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涡流式探针电阻检测技术资料
测量规格
测量目标
半导体/太阳能电池材料相关（硅，多晶硅，SiC等）
新材料/功能材料相关（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
导电薄膜相关（金属，ITO等）
硅基外延，离子与半导体相关的注入样品化合物（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）测量尺寸
无论样品大小和形状如何均可进行测量（但是，大于20mmφ且表面平坦）
测量范围
[电阻] 1m至200Ω・cm
（*所有探头类型的总量程/厚度500um）
[抗剪强度] 10m至3kΩ/ sq
（*所有探头类型的总量程）
*有关每种探头类型的测量范围，请参阅以下内容。
（1）低：0.01至0.5Ω/□（0.001至0.05Ω-cm）
（2）中：0.5至10Ω/□（0.05至0.5Ω-cm）
（3 ））高：10至1000Ω/□（0.5至60Ω-cm）
（4）S-高：1000至3000Ω/□（60至200Ω-cm）
（5）太阳能晶片：5至500Ω/□（0。
2至15Ω-cm）。
涡流检测技术概述涡流技术由于具有的很多优点而被广泛应用。
首先，它是非接触检测，而且能穿透非导体的覆盖层，这就使得在检测时不需要做特殊的表面处理，因此缩短了检测周期，降低了成本。
同时，涡流检测的灵敏度非常高。
涡流检测按激励方式和检测原理的不同可以分为单频涡流、多频涡流、脉冲涡流、远场涡流等，下面对这些技术的发展简要的加以介绍。
传统的涡流采用单频激励的方式，主要来对表面及近表面的缺陷进行检测，根据被测材料及缺陷深度的不同，激励频率的范围从几赫兹到几兆赫兹不等，为 了得到良好的检测信号，激励线圈必须在缺陷的附近感应出最大的涡流，感应电 流的大小和激励频率、电导率、磁导率、激励线圈的尺寸和形状以及激励电流的 大小有关,通过测量阻抗或电压的变化来实现对缺陷的检测。
然而，由于其它参数也很敏感，这就影响了对缺陷的检测。
为了克服单频涡流的缺点，1970 年美国人 Libby 提出了多频涡流的技术（Multi-frequency Eddy Current, MFEC），多频涡流是同时用几个频率信号激励探头，较单频激励法可获取更多的信号，这样就可以抑制实际检测中的许多干扰因素，如热交换管管道中的支撑板、管板、凹痕、沉积物、表面锈斑和管子冷加工产生的干扰噪声，汽轮机大轴中心孔、叶片表面腐蚀坑、氧化层等引起的电磁噪声，以及探头晃动提离噪声等。
理论与实践表明，被测工件的缺陷和上述干扰因素对不同频率的激励信号各有不同的反应，可反应出不同的涡流阻抗平面。
利用这一原理，用两个（或多个）不同频率的正弦波同时激励探头，然后由两个（或多个）通道分别进行检波、放大和旋转等处理，此后，通过多个混合单元的综合运算，就可以有效的去除信号干扰，准确的获取缺陷信号。
但是，多频涡流只能提供有限的检测数据，很难以可视化的方式实现对缺陷的成像检测。
70 年代中后期，脉冲涡流技术（Pulsed Eddy Current, PEC）在世界范围内得到广泛的研究，PEC最早由密苏里大学的Waidelich在20世纪50年代初进行研究，脉冲涡流的激励电流为一个脉冲，通常为具有一定占空比的方波，施加在探头上的激励方波会感应出脉冲涡流在被测试件中传播，根据电磁感应原理，此脉冲涡流又会感应出一个快速衰减的磁场，随着感生磁场的衰减，检测线圈上就会感应出随时间变化的电压，由于脉冲包含很宽的频谱，感应的电压信号中就包含重要的深度信息。
远场涡流检测技术在火电锅炉水冷壁管检测中的实用性分析摘要：本文论述远场涡流检测技术的原理和Ｆｅｒｒｏｓｃｏｐｅ３０８远场涡流水冷壁管检测电磁成像系统，阐述了远场涡流检测技术在锅炉水冷壁管高效检测中的实用性。
煤粉发电锅炉水冷壁存在高温腐蚀凹坑、磨损减薄和疲劳裂纹等缺陷。
最后总结了远场涡流检测技术应用于火电发电锅炉的可行性。
关键词：水冷壁、远场涡流检测、水冷壁裂纹；Practical analysis of far field eddy current testing technology in water wall tube inspection of thermal power boilerAuthor:Fuzhou Huaneng Power PlantAbstract: This paper discusses the principle of the far-field eddy current testing technology and the ferroscope 308 remote field eddy water wall tube inspection system, and expounds the practicability of the far-field eddy current testing technology in the efficient detection of boiler water wall tubes. There are some defects in the water wall of pulverized coal fired boiler, such as high temperature corrosion pit, wear thinning and fatigue crack. Finally, thefeasibility of the application of far-field eddy current testing technology in thermal power generation boiler is summarized.Key words: water wall, far field eddy current testing, water wall crack;近年来国内火电锅炉设计及生产技术日新月异，锅炉炉型已多元化发展，由于大型超临界机组增多，超低排放改造和燃烧材质的差异变化大，水冷壁管通常产生的缺陷为：高温腐蚀、磨损、腐蚀、砸伤、氢损伤，裂纹、鼓包等。
涡流⽆损检测1⽆损检测(Nondestructive Testing, NDT)是⼀门涉及多学科的综合性应⽤技术，它以不损害被检对象的内部结构和使⽤性能为前提，应⽤多种物理原理和化学现象，对各种⼯程材料、零部件、结构件进⾏有效地检验和测试，检测被检对象中是否存在缺陷或不均匀性，进⽽评价它们的连续性、完整性、安全可靠性及某些物理性能【1-6]。
⽆损检测技术是现代⼯业发展必不可少的有效⼯具，在⼀定程度上反应了⼀个国家的⼯业发展⽔平，其重要性⼰得到世界范围内⼴泛公认。
⽆损检测技术的应⽤范围⼗分⼴泛，遍布⼯业发展的各个领域，在机械、建筑、冶⾦、电⼒、⽯油、造船、汽车、宇航、核能、铁路等⾏业中被普遍采⽤，成为不可或缺的质量保证⼿段，其在产品设计、⽣产和使⽤的各个环节中⼰被卓有成效的运⽤[4,7-16]。
2以德国科学家伦琴1895年发现X射线为标志，⽆损检测作为应⽤型技术学科⼰有⼀百多年的历史[l7]0 1900年，法国海关开始应⽤X射线检验物品;1922年，美国建⽴了世界第⼀个⼯业射线实验室，⽤X射线检查铸件质量，以后在军事⼯业和机械制造业等领域得到了⼴泛应⽤，射线检测技术⾄今仍然是许多⼯业产品质量控制的重要⼿段。
1912年，超声波检测技术最早在航海中⽤于探查海⾯上的冰⼭;1929年，将其应⽤于产品缺陷的检测，⽬前仍是锅炉压⼒容器、铁轨等重要机械产品的主要检测⼿段。
1930年后，开始采⽤磁粉检测⽅法来检测车辆的曲柄等关键部件，以后在钢结构上⼴泛应⽤磁粉探伤⽅法，使磁粉检测得以普及到各种铁磁性材料的表⾯检测。
⽑细管现象是⼟壤⽔分蒸发的⼀种常见现象，随着⼯业化⼤⽣产的出现，将“⽑细管现象”成功地应⽤于⾦属和⾮⾦属材料开⼝缺陷的检测，其灵敏度与磁粉检测相当，它的最⼤好处是可以检测⾮铁磁性物质。
经典的电磁感应定律和涡流趋肤效应的发现，促进了现代导电材料涡流检测⽅法的产⽣。
1935年，第⼀台涡流探测仪器研究成功。
到了⼆⼗世纪中期，建⽴了以射线检测(Radiographic Testing, RT、超声检测(Ultrasonic Testing, UT、磁粉检测(Magnetic Testing, MT、渗透检测(Penetrant Testing, PT)和涡流检测(Eddy Current Test, ECT五⼤常规检测技术为代表的⽆损检测体系【‘“]。
涡流检测新技术电磁涡流检测新技术主要有：1.1柔性阵列涡流传感器技术阵列涡流(Arrays Eddy Current, AED)传感器测试技术的研究始于2O世纪80年代中期，在20世纪80年代末到90年代初，出现了一批电涡流阵列测试方面的文献和专利。
近十年来，随着传感器技术的发展以及加工工艺技术水平的提高，电涡流传感器阵列测试的研究和应用得到极大的发展，不仅用来测量大面积金属表面的位移，而且由于具有同时检测多个方向缺陷的优点，被广泛应用于金属焊缝的检测，飞行器金属部件的疲劳、老化和腐蚀检测，涡轮机、蒸气发生器、热交换器以及压力容器管道等的无损检测中。
阵列式涡流检测探头是将很多小探头线圈按特定的结构类型密布在敞开或封闭的平面或曲面上构成阵列。
工作是采用电子学的方法按照设定的逻辑程序，对阵列单元进行实时/分时切换。
将各单元获取的涡流响应信号接入专用仪器的信号处理系统中去，完成一个阵列的巡回检测，阵列式涡流检测探头的一次检测过程相当与传统的单个涡流检测探头对部件受检面的反复往返步进扫描的检测过程。
对于高分辨率的大面积涡流检测，阵列式涡流检测探头明显比传统的扫描探头更具优势，阵列式涡流检测探头在检测时，其涡流信号的响应时间极短，只需激励信号的几个周期，而在高频时主要由信号处理系统的响应时间决定。
因此，阵列式涡流检测探头的单元切换速度可以很快，这一点是传统探头的手动或机械扫描系统所无法比拟的。
此外，传感器阵列的结构形式灵活多样，可以非常方便地对复杂表面形状的零件进行检测，而且这种发射/接收线圈的布局模式成倍的提高了对材料的检测渗透深度，因此，阵列式传感器的研究成为当前传感器技术研究中的重要内容和发展方向。
我国对于阵列涡流传感器技术的研究始于近年，清华大学、吉林大学、国防科技大学等单位发表了多篇关于涡流传感器阵列测试技术的研究文章;爱德森(厦门)电子有限公司则研制出工作频率为50KHZ—2MHZ、有效扫描宽度为55mm、双阵列、反射自旋式，用于铝合金板检测的阵列涡流传感器。
相信在不久的将来，阵列涡流传感器技术一定会在我国各工业部门得到普及和发展。
1.2 远场涡流检测技术远场涡流(remote field eddy current, RFEC)检测技术是一种能穿透铁磁性金属管壁的低频涡流检测技术。
它使用一个激励线圈和一个设置在与激励线圈相距约二倍管内径处的较小的测量线圈同时工作，激励线圈通低频交流电，测量线圈能有效地接收穿过管壁后返回管内的磁场.从而有效的检测金属管子内壁缺陷与管壁厚薄，远场涡流检测除了具有常规涡流检测的特点外还独具有透壁性，能检测整个管壁上的缺陷而不受趋肤效应的影响。
早在1951年，美国便申请了远场涡流试验的专利。
50年代末，远场涡流检测技术首先被应用于油井套管的检测。
但当时由于人们对远场涡流技术机理的认识有限和电子技术设备的限制，远场涡流技术并没有得到应有的重视。
直到80年代中期，随着远场涡流理论的逐渐完善和实验论证，远场涡流检测技术用于管道(特别是铁磁性管道)检测的优越性才被人们广泛认识。
一些先进的远场涡流检测系统也开始出现。
并在核反应堆压力管、石油及天然气输送管和城市煤气管道的检测中得到实际应用。
最近的一些研究表明，远场涡流现象不仅存在于管材中，而且存在与导电板材中，由于远场涡流检测不受趋肤效应的限制，采用远场涡流对板材检测深度的限制将会大大的降低，因此，通过将远场涡流推广到对导电导磁板材的检测，远场涡流检测的应用范围将会越来越广。
在信号处理方面，远场涡流检测技术与多频检测技术的结合使用，能够有效的将支撑板等干扰信号分离出来。
但是，常规涡流检测中对于缺陷的定位比较容易，而由于远场涡流检测中不存在趋肤效应及深度方向的相位滞后，因此在缺陷的定位方面还不能象常规涡流检测那样精确，有待进一步的研究。
我国对远场涡流技术的研究始于80年代后期。
当时，南京航空学院和上海材料研究所等单位在远场涡流检测技术的机理研究和设备研制上都有较大突破。
南京航空学院还于1990年出版了有关远场涡流检测技术的专辑，系统地介绍了远场涡流现象的机理研究、远场效应的二维瞬态与三维准稳态有限元仿真的计算结果、远场涡流探头性能指标分析，远场涡流检测系统的研制、脉冲激励下的远场涡流现象以及国外在各类管道检测实际应用中的研究成果等，对在我国推广这一先进技术起了先导作用。
此后，爱德森(厦门)电子有限公司等单位研发的EEC-39RFT、EEC-35RFT、ET-556H等型远场涡流检测仪器，对我国远场涡流检测技术的实际工程应用起到了很好的推动作用。
1.3多频检测技术多频技术是采用几个频率同时工作，利用混频单元能抑制多个干扰因素，提取所需信号。
常规涡流的相位分析技术采用了单频率鉴相技术，最多只能鉴别被检试验件中的两个参数，而多频涡流检测法是同时用几个频率信号激励探头，与单个频率作为激励信号的常规涡流检测相比，这样能获得更多的数据。
国外已成功地应用这项技术进行核电站蒸汽发生器管道的在役检查。
80年代初，为解决同样问题，我国引进多频涡流检测设备，并开展了自行设计研制工作。
如上海材料所728所合作研制的MFE-1型三频涡流仪。
但当时多频技术尚不成熟，存在许多不足，前者仅能用于理想状态试验室，与现场检测有相当距离。
此后厦门电视大学和爱德森公司相继研制出实用的ET-255型电脑双频涡流仪及EEC-35+智能全数字多频涡流仪。
目前爱德森公司生产的EEC-39RFT+多频涡流仪同时具有8个相对独立的工作频率，16个检测通道，在用于热交换器管道在役检测时，能有效地消除管道中支撑板、管板等产生的干扰信号，可靠地发现裂纹及腐蚀减薄缺陷，其技术性能已达到美国同类产品（如MIZ-40、MIZ-27等）的水平。
1.4 脉冲涡流检测技术脉冲涡流(Pulsed Eddy current，PEC)检测技术是用以亚表面缺陷检测的一种新型无损检测技术，是涡流检测的一种新的应用领域，它以测得的磁场最大值出现的时间来确定缺陷位置，从而实现缺陷的无损检测和定量化描述。
早在上个世纪70年代，美国的利比(Libby)就提出了脉冲涡流检测技术的理论和应用。
但是，直到近年，这一技术才在美国爱荷华州大学、英国的DERA 及法国的Cegely实验室取得了一些实质性的进展和成功，并在现代无损检测技术的研究和发展中倍受关注。
与传统的单频正弦涡流相比，脉冲涡流具有许多优势。
传统涡流采用单一频率的正弦电流作为激励，脉冲涡流则采用具有一定占空比的方波作为激励，当载有方波电信号的初级线圈接近导电材料或者试验件时，在导体中感应产生的瞬变涡流和再生磁场。
瞬时涡流的大小、衰减状况与导体的电磁特性、几何形状及耦合状况相关，次级线圈接收到的涡流再生磁场包括有检测对象导电率、磁导率及形状尺寸的相关信息，据此可以实现脉冲涡流的检测与评价;传统涡流检测对感应磁场进行稳态分析，即通过测量感电压的幅值和相角来确定缺陷的位置，而脉冲涡流则对感应磁场进行时域的瞬态分析，以直接测得的感应磁场最大值出现的时间来进行缺陷检测。
在理论上，脉冲涡流比单频正弦涡流能提供更多信息，因为脉冲涡流可提供某一范围的连续多频激励。
此外，脉冲涡流信号比多频涡流信号响应更快，因为它同时运行一列不同的电流频率。
脉冲涡流检测技术用于带保温层钢质压力容器和管道腐蚀检测，最大可以穿透150mm厚的保温层。
目前，我国也已开始了应用脉冲涡流技术检测金属表面裂纹的研究工作。
1.5 磁光/涡流成像检测技术当偏振光被磁性晶体反射或者投射后，其偏振状态发生改变，偏振面发生旋转，由于透射而引起的偏振面旋转的效应就称为法拉第效应。
以电涡流效应与法拉第磁光效应为理论基础的磁光/涡流成像(Magneto-optic Eddy Current Imaging, MOI)技术，是上个世纪80年代末期发展起来的一种新兴的涡流无损检测方法，这种检测技术既可以实现对亚表面细小缺陷的可视化无损检测，又可实现快速、精确的大面积实时检测，使“非可视现象实时可视化”。
磁光/涡流成像的原理是：以脉冲信号激励线圈使其在受检金属试件中感生涡流，若试件表层存在缺陷则会改变该涡流的分布，相应地改变涡流激发的磁场;磁光传感器(磁光石榴石薄膜)在该磁场的作用下会产生磁光效应，使经过的激光的偏振方向发生偏转；包含了缺陷信息的光线经偏振分光镜反射后被CCD接收，就可以对所检出的缺陷进行实时成像。
磁光/涡流成像(MOI)技术目前主要用于航空部门对飞机的维修检查中，采用磁光/涡流成像术可对表面及亚表面的疲劳裂纹和腐蚀损伤进行实时成象检测，具有快速，准确，结果直观，便于采用录像或摄影等方式保存检测结果等特点。
目前，MOI技术已被美国波音和麦道等商用航空公司，美国航空航天局(NASA)以及美国空军用于波音747等多种机型的常规维修检查中。
我国于上个世纪90年代末期也开始了这项技术的研究工作，武汉理工大学、南昌航空工业学院、四川大学、西南科技大学等单位发表了多篇关于磁光/涡流成像检测技术的理论研究与应用文章。
标志我国无损检测界紧紧跟踪了该项电磁涡流检测新技术。
1.6 深层涡流技术趋肤效应使涡流检测仅局限于检验表面和近表面的缺陷, 而提高涡流检测深度一直是重要的研究课题, 如在探测飞机蒙皮, 壁板内表面腐蚀和翼梁、析条等内部结构件裂纹等缺陷时, 检测深度往往需3-4 mm 以上。
80年代中期, 国外已开始有深层涡流技术研究成果的报道, 如美国Babcock公司的John, 在第11届世界无损检测会议上就介绍了他们研制成功的一套深层涡流系统及实验结果。
应用该套装置能有效地探测到25mm厚的304不锈钢焊缝上相对表面深度为板厚20%、长为50 mm 的裂纹（焊缝增强层厚)。
深层涡流技术实际上是低频涡流和多频涡流技术结合的成果。
即采用较低的工作频率来增大涡流渗透深度, 用多个频率工作来抑制不需要的信息而提取有用的检测信号, 从而达到探测较深部位缺陷的目的。
国内在1987 年开始了这项研究工作并取得了进展。
90年代以来, 民航系统首先在飞机现场检测中开展了这项技术的实际应用。
国内也有相应的仪器投放市场, 如EEC-96多频涡流仪(厦门爱德森公司)和由空一所与爱德森公司共同研制的SMART97 涡流仪等, 采用双频检测和阻抗平面显示, 通过双频抑噪能有效地抑制由于漆层覆盖和探头晃动产生的干扰信号, 从而更可靠和准确地探测飞机蒙皮等部件的深层缺陷(如飞机机翼油箱下壁板腐蚀缺陷),为飞机现场检测提供了新一代智能涡流检测仪器。
近年来，随着工业生产的发展和科学技术的进步，涡流检测技术在理论研究、设备开发应用推广等方面取得了突破性的进展。
以涡流仪器设备的研制开发为例，涡流检测设备已今非昔比，从硬件技术方面看，大规模、超大规模集成电路的应用大大缩小了仪器的体积和功耗。
