BPG400真空规管中文手册详解

PBG-400/6A矿用隔爆型高压真空配电装置执行标准: GB3836-2000、JB8739-1998、Q/JYHY002-2008安装使用说明书ExdI济源市华宇矿业电器有限公司目录一概述 (1)二型号说明 (1)三使用条件与范围 (1)四主要技术参数与规格 (1)五保护功能、特点及技术参数 (3)六结构 (3)七电气原理 (4)八运输与贮存 (5)九检查与验收 (5)十检查、调试与安装 (5)十一订货须知 (7)十二售后服务 (7)使用前请详细阅读《安装使用说明书》，错误的操作和使用可能会导致身体的伤害或设备的损坏！一概述1．用途与功能：PBG-400/6A 矿用隔爆型高压真空配电装置(以下简称配电装置)，适用于具有爆炸性危险气体及粉尘的煤矿井下。

对额定电压6kV、额定频率50Hz、额定电流至400A的三相交流中性点不直接接地的供电系统进行控制、保护和测量，并且可作为直接起动高压电机之用。

2．产品型式：矿用隔爆型3. 防爆标志：ExdI二型号说明P B G ─400 /6 A结构型式工作电压(kV)额定电流（A）高压隔爆型配电装置三使用条件与范围1．海拔高度不超过1000m；（超过1000m但不超过4000m时，工频耐压按GB311.1修正）2．周围环境温度不低于-20℃；不高于十40℃；3．空气相对湿度不大于95％(25℃时)；4．在有甲烷及煤尘爆炸危险的环境中；5．在无强烈颠簸和冲击振动的地方；6．在无足以破坏金属和绝缘的腐蚀性气体及蒸汽的场所；7．设备垂直面的安装倾斜度不大于15O；8．在无滴水和水浸的地方。

四主要技术参数与规格表4 配用LDZ—6型电流互感器技术数据：注：在额定二次负荷下，允许在1.1倍额定电流下长期运行。

五保护功能、特点及技术参数1．功能特点①电脑保护器直接对互感器二次侧进行检测采样，通过数据处理直接显示电网电压及负载电流。

②对短路引起的过流进行速断保护。

③对负载过载过流进行定时限及反时限保护。

操作手册反磁控皮拉尼真空计MPG400MPG401tina48e1-a (2006-12) 1产品标识与INFICON公司联系时,请告知产品名牌上的信息. 为便于参考,请将产品信息填入下列空格中:有效性本文件适用于下列件号的产品:件号(PN)可从产品的名牌上看到.如图例中未特别标明,本文插图中相应的产品件号351-010. 类似应用于其它产品.我们保留不事先通知技术修改的权利.全部尺寸为毫米.用途基本原理反磁控皮拉尼真空计MPG400和MPG401用于压强范围为5×10-9… 1000毫巴的真空测量.切勿将反磁控皮拉尼真空计用于测量与空气产生反应的易燃或易爆性气体.真空计可与单通道控制器VGC401,双通道控制器VGC402和三通道控制器VGC403或其它适当的仪器连接使用.在整个测量范围内,测量讯号输出为对数压强讯号.真空计包含两个单独的测量系统(皮拉尼和反磁控原理的冷阴极系统). 为用户方便,复合成一个测量系统.m2 tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.o目录产品标识2有效性2用途2基本原理21 安全41.1 使用符号41.2 人员要求41.3 一般安全规则41.4 责任和保用42 技术参数53 安装83.1 真空连接83.1.1 拆卸磁铁单元(仅用于带CF法兰的真空计)103.2 电连接113.2.1 与INFICON真空计控制器一起使用113.2.2 与其它控制器一起使用114 运行124.1 测量原理, 测量性能125 卸装146 维护156.1 真空计调整156.2 清洗MPG400, 更换部件176.2.1 拆卸MPG400176.2.2 清洗MPG400186.2.3 重新组装MPG400196.3 清洗MPG401, 更换部件206.3.1 拆卸MPG401216.3.2 清洗MPG401226.3.3 重新组装MPG401236.4 故障查找247 附件258 备件259 产品返回2710 废物处理27附录28A:测量讯号与压强的关系28B:与气体类型的关系29污染申报表 31本文中的相互参照,使用符号(XY).tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 3防止任何危及人身安全的信息1.2 人员要求本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经验或由产品的最终用户1.3 一般安全规则1.4 责任和保用•遵守适当的规程和对所用的过程介质采取必要的防护措施.考虑产品材料(7)与过程介质之间可能引起的反应.考虑由于产品产生的热与过程介质之间可能引起的反应(例如爆炸).•遵守适当的规程和对全部您要做的工作采取必要的防护措施.,并遵守本文件中的安全规定.•在工作开始前,找出是否任何真空元件已污染. 遵守相关的规程和对污染部件采取必要的防护措施..将安全规则通知全部其它用户.INFICON不再承担任何责任和保用, 如用户或第三方:•无视本文件中的信息•不适当的方式使用产品•对产品进行任何种类的介入(修改,变更等.)•使用未列入产品文件中的附件.最终用户对使用的过程介质承担全部责任.真空计由于污染损坏,以及易耗件(灯丝),不包括在保修范围内.m4 tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.otina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 5测量范围(空气, N 2) 5×10-9 … 1000 毫巴 精度 (N 2) ≈±30%在1×10-8 … 100毫巴范围内 再现性≈±5%在1×10-8 … 100毫巴范围内 与气体类型的关系→ 附录B输出讯号 (测量讯号) 电压范围 0 … +10.5 伏 测量范围 1.82 … 8.6 伏 电压与压强的关系对数, 0.6 伏 / 量级 (→ 附录 )误差讯号 <0.5 伏 无电源>9.5 伏 皮拉尼测量元件损坏(灯丝断)输出阻抗 2×10 Ω最小负载电阻 10 k Ω , 短路保护 响应时间 (与压强有关) p > 10-6 毫巴 p = 10-8 毫巴<10 毫秒 ≈1000 毫秒规管标识85 k Ω与电源公共点之间状态脚6p > 10-2 毫巴 仅皮拉尼模式 低 = 0 V p < 10-2 毫巴 冷阴极未引燃 仅皮拉尼模式p < 10-2毫巴冷阴极引燃皮拉尼/冷阴极复合模式 低 = 0 V高 = 15 … 30 VDC指示灯高压 on (LED on)电源与真空计规管连接的电源真空计的工作电压 15.0 … 30.0 VDC (纹波 ≤ 1 V pp ) 功耗 ≤2 瓦保险丝1)≤1 AT最小电源电压必须随传感器电缆的长度而增大.最大电缆长度的电源电压16.0 … 30.0 VDC (纹波 ≤ 1 V pp )1)INFICON 控制器能满足这些要求.6tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.o调整<HV>电位器在 <10-4 毫巴下 m<ATM>电位器在大气压下电连接件 FCC68 插座型, 8 脚 传感器电缆 8 导线 + 屏蔽 电缆长度≤50 米 (8×0.14 毫米²)工作电压 ≤3.3 仟伏 工作电流≤500 微安接地概念→ ("电连接")真空连接 - 讯号公共通过10 k Ω连接(最大电压差从安全考虑 ±50 V 从精度考虑 ±10 V) 电源公共 - 讯号公共 单独通导暴露于真空中的材料 真空连接件 测量室 馈入件 内部密封MPG400 MPG401 阳极引燃辅助极 皮拉尼测量管 皮拉尼灯丝不锈钢 不锈钢 陶瓷FPM 75Ag, Cu, 软焊剂(Sn, Ag) Mo 不锈钢 Ni, Au W安装方位 任意内容积 ≈20 厘米³ 压强≤10 巴 (绝对) 限于惰性气体温度工作MPG400 MPG401+5 … +55 °C +5 … +150 °C(在法兰处水平方位安装,无磁屏蔽)烘烤 +150 °C(无磁屏蔽和电子学单元) 皮拉尼灯丝 +120 °C 贮存–40 °C … +65 °C相对湿度 ≤80% 温度高至+31 °C 时降至 50% 温度+40 °C 时使用仅室内海拔高至2000米保护类型 IP 40尺寸[毫米] 重量351-010 ≈700克351-011 ≈720克351-012 ≈980克351-020 ≈730克351-021 ≈750克351-022 ≈1010克tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 78tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om3.1 真空连接危险: 真空系统中的过剩压力危险: 保护接地规管可任何方位安装. 为防止来自测量室的凝聚物和微粒, 最好选择水平 向上的位置和使用带有对中环与过滤件的密封件.tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 9如规管安装后需要进行调整, 则必须确保可用螺丝刀进入调节<HV>和<ATM>微调电位器(15).顺序卸下保护盖和将产品安装上真空系统.当使用CF 法兰连接时,最好临时卸下磁铁单元(10).带对中环的密封件或保护盖夹环将保护盖保存好.带对中环和过滤件 的密封件3.1.1卸下磁铁单元(仅用于带CF法兰的规管)需用工具顺序•通用扳手 1.5 毫米•开口扳手 7.0 毫米a) 拧下电子学单元(2)上的六角凹头螺钉(1).b) 卸下电子学单元,不要扭转它.c) 拧下磁铁单元(4)上的六角头螺钉(3)和卸下磁体单元.磁力和倾斜趋向使磁体难于与测量室(7)分离.d) 将规管与真空系统间的法兰连接上.e) 重新装上磁体单元,并用六角头螺钉(3)锁紧它.f) 小心地装上电子学单元(2). (确保皮拉尼规管的插脚正确地插入电子学单元的相应的孔中).g) 向上推电子学单元至机械限位器,用六角凹头螺钉(1)锁紧它.m10 tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.o3.2 电连接前提3.2.1 与INFICON 控制器一起使用3.2.2 与其它控制器一起使用确保真空连接已妥善完成(→ 8).将传感器电缆连接至规管和控制器.按下图制作一根传感器电缆.讯号10 k6 10 3 + 105 –标识4 1 + 2–电连接 脚 1 电源 (15 … 30 VDC ) 脚 2 电源公共 脚 3讯号输出(测量讯号)脚 4 标识 脚 5 讯号公共脚 6状态 脚 7, 8 n.c.FCC68, 8脚 连接件将传感器电缆连接规管和控制器.一旦加上所需的电源电压,脚3与脚5间即有测量讯号. (→附录查阅有关测量讯号与压强之间的关系).需约10分钟的稳定化时间. 一旦真空计接通电源, 在任何压强下始终保持电源on的状态.4.1 测量原理,测量性能真空计包含两个单独的测量系统(皮拉尼和反磁控原理的冷阴极系统). 为用户方便,复合成一个测量系统.采用最佳的测量配置于特定的压强范围, 在这个范围内执行测量:10-4 毫巴1000 毫巴冷阴极皮拉尼5×10-9 毫巴10-2 毫巴•皮拉尼测量电路始终处于接通的状态•冷阴极电路由皮拉尼电路控制,仅在压强<1×10-2 毫巴时接通工作标识输出(脚 6) 指示真空计当前的状态:压强规管的指示灯工作模式脚6p > 1×10-2 毫巴仅皮拉尼模式低 =0 Vp < 1×10-2 毫巴p < 1×10-2 毫巴冷阴极未引燃仅皮拉尼模式冷阴极已引燃复合的皮拉尼 / 冷阴极模式低 =0 V高= 15 … 30 VDC在冷阴极测量电路未引燃时, 皮拉尼的测量值输出为测量讯号(如p < 5×10-4 毫巴,将出现"皮拉尼欠量程"的显示).与气体类型的关系引燃延迟测量讯号与被测量的气体类型有关. 曲线对干燥空气, O2, CO和N2是正确的. 对其它气体可进行转换(→附录 B).如使用 INFICON 控制器, 则可键入一个校准因素校正压强读值(→ 控制器的).当冷阴极测量系统接通工作时, 将出现引燃延迟. 随着压强的降低,延迟时间将加长, 典型数据如下:10-5 毫巴≈1 秒10-7 毫巴≈20 秒5×10-9 毫巴≈2 分在冷阴极测量电路未引燃时,皮拉尼的测量值输出为测量讯号(如p < 5×10-4 毫巴,将出现"皮拉尼欠量程"的显示). 标识输出(脚6, 低) 指示为仅皮拉尼模式.如真空计在压强 p < 3×10-9 下接通工作,真空计不能辨别冷阴极系统是否引燃. 它将指示"皮拉尼欠量程".一旦电源on,可在任何压强下始终保持真空计于工作模式. 此时,可始终忽略冷阴极电路的测量延迟(<1 秒),和热稳定效应最小化.污染由于污染引起的真空计故障,以及易耗件(灯丝),不属于保修范围内.由于所用的过程介质以及任何存在,或新污染物及其相应的分压强,将导致真空计污染.连续运行于10-4 毫巴 … 10-2 毫巴下可导致严重污染以及降低正常运行时间和维护周期. 保持于低压强下(p <1×10-6 毫巴), 真空计可运行一年以上无需清洗(清洗真空计→17, 20).真空计的污染通常导致测量值的偏差:•在高压强范围(1×10-3 毫巴… 0.1毫巴),压强读值过高(皮拉尼元件被污染). 重新调整皮拉尼测量系统→15.•在低压强范围(p < 1×10-3 毫巴), 压强读值通常过低(冷阴极系统被污染). 在严重污染的情况下,可出现不稳定(测量室的构层剥落). 由于绝缘层的剥落产生的污染可导致放电的全面故障(将显示"欠量程").采取下列措施,可在一定程度上减少污染:•几何结构上的保护措施(例如屏筛,肘管),用于线性散布的微粒•将规管法兰安装于污染分压特别低的部位.尤其要警惕的是在等离子下的蒸汽淀积(对于冷阴极测量系统). 当这类蒸汽出现时,甚至需暂时关断真空计.危险: 污染的部件顺序将真空系统放空.将规管退出运行和卸下传感器电缆.从真空系统上卸下规管,并盖上保护盖.当拆卸CF法兰连接件时, 最好临时卸下磁铁单元(→10).保护盖由于污染引起的真空计故障,以及易耗件(灯丝),不属于保修范围内. 危险: 污染的部件6.1 调整真空计需用工具顺序真空计规管是出厂前校准的. 由于使用于不同的气候条件,极端的温度,老化或污染和更换规管后,可发生特性曲线的偏移,从而再调整是必要的.冷阴极测量电路, 主要用于低压强测量(<1×10-3 毫巴), 是出厂前校准的不能再调整. 与它对比,皮拉尼测量电路是可调整的. 任何调整在压强范围约10-2 毫巴至102 毫巴之间有一个可忽略的效应.•螺丝刀 1.5 毫米•圆柱管丝锥ø≈3 毫米如使用带对中环和过滤件的密封件, 检查它们是否清洁,必要时更换(→14).将真空计投入运行(如可能,在即将使用的位置上).将真空系统抽空至 p << 10-4 毫巴,随后等待10 分钟.逆时针方向旋转铭牌直至达到机械限位器.用圆柱管丝锥压下销针,调节<HV>电位器 …… 至 4.20 伏或…至 5×10-4 毫巴.随后,逆时针方向旋转电位器1/3圈用空气或氮气将规管放空至大气压,并至少等待10分钟.顺时针方向旋转铭牌直至达到机械限位器.使用 1.5 毫米螺丝刀, 调整 <ATM> 电位器 …… 至 8.60 伏或 … 至 1×103 毫巴.旋转铭牌回到它的原先位置(扣住).6.2 清洗MPG400,更换部件当使用清洗剂和处理它们时必须遵守相关的规程和采取必要的措施→ 6).我们建议当清洗规管时,更换皮拉尼元件.需用工具 / 材料6.2.1 拆卸MPG400• 通用板手 AF 1.5 • 通用板手 AF 3 • 开口扳手 7.0 毫米 • 钳子,用于开口簧环• 抛光布(400粒度) 或Scotch-Brite(纤维布) • 镊子 • 清洗用酒精• 引燃辅助极的安装工具 • 引燃辅助极• 皮拉尼元件(13)包含FPM 密封圈(13a) •FPM 密封圈(11)用于阳极馈入件从真空系统上卸下规管(→14).拧下电子学单元(2)上的六角凹头螺钉(1).卸下电子学单元,不要扭转它.电子学单元的外壳不能卸下.拧下磁铁单元(4)上的六角头螺钉(3),并卸下磁铁单元.磁力和倾斜趋向使磁体难于与测量室(7)分离.从测量室上取下开口簧环(5)和极性插件(6).从测量室后面卸下三个六角头螺钉(8)包括锁紧垫圈(8a).小心地按此顺序卸下下列部件(无应力施加于皮拉尼元件(13)上): 压块(9),整个阳极(10), FPM 密封件(11)包括支撑环(12),皮拉尼元件(13)包括FPM 密封件(13a).现可逐个清洗或更换部件.6.2.2 清洗MPG400清洗测量室和极性插件清洗或更换阳极用抛光布擦净测量室的内壁与极性插件至光亮的程度.密封表面必须按同心圆方式擦净.用清洗酒精漂洗测量室和极性插件.使它们干燥.用钳子取下用过的引燃辅助极(10a).用抛光布擦洗阳极杆至光亮的程度.切勿弯曲阳极. 切勿在陶瓷件上进行机械作业.用清洗酒精漂洗阳极.使阳极干燥.在安装工具上插入新的引燃辅助极(10a).小心地压阳极(清洁的或新的)居中工具轴和并行地插入引燃辅助极至约15 毫米深度. 最终定位在阳极安装后.阳极引燃辅助极安装工具清洗皮拉尼元件更换皮拉尼元件6.2.3重新组装MPG400从皮拉尼元件(13)上取下FPM密封件(13a).用清洗酒精注入皮拉尼测量管中,并晃动.就酒精从管中倒出.将管干燥(例如使用吹风机 <150 °C).将新的FPM密封件(13a)套入皮拉尼元件,插入相应的凹槽中.重新安装皮拉尼元件(→19).如严重污染或损坏.将新的FPM密封件(13a)套入皮拉尼元件,插入相应的凹槽中.安装皮拉尼元件(→19).(→图17)用支撑环(12)将FPM密封件(11)居中地插入测量室(7). 密封表面,密封件,和陶瓷件必须清洁.小心地将阳极(10)包括引燃辅助极(10a)插入测量室中.将FPM密封件(13a)套入皮拉尼元件(13),插入相应的凹槽中.小心地将压块(9)放在测量室上用三个六角头螺钉(8)包括锁紧垫圈(8a)均匀地拧紧直至达到限位器.在阳极杆的上方推安装工具,定位引燃辅助极(10a)直至达到机械限位器.用干燥氮气吹净测量室中的微粒(小心地拿住法兰朝下的测量室).将极性插件(6)滑入测量室中,直至达到机械限位器.将开口簧环(5)紧贴地适配于极性插件上.目测针状阳极是否居中地穿过极性插件的中心孔(最大偏心度= 0.5 毫米).如可能,执行一次漏率测试(漏率<10-9 毫巴·升/秒).装上磁铁单元(4)并用六角头螺丝(3)锁紧它.小心地安装电子学单元(2). (确认皮拉尼单元的插脚正确地插入电子学单元相应的孔中).推上电子学单元至机械限位器,并用六角凹头螺钉(1)锁紧它.调整真空计(→15).6.3 清洗MPG401,更换部件当使用清洗剂和处理它们时必须遵守相关的规程和采取必要的措施→ 6).为清洗测量室,皮拉尼单元必须卸下和更换.需用工具/ 材料•通用扳手 AF 1.5•通用扳手 AF 3•开口扳手 AF 6•开口扳手 AF 7•钳子,用于开口簧环•抛光布(400粒度) 或Scotch-Brite(纤维布)•镊子•清洗用酒精•引燃辅助极的安装工具•引燃辅助极•金属密封件(11)用于阳极馈入件•皮拉尼元件(13)包括成套密封件(13a, 13b)6.3.1拆卸MPG401从真空系统上卸下真空计(→14).拧下电子学单元上(2)的六角凹头螺钉(1).卸下电子学单元,不要扭转它.电子学单元的外壳不能卸下.拧下磁铁单元(4)上的六角头螺钉(3),并卸下磁铁单元.磁力和倾斜趋向使磁体难于与测量室(7)分离.从测量室上取下开口簧环(5)和极性插件(6).拧下六角凹头螺钉(9c)和卸下绝缘件(9b),不要扭转它.从测量室后面卸下四个六角凹头螺钉(8)包括锁紧垫圈(8a).小心地按此顺序卸下下列部件(无应力施加于皮拉尼元件(13)上): 压块(9),阳极延伸杆(9a),整个阳极(10),金属密封件(11)包括对中环(12).拧下皮拉尼元件的螺丝接头(13a),并卸下带有铜密封件(13b)的皮拉尼元件.现可逐个清洗或更换部件.6.3.2清洗MPG401清洗测量室和极性插件清洗或更换阳极用抛光布擦净测量室的内壁和极性插件至光亮的程度.密封表面必须按同心圆方式擦净.用清洗酒精漂洗测量室和极性插件.使它们干燥.用钳子取下用过的引燃辅助极(10a).用抛光布擦洗阳极杆,至光亮的程度.切勿弯曲阳极. 切勿在陶瓷件上进行机械作业.用清洗酒精漂洗阳极.使阳极干燥.在安装工具上插入新的引燃辅助极(10a).小心地压阳极(清洁的或新的)居中工具轴和并行地插入引燃辅助极至约15 毫米深度.最终定位在阳极安装后.更换皮拉尼元件将螺丝接头(13a)和铜密封件(13b)套入皮拉尼元件(13).装上皮拉尼元件(→23).6.3.3重新装配MPG401(→图21)将带螺丝接头(13a)和铜密封件(13b)的皮拉尼元件(13)插入测量室的相应圆锥形钻孔(7)中.用手指拧紧螺丝接头(13a)的同时轻微地将皮拉尼元件推向机械电位器. 然后用开口扳手拧紧螺丝接头一圈.将新的金属密封件(11)包括对中环(12)居中地插入测量室(7).小心地将阳极(10)包括引燃辅助极(10a)和延伸杆(9a)插入测量室中.小心地将压块(9)放在测量室上.用四个六角凹头螺钉(8)包括锁紧垫圈(8a)均匀地拧紧它们直至达到限位器.小心地将绝缘件(9b)置于压块(9)上,并用六角凹头螺钉(9c)锁紧它.在阳极杆的上方推安装工具,定位引燃辅助极(10a)直至达到机械限位器.用干燥氮气吹净测量室中的微粒(小心地拿住法兰朝下的测量室).将极性插件(6)滑入测量室中,直至达到机械限位器.将开口簧环(5)紧贴地适配于极性插件上.目测针状阳极是否居中地穿过极性插件的中心孔(最大偏心度= 0.5 毫米).如可能,进行一次漏率测试(漏率 <10-9 毫巴·升/秒). 必要时轻微地再次上紧螺丝接头(13a).装上磁铁单元(4)并用六角头螺丝(3)锁紧它.小心地安装电子学单元(2). (确认皮拉尼单元的插脚正确地插入电子学单元相应的孔中).推上电子学单元至机械限位器,并用六角凹头螺钉(1)锁紧它.调整真空计(→15).6.4 故障查找问题可能原因 解决方法 测量讯号持续< 0.5V "误差低".无电源电压.将电源置于on.皮拉尼测量单元损坏 (灯丝断裂).更换皮拉尼元件 (MPG40019) (MPG40122). 测量讯号持续> 9.5V "误差高".电子学单元未正确安装.正确安装电子学单元 (MPG40019) (MPG40123). 冷阴极放电未引燃.等待直到气体放电引燃 (在绝缘层污染的情况下, 冷阴极完全不能引燃). (清洗MPG40017 MPG40120). 绿色指示灯ON 和标识指示仅皮拉尼模式(测量讯号持续> 4.0V)"皮拉尼欠范围".MPG 仅能工作于压强 p < 3x10—9 毫巴.稍升高些压强.皮拉尼测量电路未调整, 例如由于严重污染. 重新调整皮拉尼测量电路(15).如不可能调整,更换皮拉尼元件.测量讯号持续>5V 或 显示>10-3毫巴,虽然真空压强OK. 测量重气体.用相应的公式转换(29). 在冷阴极测量室内严重的出气.清洗测量室.测量讯号不稳定.规管污染.清洗规管 (MPG40017) (MPG40120).订购附件时, 始终提及:•产品铭牌上的全部信息•附件清单上的名称与订货号名称订货号磁屏蔽件 BG443155-X订购备件时, 始终提及:•产品铭牌上的全部信息•备件清单上的名称与订货号项号名称MPG400 订货号1213a1110a131213a1110a1010a维护成套件,包含:1× 支撑环1× O-圈 FPM ø3.69×1.781× O-圈 FPM ø10.82× 1.783× 引燃辅助极检修成套件,包含:1× 皮拉尼元件1×支撑环1× O-圈 FPMø3.69×1.781× O-圈 FPM ø10.82×1.783× 引燃辅助极1× 阳极,整件成套引燃辅助极,包含:10× 引燃辅助极引燃辅助极的安装工具351-999351-998351-995351-994BN846469-TBN846470-TBN846471-T 测量系统DN 25 ISO-KF法兰DN 40 ISO-KF法兰DN 40 CF-F法兰项号名称订货号11 12 10a13 13a 13b 9a 10 10a11 1210a维护成套件,包含:1×密封件 HNV 100 (9×1.6) 1× 对中环3× 引燃辅助极1×垫圈 (未用于MPG401)Repair set, consisting of: 1× 皮拉尼元件,带玻璃馈入件 1× 螺丝接头 1× 铜密封件 1× 阳极延伸杆 1× 阳极,整件 3× 引燃辅助极 1× 密封件 HNV 100 (9×1.6) 1× 对中环成套引燃辅助极,包含:10× 引燃辅助极引燃辅助极的安装工具351-997351-996351-995351-994BN846472-T BN846473-T BN846474-TMPG401测量系统,整件 DN 25 ISO-KF 法兰 DN 40 ISO-KF 法兰 DN 40 CF-F 法兰检修成套件,包含:31).无明确的”无危害性物质”申报的产品,全部去污染费用由客户承担. 未附有完整污染申报表的产品将退回发送方,费用由发送方承担.危险: 污染的部件N元件分类污染的元件其它元件产品拆卸后, 按下列标准将其元件分类:污染的产品(如放射性,毒性,腐蚀性或微生物危害等)必须按相关的国家规定去污染,按照它们的材料分类,和处理.必须按它们的材料将这些元件分类和回收.A:测量讯号与压强的关系转换公式p = 101.667U-d⇔U = c + 0.6log10pp U c d[毫巴] [乇] [帕][伏][伏][伏]6.86.8755.611.3311.469.333其中p压强U测量讯号c,d常数(与压强单位有关)有效范围5×10-9毫巴<p<1000毫巴3.8×10-9乇<p<750乇5×10-7帕<p<1×105帕转换曲线压强p测量讯号U[伏]转换表测量讯号 U [伏] 压强 p [毫巴] 压强 p [乇] 压强 p [帕]<0.5 传感器误差0.5 … 1.82 欠量程1.822.02.63.23.84.45.05.66.26.87.48.0 8.65.0×10-91.0×10-81.0×10-71.0×10-61.0×10-51.0×10-41.0×10-31.0×10-20.11.01010010003.8×10-97.5×10-97.5×10-87.5×10-77.5×10-67.5×10-57.5×10-47.5×10-37.5×10-40.757.5757505.0×10-71.0×10-61.0×10-51.0×10-41.0×10-31.0×10-20.11.01010010001.0×1041.0×1058.6 … 9.5 过量程9.5 … 10.5 传感器误差(皮拉尼损坏)B: 与气体类型有关指示范围 高于10-2毫巴指示的压强 (对空气校准的真空计).p (10286 421018 6 42100 8 6 4210–1 8 6 4210–212 810–2810–110081012 p ef f (毫巴)指示范围10-6 … 0.1毫巴指示的压强 (对空气校准的真空计).p (毫巴)10–18 6 410–28 6 4210–38 6 428 6 4210–586 4210–6810–5810–4810–3810–2–1p ef f (毫巴)指示范围低于10-5毫巴在低于10-5毫巴范围内,压强指示是线性的. 对空气以外的其它气体,可用简单的转换公式来确定压强:p eff= K × 指示的压强其中气体类型K空气(O2, CO, N2) 1.0Xe0.4Kr0.5Ar0.8H2 2.4Ne 4.1He 5.9这些转换因素为平均值.通常涉及的是气体与蒸气的混合物. 在此情况下,只有用分压强测量仪器,即四极质谱仪才能精确地确定.tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 31真空设备和元件的服务,检修和/或处理必须提供正确完整的申报表. 不完整将导致延迟的后果.本申报表必须由经授权和有资格的人员填写(大写)和签署.产品说明型号返修原因编号出厂号 使用的工作液体 (在发运前必须放空)产品的污染过程：毒性 否 是腐蚀性 否 是生物危害性 否 是易爆性 否 是放射性 否 是其它有害性物质 否 是 或不包含超过允许限量的任何危害性残余物 产品无任何损害健康的物质.是未明确写明去污染的 污染产品将不予受理!有害的物质,气体和/或副产品请列出与设备接触过的物质,气体和副产品：商标/产品名称 化学名称(或符号)应采取预防的措施 人体接触的急救方法有法律约束的申报：我们谨此申明本申报表中的信息是完整和正确的,并承担任何可能支付的费用. 污染的产品将按相应的规定发运.机构/公司名称地址 邮政编码,地区电话 传真电子邮件姓名日期和有法律约束的签名公司盖章曾用于铜过程否 是 将产品封闭在塑料袋中,并用标签标志..LI–9496 BalzersLiechtensteinTel +423 / 388 3111Fax +423 / 388 3700 Original: German tina48d1-a (2006-12)reachus@ t i na48e1-a。

IR 090热阴极电离复合真空计使用说明书BG 804 171 BE目录产品标识有效范围使用范围工作原理注册商标1 安全1.1 使用符号1.2 人员素质1.3 一般安全规则1.4 赔偿责任与保修2 技术参数3 安装3.1 真空连接3.1.1 拆卸和安装电子学单元3.1.2 安装延伸件3.2 电源连接3.2.1 与COMBIV AC IT23一起使用3.2.2 与其它测量仪器一起使用4 运行4.1 测量原理，测量特性4.2 真空计工作原理4.3 除气4.4 显示器4.5 RS232C接口4.5.1 功能说明4.5.1.1 IR090输出4.5.1.2 IR090输入5 维护5.1 维护5.2 真空计调整5.3 真空计清洗5.4 安装障板5.5 更换障板5.6 更换规管5.7 故障查找6 拆卸7 产品返修8 附件9 备件10 废物处理附录A. 测量讯号与压强的关系B. 气体种类与压强的关系污染申报表参阅本说明书中的章节，采用符号（→XY）。

参阅其它文献，采用符号（→［Z］）。

产品标识与Leybold Inficon联系时，请标明产品标牌上给出的信息。

将信息复制在标牌的复印件上。

有效范围本说明书适用于下列件号的产品不带显示器120 90 （法兰DN 25 ISO-KF）120 92 （法兰DN 40 CF-R）带显示器120 91 （法兰DN 25 ISO-KF）120 94 （法兰DN 40 CF-R）产品的件号在标牌上标明。

本公司保留对说明书不预先通知的技术更改权。

使用范围I R090用于在压强5×10-10…1000毫巴范围内非易燃性气体和气体混合物的真空测量。

真空计规管是SKY Smart真空计规管系列的一个组成部分。

可与COMBIV AC IT23或其它测量仪器一起工作。

工作原理在整个测量范围内，热阴极电离复合真空计有连续的测量特性。

它的测量讯号是对数压强输出。

真空计的功能包括BA规热阴极电离测量系统（用于p＜2.0×10-2毫巴）和皮拉尼测量系统（用于p＞5.5×10-3毫巴）。

皮拉尼真空计皮拉尼真空计是全压真空计，利用了气体热传导性与压力有关的原理，通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来测量压力的一种真空计。

皮拉尼复合真空计BPG400/ BPG402-S产品描述HPG400高压强热电离皮拉尼真空计INFICON皮拉尼复合真空计产品型号：BPG400/ BPG402-SINFICON生产的Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计, BPG402-S,两种真空计集成在一个小型的单元内,测量范围从5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压). 复合的技术降低了安装,设置和集成的复杂性.在一个小特点：极宽的测量范围从5x10-10毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压)极好的重复性,过程压强范围10-8… 10-2毫巴均为5%皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝可选图形显示和现场总线接口自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性应用：半导体工艺和输送室中的压强测量工业镀膜一般真空测量和控制,从低至超高真空范围INFICON B-A皮拉尼电容薄膜真空计产品型号：BCG450INFICON公司生产的BCG450型B-A皮拉尼电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在一个小型经济的规管中，测量过程压强和基本压强从5×10-10至1500毫巴(3.75×10-10至1125乇)。

BCG450用于取代三种传感器（热离子，对流增强型皮拉尼和真空开关），从而节省成本和宝贵的空间。

特点：BCG450节省成本和设备空间，降低真空测量的安装与设置的复杂性10乇以上的与气体类型无关的压强测量，对许多混合气体提供更可靠的自锁控制皮拉尼联锁保护热灯丝，防止过早烧毁自动的高真空和大气压皮拉尼调整，无需操作人员干预相对于大气压的差压测量避免了与大气压变化有关的不稳定性传感元件容易更换，带机载校准数据保证数据的再现性备有可选的图形显示器和现场总线接口典型应用半导体工业，传送和自锁室的压强测量工业镀膜在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制订购资料产品图片。

B P G真空规管中文手册公司内部编号：（GOOD-TMMT-MMUT-UUPTY-UUYY-DTTI-IR 090热阴极电离复合真空计使用说明书BG 804 171 BE目录产品标识有效范围使用范围工作原理注册商标1 安全1.1 使用符号1.2 人员素质1.3 一般安全规则1.4 赔偿责任与保修2 技术参数3 安装3.1 真空连接3.1.1 拆卸和安装电子学单元3.1.2 安装延伸件3.2 电源连接3.2.1 与COMBIVAC IT23一起使用3.2.2 与其它测量仪器一起使用4 运行4.1 测量原理，测量特性4.2 真空计工作原理4.3 除气4.4 显示器4.5 RS232C接口4.5.1 功能说明IR090输出IR090输入5 维护5.1 维护5.2 真空计调整5.3 真空计清洗5.4 安装障板5.5 更换障板5.6 更换规管5.7 故障查找6 拆卸7 产品返修8 附件9 备件10 废物处理附录A. 测量讯号与压强的关系B. 气体种类与压强的关系污染申报表参阅本说明书中的章节，采用符号（→XY）。

参阅其它文献，采用符号（→［Z］）。

产品标识与Leybold Inficon联系时，请标明产品标牌上给出的信息。

将信息复制在标牌的复印件上。

有效范围本说明书适用于下列件号的产品不带显示器120 90 （法兰DN 25 ISO-KF）120 92 （法兰DN 40 CF-R）带显示器120 91 （法兰DN 25 ISO-KF）120 94 （法兰DN 40 CF-R）产品的件号在标牌上标明。

本公司保留对说明书不预先通知的技术更改权。

使用范围IR090用于在压强5×10-10…1000毫巴范围内非易燃性气体和气体混合物的真空测量。

真空计规管是SKY Smart真空计规管系列的一个组成部分。

可与COMBIVAC IT23或其它测量仪器一起工作。

工作原理在整个测量范围内，热阴极电离复合真空计有连续的测量特性。

使用说明书VGC402双通道测量与控制仪器VGC403三通道测量与控制仪器目录1 前言1.1 有效性1.1.1 件号1.1.2 固件版号1.1.3 型号标签1.2 用途1.2.1 责任与保修1.3 产品型号1.4 安全1.4.1 人员要求1.4.2 使用符号1.4.3 一般安全规则2 技术参数2.1 一般参数2.1.1 机械参数2.1.2 环境条件2.1.3 操作2.1.4 标准2.2 电源连接2.3 通道2.3.1 规管连接件2.3.2 规管电源2.3.3 测量技术2.4 开关功能2.4.1 开关功能继电器2.4.2 误差讯号继电器2.5 输出2.5.1 模拟输出2.5.2 记录仪输出2.5.3 计算机接口2.6 供货范围3 安装3.1 开箱3.2 机械安装3.2.1 桌上式仪器3.2.2 安装在控制屏上3.2.3 机架安装3.3 连接3.3.1 设备后板3.3.2 电源连接3.3.3 接地3.3.4 SENSOR3.3.5 RELAY3.3.6 CONTROL 3.3.7 RS232C 4 运行4.1 面板4.1.1 显示器4.1.2 控制按钮4.2 电源on和iff4.2.1 电源on4.2.2 电源off4.2.3 延迟时间4.3 工作模式4.4 测量模式4.4.1 选择4.4.2 说明4.4.3 控制按钮功能4.5 参数模式4.5.1 选择4.5.2 参数组4.5.3 基本操作5 参数5.1 转换功能参数(PArA SP) 5.1.1 基本术语5.1.2 配置转换功能5.1.3 设定值范围5.2 规管参数(PArA SEn) 5.2.1 测量筛选器(FILt)5.2.2 气体类型(GAS)5.2.3 测量范围(FS)5.2.4 偏离(oFS)5.2.5 除气功能(dEGAS)5.2.6 规管启用(S-on)5.2.7 开关on阈值(t-on)5.2.8 规管停用(S-oFF)5.2.9 开关off阈值(t-off)5.3 一般参数(PArA GEn) 5.3.1 测量单位(unit)5.3.2 波特率(bAud)5.3.3 显示方式(diGIt)5.3.4 缺省参数(dEF)5.3.5 记录仪输出(Ao)5.3.6 误差讯号继电器(Err-r) 5.4 测试参数(PArA tESt) 5.4.1 选择5.4.2 固件版号(Pnr)5.4.3 监测器控制(dt-C)5.4.4 乇锁(tr-L)5.4.5 参数设置(LoC)5.4.6 RAM测试(rA-t)5.4.7 EPROM测试(EP-t) 5.4.8 EEPROM测试(EE-t) 5.4.9 显示器测试(dI-t)5.4.10 A/D变换器讯号(Ad-S) 5.4.11 A/D变换器ID(Ad-I) 5.4.12 I/O测试(Io-t)5.4.13 RS232C测试(rS-t)6 计算机接口6.1 基础6.1.1 连接件6.1.2 术语6.2 通讯6.2.1 协议6.2.2 发送(Host♑Unit)6.2.3 接收(Unit ♑Host)6.2.4 例6.2.5 数格式6.2.6 连续测量传送6.3 助记符6.3.1 一览表6.3.2 AOM6.3.3 BAU6.3.4 COM6.3.5 COR6.3.6 DCD6.3.7 DGS6.3.8 ERA6.3.9 ERR6.3.10 FIL6.3.11 FER6.3.12 GAS6.3.13 HVC6.3.14 ITR6.3.15 LOC6.3.16 OFC6.3.17 OFD6.3.18 PNR6.3.19 PRI6.3.20 PRX6.3.21 RES6.3.22 SAV6.3.23 SC16.3.24 SP16.3.25 SPS6.3.26 TAD6.3.27 TDI6.3.28 TEE6.3.29 TEP6.3.30 TID 6.3.31 TIO6.3.32 TKB6.3.33 TLC6.3.34 TRA6.3.35 TRS6.3.36 UNI6.3.37 WDT7 维护和服务7.1 维护7.1.1 清洗7.2 程序传送模式7.2.1 准备和选择7.2.2 程序传送7.2.3 重新启动7.3 故障查找7.3.1 故障指示7.3.2 误差信息7.3.3 技术支持7.3.4 检修7.4 校准7.4.1 基础7.4.2 CAO7.4.3 CAF7.4.4 校准单位8 贮存和废物处理8.1 包装8.2 贮存8.3 废物处理附录转换表重量压强线性测量温度转换缺省参数文献资料索引质量保证书1 前言1.1 有效性1.1.1 件号本文件用于下列产品:件号产品398-020 398-021 VGC402 VGC403在仪器一侧的型号标签上标有件号。

单通道控制器VGC 401使用说明书产品标识与INFICON联系时，请告知产品名牌上的信息。

为便于参考，现将名牌上的信息表示如下:有效性本说明书用于件号为398-010的产品。

件号（PN）可从产品名牌上看到。

本说明书件基于固件版号302-519-A。

如你的仪器工作与本文件的说明不符，请检查是否与上述固件版号（48）相符。

我们保留本说明书不事先通知的技术修改权。

全部尺寸均用毫米表示。

用途V GC401与INFICON生产的规管同时使用，用于真空系统的总压强测量。

全部产品必须按产品说明书使用。

供货范围1件单通道控制器1根电源电缆1根橡皮条2个橡皮脚4个凹槽螺丝4个塑料套管产品标识有效性用途供货范围1 安全1.1 使用符号1.2 人员要求1.3 一般安全规则1.4 责任与保修2 技术参数3 安装3.1 人员3.2 安装，设置3.2.1 机架安装3.2.2 安装在控制屏内3.2.3 用作桌上式仪器3.3 电源连接3.4 传感器连接3.5 控制器连接3.6 RS232接口连接4 运行4.1 面板4.2 VGC401的On和Off 4.3 工作模式4.4 测量模式4.5 参数模式4.5.1 参数4.6 测试模式4.6.1 参数4.6.2 测试程序5 维护6 故障查找7 检修8 附件9 储存10 废物处理附录A. 转换表提供的压强传感器B. 缺省参数C. 软件升级D. 文献E. 索引质量保证书参考在本说明书内的内容使用符号（XY）。

参考“文献”中的内容使用符号（［Z］）。

1.1 使用符号其它符号灯亮灯闪灯黑按此键（例：’para’键）不要按任何键.1.2 人员要求1.3 一般安全规则对于全部要进行的工作，必须遵守规章制度和采取必要的预防措施和考虑本说明书中的安全规则。

向所有其他用户通报安全信息。

1.4 责任与保修如最终用户或第三方发生以下情况，INFICON将不承担赔偿责任和保修将不再有效。

●不顾本说明书中的信息。