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半导体电子用超净高纯高氯酸Perchloric acid SEMI-C12 分析单

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Terbium (Tb)
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Thallium (Tl)
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< 1
Thorium (Th)
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Thulium (Tm)
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Tin (Sn)
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< 10
Titanium (Ti)
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Zirconium (Zr)
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< 3
附：产品分子式
HClO4
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Platinum (Pt)
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Potassium (K)
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Praseodymium (Pr)
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Rhodium (Rh)
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Rubidium (Rb)
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< 10
Samarium (Sm)
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Scandium (Sc)
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< 50
Silver (Ag)
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Sodium (Na)
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Strontium (Sr)
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< 1
Tantalum (Ta)
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Information Only
< 20
Tellurium (Te)
ntry Origin
Canada
Mfg Date
July 20, 2015
Test item
Units
Specifications
Test Value
Assay (HClO4, w/w)
% by w/w
65 - 71
65
Aluminum (Al)
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< 50
Antimony (Sb)
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Arsenic (As)
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Barium (Ba)
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Beryllium (Be)
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Bismuth (Bi)
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Cadmium (Cd)
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Manganese (Mn)
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Molybdenum (Mo)
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Neodymium (Nd)
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Nickel (Ni)
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Niobium (Nb)
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Information Only
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Palladium (Pd)
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Iron (Fe)
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Lanthanum (La)
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Lead (Pb)
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Lithium (Li)
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Lutetium (Lu)
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Magnesium (Mg)
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Tungsten (W)
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Information Only
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Uranium (U)
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Vanadium (V)
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Ytterbium (Yb)
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Yttrium (Y)
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< 1
Zinc (Zn)
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深圳市倍素特科技有限公司检验报告
SHENZHENBST SCIENCE & TECHNOLOGYCO., LTD.
CERTIFICATE OF ANALYSIS
Product name
Perchloric acid超净高纯高氯酸
Grade
SEMI C-12半导体工业用
Cas No.
7601-90-3
Calcium (Ca)
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Cerium (Ce)
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Cesium (Cs)
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Cobalt (Co)
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Copper (Cu)
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Dysprosium (Dy)
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Erbium (Er)
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Europium (Eu)
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Gadolinium (Gd)
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Gallium (Ga)
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Hafnium (Hf)
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Information Only
< 1
Holmium (Ho)
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< 1
Indium (In)

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电子工业用高纯硝酸中痕量杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法(预审稿)编制说明

电子工业用高纯硝酸中痕量杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法(预审稿)编制说明

团体标准《电子工业用高纯硝酸中痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法》（预审稿）编制说明一、工作简况1 项目背景和立项意义近年来随着极大规模集成电路产业的发展，高纯硝酸的使用范围越来越广，使用量也越来越大，集成电路产业对硝酸的纯度要求也越来越高。

高纯硝酸作为清洗半导体材料的重要原料，其阳离子含量如钠、镁、铝、钾、钙、铬、铁、镍、铜、钴、锌、锡、钛、钒、铅、锂、锰等会对半导体材料的品质造成严重的影响。

目前国内生产硝酸的厂家很多，且产能也在不断的扩大，但每个厂家对硝酸的技术指标规定不统一，执行标准也不一致，已不能满足极大规模集成电路产业发展的需求，因此，急需建立一个适用于集成电路产业用高纯硝酸杂质元素检测的技术标准和检测方法标准，促使国内企业提高高纯硝酸的产品质量，统一高纯硝酸的技术规格和检测标准，为高纯硝酸的生产、销售、采购及使用提供参考依据，对促进我国极大规模集成电路产业发展具有重要的意义。

目前国外先进标准有目前国外先进标准有SEMI C35-0708《Specifications and Guideline for Nitric Acid》，国内标准有GB/T 337.1-2014《工业硝酸浓硝酸》、GB/T 337.2-2014《工业硝酸稀硝酸》、GB/T 626-2006《化学试剂硝酸》，这些标准中规定的技术规格较低，已不能满足国内极大规模集成电路产业发展的需求。

2 任务来源根据中国有色金属工业协会《关于下达2019年第一批协会标准制修订计划的通知》（中色协科字[2019]17号）的要求，《电子工业用高纯硝酸中痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法》由青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司牵头负责起草，计划编号：2019-009-T/CNIA，要求于2020年完成。

3 标准项目编制单位简况青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司为青海黄河上游水电开发有限责任公司的内部核算单位，负责电子级多晶硅项目的生产运营、市场销售及技术研发管理，目前公司已建成年产2500吨电子级多晶硅的改良西门子法工艺生产线。

20181228半导体电子级高纯试剂知识普及

20181228半导体电子级高纯试剂知识普及

半导体电子级高纯试剂知识普及
Quill.Ding 2018年12月28日
酸碱类产品目录
酸类产品： 硝酸、盐酸、硫酸、氢氟酸、磷酸、过氧化氢、
冰乙酸等
碱类产品： 氢氧化铵、氟化铵、氢氧化钾溶液、氢氧化 钠溶液、胆碱等
腐蚀剂产品目录
腐蚀剂产品： 氟化铵腐蚀液（BOE)、铝腐蚀液（PES)、硅 腐蚀液（MAE)、混合酸（3F)、混合酸（4F)、 铬腐蚀液、钼腐蚀液、镍银腐蚀液、 钛腐蚀液、酸性剥离液等。
≤1
≤0.1 ≤0.01
≤50
控制粒径，µm
≥1.0 ≥0.5
0.5
0.2
*
≥0.5
颗粒，个/ml
≤2应范围 适用于 适用于 适用于 适用于 适用于 适用于
>1.2µm 0.8～1.2µm 0.2～0.6µm 0.09～0.2µm <0.09µm 0.8～1.2µm
IC制作 IC制作 IC制作 IC制作 IC制作 IC制作
国内外化学试剂产品等级划分
国内化学试剂等级划分
纯度远高于优级纯的试剂叫做高纯试剂。高纯试剂是在通用试剂基础上 发起的，它是为了专门的使用目的而用特殊方法生产的纯度最高的试剂。它 的杂质含量要比优级纯试剂低2个、3个、4个或更多个数量级。
因此，高纯试剂特别适用于一些痕量分析，在名称上有高纯、特纯、超 纯、光谱纯等不同叫法。
我公司化学试剂等级划分
我公司专业生产高纯试剂，其等级划分为：
电子级1级（EL-Ⅰ）其金属杂质含量为100--1000 PPb，与市场供应的电子级 （EL）相当，达到SEMI C1 C2标准。
电子级2级（EL-Ⅱ）其金属杂质含量为10--100 PPb,与市场供应的摩斯级 （MOS）相当，达到SEMI C7标准。
HE-480C 半导体清洁过程中的导电度计说明书

HE-480C 半导体清洁过程中的导电度计说明书


Mass
Approx. 400g
Conforming standards
CE Marking, FCC Part15
Compatible sensor
ESH –series conductivity GC sensor, cell constant : 0.1/cm
(Sensor)
Model
ESH-01-L-GC5 ESH-01-L-GC6
For Semiconductor Cleaning Processes
Conductivity Meter Low Concentration Type
HE-480C
Perfect for Chemical Solution Measurement and Recycle of Pure Water in Semiconductor Wet Processes
Measurement method
2-electrode method
Sensor input
1-channel
Cell constant
Approx. 0.1/cm
Temperature sensor specifications Platinum resistance 1000Њ/0ˆ
Mnction
Conductivity : Based on the specified compensation coefficient for the cell constant
(parameter input)
Temperature : Calibrated by comparing with the reference thermometer
Power supply
超临界CO_2萃取分离高纯度辣椒碱化合物的研究

超临界CO_2萃取分离高纯度辣椒碱化合物的研究


ｇ精密到 ０ １ｍ ， ， ． ｇ上海精密分析仪器厂； ２ —２０型数 ＤＦ ５ 显真空干燥箱， 上海荣丰科学仪器有 限公 司； Ｈ ｓ型 Ｈ — 数显电子水浴锅。 １２ 试剂与材料 ． 辣椒精原料 由山东即墨辣椒红色素 厂提供 ， 辣椒碱含量 １５ ．％。辣椒碱纯 品由贵州五梧子 发展有限公司提供 ， 辣椒总碱含量 ９ ．％。Ｇ ２４硅胶 ７１ Ｆ５
（０～ ０ ６ １０目） 山东 青 岛海 洋 化 工 厂 产 品 。化 学 溶 剂 ： 为 石油 醚 （０～ ０℃ ） 甲醇 （ 析 纯 ） 乙醇 （ 析 纯 ） 醋 ４ ６ 、 分 、 分 、
量 ０ １ ９９ｍ ／ ｉ， ． ～ ． Ｌ ｍｎ紫外检钡器（ １０～ ０ ｍ）超 ０ ＝ ９ ６０ｎ ； 声波清洗器 ；２ １ Ｌ旋转蒸发器 ， Ｒ０Ｂ 上海 申生科技有限公 司； 层析柱装置（ 玻璃 ， ０ｍｎ× ５ｍ ； Ｈ ４ ｌ ２ ｍ）Ｈ —４数显恒 ０
辣椒因其独特的风味和辛辣味而被全世界普遍栽培 与食用。辣椒原产于南美的玻利维亚和巴拉圭， 大约明
朝传入 中国， 椒 属 茄科 （ ｏ ｎｃａ ） 椒属 （ ａｓ 辣 Ｓｌ ａｅｅ 辣 ａ Ｃｐｉ — ｅｍ）野生辣椒被分为 ２ ｕ ， ６个种 ， 目前常被种植 的只有 ５ 个种 ， 分别是 Ｃｐｉ ｍ ａｎｍ、ａｓｕ ａｃｔ Ｃｐｉ ａｓ ｕ ｎ ｕ Ｃｐｉ ｍ ｂｃ ｕ ａｓ ｃ ｃ ａ ｍ、 —
收 稿 日期 ：０２一 ４一ｌ ２１ ｏ ０
作者简介 ： （９８ ） 男， 周荣 １５一 ， 工程师 ， 长期从事植物提取及仪器分析工作 。
１６ ４
江
西
农
业
学
报
２ ４卷
Ｗａ ｒ ２４ ｔ ｓ ４ 高效液相色谱仪 Ｓｍ ｉｒ Ｃ ８柱（５ ｅ－ ｙ ｎ ｔ １ ｅｙ ２０