（工艺技术）制绒清洗工艺文件江西天能电力股份有限公司合格的多晶硅片6.1.2工装、设备：片架（小花蓝）清洗花篮美工刀6.1.3工艺过程6.1.3.1穿戴好工作服、工作帽、口罩和一次性手套。
6.1.3.2准备好片架、装片记录表以及工序流程卡。
6.1.3.3查看配料单，确认原材料信息以及数量，并填写装片记录和工序流程卡。
6.1.3.4检查硅片包装箱确认包装无撞击破损后打开，取出硅片包装盒，在装片记录上记录相关信息。
6.1.3.5打开硅片包装盒，从中抽取一片，按照检验标准分别检查其外观。
6.1.3.6取出包装盒内的硅片，并撵成扇形轻轻插入片架内。
6.1.3.7将装好硅片的片架分批按顺序整齐摆放在台面上，并将工序流程卡记录准确。
6.1.3.8将片架放入清洗花篮中每个清洗花篮中放置3×4个插片后的片架。
准备下一步腐蚀清洗。
6.1.3.8注意事项1.每个片架最多可以插片 25 片。
插片过程中对硅片进行检验，不合格硅片挑出。
每装 100 片硅片需要更换一次手套，如装片过程中手套破损需及时更换。
2.插片处打开包装箱拿取硅片时，遵循少量多次的原则，不允许一次拿过量的硅片。
3.插片时，手中拿的硅片数量在 50-100 片。
4.确保没有缺陷片流出。
5.确认在单个片槽内没有双片现象；各项数据的准确性和完整性。
装片过程中需及时将碎片、裂纹片以及其它与检验标准不相符合的硅片挑出，并做好记录。
6.2腐蚀清洗6.2.1开机打开氮气阀门、压缩空气阀门、纯水阀门，打开总电源→PLC 电源→各分电源6.2.2准备工作6.2.2.1确认各机械手是否在原点位置。
6.2.2.2确认各槽清洗状态正常，各槽内按工艺条件正确配液，见《清洗配液作业指导书》。
6.2.2.3确认各槽排水阀关闭，无漏液等，各槽内注入规定的溶液。
6.2.2.4确认各槽控制系统工作正常，程序准确，参数设定准确。
6.2.2.5点检各设备动力参数在规定范围内。
6.2.3关机6.2.2.1关机前先把水及药液完全排出（各槽逐个排液，防止副槽水溢流），把机械手打回原点。
