版印刷(与溅射或化学镀UBM相结合)都是目前常用的制作工艺。这些工艺的凸点制作本钱要比蒸发低一些,而且在电路上使用易熔焊料还可省去再将其放置到电路板上的那步工艺及其用度。目前出产的其它焊料合金包括无铅焊料、高铅焊料和低α焊料等。

对电镀凸点工艺而言,UBM材料要溅射在整个晶片的表面上,然后淀积光刻胶,并用光刻的方法在IC键合点上形成启齿。然后将焊接材料电镀到晶片上并包含在光刻胶的启齿中。其后将光刻胶剥离,并对曝光的UBM材料进行刻蚀,对晶片进行再流,形成终极的凸点。另一种常用的方法是将焊料模版印刷到带图形的UBM(溅射或电镀)上,然后再流。

控制凸点的终极高度具有十分重要的作用。它可以保证较高的组装成品率。用于监测凸点制作工艺的破坏性凸点堵截测试方法经常会使焊膏中产生失效模式,但毫不会对UBM或下面的IC焊点造成这样的结果。

晶片切割经常被看作是后端组装中的第一步。磨蚀金刚石刀片以60,000rpm的转速进行切片。切割中要使用去离子水以进步切割的质量并延长刀片的寿命。目前,降低单个IC上的屑片缺陷是一项十分紧迫的任务。由于顶部的屑片有可能接近芯片的有源区,背面的屑片对倒装芯片的可靠性极其不利。边沿的断裂,甚至是芯片区内的背面芯片在热应力和机械应力的作用下常会扩展,导致器件的早期失效。

焊剂/拾装/再流完成晶片切割后,可将切分好的单个芯片留在晶片上,也可将其放置到华夫饼包装容器、凝胶容器、Surftape或带与轴封装中。倒装芯片布局设备必需具有处理带凸点的芯片的能力。华夫饼容器适应于小批量需求,或用于免测芯片;带与轴合用于SMT

贴装设备;送至贴装设备的晶片较为普遍,且最适合大批量制造应用。

实际的倒装芯片组装工艺由分配焊剂开始。分配焊剂的方法有多种,包括浸液、挤涂分配、模版印刷、或喷涂等。每一种方法都有其长处和应用范围。贴装设备上通常要装有焊剂或粘接胶浸润组件。这种方法具备将焊剂固定到芯片凸点上的长处。

控制焊剂膜的高度和盘的旋转速度对批量出产的可重复性十分必要。焊剂分配工艺必需精确控制焊剂的分配量与可重复性。模版印刷焊剂合用于大批量制造,但对逆流设备的要求较高。无论采用哪一种方法,在粘贴倒装芯片器件时都必需考虑材料的特性和所用焊剂的兼容性。

完成焊剂分配工艺后就可以采用多头高速元件拾装系统或超高精度拾装系统拾取芯片了。为了促进半导体后端制造与EMS组装市场的结合

TCP,被称为薄膜编带封装,这种工艺是把大规模集成电路芯片或者一般集成电路芯片安装固定在薄膜或狭带上。这是一种很薄且多管脚芯片的理想封装形式。封装类型为芯片表面只由树脂浸透的单侧罐封型。

SOF:薄膜上系统

裸芯片和外围元器件可以安装在薄膜上。这种非常柔软的薄膜封装较易弯曲,有助于设计扁薄小巧的产品。

CSP:芯片尺寸封装形式

FBGA(通常称作CSP)是一种在底部有焊球的面阵引脚结构,使封装所需的安装面积接近于芯片尺寸。这种高密度、小巧、扁薄的封装技术非常相宜用于设计小巧的手持式消费类电子装置,如个人信息工具、移动电话、摄录一体机、以及数码相机。

叠层系统集成封装

叠层CSP、TSOP、QFP*和QFN是一种高密度芯片尺寸封装方式,很多大规模集成电路(LSI)用夏普独创的安装技术叠层组装到统一个封装之中。

用这种结构可以将多个器件组装在一起,如多个存储器芯片(例如,瞬时存储器与SRAM存储器)、AS集成电路芯片与存储器芯片等。它可以使手机、个人信息工具、以及其它便携式设备具有更多的功能,并且缩小体积、减轻重量。

叠层封装(CSP)

特点

丰硕的产品系列

可提供品种丰硕多彩的叠层CSP,包括2芯片、3芯片和4芯片的叠层CSP,以知足客户需求。

小的更薄的尺寸

将多块裸芯片装入一个目前的塑料封装中能减少安装所需的面积,而且使用夏普的更薄晶片技术能使封装高度最大为1.4mm。

多功能

不同大小、不同功能的多块裸芯片,例如逻辑LSI和存储器芯片,可以装入到统一个封装之中,从而可以获得多种功能。

相同尺寸芯片叠层技术

夏普的叠层技术使多块相同尺寸的裸芯片可以堆叠在一起,从而获得更高的存储密度。

(4芯片叠层CSP)

使用夏普4芯片叠层CSP,装配和封装高度与使用2芯片叠层CSP或者3芯片叠层CSP 以及通常的CSP比拟能降低一半。

文章源自:芯片解密

倒装芯片将成为封装技术的最新手段

倒装芯片将成为封装技术的最新手段 发布: 2009-6-10 | 作者: | 来源: 摘要:本文介绍了倒装芯片技术的特点并指出其工艺应用。关键词:倒装芯片;工艺应用 1 引言将芯片封装在一个封装体内或其表面上是封装界沿用了多年的一种传统的封装技术。如LPCC、TBGA、SOIC和DIPS等都采用这种封装方法。90年代以来,随着应用领域的大力驱动,封装技术不断取得日新月异的进展。单从封装技术新名词的涌现速度就足以说明封装技术的不断发展。近几年在各种期刊和会议录文章中出现的封装技术缩略词更是层出不穷,令人眼花缭乱,应接不暇。人们对铜引线框架的特性及其相关的工艺技术并不陌生。采用金线与其它合金(如铜等)的引线键合技术已接近完美的程度。最近几年,引线键合的节距(交错节距)不断减小,已由原来的100μm降至80μm、50μm、35μm,2002年已降至25μm。目前的封装多采用下列两种形式:1种是采用封帽的气密封装;另一种是采用模压化合物或液体密封剂的灌封方式,使最终的封装体能经受住可靠性测试。此外,与PCB的互连采用针式引线,其形状可分为直接鸥翼形成“J”形。三四年以前,制造产品的最终目的通常是最大限度地延长使用寿命。但如今的情况已大不相同了,消费类产品已达到极为丰富的程度。一旦产品出现故障,人们通常采用的方法是弃旧购新,因为购买新产品的价格甚至比维修还要划算。这也足以说明,大部分产品的价格已发生了许多变化。2 倒装芯片技术的发展30多年前,“倒装芯片”问世。当时为其冠名为“C4”,即“可控熔塌芯片互连”技术。该技术首先采用铜,然后在芯片与基板之间制作高铅焊球。铜或高铅焊球与基板之间的连接通过易熔焊料来实现。此后不久出现了适用于汽车市场的“封帽上的柔性材料(FOC)”;还有人采用Sn封帽,即蒸发扩展易熔面或E3工艺对C4工艺做了进一步的改进。C4工艺尽管实现起来比较昂贵(包括许可证费用与设备的费用等),但它还是为封装技术提供了许多性能与成本优势。与引线键合工艺不同的是,倒装芯片可以批量完成,因此还是比较划算。由于新型封装技术和工艺不断以惊人的速度涌现,因此完成具有数千个凸点的芯片设计目前已不存在大的技术障碍小封装技术工程师可以运用新型模拟软件轻易地完成各种电、热、机械与数学模拟。此外,以前一些世界知名公司专为内部使用而设计的专用工具目前已得到广泛应用。为此设计人员完全可以利用这些新工具和新工艺最大限度地提高设计性,最大限度地缩短面市的时间。无论人们对此抱何种态度,倒装芯片已经开始了一场工艺和封装技术革命,而且由于新材料和新工具的不断涌现使倒装芯片技术经过这么多年的发展以后仍能处于不断的变革之中。为了满足组装工艺和芯片设计不断变化的需求,基片技术领域正在开发新的基板技术,模拟和设计软件也不断更新升级。因此,如何平衡用最新技术设计产品的愿望与以何种适当款式投放产品之间的矛盾就成为一项必须面对的重大挑战。

集成电路芯片封装技术

集成电路芯片封装技术(书) 第1章 1、封装定义:(狭义)利用膜技术及细微加工技术,将芯片及其他要素在框架或基板上布置、 粘帖固定及连接,引出接线端子并通过可塑性绝缘介质灌封固定,构 成整体立体结构的工艺 (广义)将封装体与基板连接固定,装配成完整的系统或电子设备,并确保整个系统综合性能的工程 2、集成电路的工艺流程:芯片设计(上)芯片制造(中)封装测试(占50%)(下)(填空) 3、芯片封装实现的功能:传递电能传递电路信号提供散热途径结构保护与支持 4、封装工程的技术层次(论述题):P4图 晶圆Wafer -> 第零层次Die/Chip -> 第一层次Module -> 第二层次Card ->第三层次Board -> 第四层次Gate 第一层次该层次又称芯片层次的封装,是指把集成电路芯片与封装基板或引脚架之间的粘贴固定、电路连线与封装保护的工艺,使之成为易于取放输送,并可与下一层组装进行链接的模块 第二层次将数个第一层次完成的封装与其他电子元器件组成一个电路卡的工艺 第三层次将数个第二层次完成的封装组装成的电路卡组合成在一个主电路板上使之成为一个部件或子系统的工艺 第四层次将数个子系统组装成为一个完整电子产品的工艺过程 5、封装的分类与特点: 按照封装中组合集成电路芯片的数目——单芯片封装(SCP)多芯片封装(MCP) 按照密封材料——高分子材料封装陶瓷材料封装 按照器件与电路板互连方式——引脚插入型(PTH)表面贴装型(SMT) 6、DCA(名词解释):芯片直接粘贴,即舍弃有引脚架的第一层次封装,直接将IC芯片粘贴到基板上再进行电路互连 7、TSV硅通孔互连封装 HIC混合集成电路封装 DIP双列直插式引线封装

倒装芯片(FC-Flip-Chip)装配技术

摘要:倒装芯片在产品成本,性能及满足高密度封装等方面体现出优势,它的应用也渐渐成为主流。由于倒装芯片的尺寸小,要保证高精度高产量高重复性,这给我们传统的设备及工艺带来了挑战。 器件的小型化高密度封装形式越来越多,如多模块封装(MCM )、系统封装(SiP )、倒装芯片(FC ,Flip-Chip )等应用得越来越多。这些技术的出现更加模糊了一级封装与二级装配之间的界线。毋庸置疑,随着小型化高密度封装的出现,对高速与高精度装配的要求变得更加关键,相关的组装设备和工 艺也更具先进性与高灵活性。 由于倒装芯片比BGA 或CSP 具有更小的外形尺寸、更小的球径和球间距、它对植球工艺、基板技术、材料的兼容性、制造工艺,以及检查设备和方法提出了前所未有的挑战。 倒装芯片的发展历史 倒装芯片的定义 什么器件被称为倒装芯片?一般来说,这类器件具备以下特点: 1. 基材是硅; 2. 电气面及焊凸在器件下表面; 3. 球间距一般为4-14mil 、球径为2.5-8mil 、外形尺寸为1 -27mm ; 4. 组装在基板上后需要做底部填充。 其实,倒装芯片之所以被称为“倒装”,是相对于传统的金属线键合连接方式(Wire Bonding)与植球后的工艺而言的。传统的通过金属线键合与基板连接的芯片电气面朝上(图1),而倒装芯片的电气面朝下(图2),相当于将前者翻转过来,故称其为“倒装芯片”。在圆片(Wafer)上芯片植完球后(图3),需要将其翻转,送入贴片机,便于贴装,也由于这一翻转过程,而被称为“倒装芯片”。 图1 图2

图3 倒装芯片的历史及其应用 倒装芯片在1964年开始出现,1969年由IBM发明了倒装芯片的C4工艺(Controlled Collap se Chip Connection,可控坍塌芯片联接)。过去只是比较少量的特殊应用,近几年倒装芯片已经成为高性能封装的互连方法,它的应用得到比较广泛快速的发展。目前倒装芯片主要应用在Wi- Fi、SiP、M CM、图像传感器、微处理器、硬盘驱动器、医用传感器,以及RFID等方面(图5)。 图4

半导体集成电路封装技术试题汇总(李可为版)

半导体集成电路封装技术试题汇总 第一章集成电路芯片封装技术 1. (P1)封装概念:狭义:集成电路芯片封装是利用(膜技术)及(微细加工技术),将芯片及其他要素在框架或基板上布置、粘贴固定及连接,引出接线端子并通过可塑性绝缘介质灌封固定,构成整体结构的工艺。 广义:将封装体与基板连接固定,装配成完整的系统或电子设备,并确保整个系统综合性能的工程。 2.集成电路封装的目的:在于保护芯片不受或者少受外界环境的影响,并为之提供一个良好的工作条件,以使集成电路具有稳定、正常的功能。 3.芯片封装所实现的功能:①传递电能,②传递电路信号,③提供散热途径,④结构保护与支持。 4.在选择具体的封装形式时主要考虑四种主要设计参数:性能,尺寸,重量,可靠性和成本目标。 5.封装工程的技术的技术层次? 第一层次,又称为芯片层次的封装,是指把集成电路芯片与封装基板或引脚架之间的粘贴固定电路连线与封装保护的工艺,使之成为易于取放输送,并可与下一层次的组装进行连接的模块元件。第二层次,将数个第一层次完成的封装与其他电子元器件组成一个电子卡的工艺。第三层次,将数个第二层次完成的封装组成的电路卡组合成在一个主电路版上使之成为一个部件或子系统的工艺。第四层次,将数个子系统组装成为一个完整电子厂品的工艺过程。 6.封装的分类?

按照封装中组合集成电路芯片的数目,芯片封装可分为:单芯片封装与多芯片封装两大类,按照密封的材料区分,可分为高分子材料和陶瓷为主的种类,按照器件与电路板互连方式,封装可区分为引脚插入型和表面贴装型两大类。依据引脚分布形态区分,封装元器件有单边引脚,双边引脚,四边引脚,底部引脚四种。常见的单边引脚有单列式封装与交叉引脚式封装,双边引脚元器件有双列式封装小型化封装,四边引脚有四边扁平封装,底部引脚有金属罐式与点阵列式封装。 7.芯片封装所使用的材料有金属陶瓷玻璃高分子 8.集成电路的发展主要表现在以下几个方面? 1芯片尺寸变得越来越大2工作频率越来越高3发热量日趋增大4引脚越来越多 对封装的要求:1小型化2适应高发热3集成度提高,同时适应大芯片要求4高密度化5适应多引脚6适应高温环境7适应高可靠性 9.有关名词: SIP :单列式封装 SQP:小型化封装 MCP:金属鑵式封装 DIP:双列式封装 CSP:芯片尺寸封装 QFP:四边扁平封装 PGA:点阵式封装 BGA:球栅阵列式封装 LCCC:无引线陶瓷芯片载体 第二章封装工艺流程 1.封装工艺流程一般可以分为两个部分,用塑料封装之前的工艺步骤成为前段操作,在成型之后的工艺步骤成为后段操作

FC倒装芯片装配技术介绍

FC倒装芯片装配技术介绍 器件的小型化高密度封装形式越来越多,如多模块封装(MCM)、系统封装(SiP)、倒装芯片(FC,Flip-Chip)等应用得越来越多。这些技术的出现更加模糊了一级封装与二级装配之间的界线。毋庸置疑,随着小型化高密度封装的出现,对高速与高精度装配的要求变得更加关键,相关的组装设备和工艺也更具先进性与高灵活性。 由于倒装芯片比BGA或CSP具有更小的外形尺寸、更小的球径和球间距、它对植球工艺、基板技术、材料的兼容性、制造工艺,以及检查设备和方法提出了前所未有的挑战。 倒装芯片的发展历史 倒装芯片的定义 什么器件被称为倒装芯片?一般来说,这类器件具备以下特点: 1. 基材是硅; 2. 电气面及焊凸在器件下表面; 3. 球间距一般为4-14mil、球径为2.5-8mil、外形尺寸为1-27mm; 4. 组装在基板上后需要做底部填充。 其实,倒装芯片之所以被称为“倒装”,是相对于传统的金属线键合连接方式(Wire Bonding)与植球后的工艺而言的。传统的通过金属线键合与基板连接的芯片电气面朝上(图1),而倒装芯片的电气面朝下(图2),相当于将前者翻转过来,故称其为“倒装芯片”。在圆片(Wafer)上芯片植完球后(图3),需要将其翻转,送入贴片机,便于贴装,也由于这一翻转过程,而被称为“倒装芯片”。 倒装芯片的历史及其应用 倒装芯片在1964年开始出现,1969年由IBM发明了倒装芯片的C4工艺(Controlled Collapse Chip Connection,可控坍塌芯片联接)。过去只是比较少量的特殊应用,近几年倒装芯片已经成为高

性能封装的互连方法,它的应用得到比较广泛快速的发展。目前倒装芯片主要应用在Wi- Fi、SiP、MCM、图像传感器、微处理器、硬盘驱动器、医用传感器,以及RFID等方面(图5)。 与此同时,它已经成为小型I/O应用有效的互连解决方案。随着微型化及人们已接受SiP,倒装芯片被视为各种针脚数量低的应用的首选方法。从整体上看,其在低端应用和高端应用中的采用,根据TechSearch International Inc对市场容量的预计,焊球凸点倒装芯片的年复合增长率(CAGR)将达到31%。 倒装芯片应用的直接驱动力来自于其优良的电气性能,以及市场对终端产品尺寸和成本的要求。在功率及电信号的分配,降低信号噪音方面表现出色,同时又能满足高密度封装或装配的要求。可以预见,其应用会越来越广泛。 倒装芯片的组装工艺流程 一般的混合组装工艺流程在半导体后端组装工厂中,现在有两种模块组装方法。在两次回流焊工艺中,先在单独的SMT生产线上组装SMT器件,该生产线由丝网印刷机、贴片机和第一个回流焊炉组成。然后再通过第二条生产线处理部分组装的模块,该生产线由倒装芯片贴片机和回流焊炉组成。底部填充工艺

倒装封装介绍

倒装封装介绍 什么是LED倒装芯片?近年来,在芯片领域,倒装芯片技术正异军突起,特别是在大功率、户外照明的应用市场上更受欢迎。但由于发展较晚,很多人不知道什么叫LED倒装芯片,LED倒装芯片的优点是什么?今天慧聪LED屏网编辑就为你做一个简单的说明。先从LED正装芯片为您讲解LED倒装芯片,以及LED倒装芯片的优势和普及难点。 要了解LED倒装芯片,先要了解什么是LED正装芯片 LED正装芯片是最早出现的芯片结构,也是小功率芯片中普遍使用的芯片结构。该结构,电极在上方,从上至下材料为:P-GaN,发光层,N-GaN,衬底。所以,相对倒装来说就是正装。 LED倒装芯片和症状芯片图解 为了避免正装芯片中因电极挤占发光面积从而影响发光效率,芯片研发人员设计了倒装结构,即把正装芯片倒置,使发光层激发出的光直接从电极的另一面发出(衬底最终被剥去,芯片材料是透明的),同时,针对倒装设计出方便LED封装厂焊线的结构,从而,整个芯片称为倒装芯片(Flip Chip),该结构在大功率芯片较多用到。 正装、倒装、垂直LED芯片结构三大流派

倒装技术并不是一个新的技术,其实很早之前就存在了。倒装技术不光用在LED行业,在其他半导体行业里也有用到。目前LED芯片封装技术已经形成几个流派,不同的技术对应不同的应用,都有其独特之处。 目前LED芯片结构主要有三种流派,最常见的是正装结构,还有垂直结构和倒装结构。正装结构由于p,n电极在LED同一侧,容易出现电流拥挤现象,而且热阻较高,而垂直结构则可以很好的解决这两个问题,可以达到很高的电流密度和均匀度。未来灯具成本的降低除了材料成本,功率做大减少LED颗数显得尤为重要,垂直结构能够很好的满足这样的需求。这也导致垂直结构通常用于大功率LED应用领域,而正装技术一般应用于中小功率LED。而倒装技术也可以细分为两类,一类是在蓝宝石芯片基础上倒装,蓝宝石衬底保留,利于散热,但是电流密度提升并不明显;另一类是倒装结构并剥离了衬底材料,可以大幅度提升电流密度。 LED倒装芯片的优点 一是没有通过蓝宝石散热,可通大电流使用;二是尺寸可以做到更小,光学更容易匹配;三是散热功能的提升,使芯片的寿命得到了提升;四是抗静电能力的提升;五是为后续封装工艺发展打下基础。 什么是LED倒装芯片 据了解,倒装芯片之所以被称为“倒装”是相对于传统的金属线键合连接方式(Wire Bonding)与植球后的工艺而言的。传统的通过金属线键合与基板连接的晶片电气面朝上,而倒装晶片的电气面朝下,相当于将前者翻转过来,故称其为“倒装芯片”。 倒装LED芯片,通过MOCVD技术在蓝宝石衬底上生长GaN基LED结构层,由P/N结发光区发出的光透过上面的P型区射出。由于P型GaN传导性能不佳,为获得良好的电流扩展,需要通过蒸镀技术在P区表面形成一层Ni- Au组成的金属电极层。P 区引线通过该层金属薄膜引出。为获得好的电流扩展,Ni-Au金属电极层就不能太薄。为此,器件的发光效率就会受到很大影响,通常要同时兼顾电流扩展与出光效率二个因素。但无论在什麼情况下,金属薄膜的存在,总会使透光性能变差。此外,引线焊点的存在也使器件的出光效率受到影响。采用GaN LED倒装芯片的结构可以从根本上消除上面的问题。 在倒装芯片的技术基础上,有厂家发展出了LED倒装无金线芯片级封装。 什么是LED倒装无金线芯片级封装 倒装无金线芯片级封装,基于倒装焊技术,在传统LED芯片封装的基础上,减少了金线封装工艺,省掉导线架、打线,仅留下芯片搭配荧光粉与封装胶使用。作为新封装技术产品,倒装无金线芯片级光源完全没有因金线虚焊或接触不良引起的不亮、闪烁、

芯片制造倒装焊工艺与设备解决方案

倒装键合(Flip Chip)工艺及设备解决方案 前言:倒装芯片在产品成本、性能及满足高密度封装等方面体现出优势,它的应用也渐渐成为主流。由于倒装芯片的尺寸小,要保证高精度高产量高重复性,这给我们传统的设备及工艺带来了挑战。 器件的小型化高密度封装形式越来越多,如多模块封装 ( MCM )、系统封装( SiP )、倒装芯片( FC=Flip-Chip )等应用得越来越多。这些技术的出现更加模糊了一级封装与二级装配之间的界线。毋庸置疑,随着小型化高密度封装的出现,对高速与高精度装配的要求变得更加关键,相关的组装设备和工艺也更具先进性与高灵活性。 由于倒装芯片比BGA或CSP具有更小的外形尺寸、更小的球径和球间距,它对植球工艺、基板技术、材料的兼容性、制造工艺,以及检查设备和方法提出了前所未有的挑战。 一.倒装芯片焊接的概念 倒装芯片焊接(Flip-chip Bonding)技术是一种新兴的微电子封装技术,它将工作面(有源区面)上制有凸点电极的芯片朝下,与基板布线层直接键合。一般来说,这类器件具备以下特点: 1. 基材是硅; 2. 电气面及焊凸在器件下表面; 3. 球间距一般为 4-14mil 、球径为 2.5-8mil 、外形尺寸为 1 -27mm ; 4. 组装在基板上后需要做底部填充。 其实,倒装芯片之所以被称为“倒装”,是相对于传统的金属线键合连接方式(Wire Bonding)与植球后的工艺而言的。传统的通过

金属线键合与基板连接的芯片电气面朝上(图1),而倒装芯片的电气面朝下(图2),相当于将前者翻转过来,故称其为“倒装芯片”。在圆片(Wafer)上芯片植完球后(图3),需要将其翻转,送入贴片机以便于贴装,也由于这一翻转过程而被称为“倒装芯片”。 图1 图2 图3 倒装芯片在1964年开始出现,1969年由IBM发明了倒装芯片的C4工艺(Controlled Collapse Chip Connection可控坍塌芯片联接)。过去只是比较少量的特殊应用,近几年倒装芯片已经成为高性能封装的互连方法,它的应用得到比较广泛快速的发展。目前倒装芯片主要应用在Wi-Fi、SiP、MCM、图像传感器、微处理器、硬盘驱动器、医用传感器,以及RFID等方面(图4)。

集成电路芯片封装技术试卷

《微电子封装技术》试卷 一、填空题(每空2分,共40分) 1.狭义的集成电路芯片封装是指利用精细加工技术及,将芯片及其它要素在框架或基板上,经过布置、粘贴及固定等形成整体立体结构的工艺。 2.通常情况下,厚膜浆料的制备开始于粉末状的物质,为了确保厚膜浆料达到规定的要求,可用颗粒、固体粉末百分比含量、三个参数来表征厚膜浆料。 3.利用厚膜技术可以制作厚膜电阻,其工艺为将玻璃颗粒与颗粒相混合,然后在足够的温度/时间下进行烧结以使两者烧结在一起。 4.芯片封装常用的材料包括金属、陶瓷、玻璃、高分子等,其中封装能提供最好的封装气密性。 5.塑料封装的成型技术包括喷射成型技术、、预成型技术。 6.常见的电路板包括硬式印制电路板、、金属夹层电路板、射出成型电路板四种类型。 7. 在元器件与电路板完成焊接后,电路板表面会存在一些污染,包括非极性/非离子污染、、离子污染、不溶解/粒状污染4大类。 8. 陶瓷封装最常用的材料是氧化铝,用于陶瓷封装的无机浆料一般在其中添加玻璃粉,其目的是调整氧化铝的介电系数、,降低烧结温度。 9. 转移铸膜为塑料封装最常使用的密封工艺技术,在实施此工艺过程中最常发生的封装缺陷是现象。 10. 芯片完成封装后要进行检测,一般情况下要进行质量和两方面的检测。 11. BGA封装的最大优点是可最大限度地节约基板上的空间,BGA可分为四种类型:塑料球栅阵列、、陶瓷圆柱栅格阵列、载带球栅阵列。 12. 为了获得最佳的共晶贴装,通常在IC芯片背面镀上一层金的薄膜或在基板的芯片承载架上先植入。 13. 常见的芯片互连技术包括载带自动键合、、倒装芯片键合三种。 14. 用于制造薄膜的技术包括蒸发、溅射、电镀、。 15. 厚膜制造工艺包括丝网印刷、干燥、烧结,厚膜浆料的组分包括可挥发性组分和不挥发性组分,其中实施厚膜浆料干燥工艺的目的是去除浆料中的绝大部分。 16. 根据封装元器件的引脚分布形态,可将封装元器件分为单边引脚、双边引脚、与底部引脚四种。 17. 载带自动键合与倒装芯片键合共同的关键技术是芯片的制作工艺,这些工艺包括蒸发/溅射、电镀、置球、化学镀、激光法、移植法、叠层制作法等。 18. 厚膜浆料必须具备的两个特性,一是用于丝网印刷的浆料为具有非牛顿流变能力的粘性流体;二是由两种不同的多组分相组成,即和载体相。 19. 烧结为陶瓷基板成型的关键步骤,在烧结过程中,最常发生的现象为生胚片的现

集成电路芯片封装技术复习题

¥ 一、填空题 1、将芯片及其他要素在框架或基板上布置,粘贴固定以及连接,引出接线端子并且通过可塑性绝缘介质灌封固定的过程为狭义封装 ;在次基础之上,将封装体与装配成完整的系统或者设备,这个过程称之为广义封装。 2、芯片封装所实现的功能有传递电能;传递电路信号;提供散热途径;结构保护与支持。 3、芯片封装工艺的流程为硅片减薄与切割、芯片贴装、芯片互连、成型技术、去飞边毛刺、切筋成形、上焊锡、打码。 4、芯片贴装的主要方法有共晶粘贴法、焊接粘贴法、导电胶粘贴发、玻璃胶粘贴法。 5、金属凸点制作工艺中,多金属分层为黏着层、扩散阻挡层、表层金保护层。 6、成型技术有多种,包括了转移成型技术、喷射成型技术、预成型技术、其中最主要的是转移成型技术。 ' 7、在焊接材料中,形成焊点完成电路电气连接的物质叫做焊料;用于去除焊盘表面氧化物,提高可焊性的物质叫做助焊剂;在SMT中常用的可印刷焊接材料叫做锡膏。 8、气密性封装主要包括了金属气密性封装、陶瓷气密性封装、玻璃气密性封装。 9、薄膜工艺主要有溅射工艺、蒸发工艺、电镀工艺、

光刻工艺。 10、集成电路封装的层次分为四级分别为模块元件(Module)、电路卡工艺(Card)、主电路板(Board)、完整电子产品。 11、在芯片的减薄过程中,主要方法有磨削、研磨、干式抛光、化学机械平坦工艺、电化学腐蚀、湿法腐蚀、等离子增强化学腐蚀等。 12、芯片的互连技术可以分为打线键合技术、载带自动键合技术、倒装芯片键合技术。 ^ 13、DBG切割方法进行芯片处理时,首先进行在硅片正面切割一定深度切口再进行背面磨削。 14、膜技术包括了薄膜技术和厚膜技术,制作较厚薄膜时常采用丝网印刷和浆料干燥烧结的方法。 15、芯片的表面组装过程中,焊料的涂覆方法有点涂、 丝网印刷、钢模板印刷三种。 16、涂封技术一般包括了顺形涂封和封胶涂封。 二、名词解释 1、芯片的引线键合技术(3种) ] 是将细金属线或金属带按顺序打在芯片与引脚架或封装基板的焊垫上而形成电路互连,包括超声波键合、热压键合、热超声波键合。 2、陶瓷封装

FC、BGA、CSP三种封装技术。

最早的表面安装技术——倒装芯片封装技术(FC)形成于20世纪60年代,同时也是最早的球栅阵列封装技术(BGA)和最早的芯片规模封装技术(CSP)。 倒装芯片封装技术为1960年IBM公司所开发,为了降低成本,提高速度,提高组件可靠性,FC使用在第1层芯片与载板接合封装,封装方式为芯片正面朝下向基板,无需引线键合,形成最短电路,降低电阻;采用金属球连接,缩小了封装尺寸,改善电性表现,解决了BGA为增加引脚数而需扩大体积的困扰。再者,FC通常应用在时脉较高的CPU或高频RF上,以获得更好的效能,与传统速度较慢的引线键合技术相比,FC更适合应用在高脚数、小型化、多功能、高速度趋势IC的产品中。 随着电子封装越来越趋于向更快、更小、更便宜的方向发展,要求缩小尺寸、增加性能的同时,必须降低成本。这使封装业承受巨大的压力,面临的挑战就是传统SMD封装技术具有的优势以致向我们证实一场封装技术的革命。 2 IBM的FC IBM公司首次成功地实施直接芯片粘接技术(DCA),把铜球焊接到IC焊盘上,就像当今的BGA 封装结构。图1示出了早期固态芯片倒装片示意图。IBM公司继续采用铜球技术并寻求更高生产率的方法,最终选择的方案为锡-铅焊料的真空淀积。为了形成被回流焊进入球凸点的柱状物,应通过掩模使焊料淀积。由于淀积是在圆片级状况下完成的,因而此过程获得了良好的生产率。这种凸点倒装芯片被称为C4技术(可控塌陷芯片连接)一直在IBM公司和别的生产厂家使用几十年,并保持着高的可靠性记录。 虽然C4在更快和更小方面显得格外突出,但是呈现出更节省成本方面的不足。与C4相关的两个重要的经济问题是:形成凸点的成本和昂贵的陶瓷电路的各项要求。然而,正确的形成凸点技术及连接技术能够提供更进一步探求较低成本的因素。 3 形成凸点技术 凸点形成技术分为几个简单的类型,即淀积金属、机械焊接、基于聚合物的胶粘剂以及别的组合物。最初的C4高铅含量焊料凸点,熔点在300℃以上,被低共熔焊料和胶粘剂代替,从而使压焊温度下降到易于有机PCB承受的范围。然而,如果低共熔焊膏作为接合材料使用,那么C4仍可用于FR-4上。 3.1 机械形成凸点技术 十多年前,IBM公司和K&S公司开发了球凸点形成工艺技术,称为柱式凸点形成技术。此工艺过程首先涉及到对铝芯片载体的球压焊技术,接着把焊丝拉到断裂点,最后形成有短尾部的凸点。为了在球附近形成光滑的断裂口,可使用含有1%铂的金丝。焊料和别的金属也是起作用的。很多改变是明显的,包括平面性方面的凸点精压技术和更高、更复杂的金属化的双凸点形成技术。柱式凸点形成技术,长期使用于试制形式。由于通过引线键合机获得了惊人的速度,已移入生产模式。金和金凸点及焊料凸点均被实施。Delco公司和K&S公司联合生产柱式凸点的倒装芯片产品,别的公司在不远的将来预计生产凸点芯片。 3.2 金属电镀技术 电镀技术要求首先形成总线接头,选择电镀掩模,并用于TAB的金凸点芯片技术。虽然通过在晶圆片上方汽相淀积金属,在典型状况下形成总线,但是总线必须能被清除。再者,必须提供光成像电镀保护膜,在电镀之前成像并显影。很多步骤和精确的电镀掩模工艺的要求增加了成本和不便因素。 化学镀是无掩模和无总线的方法,看上去是一种较好的方法。该技术已广泛地应用于印刷电路行业,但是化学形成凸点的技术仅仅是近年来才应用于倒装芯片的。化学镀镍,也许由于其非常精确的化学性质,已呈现为首要的且普遍的化学倒装片凸点技术工艺。如果铝没有直接与镍一起电镀,就可使用中间浸液电镀锌技术。图2示出了最普遍的镍凸点技术顺序。注意到在典型状况下,镍受到薄的、易于产生浸液的金涂层保护。形成的金毛刺适于焊接及胶粘剂压焊。

倒装芯片(FC-Flip-Chip)装配技术

倒装芯片(FC,Flip-Chip)装配技术 时间:2010-05-27 23:04:25 来源:网络 倒装芯片焊接完成后,需要在器件底部和基板之间填充一种胶(一般为环氧树酯材料)。底部填充分为于“ 毛细流动原理” 的流动性和非流动性(No-follow )底部填充。 上述倒装芯片组装工艺是针对C4 器件(器件焊凸材料为SnPb 、SnAg 、SnCu 或SnAgCu )而言。另外一种工艺是利用各向异性导电胶(ACF )来装配倒装芯片。预先在基板上施加异性导电胶,贴片头用较高压力将器件贴装在基板上,同时对器件加热,使导电胶固化。该工艺要求贴片机具有非常高的精度,同时贴片头具有大压力及加热功能。对于非C4 器件(其焊凸材料为Au 或其它)的装配,趋向采用此工艺。这里,我们主要讨论C4 工艺,下表列出的是倒装芯片植球(Bumping )和在基板上连接的几种方式。 倒装倒装芯片几何尺寸可以用一个“ 小” 字来形容:焊球直径小(小到0.05mm ),焊球间距小(小到0.1mm ),外形尺寸小(1mm 2 )。要获得满意的装配良率,给贴装设备及其工艺带来了挑战,随着焊球直径的缩小,贴装精度要求越来越高,目前12μm 甚至10μm 的精度越来越常见。贴片设备照像机图形处理能力也十分关键,小的球径小的球间距需要更高像素的像机来处理。 随着时间推移,高性能芯片的尺寸不断增大,焊凸(Solder Bump)数量不断提高,基板变得越来越薄,为了提高产品可靠性底部填充成为必须。

对贴装压力控制的要求 考虑到倒装芯片基材是比较脆的硅,若在取料、助焊剂浸蘸过程中施以较大的压力容易将其压裂,同时细小的焊凸在此过程中也容易压变形,所以尽量使用比较低的贴装压力,一般要求在150g 左右。对于超薄形芯片,如0.3mm ,有时甚至要求贴装压力控制在35g 。 对贴装精度及稳定性的要求 对于球间距小到0.1mm 的器件,需要怎样的贴装精度才能达到较高的良率?基板的翘曲变形,阻焊膜窗口的尺寸和位置偏差,以及机器的精度等,都会影响到最终的贴装精度。关于基板设计和制造的情况对于贴装的影响,我们在此不作讨论,这芯片装配工艺对贴装设备的要求里我们只是来讨论机器的贴装精度。为了回答上面的问题,我们来建立一个简单的假设模型: 1. 假设倒装芯片的焊凸为球形,基板上对应的焊盘为圆形,且具有相同的直径; 2. 假设无基板翘曲变形及制造缺陷方面的影响; 3. 不考虑Theta 和冲击的影响; 4. 在回流焊接过程中,器件具有自对中性,焊球与润湿面50% 的接触在焊接过程中可以被“ 拉正” 。 那么,基于以上的假设,直径25μm 的焊球如果其对应的圆形焊盘的直径为50μm 时,左右位置偏差(X 轴)或前后位置偏差(Y 轴)在焊盘尺寸的50% ,焊球都始终在焊盘上(图9 )。对于焊球直径为25μm 的倒装芯片,工艺能力Cpk 要达到1.33 的话,要求机器的最小精度必须达到12μm@3sigma 。

LED倒装工艺流程分析

LED倒装工艺流程分析 近年来LED在电视机背光、手机、和平板电脑等方面的应用也迎来了爆发式的增长,LED具有广阔的应用发展前景。 倒装LED技术的发展及现状 倒装技术在LED领域上还是一个比较新的技术概念,但在传统IC行业中已经被广泛应用且比较成熟,如各种球栅阵列封装(BGA)、芯片尺寸封装(CSP)、晶片级芯片尺寸封装(WLCSP)等技术,全部采用倒装芯片技术,其优点是生产效率高、器件成本低和可靠性高。 倒装芯片技术应用于LED器件,主要区别于IC在于,在led芯片制造和封装过程中,除了要处理好稳定可靠的电连接以外,还需要处理光的问题,包括如何让更多的光引出来,提高出光效率,以及光空间的分布等。 针对传统正装LED存在的散热差、透明电极电流分布不均匀、表面电极焊盘和引线挡光以及金线导致的可靠性问题,1998年,J.J.Wierer等人制备出了1W倒装焊接结构的大功率AlGaInN-LED蓝光芯片,他们将金属化凸点的AIGalnN芯片倒装焊接在具有防静电保护二极管(ESD)的硅载体上。 测试结果表明,在相同的芯片面积下,倒装led芯片(FCLED)比正装芯片有着更大的发光面积和非常好的电学特性,在200-1000mA的电流范围,正向电压(VF)相对较低,从而导致了更高的功率转化效率。 2006年,O.B.Shchekin等人又报道了一种新的薄膜倒装焊接的多量子阱结构的LED(TFFC-LED)。所谓薄膜倒装LED,就是将薄膜LED与倒装LED的概念结合起来。 在将LED倒装在基板上后,采用激光剥离(Laser lift-off)技术将蓝宝石衬底剥离掉,然后在暴露的N型GaN层上用光刻技术做表面粗化。 随着硅基倒装芯片在市场上销售,逐渐发现这种倒装LED芯片在与正装芯片竞争时,其成本上处于明显的劣势。 由于LED发展初期,所有封装支架和形式都是根据其正装或垂直结构LED 芯片进行设计的,所以倒装LED芯片不得不先倒装在硅基板上,然后将芯片固定在传统的支架上,再用金线将硅基板上的电极与支架上的电极进行连接。 使得封装器件内还是有金线的存在,没有利用上倒装无金线封装的优势;而且还增加了基板的成本,使得价格较高,完全没有发挥出倒装LED芯片的优势。 为此,最早于2007年有公司推出了陶瓷基倒装led封装产品。这一类型的产品,陶瓷既作为倒装芯片的支撑基板,也作为整体封装支架,实现整封装光源的小型化。

正装与倒装芯片的封装

倒装芯片的封装 倒装芯片通常是功率芯片主要用来封装大功率LED(>1W),正装芯片通常是用来进行传统的小功率φ3~φ10的封装。因此,功率不同导致二者在封装及应用的方式均有较大的差别,主要区别有如下几点: 1. 封装用原材料差别: 2.封装制程区别: (1).固晶:正装小芯片采取在直插式支架反射杯内点上绝缘导热胶来固定芯片,而倒装芯片多采用导热系数更高的银胶或共晶的工艺与支架基座相连,且本身支架基座通常为导热系数较高的铜材; (2).焊线:正装小芯片通常封装后驱动电流较小且发热量也相对较小,因此采用正负电极各自焊接一根φ0.8~φ0.9mil金线与支架正负极相连即可;而倒装功率芯片驱动电流一般在350mA以上,芯片尺寸较大,因此为了保证电流注入芯片过程中的均匀性及稳定性,通常在芯片正负级与支架正负极间各自焊接两根φ1.0~φ1.25mil的金线; (3).荧光粉选择:正装小芯片一般驱动电流在20mA左右,而倒装功率芯片一般在350mA左右,因此二者在使用过程中各自的发热量相差甚大,而现在市场通用的荧光粉主要为YAG, YAG自身耐高温为127℃左右,而芯片点亮后,结温(Tj)会远远高于此温度,因此在散热处理不好的情况下,荧光粉长时间老化衰减严重,因此在倒装芯片封装过程中建议使用耐高温性能更好的硅酸盐荧光粉; (4).胶体的选择:正装小芯片发热量较小,因此传统的环氧树脂就可以满足封装的需要;而倒装功率芯片发热量较大,需要采用硅胶来进行封装;硅胶的选择过程中为了匹配蓝宝石衬底的折射率,建议选择折射率较高的硅胶(>1.51),防止折射率较低导致全反射临界角增大而使大部分的光在封装胶体内部被全反射而损失掉;同时,硅胶弹性较大,与环氧树脂相比热应力比环氧树脂小很多,在使用过程中可以对芯片及金线起到良好的保护作用,有利于提高整个产品的可靠性; (5).点胶:正装小芯片的封装通常采用传统的点满整个反射杯覆盖芯片的方式来封装,而倒装功率芯片封装过程中,由于多采用平头支架,因此为了保证整个荧光粉涂敷的均匀性提高出光率而建议采用保型封装(Conformal-Coating)的工艺;示意图如下:

芯片封装的主要步骤是什么啊

芯片封装的主要步骤是什么啊? 悬赏分:0 - 解决时间:2007-6-21 13:53 芯片封装的主要步骤是什么啊?谁能告诉我啊?尽量说详细些,谢谢 提问者:zorariku - 试用期一级最佳答案 板上芯片(Chip On Board, COB)工艺过程首先是在基底表面用导热环氧树脂(一般用掺银颗粒的环氧树脂)覆盖硅片安放点,然后将硅片直接安放在基底表面,热处理至硅片牢固地固定在基底为止,随后再用丝焊的方法在硅片和基底之间直接建立电气连接。 裸芯片技术主要有两种形式:一种是COB技术,另一种是倒装片技术(Flip Chip)。板上芯片封装(COB),半导体芯片交接贴装在印刷线路板上,芯片与基板的电气连接用引线缝合方法实现,芯片与基板的电气连接用引线缝合方法实现,并用树脂覆盖以确保可靠性。虽然COB是最简单的裸芯片贴装技术,但它的封装密度远不如TAB和倒片焊技术。 COB主要的焊接方法: (1)热压焊 利用加热和加压力使金属丝与焊区压焊在一起。其原理是通过加热和加压力,使焊区(如AI)发生塑性形变同时破坏压焊界面上的氧化层,从而使原子间产生吸引力达到“键合”的目的,此外,两金属界面不平整加热加压时可使上下的金属相互镶嵌。此技术一般用为玻璃板上芯片COG。 (2)超声焊 超声焊是利用超声波发生器产生的能量,通过换能器在超高频的磁场感应下,迅速伸缩产生弹性振动,使劈刀相应振动,同时在劈刀上施加一定的压力,于是劈刀在这两种力的共同作用下,带动AI丝在被焊区的金属化层如(AI膜)表面迅速摩擦,使AI丝和AI膜表面产生塑性变形,这种形变也破坏了AI层界面的氧化层,使两个纯净的金属表面紧密接触达到原子间的结合,从而形成焊接。主要焊接材料为铝线焊头,一般为楔形。 (3)金丝焊 球焊在引线键合中是最具代表性的焊接技术,因为现在的半导体封装二、三极管封装都采用AU线球焊。而且它操作方便、灵活、焊点牢固(直径为25UM的AU丝的焊接强度一般为0.07~0.09N/点),又无方向性,焊接速度可高达15点/秒以上。金丝焊也叫热(压)(超)声焊主要键合材料为金(AU)线焊头为球形故为球焊。 COB封装流程 第一步:扩晶。采用扩张机将厂商提供的整张LED晶片薄膜均匀扩张,使附着在薄膜表面紧密排列的LED

《集成电路芯片封装技术》考试题

得分评分人《集成电路封装与测试技术》考试试卷 一、填空题(每空格1分共18分) 1、封装工艺属于集成电路制造工艺的工序。 2、按照器件与电路板互连方式,封装可分为引脚插入型(PTH)和两大类。 3、芯片封装所使用的材料有许多,其中金属主要为材料。 4、技术的出现解决了芯片小而封装大的矛盾。 5、在芯片贴装工艺中要求:己切割下来的芯片要贴装到引脚架的中间焊盘上,焊盘的尺寸要与芯片大小要。 6、在倒装焊接后的芯片下填充,由于毛细管虹吸作用,填料被吸入,并向芯片-基板的中心流动。一个12,7mm见方的芯片,分钟可完全充满缝隙,用料大约0,031mL。 7、用溶剂来去飞边毛刺通常只适用于的毛刺。 8、如果厚膜浆料的有效物质是一种绝缘材料,则烧结后的膜是一种介电体,通常可用于制作。 9、能级之间电位差越大,噪声越。 10、薄膜电路的顶层材料一般是。 11、薄膜混合电路中优选作为导体材料。 12、薄膜工艺比厚膜工艺成本。 13、导电胶是与高分子聚合物(环氧树脂)的混合物。 14、绿色和平组织的使命是:。 15、当锡铅合金中铅含量达到某一值时,铅含量的增加或锡含量的增加均会使焊料合金熔点。 16、印制电路板为当今电子封装最普遍使用的组装基板,它通常被归类于层次的电子封装技术 17、印制电路板通常以而制成。 18、IC芯片完成与印制电路板的模块封装后,除了焊接点、指状结合点、开关等位置外,为了使成品表面不会受到外来环境因素,通常要在表面进行处理。 二、选择题(每题2分共22分) 1、TAB技术中使用()线而不使用线,从而改善器件的热耗散性能。 A、铝 B、铜 C、金 D、银 2、陶瓷封装基板的主要成分有() A、金属 B、陶瓷 C、玻璃 D、高分子塑料 3、“塑料封装与陶瓷封装技术均可以制成双边排列(DIP)封装,前者适合于高可 靠性的元器件制作,后者适合于低成本元器件大量生产”,这句话说法是()。 A、正确 B、错误 4、在芯片切割工序中,()方法不仅能去除硅片背面研磨损伤,而且能 除去芯片引起的微裂和凹槽,大大增强了芯片的抗碎裂能力。 A、DBT法 B、DBG法 5、玻璃胶粘贴法比导电胶的贴贴法的粘贴温度要()。 A、低 B、高 6、打线键合适用引脚数为() A、3-257 B、12-600 C、6-16000 7、最为常用的封装方式是() A、塑料封装 B、金属封装 C、陶瓷封装 8、插孔式PTH(plated through-hole 镀金属通孔)封装型元器件通常采用 ()方法进行装配。 A、波峰焊 B、回流焊 9、相同成分和电压应力下,长电阻较之短电阻电位漂移要() A、小 B、大 10、金属的电阻噪比半导体材料电子噪声()。 A、高 B、低 11、()技术适合于高密度和高频率环境 A、厚膜技术 B、薄膜技术

芯片倒装技术及芯片封装技术

芯片倒装技术及芯片封装技术 引言世纪90年代以来,移动电话、个人数字助手(PDA)、数码相机等消费类电子产品的体积越来越小,工作速度越来越快,智能化程度越来越高。这些日新月异的变化为电子封装与组装技术带来了很多挑战和机遇。材料、设备机能与工艺控制能力的改进使越来越多的EMS 公司可以跳过尺度的表面安装技术(SMT)直接进入提高前辈的组装技术领域,包括倒装芯片等。因为越来越多的产品设计需要不断减小体积,进步工作速度,增加功能,因此可以预计,倒装芯片技术的应用范围将不断扩大,终极会取代SMT当前的地位,成为一种尺度的封装技术。 多年以来,半导体封装公司与EMS公司一直在通力进行,在施展各自特长的同时又介入对方领域的技术业务,力争使自己的技术能力更加完善和全面。在半导体产业需求日益增加的环境下,越来越多的公司开始提供\\\"完整的解决方案\\\"。这种趋同性是人们所期望看到的,但同时双方都会面对一定的挑战。 例如,以倒装芯片BGA或系统封装模块为例,跟着采用提高前辈技术制造而成的产品的类型由板组装方式向元件组装方式的转变,以往好像不太重要的诸多因素都将施展至关重要的作用。互连应力不同了,材料的不兼容性增加了,工艺流程也不一样了。不论你的新产品类型是否需要倒装芯片技术,不论你是否以为采用倒装芯片的时间合适与否,理解倒装芯片技术所存在的诸多挑战都是十分重要的。 倒装芯片技术倒装芯片技术\\\",这一名词包括很多不同的方法。每一种方法都有很多不同之处,且应用也有所不同。例如,就电路板或基板类型的选择而言,不管它是有机材料、陶瓷材料仍是柔性材料,都决定着组装材料(凸点类型、焊剂、底部填充材料等)的选择,而且在一定程度上还决定着所需设备的选择。在目前的情况下,每个公司都必需决定采用哪一种技术,选购哪一类工艺部件,为知足未来产品的需要进行哪一些研究与开发,同时还需要考虑如何将资本投资和运作本钱降至最低额。 在SMT环境中最常用、最合适的方法是焊膏倒装芯片组装工艺。即使如斯,为了确保可制造性、可靠性并达到本钱目标也应考虑到该技术的很多变化。目前广泛采用的倒装芯片方法主要是根据互连结构而确定的。如,和婉凸点技术的实现要采用镀金的导电聚合物或聚合物/弹性体凸点。 焊柱凸点技术的实现要采用焊球键合(主要采用金线)或电镀技术,然后用导电的各向同性粘接剂完成组装。工艺中不能对集成电路(1C)键合点造成影响。在这种情况下就需要使用各向异性导电膜。焊膏凸点技术包括蒸发、电镀、化学镀、模版印刷、喷注等。因此,互连的选择就决定了所需的键合技术。通常,可选择的键合技术主要包括:再流键合、热超声键合、热压键合和瞬态液相键合等。 上述各种技术都有利也有弊,通常都受应用而驱动。但就尺度SMT工艺使用而言,焊膏倒装芯片组装工艺是最常见的,且已证实完全适合焊膏倒装芯片组装技术传统的焊膏倒装芯片组装工艺流程包括:涂焊剂、布芯片、焊膏再流与底部填充等。但为了桷保成功而可靠的倒装芯片组装还必需留意其它事项。通常,成功始于设计。 首要的设计考虑包括焊料凸点和下凸点结构,其目的是将互连和IC键合点上的应力降至最低。假如互连设计适当的话,已知的可靠性模型可猜测出焊膏上将要泛起的题目。对IC 键合点结构、钝化、聚酰亚胺启齿以及下凸点治金(UBM)结构进行公道的设计即可实现这一目的。钝化启齿的设计必需达到下列目的:降低电流密度;减小集中应力的面积;进步电迁移的寿命;最大限度地增大UBM和焊料凸点的断面面积。 凸点位置布局是另一项设计考虑,焊料凸点的位置尽可能的对称,识别定向特征(去掉一个边角凸点)是个例外。布局设计还必需考虑顺流切片操纵不会受到任何干扰。在IC的有

倒装芯片研究

倒装芯片研究 1.为什么倒装? (1)由于P型GaN传导性能不佳,为获得良好的电流扩展,需要通过蒸镀技术在P区表面形成一层ITO层。P区引线通过该ITO膜引出。为获得好的电流扩展,ITO层就不能太薄。为此,器件的发光效率就会受到很大影响,通常要同时兼顾电流扩展与出光效率二个因素。但无论在什麼情况下,ITO膜的存在,总会使透光性能变差。此外,引线焊点的存在也使器件的出光效率受到影响。采用GaN LED倒装芯片的结构可以从根本上消除上面的问题。而且p电极也会遮挡住部分光,限制了LED芯片的出光效率。 采用倒装结构的LED芯片,不但可以同时避开P电极上导电层吸收光和电极垫遮光的问题,还可以通过在p-GaN表面设置低欧姆接触的反光层来将往下的光线引导向上,这样可同时降低驱动电压及提高光强。另一方面,图形化蓝宝石衬底(PSS)技术和芯片表面粗糙化技术同样可以增大LED芯片的出光效率50%以上。 (2)散热更好。LED是靠电子在能带间跃迁产生光的,其光谱中不含有红外部分,所以LED的热量不能靠辐射散发。一旦LED的温度超过最高临界温度(跟据不同外延及工艺,芯片温度大概为150℃),往往会造成LED永久性失效。与传统正装结构以蓝宝石衬底作为散热通道相比,垂直及倒装焊芯片结构有着较佳的散热能力。垂直结构芯片直接采用铜合金作为衬底,有效地提高了芯片的散热能力。倒装焊(Flip-Chip)技术通过共晶焊将LED芯片倒装到具有更高导热率的硅衬底上(导热系数约120W/mK,传统正装芯片蓝宝石导热系数约20W/mK),芯片与衬底间的金凸点和硅衬底同时提高了LED芯片的散热能力,保障LED的热量能够快速从芯片中导出。 (3)防静电能力增强。抗静电释放(ESD)能力是影响LED芯片可靠性的另一因素。对于InGaN/AlGaN/GaN 双异质结,InGaN 活化簿层厚度仅几十纳米,对静电的承受能力有限,很容易被静电击穿,使器件失效。可以在LED芯片中加入齐纳保护电路防止静电。通常需要在封装过程中通过金线并联一颗齐纳芯片以提高ESD防护能力,不仅增加封装成本和工艺难度,可靠性也有较大的风险。通过在硅衬底内部集成齐纳保护电路的方法,可以大大提高LED芯片的抗静电释放能力(ESDHBM=4000~8000V),同时节约封装成本,简化封装工艺,并提高产品可靠性。 (4)在封装过程中通过焊线(Wire-bonding)的方式实现芯片与支架的电路连接,而焊接过程中瓷嘴对LED的芯片的冲击是导致LED漏电、虚焊等主要原因,传统正装和垂直结构LED,电极位于芯片的发光表面,因此焊线过程中瓷嘴的正面冲击极易造成发光区和电极金属层等的损伤,在LED芯片采取倒装结构中,电极位于硅基板上,焊线过程中不对芯片进行冲击,极大地提高封装可靠性和

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