RENA制绒工艺说明

冷却系统换水换冷冻剂步骤：
（1）当机器在工作的状态下，点击STOP，进入MODE MANUAL；
（2）进入chiller专区，排掉COOLING WATER；
（3）等冷却水排完后，打开冷却机后面的拧头（如图左），放出里面的液体；液体不可回收利用。

（4）关闭拧头，然后打开冷却机顶部的盖子，如图（右），加入15L的冷冻剂；
（5）原废液排完后可加水循环清洗，排掉后才能加冷冻剂及水；
（6）一切完毕后，filling；
的补液槽，左边三个就是它的三个感应传感器，，右边的是它的感应传感器；
尤其注意对碱槽的清洗：
步骤如下：
1.在主页面点机Manual键进入手动页面；
2.点机Alkaline键进入碱页面；
3.在进入此页面后，其步骤为：Mode
FillingChemcial键颜色变深色即可)—
“碱排液”：
当有液体时候，防漏传感器会感应到液体，会把信号传给此图的泵，这样就会把液体排掉；。

简述制绒工艺流程下载温馨提示：该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。

文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by the editor. I hope that after you download them, they can help yousolve practical problems. The document can be customized and modified after downloading, please adjust and use it according to actual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types of practical materials, such as educational essays, diary appreciation, sentence excerpts, ancient poems, classic articles, topic composition, work summary, word parsing, copy excerpts,other materials and so on, want to know different data formats and writing methods, please pay attention!制绒工艺是一种将原始材料经过一系列复杂加工工序转变成绒毛织物的工艺。

文件修订记录目录1.目的 (3)2. 范围 (3)3. 职责 (3)4. 内容 (3)5. 记录 (3)6. 附件 (4)1. 目的规范多晶硅电池片生产中制绒工序的各项操作。

2. 范围用于本公司156 多晶电池片生产中RENA 清洗机制绒工序的操作作业指导。

3. 职责3.1 所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。

3.2 在操作过程中遇到问题应及时向工艺和设备人员反应，工艺和设备人员及时提供帮助。

3.3电池技术部负责按文件要求对产线进行检查、监督。

4. 内容4.1 制绒工序注意事项规定，见5-8页。

4.2 RENA制绒上料操作作业指导书（多晶），见9-10页。

4.3 RENA制绒流程操作作业指导书(多晶)，见11-12页。

4.4 RENA制绒下料操作作业指导书（多晶），见13-14页。

4.5 减薄量测试作业指导书, 见15页。

4.6返工片操作作业指导书，见16-20页。

4.7产线异常控制作业指导书，见21页。

4.8 D8反射率使用作业指导书见22-23页。

5. 记录5.1 制绒减重反射率记录表（电子版）5.2 制绒换液记录表5.3 制绒工艺日常点检表5.4 电池生产流程单6. 附件6.1制绒常见异常处理方法（设备），见24-25页。

6.2多晶制绒工艺流程图，见26页。

6.3 化学品安全使用和应急处理，见27-28页。

制绒工序注意事项规定1．制绒工序区域环境要求1.1 洁净度：控制线8000 级，停产线10000 级1.2 温度：22±2℃1.3 湿度：<70%1.4 对参观通道保持3pa 正压1.5 排风：（500±50）Pa(RENA 机排风)2．着装及劳保用品使用要求2.1 人员着装要求：现场作业人员、支持人员须穿戴整齐（包括公司配备的洁净服、洁净帽、工作鞋、口罩）并保证着装整洁（如脏污须清洗或更换）。

2.2 手套使用要求：现场作业人员须戴乳胶手套作业，沾污、破损必须更换新手套；手动放片每两小时更换一次手套，出入车间后更换手套。

1.目的为了让员工更熟练、安全、有效的掌握RENA InTex制绒设备的开关机流程。

2.适用范围适用于通威太阳能（合肥）有限公司所有电池车间的RENA InTex制绒设备的操作。

3. 规范性引用文件无4. 定义无5.职责权限所有RENA InTex制绒机的操作员工必须熟读并掌握该设备的开关机流程。

6.工作程序6.1 开机程序6.1.1 打开压缩空气、工艺冷凝水及纯水，自来水。

如下图是打开状态。

6.1.2打开电控柜总电源，开启电脑主机，点击“Login”显示图界面，输入用户名及密码，点击“OK”进入。

6.1.3 确认显示屏上各模块溶液显示Full DI 、FUII Chem 和设备门窗都关闭，Ecth Bath显示Not ready, Dryer1、Dryer2显示Ready.6.1.4 在设备背面处，确认KOH槽和酸槽的液面均达到第二液位感应器。

6.1.5 确认主界面中无报警信息6.1.6 点击“Manual”选项，进入手动控制模式。

随后点击“F4”三次进入传动系统。

6.1.7 选择“ALL Conveyor”，并点击“STOP”。

6.1.8 点击如图所示“F10”退回主界面。

6.1.9 点击如图所示“Mode Auto”，待界面上操作单元黄色转变绿色时设备将从Tank中向Etch Bath添加药液，待界面各槽温度稳定下方均显示为绿色Full chemie和绿色Ready.6.1.10 点击界面右下方的“Start”各模块自动运行，则可进行放片操作。

6.2 关机流程6.2.1 点击界面右下方的“Stop”选项。

6.2.2 各模块均停止工作后，点击“Manual”选项，进入手动控制模式。

随后点击“F4”三次，进入传动系统。

6.2.3 选择“ALL Conveyor”，并点击“Start”单击“F10”退回主菜。

6.2.4 进入Manual选项中Etch Bath,点击Drain bath,即把Etch bath 槽内的药液排到Tank 内。

电池片工艺流程一、电池片工艺流程：制绒(intex)---扩散（diff）----后清洗（刻边/去psg）-----镀减反射膜（pecvd）------丝网、烧结（printer）-----测试、分选（tester+sorter）------包装（packing）二、各工序工艺了解：（一）前清洗1.rena前冲洗工序的目的：（1）去除硅片表面的机械损伤层（来自硅棒切割的物理损伤）（2）去除表面油污（利用hf）和金属杂质（利用hcl）（3）形成起伏不平的绒面，利用陷光原理，增加对太阳光的吸收，在某种程度上增加了pn结面积，提高短路电流（isc），最终提高电池光电转换效率。

2、前冲洗工艺步骤：制绒→碱洗→酸洗→揉搓etchbath：刻蚀槽，用于制绒。

所用溶液为hf+hno3，作用：（1）.除去硅片表面的机械受损层；（2）.形成无规则绒面。

alkalinerinse：碱洗槽。

所用溶液为koh，促进作用：（1）.对形成的多孔硅表面进行清洗；（2）.中和前道退火后残余在硅片表面的酸液。

acidicrinse：酸洗槽。

所用溶液为hcl+hf，作用：（1）.中和前道碱洗后残余在硅片表面的碱液；（2）.hf可去除硅片表面氧化层（sio2），形成疏水表面，便于吹干；（3）.hcl中的cl-存有随身携带金属离子的能力，可以用作除去硅片表面金属离子。

3.酸制绒工艺涉及的反应方程式:hno3+si=sio2+nox↑+h2osio2+4hf=sif4+2h2osif4+2hf=h2[sif6]s i+2koh+h2o→k2sio3+2h24.前冲洗工序工艺建议（1）片子表面5s控制不容许用嘴巴片子的表片，必须很湿手套，防止蔓延后发生脏片。

（2）称重a.自噬体片子的腐蚀深度都必须检测，不容许捏造数据，混用批次等。

b.要求每批测量4片。

c.摆测量片时，把握住平衡原则。

例如第一批放到1.3.5.7道，下一批则放到2.4.6.8道，易于检测设备稳定性以及溶液的光滑性。

RENA InTex机器的操作手册byDr. Ihor MelnykAxel Herguth1.一般的規章• 在腐蝕性的化學製品工作需要足夠的防護衣，建議使用抵抗腐蝕性的蓋板/衣服，鞋，手套和护目镜。

此外确保自己如果发生事故,能找到適當的緊急事件冲冲洗設施。

• 決不在機器內單獨工作• 當時操作的機器請不要打開/ 除去蓋板，由於內部蒸汽有特別危险性的鹼或酸化學品2.RENA InTex機器正常操作时的要求化學供應和處理1.正規操作的RENA InTex须分別要求穩定的供應HF 15 (L/h)的， 15(L/h)HNO3，5 (L/h) HCl，3(L/h) KOH和DI water。

這些数值可以隨用量不同而變化。

另外， 建议有備用HF 150 L，HNO3 250 L，75L HCl和KOH 10 L 的给新的化学槽使用。

2.對化學製品的準確測量來說，至少要求7 L /min的流量。

对于使用的化学槽處理，提供適當化學品HF/HNO3供應给蝕刻槽,最大的體積是550 L。

壓縮空氣1.對RENA InTex機器的Air Knifes規定的操作压力要求至少4bar的氣壓。

如果Air Knifes不使用，壓力必須是6bar。

2.如果Air Knifes的氣壓不足， HF和來自蝕刻槽的HNO3可能發生不需要的流量， 導致alkaline bath蝕刻产生棕色污點，因此造成产品品質不良。

3.如果不足的氣壓在Air Knife 2 和3 wafers可能沒被正確地吹干， 將需要另外的清潔程序做其它的處理。

• 当Air Knife动作时請确认全部閥門都打開.3. 旧的蝕刻槽處理蝕刻槽1.選单為Manual >etch bathFigure 1: Manual > Etch bath: disposal of old bath2.“mode man.”，透過按按鈕選擇手控模式。

3. 按下system draining”蝕刻槽和tank的化学品將被排掉4.等化学品排放過程完成，圖表显示Empty(黃色)為蝕刻槽以及Tank准备下一道程序5.蝕刻槽以及Tank沖洗，按下“system rinsing” 沖洗(螢幕的左邊)。

RENA 制绒工序操作流程1 主题内容本文规定了多晶制绒工序的基本操作流程。

2 适用范围本规定适用于多晶制绒工序。

3 内容3.1 生产准备3.1.1 进入车间室时必须穿好工作服、工作鞋，戴工作帽、手套和防尘口罩，衣着标准严格按照6S 执行，不得穿着工作服在车间外活动，进入车间必须走风淋门。

3.2 操作流程3.2.1 上料3.2.1.1用小推车将硅片运至RENA 机上料处3.2.1.2去除硅片内包装（如果有），将硅片放入专用泡沫箱中。

每一百片硅片一组隔开放置，3.2.1.3 取一摞（100片）硅片检查有无缺角隐裂碎片崩边油污等不良片，然后将硅片按规定的线痕方向承载盒中，双手提起承载盒将其放入上料机。

用气枪在平行于硅片表面方向将硅片吹开防止叠片。

3.2.1.4 点击“吸完为止”使其变红，点选与RENA 匹配的带速按钮，按下工艺启动按钮待机械臂行至原点后再次按下工艺启动按钮开始生产3.2.2 测腐蚀量取10至15片硅片使用电子天平依次称重记录，将称好的硅片按称量顺序放入腐蚀量专用花篮中，拿到上料处。

开始生产前取一片称好硅片放在RENA 机第三道待其流出后称重计算出腐蚀量，合格后开始生产，如果不合格通知工艺人员调整制绒液浓度。

3.2.3 下料3.2.3.1 将花篮按箭头向上的方式放在下料机花篮缓冲区传送带上，缓冲区最多放三个花篮。

3.2.3.2点选与RENA匹配的带速按钮，按下工艺启动按钮启动下料机。

3.2.3.3 待花篮插满硅片后，将花篮自下料处拿起放到货架上，非制绒面朝向下料人。

3.3 仪器/工具/材料3.3.1 仪器：启天上下料机，RENA制绒机3.3.2 工具：承载盒、花篮。

3.3.3 材料：硅检后硅片3.4 注意事项：3.4.1 注意观察上料处如有碎片、叠片将碎片叠片及时取出。

3.4.2 开始生产后每500片测腐蚀量一次。

生产2000片后每2000片测腐蚀量一次。

3.4.3 rena机临时停机后复产需降低带速，腐蚀量正常后逐步提高带速3.4.4 检验硅片时严禁用裸手直接接触硅片。

1. 目的为LDK电池生产线单晶制绒工序的作业提供标准的操作指导，使单晶制绒工序的生产操作管理规范化、标准化。

2. 范围适用于LDK电池生产线单晶制绒工序，从单晶制绒作业准备至结束所有生产操作步骤和要求。

3. 职责3.1工艺技术人员3.1.1负责单晶制绒工序生产工艺运行的正常性、稳定性。

3.1.2负责部门内工艺运行原始资料的累积、保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺异常。

3.1.3负责应对单晶制绒设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。

3.2设备技术人员3.2.1负责单晶制绒设备开关机、故障分析、设备维护及检修。

3.2.2如有工艺需求，积极配合工艺人员调整设备硬件设置。

3.2.3 负责部门内设备运行原始资料的累积，保管，随时检查设备运行状态，并记录异常，积极跟踪异常情况，处理设备故障；3.3生产人员3.3.1负责依照作业指导书要求，按标准进行生产作业，掌握正确的操作方法，确保操作安全、人身安全。

3.3.2细心总结操作经验，发现新问题或改善建议，及时向工艺技术员汇报。

3.3.3配合、协助设备的日常维护工作。

4. 单晶制绒工序标准作业流程4.1 单晶制绒目的4.1.1 在硅片表面通过化学腐蚀形成“金字塔”结构，通过陷光原理增加对太阳光吸收。

4.2 生产准备4.2.1 按照着装标准正确穿戴无尘服，正确佩戴口罩及手套。

4.2.2 确保手套没有粘有油脂性物质，如接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套。

4.2.3生产前检查的设备外围、供电、及工艺参数是否正确4.2.4确保生产用工具配齐4.3 生产操作过程4.3.1检查外包装箱子是否有破损，检查配料单和Qc检验入库信息是否一致，同时核对外包装箱上的数量合计是否与配料单一致。

4.3.2 搬动一箱硅片在电子秤上称重，检查包装箱上的重量是否与电子秤是否一致，如一致，将秤的重量写在装片记录上，称完重量的硅片立即从称上取下，电子称上严禁长时间放置物品。

电池片工艺流程一、电池片工艺流程:制绒(INTEX)---扩散(DIFF)----后清洗(刻边/去PSG)-----镀减反射膜(PECVD)------丝网、烧结(PRINTER)-----测试、分选(TESTER+SORTER)------包装(PACKING)二、各工序工艺介绍:(一)前清洗1.RENA前清洗工序的目的:(1) 去除硅片表面的机械损伤层(来自硅棒切割的物理损伤)(2) 清除表面油污(利用HF)和金属杂质(利用HCl)(3)形成起伏不平的绒面，利用陷光原理，增加对太阳光的吸收，在某种程度上增加了PN结面积，提高短路电流(Isc)，最终提高电池光电转换效率。

2、前清洗工艺步骤: 制绒?碱洗?酸洗?吹干Etch bath:刻蚀槽，用于制绒。

所用溶液为HF+HNO3 ，作用:(1).去除硅片表面的机械损伤层;(2).形成无规则绒面。

Alkaline Rinse:碱洗槽。

所用溶液为KOH，作用:(1). 对形成的多孔硅表面进行清洗;(2).中和前道刻蚀后残留在硅片表面的酸液。

Acidic Rinse:酸洗槽。

所用溶液为HCl+HF，作用:(1).中和前道碱洗后残留在硅片表面的碱液;(2).HF可去除硅片表面氧化层(SiO2)，形成疏水表面，便于吹干;(3).HCl中的Cl-有携带金属离子的能力，可以用于去除硅片1/13页表面金属离子。

3. 酸制绒工艺涉及的反应方程式:HNO3+Si=SiO2+NOx?+H2OSiO2+ 4HF=SiF4+2H2OSiF4+2HF=H2[SiF6]Si+2KOH+H2O ?K2SiO3 +2H24. 前清洗工序工艺要求(1) 片子表面5S控制不容许用手摸片子的表片，要勤换手套，避免扩散后出现脏片。

(2)称重a.每批片子的腐蚀深度都要检测，不允许编造数据，搞混批次等。

b.要求每批测量4片。

c.放测量片时，把握均衡原则。

如第一批放在1.3.5.7道，下一批则放在2.4.6.8道，便于检测设备稳定性以及溶液的均匀性。

1.RENA制绒工序作业指导书文件修订记录目录1.目的 (3)2. 范围 (3)3. 职责 (3)4. 内容 (3)5. 记录 (3)6. 附件 (4)1. 目的规范多晶硅电池片生产中制绒工序的各项操作。

2. 范围用于本公司156 多晶电池片生产中RENA 清洗机制绒工序的操作作业指导。

3. 职责3.1 所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。

3.2 在操作过程中遇到问题应及时向工艺和设备人员反应，工艺和设备人员及时提供帮助。

3.3电池技术部负责按文件要求对产线进行检查、监督。

4. 内容4.1 制绒工序注意事项规定，见5-8页。

4.2 RENA制绒上料操作作业指导书（多晶），见9-10页。

4.3 RENA制绒流程操作作业指导书(多晶)，见11-12页。

4.4 RENA制绒下料操作作业指导书（多晶），见13-14页。

4.5 减薄量测试作业指导书, 见15页。

4.6返工片操作作业指导书，见16-20页。

4.7产线异常控制作业指导书，见21页。

4.8 D8反射率使用作业指导书见22-23页。

5. 记录5.1 制绒减重反射率记录表（电子版）5.2 制绒换液记录表5.3 制绒工艺日常点检表5.4 电池生产流程单6. 附件6.1制绒常见异常处理方法（设备），见24-25页。

6.2多晶制绒工艺流程图，见26页。

6.3 化学品安全使用和应急处理，见27-28页。

制绒工序注意事项规定1．制绒工序区域环境要求1.1 洁净度：控制线8000 级，停产线10000 级1.2 温度：22±2℃1.3 湿度：<70%1.4 对参观通道保持3pa 正压1.5 排风：（500±50）Pa(RENA 机排风)2．着装及劳保用品使用要求2.1 人员着装要求：现场作业人员、支持人员须穿戴整齐（包括公司配备的洁净服、洁净帽、工作鞋、口罩）并保证着装整洁（如脏污须清洗或更换）。

2.2 手套使用要求：现场作业人员须戴乳胶手套作业，沾污、破损必须更换新手套；手动放片每两小时更换一次手套，出入车间后更换手套。