DL-7型宽量程BA真空计规管

操作手册宜准电子，让真空测量更简单!INSTRUE , Makes Vacuum Measurement Easier.宽量程皮拉尼潘宁复合真空计WPC400 集成数显皮拉尼冷阴极真空计 PVC410 集成皮拉尼冷阴极变送规● 宽量程，覆盖大气到1.0E-5Pa 高真空检测 ● 支持本地显示，实时读取真空度数值● 特殊电极材料与结构，维护频率低，使用寿命久● 内嵌温度自动补充，消除环境温度波动对测量的干扰 ● 双传感互锁，真空计在任意真空度均可安全启动 ● 可选Pa 、Torr 、mBar 三种单位显示● 双通讯模式，同时输出模拟量与RS485-Modbus 数据通讯 ● 支持双路可编程设置开关量输出●适配GaugeReader 数据采集、配置、存储上位机软件1.型号选择集成数显皮拉尼冷阴极真空计WPC 400 X (X为真空接口，A:KF25，B:KF40，C:CF25，D：CF35) 集成皮拉尼冷阴极变送规PVC 410 X (X为真空接口，A:KF25，B:KF40，C:CF25，D：CF35) 2.参数表参数数值WPC400 PVC410测量范围 (空气， N2) 1.0×10-5 ~1.0×10+5 Pa精度1.0×10-5 ~1.0×10- 4 Pa : ±35% 1.0×10-4 ~1.0×10+4 Pa : ±25% 1.0×10+4 ~1.0×10+5 Pa : ±50%重复性1.0×10-5 ~1.0×10+3 Pa : ±5% 1.0×10+3 ~1.0×10+5 Pa : ±25%耐压(绝对压力) 1.5×10+5 Pa反应时间< 100 ms < 50 ms 工作环境0º C ~ +45º C； 5 ~ 85 %, 不结露存储环境-40º C ~ +75º C；5 ~ 90 %, 不结露信号输出5位LED显示，单位可选NA 双控制开关输出 60VDC 0.5A NARS485， 9600 bps，Modbus RTU模拟量输出+0.0V~+10.0VDC电接口DSub9公插座RJ45插座供电电源+16~+32 VDC /0.5A ；最大功耗 2.5W 防护等级IP40，IEC529真空系统连接标配 DN 25 ISO-KF；其他需定制重量与尺寸420g (KF25)， 130H X 60W X50D 310g (KF25)，90H X 41Dia.接触真空的材料SS304不锈钢, Kovar 4J50, 钨丝, 馈通玻璃注. 由于研发及新品推出，宜准电子保留修改该文档的权利，请与原厂保持联系!注意D-Sub 9针连接器的区别：公头，母头，焊接侧，插入侧。

1、复合真空计使用说明1.1 主要性能：1.1.1 本复合真空计由一个热偶计和一个宽量程的复合真空计构成．热偶采用单一的一支ZJ—54D 热偶规管进行测量。

复合真空计用一支ZJ－54D 热偶规和一支ZJ－10 电离规进行测量。

1.1.2 测量范围：热偶计：103Pa～10-1Pa复合计：103Pa～10-4Pa 。

其中电离规3.5Pa～10-4Pa。

1.1.3 本复合真空计配有RS232 接口，可与带相应接口的计算机联机。

测量数据由计算机进行管理。

1.1.4 供电：本复合真空计采用单相220V 交流供电。

电压范围：220V AC±10%；消耗功率：≤30W1.1.5 使用和储存环境：温度：5℃～35℃湿度：0～85 %严禁在高温潮湿和有腐蚀性气体的环境下工作和储存。

严禁在工作时猛烈碰撞。

1.1.6 机箱尺寸：宽×高×深＝480×119×320重量：约7Kg1.1.7 出厂时规管引线均为5m。

最长建议不要长于10m。

1.1.8 RS232 接口建议采用屏蔽电缆。

屏蔽线与机壳相连，并接地。

1.1.9 电离规的启动方式：由面板上的自动、手动开关控制。

自动方式下，热偶规测量值<3.5Pa时接通，>4.0Pa 时关闭。

手动方式下，由面板上的二个ON和OFF按纽控制。

当真空度大于10Pa时，请不要打开电离规。

2.操作说明：本复合真空计是采用单片机技术的智能化仪器。

打开电源后，真空计初始化显示“HZ HZ HZ HZ”初始化完后,热偶计直接进入工作状态。

没有接入规管或规管暴露在大气中时，都是显示103Pa。

复合计：分手动和自动启动方式，在面板上，设有电离规状态指示灯。

电离规关闭或没接或故障时，ZJ－10 指示灯亮。

在手动方式下，在没有接通电离规之前，若热偶规正常，则指示热偶规测量的真空值。

接通电离规后，显示的是电离规测量的真空度。

电离规测量值≥5.0Pa 时，自动关闭电离规灯丝。

检定指示类量具检定仪的主要标准器及技术指标要求指示类量具检定仪的主要标准器包括光栅传感器和精密丝杠，它们在检定过程中起到计量标准的作用。

技术指标要求主要包括以下几项：
1. 微分筒端面与固定套管的相对位置：机械式指示类量具检定仪的微分筒上零刻线与固定套管纵刻线对准时，微分筒端面与固定套管毫米刻线的距离，压线不大于5个分度值，离线不大于10个分度值。

2. 固定套管刻线面与微分筒棱边上边缘的距离：这个距离需要满足特定的要求。

以上内容仅供参考，如需了解更准确的信息，建议咨询专业人士或查阅相关书籍文献。

目录1、安全说明 (1)2、技术参数 (2)3、工作原理 (3)4、性能概述 (4)5、使用概述 (5)6、规管性能概述 (7)7、规管外形及安装 (10)8、真空计与规管连线 (12)9、真空计开机及显示说明 (13)10、真空计使用方法 (13)10.1电阻2单元使用方法 (13)10.2电阻1与电离复合单元使用方法 (15)11、真空计去气 (17)*12、控制功能及设定方法 (17)*13、控制输出 (18)*14、扩展功能 (20)机箱规格 (22)15、附录规管接口 (24)常见问题 (27)*号内容属选配功能说明，仅选配了此功能相应配置有效1、安全说明▲为确保该真空计的正常功能，使其具有较高的准确度、稳定性和较长的使用寿命，请根据本说明书中规定的允许值和应用条件进行操作和使用。

·操作、维护和维修该真空计时，请遵守电气设备的安全规范。

′·避免大气压下开启电离规灯丝，这将烧毁电离规灯丝。

·避免真空系统或管道有真空时，强制拆卸规管。

·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管，应安装承受“正压”的规管。

·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极，以延长规管寿命。

·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。

·如未按本说明书操作，我们将不承担任何责任；有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。

该说明书使用符号说明：▲注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。

●表示重要的附加信息和技巧或建议。

炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需事先通知，产品及配件以实物为准。

2、技术参数2.1 电阻单元技术参数：·配用规管型号:ZJ-52T电阻规·电阻规传感丝冷态电阻值(86.5Ω±1.7Ω)·真空度测量范围（对干燥空气或氮气）1.0×105～2.5×103可测范围。

德国THYRACONT真空计、变送器、控制器、真空开关介绍德国THYRACONT由英格·海因茨·普洛钦格于1970年创立，50多年来一直在开发和生产智能、创新的真空计量。

从一开始，创新精神就是我们取得卓yue 技术成就的动力，这些成就一再在真空测量和控制技术中创造新的动力。

Thyracont的独te之处在于它融合了传统和创新。

“THYRACONT”的名称由冷冻干燥机的功率控制器中的“晶闸管”和“控制器”组成。

50多年的真空测量专业知识是我们不断优化和完善产品的基础。

Thyracont开发的许多创新，例如微型Pirani螺旋丝或在大测量范围内使用组合传感器，已成为真空测量的标准。

产品组合包括真空计、真空传感器、真空变送器、真空表、真空开关、控制器以及配件和真空组件。

根据客户要求，可以提供各种组合的测量原理，如：压电、皮拉尼、电容、冷阴极和热阴极…1) VD8真空计:准确的便携式的数字的测量范围1600至5e-4mbar|1200至5e-4Torr带有集成数据记录器的紧凑型数字真空计可记录您的工艺值。

先进的电子设备保证了精确和可重复的测量结果。

参考型号：VD81 Piezo|VD83 Pirani|VD84 Pirani external|VD85Piezo/Pirani功能：数据记录器，最多可提供2000个测量值使用电源装置或电池进行操作用于数据传输的USB接口泄漏率计算连续运行或自动关闭◆通用仪表VD8真空计可用作便携式仪器或永jiu安装在真空设施中。

真空计可以通过电池或插入式电源进行操作。

◆舒适的测量记录所有VD8紧凑型真空计都具有集成的数据记录器，并在整个测量过程中独立于PC保存压力值。

◆精确的结果紧凑型真空计的显示屏显示精确的绝对压力。

温度补偿传感器和先进的电子设备保证了精确和可重复的测量结果。

◆最大灵活性VD84型仪表在螺旋电缆上有一个外部Pirani传感器。

它非常适合将传感器安装在难以触及的位置。

万丰测控 流量仪表■概述LZ 型系列金属管浮子流量计,采用可变面积式测量原理，应用现代高技术手段及元器件，生产的金属管浮子流量计。

流量计主要由三大基本部分组成：1、测量管体；2、锥形浮子；3、指示器。

浮子的位移量与流量的大小成比例，通过磁耦合系统，以不接触方式，将浮子位移量传给指示器指示出流量的大小。

也可配装不同的转换器，将流量值转换成标准如4-20mA 电远传信号，实现远距离显示、记录、积算和控制等功能。

LZ 型系列金属管浮子流量计，适用于测量液体、气体。

在测量管的设计上针对不同的管道条件、特殊流体的测量要求，配置了多种结构型式的测量管，如保温夹套型、带阻尼器型等。

除了标准的可选外，还可以为用户进行特殊设计，如高压型、高温型等，最大限度的满足用户的要求。

LZ 型系列金属管浮子流量计，在指示器的设计上可以为各种应用场合提供可靠适用的功能组合。

如现场指针指示，LCD 显示瞬时和累积流量等，在指示器供电选择方面有电池供电、24VDC 供电、220V AC 供电，方便用户现场情况进行选择。

LZ 型系列金属管浮子流量计，以其结构简单，使用寿命长、线性刻度、可用于测量液体和气体等优点而得到广泛应用，诸如石油、化工、发电厂、食品工业、制药工业、水处理工业以及其它工业域。

■技术参数：仪表型号 LZ 系列金属管浮子流量计 测量范围 （100%点值）从流量表选择水 20℃ 2.5-150,000L/h空气 1.013bar abs 20℃ 0.07-3000m 3/h量程比 10：1 5：1 精度等级 1.5 2.5 压力损失 见流量表测量管 锥形测量管 孔板测量管 刻度盘分度 依据流量单位划分仪表口径 DN15-DN150 其他口径协商制造法兰连接 DN15-DN50/PN4.0 DN80-DN150/PN1.6 法兰标准 GB/T9119 .10-88 也可按用户提供法兰标准制造如 ANSI B 16.5保温夹套法兰 DN15 DN25/PN4.0 1/2 保温夹套管 ф12特殊类型 高压型、螺纹型和其他特殊型可根据用户要求提供介质粘度 DN15≤5mPa.sDN25～DN150≤250mPa.s介质温度 -80∽200℃ 标准型 0∽85℃ 防腐型 -80∽300℃ 高温型 环境温度 -25∽60℃ 防护等级 IP65电信号输出 输出信号 4-20mA （两线制）线性度 1％温度影响 0.5％/10℃电气接口 M20×1.5 标准型 供电电源 24V DC 标准型 电源消耗 ≤3W限位报警 供电电源 24V DC电源消耗 ≤3W触点容量 3A/220V 工作温度 -25∽60℃ 防爆等级 Exib ⅡCT5 Exd ⅡBT5 防爆关联设备 本安型安全栅LB906■型谱LZ Z 就地指示型D 电远传型口径 DN15 25 50 80 100 150结构型式F10 下进上出型（可以缺省）F11 下进侧出型F12 侧进侧出型F13 右进左出型F14 左进右出型接液材质RR0 0Cr18Ni12Mo2Ti 适用于结构型式 F10型 F11型 F12型 F13型 F14型RR1 1Cr18Ni9Ti 适用于结构型式 F10型 F11型 F12型 F13型 F14型RL 316L 适用于结构型式 F10型 F11型 F12型 F13型 F14型RP PTFE 适用于结构型式 F10型Ti 钛合金适用于结构型式 F10型HC 哈氏合金适用于结构型式 F10型附加结构T 夹套型适用于测量器类型 F10型Z 阻尼型适用于测量器类型 F10型 F11型 F12型 F13型 F14型G 高温型适用于测量器类型 F10型 F11型 F12型 F13型 F14型Y 高压型适用于测量器类型 F10型 F11型 F12型 F13型 F14型指示器 (对于远传4-20mA标准电流信号指示器，可以选择＋HART协议）缺省现场指针显示瞬时流量ES1 24VDC供电，现场指针显示瞬时流量，角位移变送器，远传4-20mA标准电流信号ES2 24VDC供电，现场指针显示瞬时流量，非接触变送器，远传4-20mA标准电流信号K1 带一上限报警点输出K2 带一下限报警点输出K12 带一上限和一下限报警点输出JSB 电池供电， LCD显示瞬时流量和累积流量JSC 240VAC供电，LCD显示瞬时流量和累积流量JSD 24V DC供电，LCD显示瞬时流量和累积流量JSE 24V DC供电，LCD显示瞬时流量和累积流量，远传4-20mA标准电流信号防爆型式缺省普通型方表头Exi 本安防爆型方表头Exd 隔爆型圆表头举例：LZ□-□□□□□□□注：无选择项可以缺省。

分项报价表采购编号：CLZ0122ZQ01ZC07项目名称：核酸检测能力提升建设项目设备包号：1投标人名称：江西初瑞医疗器械有限公司货币及单位：人民币/元品目号序号货物名称规格型号品牌产地是否节能产品是否环境标志产品制造商名称单价数量总价1-1196孔荧光定量P C R 仪Gentier 96R天隆西安否否西安天隆科技有限公司147,000.002.00 (台)294,000.001-21全自动核酸提纯及荧光P C R 分析系统Anadas 9850安普利厦门否否厦门安普利生物工程有限公司1,468,500.005.00 (台)7,342,500.001-3196孔全自动核酸提取仪GeneRotex 96天隆西安否否西安天隆科技有限公司135,000.001.00 (台)135,000.001-41生物安全柜BSC-1500 II A2-X鑫贝西济南否否济南鑫贝西生物技术有限公司38,700.001.00 (台)38,700.001-51移液器（0.5-10μL ）F3赛默飞上海否否赛默飞世尔（上海）仪器有限公司1,000.004.00 (把)4,000.001-61移液器（5-50μL ）F3赛默飞上海否否赛默飞世尔（上海）仪器有限公司1,000.004.00 (把)4,000.001-71移液器（100-1000μL ）F3赛默飞上海否否赛默飞世尔（上海）仪器有限公司1,000.004.00 (把)4,000.001-81移液器（20-200μL ）F3赛默飞上海否否赛默飞世尔（上海）仪器有限公司1,000.004.00 (把)4,000.001-91手动8通道移液器（0.5－10μL ）F2赛默飞上海否否赛默飞世尔（上海）仪器有限公司4,800.002.00 (把)9,600.001-101电动单道可调移液器（15-300μL ）dPette大龙北京否否大龙兴创实验仪器（北京）股份公司6,500.001.00 (把)6,500.001-111电动单道可调移液器（50-10dPette 大龙北京否否大龙兴创实验仪器（北京）股份公6,500.00 1.00 (把)6,500.00广东政府采购智慧云平台C L Z0122Z Q01Z C07 第(1) 采购包2022-09-3015:44:11江西初瑞医疗器械有限公司2022-09-3015:44:1100μL ）司1-12196通道全自动液体工作站PANA S401天隆西安否否西安天隆科技有限公司159,000.001.00 (台)159,000.001-13180L 立式灭菌器LMQ.C 新华山东否否山东新华医疗器械股份有限公司20,000.001.00 (台)20,000.001-141小型离心机Mini-12英泰长沙否否长沙英泰仪器有限公司2,900.002.00 (台)5,800.001-151小型混匀仪VORTEX-10其林贝尔江苏否否海门市其林贝尔仪器制造有限公司3,000.002.00 (台)6,000.001-161漩涡混匀仪QL901其林贝尔江苏否否海门市其林贝尔仪器制造有限公司1,200.002.00 (台)2,400.001-171八联管离心机Mini-5鑫驰济南否否济南鑫驰医疗科技有限公司1,800.002.00 (台)3,600.001-181样本架/欧莱博山东否否山东欧莱博仪器有限公司35.00100.00 (个)3,500.00投标人盖章：日期：2022 年 09 月 30 日广东政府采购智慧云平台C L Z0122Z Q01Z C07 第(1) 采购包2022-09-3015:44:11江西初瑞医疗器械有限公司2022-09-3015:44:11。

ZDF-5227系列/ZDF-5210系列/ZDF-5201系列复合真空计使用说明书成都睿宝电子科技有限公司地址：成都市双流区西航港腾飞二路355号9栋邮编(P.C.)：610207 电话(TEL)：************85535103 传真(FAX)：************网址： E-mail:**************尊敬的客户：首先感谢您的信赖并选择了我公司的真空计产品，我公司是从事研发、生产和销售真空测量仪器的专业制造厂家。

是通过并运行ISO9001质量体系的企业。

我们希望通过我们的产品能为您带来更大的效益，通过我们的服务能更好地满足您的需求。

请在使用我公司产品前仔细先阅读本使用说明书。

请关注您所使用的那一款真空计的各种文字条款和图片解释，以帮助您更好地使用我公司产品。

如果您在使用本公司产品时，还有什么问题或疑虑，请及时和我们联系。

再次感谢您的使用！本用户手册中ZDF-5227系列代表ZDF-5227、ZDF-5227B、ZDF-5227BY三种真空计；ZDF-5210系列代表ZDF-5210、ZDF-5210B、ZDF-5210BY三种真空计；ZDF-5201系列代表ZDF-5201、ZDF-5201B、ZDF-5201BY三种真空计。

售后电话：************-613该系列复合真空计是由一路或者二路皮拉尼电阻真空计（ZJ-52T）和一路热阴极电离(ZJ-27\ZJ-10\ZJ-12)真空计组合而成。

ZDF-5227由一路电阻和一路电离组成；ZDF-5227B\ZDF-5227BY由两路电阻和一路电离组成。

ZDF-5210由一路电阻和一路电离组成；ZDF-5210B\ZDF-5210BY由两路电阻和一路电离组成。

ZDF-5201由一路电阻和一路电离组成；ZDF-5201B\ZDF-5201BY由两路电阻和一路电离组成。

共计9种型号复合真空计，其中电阻1单独测量，电阻2和电离复合测量。

何谓分子泵、离子泵？应该都是真空泵。

激光陀螺是迄今为止在惯性技术领域唯一真正获得了卓有成效的实际应用的非机电式中高精度惯性敏感仪表。

它具有稳定性好、精度高、动态范围宽、寿命长等诸多优点。

而超高真空的获取是激光陀螺制造过程中至关重要的环节。

在激光陀螺的密封、抽真空、检漏、等离子清洗等过程中，都涉及到超高真空的获取技术。

本文将对激光陀螺生产过程中超高真空的获取技术进行探讨。

1 真空系统的构成激光陀螺在生产中要求其真空系统具有较高的真空度，并且要求真空系统密封效果好、密封性可靠、可充入惰性气体和启动快速。

要实现这一目标，不同的厂家根据自己的能力和用户的要求设计出了不同的真空系统。

但总的来说，采用的设备大同小异，图 1 为生产激光陀螺所用的真空系统的典型结构。

图1中分子泵（次级泵）是这个真空系统的主要抽气工具，但由于它不能单独从大气环境开始工作，因而在它前面要串联一个能从大气开始工作而能达到的真空度往往不高的机械泵（前级泵），并在分子泵和机械泵之间串联一个油扩散泵（增压泵）。

同时，为了在较短的时间内达到超高的真空度，本真空系统还使用了钛升华泵作为辅助抽气的无油泵。

当然，也有一些系统由于采用了性能较好的分子泵，省略了油扩散泵，而最后一级也可以加入离子泵或锆泵来提高真空系统的性能。

2 主要设备2.1 真空泵2.1.1 前级泵早期的激光陀螺超高真空台一般采用油封旋片机械泵作为前级泵。

机械泵价格便宜，适合在粗真空和中真空中使用，因而被广泛采用。

但它也有明显的缺点：首先，油封机械泵不是无油真空泵，虽然在次级加入冷阱和分子泵可基本消除油污染，但对于超高真空系统来说，仍然存在一定的污染隐患；其次，机械泵排水蒸气能力较差，这对潮湿环境下的真空作业十分不利；另外，油封机械泵自身密封性较差，因此不利于抽除和传输含有放射性物质的气体。

所以现在机械泵有被性能更优越的干泵取代的趋势。

干泵分为薄膜式以及罗茨式干泵两种。

抽速从0.9 米 3 / 小时到50 米3 / 小时，具有不产生油污和粉尘、排水蒸气能力强、低能耗，坚固耐用，可靠性高的优点，另外应用磁力传动电机技术的干泵还能够使轴头动密封变成静密封，外漏和内漏做到了“ 零” 泄漏。

DL-7(ZJ-12)型电离规管的研制王逊何焕玮张宛予孙瑞芬原载真空，2,24（1983）本文介绍北大无线电系与无线电工厂研制的DL-7(ZJ-12) 型宽量程超高真空电离计管，采用B-A式结构，玻璃外壳，测量范围为10-2—5×10-10Toor。

一、引言越来越多的真空设备要求测量的压强范围很宽。

例如：真空镀膜机，无油机组等，都希望配有能从低真空一直到超高真空的规管。

而且前国内还是采用复合计的形式来解决这个问题。

DL-7型电离规的研制就是试图采用一只规管来满足宽量程的要求。

由于B-A计有较低的下限，用扩展B-A计的上线的犯法开设计宽量程电离计引起很多人的注意。

扩展B-A计的上限有两条途径：一时在B—A计中增加电极，在高压强是使用[1-3]，或在玻壳上涂敷氧化亚锡导电层，在高压强时作电子加速极[4]，而在高真空时，仍按B-A计接法使用。

另一用途是不增加任何电极，只是把阴极换成抗氧化能力强的材料，在高压强时采用较小的发射电流即可扩展上限[5，6]。

DL-7型电离规再用用后一种方案。

国外用B-A计能测试较高压强的产品如图一所示[5，6]。

一般B-Ａ计在压强高于5×10-4Torr时，已开始偏离现行，而表1所列B-A计能测量高达1×10-2Torr或1×10-1Torr 的压强。

二、DL-7型规管的结构与参量作为B-A计，不同的几何尺寸有不同的灵敏度，表2列出一个B-A集的尺寸与灵敏度的数值[7]。

16-18 9.1 50A．C75D．C20A．C140由表2可见，B-A计的灵敏度一般在10Torr-1—50Torr-1之间。

要得到高的灵敏度，尺寸就要做到很大。

而且结构复杂。

例如：栅极要封闭，但是灵敏度的增加也有限。

DL—7型电离计采用较小的尺寸，叫简单的结构，如图1所示。

灵敏度选择10Torr-1。

它的结构材料与尺寸如图3所示。

该规管电参量列于表4。

D类—7型规管作为B—A计，它的本低压强显示值为5×10-11Torr，与一般B—A计是一致的。